JP2009540505A - 有機電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
アノード/緩衝層/EL材料/カソード
通常、アノードは、たとえば、インジウム/スズ酸化物(ITO)などの、透明でありEL材料中に正孔を注入する能力を有するあらゆる材料である。場合により、アノードは、ガラスまたはプラスチックの基体上に支持されている。EL材料としては、蛍光性化合物、蛍光性およびリン光性の金属錯体、共役ポリマー、ならびにそれらの混合物が挙げられる。通常、カソードは、EL材料中に電子を注入する能力を有するあらゆる材料(たとえばCaまたはBaなど)である。緩衝層は、典型的には導電性ポリマーであり、アノードからEL材料層中への正孔の注入を促進する。緩衝層は、デバイス性能を促進する他の性質を有することもできる。
導電性材料とフッ素化酸ポリマーとを含む第1の層を形成するステップであって、前記第1の層が第1の表面エネルギーを有するステップと、
第1の層の上に第2の層を形成するステップであって、前記第2の層が、第1の表面エネルギーよりも高い第2の表面エネルギーを有するステップと、
第2の層の選択された部分を除去して、第1の層の非被覆領域を得るステップと、
第1の層の非被覆領域上に第3の層を形成するステップとを含む。
以下に説明する実施形態の詳細を扱う前に、一部の用語について定義または説明を行う。
第1の層は、導電性材料とフッ素化酸ポリマー(「FAP」)とを含む。この層の表面エネルギーは一般には低い。ある実施形態においては、この層は、フェニルヘキサンでぬらすことができない。フェニルヘキサンは第1の層上で少なくとも70°の接触角を形成する。
一実施形態においては、導電性材料は、無機酸化物とフッ素化酸ポリマーとの組み合わせを含む。
一実施形態においては、第1の層を形成するための組成物は、少なくとも1つの無機酸化物と少なくとも1つのフッ素化酸ポリマーとを含む。この組成物は、半導体酸化物粒子をFAPとブレンドすることによって形成することができる。ある実施形態においては、これは、半導体酸化物粒子の水性分散体をFAPの水性分散体または水溶液に加えることによって行うことができる。ある実施形態においては、これらの分散体または溶液が半水性または非水性の媒体中で形成される。一実施形態においては、この組成物は、成分を確実に混合するために、音波処理またはマイクロ流動化を使用してさらに処理される。
一実施形態においては、導電性材料は、少なくとも1つの導電性ポリマーを含む。用語「ポリマー」は、少なくとも3つの繰り返し単位を有する化合物を意味することを意図しており、ホモポリマーおよびコポリマーを含んでいる。ある実施形態においては、導電性ポリマーは、プロトン化された形態では導電性であり、プロトン化されていない形態では非導電性である。正孔注入層が所望の仕事関数を有する限り、あらゆる導電性ポリマーを使用することができる。
Qは、S、Se、およびTeからなる群から選択され、
R1は、それぞれ同じかまたは異なるように独立して選択され、そして、水素、アルキル、アルケニル、アルコキシ、アルカノイル、アルキチオ(alkythio)、アリールオキシ、アルキルチオアルキル、アルキルアリール、アリールアルキル、アミノ、アルキルアミノ、ジアルキルアミノ、アリール、アルキルスルフィニル、アルコキシアルキル、アルキルスルホニル、アリールチオ、アリールスルフィニル、アルコキシカルボニル、アリールスルホニル、アクリル酸、リン酸、ホスホン酸、ハロゲン、ニトロ、シアノ、ヒドロキシル、エポキシ、シラン、シロキサン、アルコール、ベンジル、カルボキシレート、エーテル、エーテルカルボキシレート、アミドスルホネート、エーテルスルホネート、エステルスルホネート、およびウレタンから選択されるか、あるいは両方のR1基が一緒になってアルキレン鎖またはアルケニレン鎖を形成して、3、4、5、6、または7員の芳香環または脂環式環を完成させてもよく、その環は場合により、1つまたは複数の二価の窒素原子、セレン原子、テルル原子、硫黄原子、または酸素原子を含んでもよい。
「アルコール」 −R3−OH
「アミド」 −R3−C(O)N(R6)R6
「アミドスルホネート」 −R3−C(O)N(R6)R4−SO3Z
「ベンジル」 −CH2−C6H5
「カルボキシレート」 −R3−C(O)O−Zまたは−R3−O−C(O)−Z
「エーテル」 −R3−(O−R5)p−O−R5
