JP2009527113A5

JP2009527113A5 -

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Publication number: JP2009527113A5
Application number: JP2008554687A
Authority: JP
Filing date: 2007-02-16
Publication date: 2012-06-14
Anticipated expiration: 2027-02-16

Claims

−第１のラスター横列及び第１のラスター縦列に配列された第１のラスター要素（２３）を含み、かつ２次光源のラスターアレイの発生のために第１の平面（１１）に又はそれに隣接して配置された第１のラスターアレイ（１２；１０２）と、
−前記２次光源の照明光（８）の誘導を照明視野（３）内に重ね合わせるための透過光学器械（１７、１９、２０）と、
を含む、１次光源（６）の照明光（８）による照明視野（３）の照明のためのマイクロリソグラフィ照明システム（５）であって、
−付加的な光学効果を有するデバイス（１４；５５；７０；７９；８８；９２；１０６）が、第１のラスターアレイ（１２；１０２）に空間的に隣接して配置されるか、又は該第１のラスターアレイ（１２；１０２）が配置された平面と光学的に共役な平面に配置され、
−前記付加的な光学効果を有する前記デバイス（１４；５５；７０；７９；８８；９２；１０６）は、
−−強度、
−−位相、
−−ビーム方向、
の群に含まれる照明光（８）の特性に影響を与え、
−前記影響は、全照明強度（３９；４６；５４）に対するラスター要素（２３、２８；１０３）の強度寄与（３６〜３８；４４、４５；５４；５９、６１、６３；６１；６７；６８、６９）が、照明視野（３）にわたって所定の方法で変化するようなものであり、さらに、
−前記第１のラスターアレイ（１２）の上流に隣接する前記光路に、又は該第１のラスターアレイ（１２）が配置された平面に光学的に共役な平面に配置された、前記付加的な光学効果を有する前記デバイスとして機能する照明角度変動デバイス（１４；４０；４７）であって、
−−前記照明角度変動デバイス（１４；４０；４７）に当たる照明光（８）を前記光軸（２）に直角の異なる偏向角（α’、γ’）を有する少なくとも２つの角度変動部分（３０〜３３；４２、４３；５０、５１）に偏向し、
−−前記照明角度変動デバイス（１４；４０；４７）によって発生した最大偏向角（α’、γ’）が、前記全照明強度（３９；４６；５４）に対する前記第１のラスターアレイ（１２）のラスター要素（２３）の強度寄与（３６〜３８；４４、４５；５４）が前記照明視野（３）にわたって変化するような大きさを有する、
ようなデバイス（１４；４０；４７）を備える
照明システム。
照明システム（５）の光軸（２）に直角な前記第１の平面（１１）に前記照明光（８）から所定の２次元強度分布を発生させるための配光デバイス（９、１０）を特徴とする請求項１に記載の照明システム。
前記第１のラスターアレイ（１２）の下流の前記照明光の経路に配置され、かつ第２のラスター要素（２８）を含み、該第１のラスターアレイ（１２）と共にラスターモジュール（１３）を形成する第２のラスターアレイ（１６）を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明システム。
前記照明光（８）の前記特性の影響が、前記第１のラスターアレイ（１２）の近傍に設定され、該影響は、前記透過光学器械（１７）によって照明視野依存全強度分布（３９）に変換され、異なる照明視野点が、可能な照明方向（Ｉ〜ＩＶ）からの異なる強度寄与（３４、３６〜３８）に露出されるような前記付加的な光学効果を有する前記デバイス（１４）の設計を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の照明システム。
前記照明光（８）の前記特性の影響が、前記第１のラスターアレイ（１２）の近傍に設定され、該影響は、前記透過光学器械（１７）によって照明視野依存全強度分布（５４）に変換され、異なる照明視野点が、可能な照明方向（Ｉ〜ＩＶ）からの等しい強度（５４）に露出されるような前記付加的な光学効果を有する前記デバイス（４７）の設計を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の照明システム。
前記照明光（８）の前記特性の影響が、前記第１のラスターアレイ（１２）の区域に設定され、該影響は、前記透過光学器械（１７）によって照明視野独立全強度分布（４６）に変換され、異なる照明視野点が、可能な照明方向（Ｉ〜ＩＶ）からの異なる強度寄与（４４、４５）に露出されるような前記付加的な光学効果を有する前記デバイス（４０）の設計を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の照明システム。
前記発生した偏向角（α’、γ’）がその間で異なる少なくとも２つの角度変動部分（３０、３３；４２、４３；５０、５１）への前記照明角度変動デバイス（１４；４０；４７）の分割を特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の照明システム。
前記それぞれの発生した偏向角がその間で異なる少なくとも４つの角度変動部分（３０〜３３）への前記照明角度変動デバイス（１４）の分割を特徴とする請求項７に記載の照明システム。
前記付加的な光学効果を有する前記デバイス（１４；４０；４７）は、回折性であることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の照明システム。
前記付加的な光学効果を有する前記デバイス（１４；４０；４７）は、屈折性であることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の照明システム。
前記照明角度変動デバイス（４０；４７）は、少なくとも１つの屋根縁型プリズム（４０；４８）を有することを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の照明システム。
請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の照明システム（５）を含むマイクロリソグラフィ投影露光装置（１）。
微細構造構成要素をマイクロリソグラフィにより製造する方法であって、
−感光材料のコーティングが少なくとも一部に付加された基板の準備、
−結像される構造を有するレチクルの準備、
−請求項１２に記載の投影露光装置（１）の準備、
−前記投影露光装置（１）による前記コーティングの区域上への前記レチクルの少なくとも一部の投影、
の段階を含むことを特徴とする方法。
請求項１３に記載の方法によって製造された微細構造構成要素。