JP2010007057A - シロキサン系樹脂組成物およびこれを用いた光学デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アルミニウム、スズ、チタン、ニオブ、ジルコニウムの化合物からなる群より選ばれる1種の金属化合物粒子、式(1)〜(3)のいずれかで表される化合物を含むシラン化合物を加水分解し、該加水分解物の縮合反応により得られるシロキサン化合物、および溶剤を含むシロキサン系樹脂組成物。R0 2−nR1 nSi(OR9)2(1)(R0は水素、アルキル基、アルケニル基、フェニル基、R1は1価の縮合多環式芳香族基。またはそれらの置換体。)R2Si(OR10)3(2)(R2は1価の縮合多環式芳香族基またはその置換体。)(R11O)mR4 3−mSi−R3−Si(OR12)lR5 3−l(3)(R3は2価の縮合多環式芳香族基、R4およびR5は水素、アルキル基、アルケニル基、アリール基。またはそれらの置換体。)
【選択図】なし
Description
R0 2−nR1 nSi(OR9)2 (1)
(R0は水素、アルキル基、アルケニル基、フェニル基またはそれらの置換体を表す。R1は1価の縮合多環式芳香族基またはその置換体を表す。R9は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。nは1または2である。nが2の場合、複数のR1は同一でも異なっていてもよい。)
R2Si(OR10)3 (2)
(R2は1価の縮合多環式芳香族基またはその置換体を表す。R10は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。)
(R11O)mR4 3−mSi−R3−Si(OR12)lR5 3−l (3)
(R3は2価の縮合多環式芳香族基またはその置換体を表す。R4およびR5は水素、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはそれらの置換体を表し、それぞれ同一でも異なっていてもよい。R11およびR12は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、それぞれ同一でも異なっていてもよい。mおよびlはそれぞれ独立に1〜3の整数である。)
R0は水素、アルキル基、アルケニル基、フェニル基またはそれらの置換体を表す。アルキル基およびアルケニル基の炭素数は1〜20が好ましい。置換体の置換基の好ましい例として、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、エポキシ基、グリシジル基、オキセタニル基、フェノキシ基、アクリロキシ基、メタクリロキシ基等が挙げられ、以下同じとする。R1は1価の縮合多環式芳香族基またはその置換体を表す。R9は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。nは1または2である。nが2の場合、複数のR1は同一でも異なっていてもよい。なお、プロピル基やブチル基等のアルキル基は、直鎖状でも分岐状でもよく、以下同じとする。
R2は1価の縮合多環式芳香族基またはその置換体を表す。R10は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。縮合多環式芳香族基やその置換体の好ましい例は、上記(1)における例と同じである。
R3は2価の縮合多環式芳香族基またはその置換体を表す。R4およびR5は、水素、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはそれらの置換体を表し、それぞれ同一でも異なっていてもよい。アルキル基およびアルケニル基の炭素数は1〜20が好ましい。R11およびR12は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、それぞれ同一でも異なっていてもよい。mおよびlはそれぞれ独立に1〜3の整数である。縮合多環式芳香族基やその置換体の好ましい例は、上記(1)における例と同じである。
R6は水素、アルキル基、アルケニル基、フェニル基またはそれらの置換体を表す。アルキル基およびアルケニル基の炭素数は1〜20が好ましい。置換体の置換基の好ましい例は、上記(1)における例と同じである。R13は、水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。
R7およびR8はそれぞれ独立に、水素、アルキル基、アルケニル基、フェニル基またはそれらの置換体を表す。アルキル基およびアルケニル基の炭素数は1〜20が好ましい。置換体の置換基の好ましい例は、上記(1)における例と同じである。R14は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。
R15はメチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。
上記一般式(7)中、R16は水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を示す。樹脂組成物の経時安定性と熱硬化剤の反応性の観点から、メチル基またはエチル基が好ましい。
6インチシリコンウエハ上または40mm角ガラス基板上に、シロキサン系樹脂組成物を塗布し、ついでホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製SCW−636)を用いて、空気雰囲気下で120℃で3分間プリベークすることにより、塗布膜を得た。この塗布膜を、空気雰囲気下のホットプレート上で、250℃で5分間加熱した後、300℃で5分間加熱して硬化膜を得た。