「エーテルカルボキシレート」 −R3−O−R4−C(O)O−Zまたは−R3−O−R4−O−C(O)−Z
「エーテルスルホネート」 −R3−O−R4−SO3Z
「エステルスルホネート」 −R3−O−C(O)−R4−SO3Z
「スルホンイミド」 −R3−SO2−NH−SO2−R5
「ウレタン」 −R3−O−C(O)−N(R6)2
式中、すべての「R」基はそれぞれ同じかまたは異なるものであり:
R3は単結合またはアルキレン基であり:
R4はアルキレン基であり
R5はアルキル基であり
R6は水素またはアルキル基であり
pは0または1〜20の整数であり
Zは、H、アルカリ金属、アルカリ土類金属、N(R5)4、またはR5である。
上記基はいずれも、さらに非置換の場合も置換されている場合もあり、いずれの基も、過フッ素化基などのように、1つまたは複数の水素がFで置換されていてもよい。一実施形態においては、上記アルキル基およびアルキレン基は1〜20個の炭素原子を有する。
Qは、S、Se、およびTeからなる群から選択され、
R7は、それぞれ同じかまたは異なるものであり、水素、アルキル、ヘテロアルキル、アルケニル、ヘテロアルケニル、アルコール、アミドスルホネート、ベンジル、カルボキシレート、エーテル、エーテルカルボキシレート、エーテルスルホネート、エステルスルホネート、およびウレタンから選択され、但し、少なくとも1つのR7が水素ではなく、
mは2または3である。
R1は、それぞれ同じかまたは異なるように独立して選択され、そして、水素、アルキル、アルケニル、アルコキシ、アルカノイル、アルキチオ(alkythio)、アリールオキシ、アルキルチオアルキル、アルキルアリール、アリールアルキル、アミノ、アルキルアミノ、ジアルキルアミノ、アリール、アルキルスルフィニル、アルコキシアルキル、アルキルスルホニル、アリールチオ、アリールスルフィニル、アルコキシカルボニル、アリールスルホニル、アクリル酸、リン酸、ホスホン酸、ハロゲン、ニトロ、シアノ、ヒドロキシル、エポキシ、シラン、シロキサン、アルコール、ベンジル、カルボキシレート、エーテル、アミドスルホネート、エーテルカルボキシレート、エーテルスルホネート、エステルスルホネート、およびウレタンから選択されるか、あるいは両方のR1基が一緒になってアルキレン鎖またはアルケニレン鎖を形成して、3、4、5、6、または7員の芳香環または脂環式環を完成させてもよく、その環は場合により、1つまたは複数の二価の窒素原子、硫黄原子、セレン原子、テルル原子、または酸素原子を含んでもよく、
R2は、それぞれ同じかまたは異なるように独立して選択され、そして、水素、アルキル、アルケニル、アリール、アルカノイル、アルキルチオアルキル、アルキルアリール、アリールアルキル、アミノ、エポキシ、シラン、シロキサン、アルコール、ベンジル、カルボキシレート、エーテル、エーテルカルボキシレート、エーテルスルホネート、エステルスルホネート、およびウレタンから選択される。
aは0または1〜4の整数であり、
bは1〜5の整数であり、但しa+b=5であり、
R1は、それぞれ同じかまたは異なるように独立して選択され、そして、水素、アルキル、アルケニル、アルコキシ、アルカノイル、アルキチオ(alkythio)、アリールオキシ、アルキルチオアルキル、アルキルアリール、アリールアルキル、アミノ、アルキルアミノ、ジアルキルアミノ、アリール、アルキルスルフィニル、アルコキシアルキル、アルキルスルホニル、アリールチオ、アリールスルフィニル、アルコキシカルボニル、アリールスルホニル、アクリル酸、リン酸、ホスホン酸、ハロゲン、ニトロ、シアノ、ヒドロキシル、エポキシ、シラン、シロキサン、アルコール、ベンジル、カルボキシレート、エーテル、エーテルカルボキシレート、アミドスルホネート、エーテルスルホネート、エステルスルホネート、およびウレタンから選択されるか、あるいは両方のR1基が一緒になってアルキレン鎖またはアルケニレン鎖を形成して、3、4、5、6、または7員の芳香環または脂環式環を完成させてもよく、その環は場合により、1つまたは複数の二価の窒素原子、硫黄原子、または酸素原子を含んでもよい。
Qは、S、Se、Te、またはNR6であり、
R6は、水素またはアルキルであり、
