JP2011517843A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. マイクロリソグラフィのための投影露光装置（１）の物体視野（１４）の照明のための照明光学系（５）であって、
   前記照明光学系（５）の瞳平面（９）の下流に配置された、有効光の束（４）を誘導する光学構成要素のコンデンサー群（１５）、及び
   有効光の経路において前記コンデンサー群（１５）の下流に配置された光束誘導構成要素の対物光学素子群（１８）、
   を含み、
   コンデンサー群（１５）のうちの少なくとも１つの構成要素（ＦＬＧ４、ＦＬＧ５）、及び
   対物光学素子群（１８）のうちの少なくとも１つの構成要素（ＲＥＭＡ１、ＲＥＭＡ２）、
   が、物体視野（１４）の、望ましい照明状態に対する実際の照明状態のずれの補償のために変位可能である、
   ことを特徴とする照明光学系。
2. 前記変位可能構成要素（ＦＬＧ４，ＦＬＧ５，ＲＥＭＡ１，ＲＥＭＡ２）のうちの少なくとも１つが、制御デバイス（３３）と信号接続状態にある変位駆動体（２８，３４，３６，３８）に接続されることを特徴とする請求項１に記載の照明光学系。
3. 前記変位可能構成要素（ＦＬＧ４，ＦＬＧ５，ＲＥＭＡ１，ＲＥＭＡ２）は、中心物体視野点（２１）の主光線方向（２）に沿って変位可能であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学系。
4. 前記変位駆動体（２８，３４，３６，３８）は、前記中心物体視野点（２１）の前記主光線方向（２）に沿って１ｍｍの範囲の変位経路を可能にすることを特徴とする請求項３に記載の照明光学系。
5. 前記変位駆動体（２８，３４，３６，３８）は、５０μｍよりも良好な位置決め精度を有することを特徴とする請求項４に記載の照明光学系。
6. 前記変位可能構成要素（ＦＬＧ４，ＦＬＧ５，ＲＥＭＡ１，ＲＥＭＡ２）のうちの少なくとも１つが、中心物体視野点（２１）の主光線方向（２）に対して垂直な少なくとも１つの軸（ｘ，ｙ）に沿って変位可能であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の照明光学系。
7. 偏心変位駆動体（２８，３４，３６，３８）が、４００μｍの範囲の偏心変位経路を提供することを特徴とする請求項６に記載の照明光学系。
8. 前記偏心変位駆動体（３８，３４，３６，３８）は、少なくとも２０μｍの位置決め精度を有することを特徴とする請求項７に記載の照明光学系。
9. 前記変位可能構成要素（ＦＬＧ４，ＦＬＧ５，ＲＥＭＡ１，ＲＥＭＡ２）のうちの少なくとも１つが、中心物体視野点（２１）の主光線方向（２）に対して垂直な少なくとも１つの傾斜軸（ｘ，ｙ）の回りに傾斜可能であることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の照明光学系。
10. 傾斜変位駆動体（２８，３４，３６，３８）が、角度で１０分の範囲の傾斜変位経路を有することを特徴とする請求項９に記載の照明光学系。
11. 前記傾斜変位駆動体（２８，３４，３６，３８）は、角度で０．５分よりも良好な位置決め精度を有することを特徴とする請求項１０に記載の照明光学系。
12. 前記コンデンサー群（１５）の前記変位可能構成要素（ＦＬＧ３，ＦＬＧ４，ＦＬＧ５）は、第１のもの（４０）が中心物体視野点（２１）に属し、かつ第２のもの（４１）が縁部での物体視野点（２２）に属する２つの放射線部分束（４０、４１）が、該２つの物体視野点を含む子午断面（ｘｙ）内で最大で７０％だけ重なり合う構成要素であることを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の照明光学系。
13. 前記対物光学素子群（１８）の前記変位可能構成要素（ＲＥＭＡ１，ＲＥＭＡ２，ＲＥＭＡ３）は、第１のもの（４０）が中心視野点（２１）に属し、かつ第２のもの（４１）が縁部での物体視野点（２２）に属する２つの放射線部分束（４０、４１）が、該２つの物体視野点を含む子午断面（ｘｙ）内で最大で３０％だけ重なり合う構成要素であることを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の照明光学系。
14. 前記コンデンサー群（１５）の前記変位可能構成要素（ＦＬＧ３，ＦＬＧ４，ＦＬＧ５）は、４５０ｍｍよりも短いその焦点距離の絶対値を有することを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の照明光学系。
15. 前記対物光学素子群（１８）の前記変位可能構成要素（ＲＥＭＡ１，ＲＥＭＡ２，ＲＥＭＡ３）は、４５０ｍｍよりも短く、特に、４００ｍｍよりも短いその焦点距離の絶対値を有することを特徴とする請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の照明光学系。
16. 前記コンデンサー群（１５）は、前記有効光の束（４）を誘導する１１個よりも多くない構成要素（ＦＬＧ１からＦＬＧ６）を含み、該構成要素（ＦＬＧ１からＦＬＧ６）のうちの少なくとも１つ（ＦＬＧ４；ＦＬＧ５）かつ２つよりも多くないもの（ＦＬＧ、ＦＬＧ５）が変位可能であることを特徴とする請求項１から請求項１５のいずれか１項に記載の照明光学系。
17. 前記対物光学素子群（１８）は、前記有効光の束（４）を誘導する１７個よりも多くない構成要素（ＲＥＭＡ１からＲＥＭＡ９）を含み、該構成要素（ＲＥＭＡ１からＲＥＭＡ９）のうちの少なくとも１つ（ＲＥＭＡ１；ＲＥＭＡ２）かつ２つよりも多くないもの（ＲＥＭＡ１、ＲＥＭＡ２）が変位可能であることを特徴とする請求項１から請求項１６のいずれか１項に記載の照明光学系。
18. 光源（３）と、
    請求項１から請求項１７のいずれか１項に記載の照明光学系（５）と、
    を含むことを特徴とする照明系。
19. 照明環境を定めるための調節デバイス（８）を含むことを特徴とする請求項１８に記載の照明系。
20. 請求項１８又は請求１９に記載の照明系と、
    物体視野（１４）を像視野（１４ａ）内に結像するための投影対物系（１１）と、
    を含むことを特徴とする投影露光装置（１）。
21. 構造化構成要素を生成する方法であって、
    少なくとも一部に感光材料の層が付加されたウェーハ（１３）を準備する段階と、
    結像される構造を有するレチクル（７）を準備する段階と、
    請求項２０に記載の投影露光装置（１）を準備する段階と、
    前記投影露光装置（１）を用いて前記レチクル（７）の少なくとも一部を前記ウェーハ（１３）上の前記層の領域に投影する段階と、
    を含むことを特徴とする方法。
22. 請求項２１に記載の方法を用いて生成された構造化構成要素。