6インチシリコンウエハまたは40mm角ガラス基板上に作製した硬化膜について、プリズムカプラーMODEL2010(Metricon(株)製)を用いて、22℃での633nm(He−Neレーザー使用)における膜面に対して垂直方向の屈折率(TE)および膜厚を測定した。
50mm角ガラス基板(コーニング社製、品番テンパックス、波長400nmでの屈折率1.50)上に作製した膜厚1.0μmの硬化膜について、紫外−可視分光光度計UV−260(島津製作所(株)製)を用いて、400nmの透過率を測定した。ガラス基板のみの透過率を100%として、塗膜の透過率を算出した。
6インチシリコンウエハ上に作製した硬化膜について、以下の温度履歴でヒートサイクル試験を行い、光学顕微鏡でクラックが発生する温度を確認した。加熱は空気雰囲気下のホットプレート上で行った。なお、硬化膜作製にてクラックが発生したものについてはクラック発生温度220℃とした。
ヒートサイクル試験の温度履歴
250℃5分→室温(23℃)→280℃5分→室温(23℃)→300℃5分→室温(23℃)5分→320℃5分→室温(23℃)5分→340℃5分→室温(23℃)5分→360℃5分→室温(23℃)5分→380℃5分→室温(23℃)5分→400℃5分→室温(23℃)5分。
得られた硬化膜をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに1時間浸し、ついで、その硬化膜を120℃のホットプレートで1分間加熱処理した。浸漬後加熱処理した硬化膜の膜厚(yμm)と浸漬前の硬化膜の膜厚(zμm)を測定し、膜厚変化(膜厚変化=z−yμm)が0.01μm以下であれば耐薬品性良好とした。
各実施例・比較例におけるポリマー溶液A〜Sの固形分濃度(シロキサン化合物と金属化合物粒子を含む総固形分濃度)は、前記溶液をアルミカップに1g入れ、120℃から250℃へと昇温工程を含み30分間、デジタルホットプレート(井内社製“Dataplate”)上で加熱して揮発成分を除去し、その残留固形分xgから算出した。(固形分濃度=x×100重量%)
合成例1 キノンジアジド化合物の合成
乾燥窒素気流下、TrisP−PA(商品名、本州化学工業(株)製)21.22g(0.05モル)と5−ナフトキノンジアジドスルホン酸クロリド(東洋合成(株)製、NAC−5)26.8g(0.1モル)を1,4−ジオキサン450gに溶解させ、室温にした。ここに、1,4−ジオキサン50gと混合したトリエチルアミン12.65gを、系内が35℃以上にならないように滴下した。滴下後40℃で2時間撹拌した。トリエチルアミン塩を濾過し、濾液を水に投入した。その後、析出した沈殿を濾過で集め、さらに1%重量%塩酸水1Lで洗浄した。その後、さらに水2Lで2回洗浄した。この沈殿を真空乾燥機で乾燥し、キノンジアジド化合物を得た。
メチルトリメトキシシラン27.2g(0.20mol)、9−フェナントレニルトリメトキシシラン89.5g(0.30mol)、γ−ブチロラクトン89.2gを反応容器に入れ、この溶液に、水27.0gおよびリン酸0.58gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、反応容器に蒸留装置を取り付け、得られた溶液をバス温80℃で1.5時間加熱撹拌して、加水分解により生成したメタノールを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温130℃でさらに1時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、完全縮合した場合のシロキサン化合物重量(82.2g)と粒子の総重量100重量%に対して47重量%となるように、数平均粒子径15nmの“オプトレイク”TR−520(商品名、触媒化成工業(株)製 組成:酸化ケイ素−酸化チタン(アナターゼ型)複合粒子30重量%、γ−ブチロラクトン70重量%)243gを添加し、ポリマー溶液A(粒子添加系、固形分濃度:37重量%)を得た。
メチルトリメトキシシラン27.2g(0.20mol)、9−フェナントレニルトリメトキシシラン89.5g(0.30mol)、γ−ブチロラクトン89.2gおよび“オプトレイク”TR−520 243gを反応容器に入れ、この溶液に、水27.0gおよびリン酸0.58gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、反応容器に蒸留装置を取り付け、得られた溶液をバス温80℃で1.5時間加熱撹拌して、加水分解により生成したメタノールを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温110℃でさらに1時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、ポリマー溶液B(粒子共重合系、固形分濃度:36重量%)を得た。
メチルトリメトキシシランの添加量を27.2g(0.20mol)から20.4g(0.15mol)に変更し、9−フェナントレニルトリメトキシシラン89.5g(0.30mol)を1−ナフチルトリメトキシシラン86.9g(0.35mol)に変更した以外は実施例2と同様の操作を行い、ポリマー溶液C(固形分36重量%)を得た。