R8、R9、R10、およびR11は、それぞれ同じかまたは異なるように独立して選択され、そして、水素、アルキル、アルケニル、アルコキシ、アルカノイル、アルキチオ(alkythio)、アリールオキシ、アルキルチオアルキル、アルキルアリール、アリールアルキル、アミノ、アルキルアミノ、ジアルキルアミノ、アリール、アルキルスルフィニル、アルコキシアルキル、アルキルスルホニル、アリールチオ、アリールスルフィニル、アルコキシカルボニル、アリールスルホニル、アクリル酸、リン酸、ホスホン酸、ハロゲン、ニトロ、ニトリル、シアノ、ヒドロキシル、エポキシ、シラン、シロキサン、アルコール、ベンジル、カルボキシレート、エーテル、エーテルカルボキシレート、アミドスルホネート、エーテルスルホネート、エステルスルホネート、およびウレタンから選択され、
R8とR9、R9とR10、およびR10とR11、のうち少なくとも1つがアルケニレン鎖を形成して5または6員の芳香環を完成させ、その環は、場合により1つまたは複数の二価の窒素原子、硫黄原子、セレン原子、テルル原子、または酸素原子を含むことができる。
Qは、S、Se、Te、またはNHであり、
Tは、それぞれ同じかまたは異なるものであり、S、NR6、O、SiR6 2、Se、Te、およびPR6から選択され、
R6は、水素またはアルキルである。
Qは、S、Se、Te、またはNR6であり、
Tは、S、NR6、O、SiR6 2、Se、Te、およびPR6から選択され、
Eは、アルケニレン、アリーレン、およびヘテロアリーレンから選択され、
R6は、水素またはアルキルであり、
R12は、それぞれ同じかまたは異なるものであり、水素、アルキル、アルケニル、アルコキシ、アルカノイル、アルキチオ(alkythio)、アリールオキシ、アルキルチオアルキル、アルキルアリール、アリールアルキル、アミノ、アルキルアミノ、ジアルキルアミノ、アリール、アルキルスルフィニル、アルコキシアルキル、アルキルスルホニル、アリールチオ、アリールスルフィニル、アルコキシカルボニル、アリールスルホニル、アクリル酸、リン酸、ホスホン酸、ハロゲン、ニトロ、ニトリル、シアノ、ヒドロキシル、エポキシ、シラン、シロキサン、アルコール、ベンジル、カルボキシレート、エーテル、エーテルカルボキシレート、アミドスルホネート、エーテルスルホネート、エステルスルホネート、およびウレタンから選択されるか、あるいは両方のR12基が一緒になってアルキレン鎖またはアルケニレン鎖を形成して、3、4、5、6、または7員の芳香環または脂環式環を完成させてもよく、その環は場合により1つまたは複数の二価の窒素原子、硫黄原子、セレン原子、テルル原子、または酸素原子を含んでもよい。
本発明のフッ素化酸ポリマーは、フッ素化され、酸性プロトンを有する酸性基を有するあらゆるポリマーであってよい。この用語は、部分フッ素化材料および完全フッ素化材料を含んでいる。一実施形態においては、本発明のフッ素化酸ポリマーは高フッ素化されている。用語「高フッ素化」は、炭素に結合した利用可能な水素の少なくとも50%が、フッ素で置き換えられていることを意味する。酸性基は、イオン化可能なプロトンを供給する。一実施形態においては、酸性プロトンは3未満のpKaを有する。一実施形態においては、酸性プロトンは0未満のpKaを有する。一実施形態においては、酸性プロトンは−5未満のpKaを有する。酸性基は、ポリマー主鎖に直接結合していてもよいし、ポリマー主鎖上の側鎖に結合していてもよい。酸性基の例としては、カルボン酸基、スルホン酸基、スルホンイミド基、リン酸基、ホスホン酸基、およびそれらの組み合わせが挙げられるが、これらに限定されるものではない。酸性基はすべてが同じものである場合もあるし、ポリマーが2種類以上の酸性基を有することもできる。
−SO2−NH−SO2−R
式中、Rはアルキル基である。
bは1〜5の整数であり、
R13はOHまたはNHR14であり、
R14は、アルキル、フルオロアルキル、スルホニルアルキル、またはスルホニルフルオロアルキルである。
Wは、(CF2)b、O(CF2)b、S(CF2)b、(CF2)bO(CF2)bから選択され、
bは独立して1〜5の整数であり
R13はOHまたはNHR14であり、
R14は、アルキル、フルオロアルキル、スルホニルアルキル、またはスルホニルフルオロアルキルである。
Rfは、フッ素化アルキレン、フッ素化ヘテロアルキレン、フッ素化アリーレン、またはフッ素化ヘテロアリーレンから選択され、
nは少なくとも4である。
R15は、フッ素化アルキレン基またはフッ素化ヘテロアルキレン基であり、
R16は、フッ素化アルキル基またはフッ素化アリール基であり、