実施例3で得られたポリマー溶液C10gにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート10gおよび熱架橋性化合物“ニカラック”MX−270(商品名、三和ケミカル製)0.108g(シロキサン系樹脂組成物の固形分中、3重量%)を加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物4を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物4を用いて硬化膜を作製し、実施例1と同様に評価を行った。
メチルトリメトキシシラン20.4g(0.15mol)、1−ナフチルトリメトキシシラン86.9g(0.35mol)、γ−ブチロラクトン79.8gおよび数平均粒子径15nmの“オプトレイク”TR−521(商品名、触媒化成工業(株)製 組成:酸化ケイ素−酸化チタン(アナターゼ型)複合粒子30重量%、ジアセトンアルコール70重量%)263gを反応容器に入れ、この溶液に、水27.0gおよびリン酸0.58gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、実施例2と同条件で反応させてポリマー溶液E(粒子共重合系、固形分濃度:37重量%)を得た。
メチルトリメトキシシラン2.72g(0.02mol)、1,4−ビス(トリメトキシシリル)ナフタレン66.3g(0.18mol)、γ−ブチロラクトン57.9gおよび“オプトレイク”TR−521 185gを反応容器に入れ、この溶液に、水10.8gおよびリン酸0.34gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、実施例2と同条件で反応させてポリマー溶液F(粒子共重合系、固形分濃度:37重量%)を得た。
メチルトリメトキシシラン 4.1g(0.03mol)、9−アントラセニルトリメトキシシリル47.7g(0.16mol)、テトラメトキシシラン1.5g(0.01mol)、γ−ブチロラクトン42.1gおよび酸化ジルコニウム粒子(数平均粒子径30nm)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート分散液(酸化ジルコニウム30重量%、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート70重量%)136.4gを反応容器に入れ、この溶液に、水11.0gおよびリン酸0.27gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、実施例2と同条件で反応させてポリマー溶液G(粒子共重合系、固形分濃度:37重量%)を得た。
実施例3で得られたポリマー溶液C10gに光酸発生剤PAI−101 0.072g((b)シロキサン化合物100重量部に対し、2重量部)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート10gを加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物8を得た。
メチルトリメトキシシラン8.2g(0.06mol)、1−ナフチルトリメトキシシラン14.9g(0.06mol)、フェニルトリメトキシシラン15.9g(0.08mol)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100.0gおよび数平均粒子径15nmの“オプトレイク”TR−527(商品名、触媒化成工業(株)製 組成:酸化ケイ素−酸化チタン(アナターゼ型)複合粒子20重量%、メタノール80重量%)153.6gを反応容器に入れ、この溶液に、水10.8gおよびリン酸0.08gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、反応容器に蒸留装置を取り付け、得られた溶液をバス温80℃で1.5時間加熱撹拌して、加水分解により生成したメタノールなどを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温110℃でさらに1時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、ポリマー溶液H(粒子共重合系、固形分濃度:41重量%)を得た。
メチルトリメトキシシラン 4.1g(0.03mol)、1−ナフチルトリメトキシシラン17.4g(0.07mol)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50gおよび数平均粒子径30nmの“nSol”101−20I(商品名、ナノグラム(株)製 組成:アナターゼ型/ルチル型複合(=30重量%/70重量%)酸化チタン粒子20重量%、イソプロパノール80重量%)64.6gを反応容器に入れ、この溶液に、水5.4gおよびリン酸0.04gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、実施例2と同条件で反応させてポリマー溶液I(粒子共重合系、固形分濃度:40重量%)を得た。
メチルトリメトキシシラン4.1g(0.03mol)、1−ナフチルトリメトキシシラン17.4g(0.07mol)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート60gおよび数平均粒子径30nmの“nSol”101−20I 110gを反応容器に入れ、この溶液に、水5.4gおよびリン酸0.08gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、実施例2と同条件で反応させてポリマー溶液J(粒子共重合系、固形分濃度:36重量%)を得た。
メチルトリメトキシシラン6.8g(0.05mol)、1−ナフチルトリメトキシシラン12.4g(0.05mol)、ジアセトンアルコール60gおよび数平均粒子径7nmの“タイノック”AM−15(商品名、多木化学(株)製 組成:酸化チタン粒子(アナターゼ型)15.3重量%、水溶液)80.6gを反応容器に入れ、この溶液に、水5.4gおよびリン酸0.08gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、実施例2と同条件で反応させてポリマー溶液K(粒子共重合系、固形分濃度:39重量%)を得た。
メチルトリメトキシシラン6.8g(0.05mol)、1−ナフチルトリメトキシシラン12.4g(0.05mol)、ジアセトンアルコール50gおよび数平均粒子径50nmのRTIPA15WT%−NO8(商品名、シーアイ化成(株)製 組成:酸化チタン粒子(ルチル型)15重量%、イソプロパノール85重量%)82.2gを反応容器に入れ、この溶液に、水5.4gおよびリン酸0.08gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、反応容器に蒸留装置を取り付け、窒素気流下にて、得られた溶液をバス温80℃で1.5時間加熱撹拌して、加水分解により生成したメタノールなどを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温130℃でさらに1時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、ポリマー溶液L(粒子共重合系、固形分濃度:40重量%)を得た。
メチルトリメトキシシラン4.1g(0.03mol)、1−ナフチルトリメトキシシラン17.4g(0.07mol)、ジアセトンアルコール50gおよび数平均粒子径15nmの“バイラール”Nb−X10(商品名、多木化学(株)製 組成:酸化ニオブ粒子10重量%水溶液)145.7gを反応容器に入れ、この溶液に、水5.4gおよびリン酸0.05gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、実施例13と同条件で反応させてポリマー溶液M(粒子共重合系、固形分濃度:41重量%)を得た。
メチルトリメトキシシラン2.7g(0.02mol)、1−ナフチルトリメトキシシラン19.9g(0.08mol)、ジアセトンアルコール50gおよび数平均粒子径60nmの酸化アルミニウム粒子23.5gを反応容器に入れ、この溶液に、水5.4gおよびリン酸0.05gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、実施例13と同条件で反応させてポリマー溶液N(粒子共重合系、固形分濃度:45重量%)を得た。
メチルトリメトキシシラン4.1g(0.03mol)、1,4−ビス(トリメトキシシリル)ナフタレン25.8g(0.07mol)に、γ−ブチロラクトン20.0gおよび“オプトレイク”TR−521 75gを反応容器に入れ、この溶液に、水5.4gおよびリン酸0.15gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、実施例2と同条件で反応させてポリマー溶液O(粒子共重合系、固形分濃度:37重量%)を得た。
メチルトリメトキシシラン4.1g(0.03mol)、1−ナフチルトリメトキシシラン14.6g(0.07mol)、γ−ブチロラクトン50.0gおよび“オプトレイク”TR−520 43gを反応容器に入れ、この溶液に、水5.4gおよびリン酸0.11gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、実施例2と同条件で反応させてポリマー溶液P(粒子共重合系、固形分濃度:37重量%)を得た。
メチルトリメトキシシラン4.1g(0.03mol)、9−アントラセニルトリメトキシシリル47.7g(0.16mol)、テトラメトキシシラン1.5g(0.01mol)、γ−ブチロラクトン42.1gおよび“オプトレイク”TR−521 136.4gを反応容器に入れ、この溶液に、水11.0gおよびリン酸0.27gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、実施例2と同条件で反応させてポリマー溶液Q(粒子共重合系、固形分濃度:37重量%)を得た。
メチルトリメトキシシランの添加量を27.2g(0.20mol)から20.4g(0.15mol)に変更し、9−フェナントレニルトリメトキシシラン89.5g(0.30mol)をフェニルトリメトキシシラン69.4g(0.35mol)に変更し、“オプトレイク”TR−520の添加量を243gから164gに変更した以外は実施例2と同様の操作を行い、ポリマー溶液R(粒子共重合系、固形分濃度:39重量%)を得た。
9−フェナントレニルトリメトキシシラン104.4g(0.35mol)、p−ヒドロキシベンジルトリメトキシシラン31.48g(0.15mol)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート117.6gを反応容器に入れ、この溶液に、水18.0gおよびリン酸0.68gを、撹拌しながら、反応温度が40℃を越えないように滴下した。滴下後、実施例2と同条件で反応させてポリマー溶液S(固形分濃度:45重量%)を得た。
Claims (10)
- (a)アルミニウム化合物粒子、スズ化合物粒子、チタン化合物粒子、ニオブ化合物粒子およびジルコニウム化合物粒子からなる群より選ばれる少なくとも1種の金属化合物粒子、(b1)一般式(1)〜(3)のいずれかで表されるシラン化合物を含むシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合反応させることにより得られるシロキサン化合物、および(c)溶剤を含むことを特徴とするシロキサン系樹脂組成物。