aは0または1〜4の整数である。
R16は、フッ素化アルキル基またはフッ素化アリール基であり、
cは独立して0または1〜3の整数であり、
nは少なくとも4である。
R17〜R20は独立して、H、ハロゲン、1〜10個の炭素原子のアルキルまたはアルコキシ、Y、C(Rf’)(Rf’)OR21、R4Y、あるいはOR4Yであり、
Yは、COE2、SO2E2、またはスルホンイミドであり、
R21は、水素であるかまたは酸に不安定な保護基であり、
Rf’は、それぞれ同じかまたは異なるものであり、1〜10個の炭素原子のフルオロアルキル基であるか、1つに合わせたものが(CF2)eとなるかであり、eは2〜10であり、
R4はアルキレン基であり、
E2は、OH、ハロゲン、またはOR7であり、
R7はアルキル基であり、
但し、R17〜R20の少なくとも1つが、Y、R4Y、またはOR5Yである。
R4、R5、およびR17〜R20は、ハロゲンまたはエーテル酸素によって場合により置換されていてもよい。
−OaSi(OH)b-aR22 3-bR23RfSO3H
式中:
aは1〜bであり、
bは1〜3であり、
R22は、独立してアルキル、アリール、およびアリールアルキルからなる群から選択される非加水分解性基であり、
R23は、1つまたは複数のエーテル酸素原子によって置換されていてもよい二座アルキレン基であり、但し、R23は、SiとRfとの間に直線状に配置された少なくとも2つの炭素原子を有し、
Rfは、1つまたは複数エーテル酸素原子によって置換されていてもよいパーフルオルアルキレン(perfluoralkylene)基である。
−Og−[CF(Rf 2)CF−Oh]i−CF2CF2SO3H (XIV)
式中、Rf 2は、F、または、非置換であるか、1つまたは複数のエーテル酸素原子によって置換されているかのいずれかであり1〜10個の炭素原子を有するパーフルオロアルキル基であり、h=0または1であり、i=0〜3であり、g=0または1である。
−(O−CF2CFRf 3)a−O−CF2CFRf 4SO3E5
式中、Rf 3およびRf 4は独立して、F、Cl、または1〜10個の炭素原子を有する過フッ素化アルキル基から選択され、a=0、1、または2であり、E5は、H、Li、Na、K、またはN(R1)(R2)(R3)(R4)であり、R1、R2、R3、およびR4は同じかまたは異なるものであり、一実施形態においてはこれらはH、CH3、またはC2H5である。別の一実施形態においてはE5はHである。前述したように、E5は多価であってもよい。
−O−CF2CF(CF3)−O−CF2CF2SO3E5
式中、Xは前出の定義の通りである。この種類のFSAポリマーは、米国特許公報(特許文献2)に開示されており、テトラフルオロエチレン(TFE)と、過フッ素化ビニルエーテルのCF2=CF−O−CF2CF(CF3)−O−CF2CF2SO2F(パーフルオロ(3,6−ジオキサ−4−メチル−7−オクテンスルホニルフルオリド)(PDMOF))との共重合の後、スルホニルフルオリド基の加水分解によってスルホネート基に変換し、必要に応じてイオン交換することによってそれらを所望のイオン形態に変換することによって製造することができる。米国特許公報(特許文献8)および米国特許公報(特許文献9)に開示されている種類のポリマーの一例は、側鎖−O−CF2CF2SO3E5を有し、式中のE5は前出の定義の通りである。このポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)と、過フッ素化ビニルエーテルのCF2=CF−O−CF2CF2SO2F(パーフルオロ(3−オキサ−4−ペンテンスルホニルフルオリド)(POPF))との共重合の後、加水分解し、さらに必要に応じてイオン交換することによって製造することができる。
本発明の導電性ポリマー組成物は、(i)フッ素化酸ポリマーの存在下で前駆体モノマーを重合させることによって、または(ii)本質的に導電性のコポリマーを最初に形成し、それをフッ素化酸ポリマーと混合することによって調製される。
一実施形態においては、本発明の導電性コポリマー組成物は、フッ素化酸ポリマーの存在下での前駆体モノマーの酸化重合によって形成される。一実施形態においては、前駆体モノマーは、2つ以上の導電性前駆体モノマーを含む。一実施形態においては、これらのモノマーは、構造A−B−Cを有する中間前駆体モノマーを含み、式中、AおよびCは、同じかまたは異なっていてもよい導電性前駆体モノマーを表しており、Bは、非導電性前駆体モノマーを表している。一実施形態においては、この中間前駆体モノマーは、1つまたは複数の導電性前駆体モノマーとともに重合される。