R0 2−nR1 nSi(OR9)2 (1)
(R0は水素、アルキル基、アルケニル基、フェニル基またはそれらの置換体を表す。R1は1価の縮合多環式芳香族基またはその置換体を表す。R9は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。nは1または2である。nが2の場合、複数のR1は同一でも異なっていてもよい。)
R2Si(OR10)3 (2)
(R2は1価の縮合多環式芳香族基またはその置換体を表す。R10は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。)
(R11O)mR4 3−mSi−R3−Si(OR12)lR5 3−l (3)
(R3は2価の縮合多環式芳香族基またはその置換体を表す。R4およびR5は水素、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはそれらの置換体を表し、それぞれ同一でも異なっていてもよい。R11およびR12は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、それぞれ同一でも異なっていてもよい。mおよびlはそれぞれ独立に1〜3の整数である。) - (b2)アルミニウム化合物粒子、スズ化合物粒子、チタン化合物粒子、ニオブ化合物粒子およびジルコニウム化合物粒子からなる群より選ばれる少なくとも1種の金属化合物粒子の存在下、一般式(1)〜(3)のいずれかで表されるシラン化合物を含むシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合反応させることにより得られる金属化合物含有シロキサン化合物、および(c)溶剤を含有することを特徴とするシロキサン系樹脂組成物。
R0 2−nR1 nSi(OR9)2 (1)
(R0は水素、アルキル基、アルケニル基、フェニル基またはそれらの置換体を表す。R1は1価の縮合多環式芳香族基またはその置換体を表す。R9は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。nは1または2である。nが2の場合、複数のR1は同一でも異なっていてもよい。)
R2Si(OR10)3 (2)
(R2は1価の縮合多環式芳香族基またはその置換体を表す。R10は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。)
(R11O)mR4 3−mSi−R3−Si(OR12)lR5 3−l (3)
(R3は2価の縮合多環式芳香族基またはその置換体を表す。R4およびR5は水素、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはそれらの置換体を表し、それぞれ同一でも異なっていてもよい。R11およびR12は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、それぞれ同一でも異なっていてもよい。mおよびlはそれぞれ独立に1〜3の整数である。) - 前記一般式(1)〜(3)のいずれかで表される少なくとも1種のシラン化合物と、下記一般式(4)〜(6)のいずれかで表される少なくとも1種のシラン化合物とを加水分解し、該加水分解物を縮合反応させることにより得られるシロキサン化合物または金属化合物含有シロキサン化合物を含有することを特徴とする請求項1または2に記載のシロキサン系樹脂組成物。
R6Si(OR13)3 (4)
(R6は水素、アルキル基、アルケニル基、フェニル基またはそれらの置換体を表す。R13は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。)
R7R8Si(OR14)2 (5)
(R7およびR8はそれぞれ独立に、水素、アルキル基、アルケニル基、フェニル基またはそれらの置換体を表す。R14は水素、メチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。)
Si(OR15)4 (6)
(R15はメチル基、エチル基、プロピル基またはブチル基を表し、同一でも異なっていてもよい。) - 前記金属化合物粒子がルチル型チタン酸化物粒子を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のシロキサン系樹脂組成物。
- ルチル型チタン酸化物粒子を全金属化合物粒子中10重量%以上95重量%以下含むことを特徴とする請求項4に記載のシロキサン系樹脂組成物。
- さらに(d)一般式(7)で表される熱架橋性基を有する熱硬化剤を含有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のシロキサン系樹脂組成物。
−CH2OR16 (7)
(R16は水素または炭素数1〜4のアルキル基を表す。) - 請求項1〜6のいずれかに記載のシロキサン系樹脂組成物を硬化させてなる硬化膜。
- 波長633nmにおける屈折率が1.70以上であることを特徴とする請求項7に記載の硬化膜。
- 膜厚1μm当たりの波長400nmにおける透過率が85%以上であることを特徴とする請求項7に記載の硬化膜。
- 請求項7〜9のいずれかに記載の硬化膜を有する光学デバイス。
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