(a)フッ素化酸ポリマーの水溶液または分散体を提供するステップと、
(b)ステップ(a)の溶液または分散体に酸化剤を加えるステップと、
(c)ステップ(b)の混合物に前駆体モノマーを加えるステップとを含む。
一実施形態においては、本質的に導電性のポリマーが、フッ素化酸ポリマーとは別に形成される。一実施形態においては、これらのポリマーは、対応するモノマーを水溶液中で酸化重合させることによって調製される。一実施形態においては、酸化重合は水溶性酸の存在下で行われる。一実施形態においては、この酸は、水溶性非フッ素化ポリマー酸である。一実施形態においては、この酸は、非フッ素化ポリマースルホン酸である。この酸の一部の非限定的な例は、ポリ(スチレンスルホン酸)(「PSSA」)、ポリ(2−アクリルアミド−2−メチル−1−プロパンスルホン酸)(「PAAMPSA」)、およびそれらの混合物である。酸化重合によって、正電荷を有するコポリマーが得られる場合、その酸の陰イオンが導電性ポリマーの対イオンとなる。この酸化重合は、過硫酸アンモニウム、過硫酸ナトリウム、およびそれらの混合物などの酸化剤を使用して行われる。
合成された時点では、本発明の導電性コポリマー組成物の水性分散体は、一般に非常に低いpHを有する。一実施形態においては、デバイスの性質に悪影響を与えずに、pHをより高い値に調整される。一実施形態においては、分散体のpHは約1.5〜約4に調整される。一実施形態においては、pHは3〜4の間に調整される。pHは、イオン交換、または塩基性水溶液を使用した滴定などの周知の技術を使用して調整できることが分かっている。
第2および第3の層の厳密な組成は、電子デバイスの意図された使用に依存しうる。
第1の表面エネルギーを有する第1の層が形成される。
別の一実施形態においては、少なくとも一部の層が本明細書に記載の新規方法を使用して作製される電子デバイスを提供する。用語「電子デバイス」は、1つまたは複数の有機半導体層または有機半導体材料を含むデバイスを意味することを意図している。電子デバイスとしては:(1)電気エネルギーを放射線に変換するデバイス(たとえば、発光ダイオード、発光ダイオードディスプレイ、ダイオードレーザー、または照明パネル)、(2)電子的方法を介して信号を検出するデバイス(たとえば、光検出器、光導電セル、フォトレジスタ、光スイッチ、光トランジスタ、光電管、赤外線(「IR」)検出器、またはバイオセンサー)、(3)放射線を電気エネルギーに変換するデバイス(たとえば、光起電力デバイスまたは太陽電池)、(4)1つまたは複数の有機半導体層を含む1つまたは複数の電子部品(たとえば、トランジスタまたはダイオード)を含むデバイス、あるいは項目(1)〜(4)中のデバイスのあらゆる組み合わせが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
ケルビンプローブ測定のフィルム試料は、実施例および比較例に示される水性分散体またはポリマー溶液を30mm×30mmのガラス/ITO基体上にスピンコーティングすることによって作製した。二重層フィルム試料の場合、最初に水性分散体をITO基体上にスピンコーティングした後、正孔輸送ポリマー溶液をトップコーティングした。ITO/ガラス基体は、100〜150nmのITO厚さを有する中心部における15mm×20mmのITO領域からなる。15mm×20mmのITO領域のコーナーの1つにおいて、ガラス/ITOの縁端部に延在するITOフィルム表面は、ケルビンプローブ電極との電気接点として機能する。スピンコーティングの前に、ITO/ガラス基体を清浄にし、続いてそのITO側を、0.3Torrおよび300ワットにおいて酸素/プラズマで15分間処理、またはUV−オゾンで10分間処理する。スピンコーティング後、延在するITOフィルムのコーナー上に堆積した材料は、水またはトルエンのいずれかでぬらしたQチップ(Q−tip)を使用して除去した。露出したITOパッドは、ケルビンプローブ電極と接触させるために使用した。次に、堆積したフィルムは、実施例および比較例に示すように焼き付けした。次に、測定前に、焼き付けしたフィルム試料を、窒素をあふれさせたガラス瓶上に置いた後、蓋を閉めた。
Claims (17)
- 有機電子デバイスの形成方法であって、
導電性材料とフッ素化酸ポリマーとを含む第1の層を形成するステップであって、前記第1の層が第1の表面エネルギーを有するステップと、
前記第1の層の上に第2の層を形成するステップであって、前記第2の層が、前記第1の表面エネルギーよりも高い第2の表面エネルギーを有するステップと、
前記第2の層の選択された部分を除去して、前記第1の層の非被覆領域を得るステップと、
前記第1の層の前記非被覆領域上に第3の層を形成するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記第1の層が5.2eVを超える仕事関数を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1の層は5.2eVを超える仕事関数を有する正孔注入層であり、前記第2の層は正孔輸送層であり、前記第3の層は光活性層であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1の層は、少なくとも1つのフッ素化酸ポリマーがドープされた少なくとも1つの導電性ポリマーを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記導電性ポリマーは、ポリチオフェン、ポリセレノフェン、ポリ(テルロフェン)、ポリピロール、ポリアニリン、多環式芳香族ポリマー、およびそれらのコポリマーからなる群から選択されることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記フッ素化酸ポリマーが、過フッ素化炭素主鎖および次式、
−(O−CF2CFRf 3)a−O−CF2CFRf 4SO3E5
(式中、Rf 3およびRf 4は独立に、F、Cl、および1〜10個の炭素原子を有する過フッ素化アルキル基から選択され、a=0、1、または2であり、E5はHである)
で表される側鎖を有することを特徴とする請求項4に記載の方法。 - 前記第1の層が、無機酸化物、導電性ポリマー、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される導電性材料を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記導電性ポリマーが少なくとも1つのフッ素化酸ポリマーでドープされていることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記導電性ポリマーがフッ素化酸ポリマーと混合されていることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記導電性ポリマーが少なくとも1つの非フッ素化酸ポリマーでもドープされていることを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記酸ポリマーがフッ素化オレフィン主鎖を有することを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記第2の層が架橋性であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記フッ素化酸ポリマーがコロイド形成性酸であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記酸ポリマーがFSAポリマーであることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記第2の層が、ポリマー材料、非ポリマー材料、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される正孔輸送材料を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第3の層が光活性材料を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第3の層がエレクトロルミネッセンス材料を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
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