JP3599629B2 - 照明光学系及び前記照明光学系を用いた露光装置 - Google Patents
照明光学系及び前記照明光学系を用いた露光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3599629B2 JP3599629B2 JP2000060687A JP2000060687A JP3599629B2 JP 3599629 B2 JP3599629 B2 JP 3599629B2 JP 2000060687 A JP2000060687 A JP 2000060687A JP 2000060687 A JP2000060687 A JP 2000060687A JP 3599629 B2 JP3599629 B2 JP 3599629B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- lens
- photosensitive substrate
- distribution
- illuminance distribution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
- G03F7/70141—Illumination system adjustment, e.g. adjustments during exposure or alignment during assembly of illumination system
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
- G02B19/0004—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed
- G02B19/0009—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having refractive surfaces only
- G02B19/0014—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having refractive surfaces only at least one surface having optical power
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
- G02B19/0033—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use
- G02B19/0085—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with both a detector and a source
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/18—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical projection, e.g. combination of mirror and condenser and objective
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
- G03F7/70066—Size and form of the illuminated area in the mask plane, e.g. reticle masking blades or blinds
Description
【発明が属する技術分野】
本発明は、照明光学系及びそれを用いた露光装置に関し、特に、半導体デバイスや液晶デバイス、磁気デバイス等の微細パターン構造を持つデバイス製造におけるマイクロリソグラフィ工程に用いられる露光装置の照明系に好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子製造用の露光装置では、半導体素子の高集積化に伴いこれまで以上に高解像度が要求されるようになってきている。このために、斜入射照明や位相シフトマスクを利用した超解像技術が知られている。このような超解像技術では、照明光学系の開口絞りを変更することでσ値(投影光学系の開口数(NA)と照明光学系のNAの比)を小さくしたり、輪帯形状や四重極形状のような特殊な形状の2次光源を形成している。
【0003】
また、半導体素子製造用の露光装置は像側テレセントリックな光学系になっており、ウエハなどの感光基板がデフォーカス位置にあっても像の位置ズレがほとんど生じないようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、最近の超LSIの高集積化に伴い、回路パターンの焼き付け露光には極めて高い転写精度が要求されており、感光基板に入射する露光光の角度分布をこれまで以上に適正に設定することが重要となってきている。感光基板に入射する露光光の角度が適正でないと、感光基板がデフォーカス位置にある場合に像の位置ズレとして現れてくる。光軸中心に倍率的な露光光の感光基板に対する入射角度のズレは感光基板をデフォーカスさせた場合、焼き付けられたパターンに像高に応じた倍率成分の位置ズレ(以後、倍率テレセン、および倍率テレセンのズレ、と呼ぶ)を生じさせる。
【0005】
これは、複数回のリソグラフィ工程を経ることにより、段差の生じた感光基板に更に回路パターンを重ね合わせて露光する際、像のズレが生じることを意味しており、高精度の半導体素子を製造する上で好ましくない。
【0006】
従来、多くの露光装置では、ある標準的な照明モードAで最も最適な角度特性と照度分布の露光光が供給できるように照明光学系の各要素の位置を調整している。しかしながら、照明モードAとは異なる斜入射照明や小σ値などの照明モードBに変えたときには、照明光学系の各要素が照明モードAと同じでは露光光の角度が必ずしも適切とはならず、合わせて照度分布も変化する。これは各々の照明モードで光路が異なり、光学素子に用いられている反射防止膜の効果が光線の角度により変化することなどによる。
【0007】
そこで、本発明は、倍率テレセン、および照度分布を互いに且つ独立に調整する機能を照明光学系内の一つのレンズ系に持たせることで装置の簡素化を図るとともに、高い照度均一性と適正な角度特性の露光光を全ての照明モードにおいて実現する露光装置を提供することを課題としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するための本発明の照明光学系は、光源からの光を用いて2次光源を形成するオプティカルインテグレータと、前記オプティカルインテグレータからの光を被照射面に導光するコンデンサー光学系とを備えた照明光学系であって、前記コンデンサー光学系は光の進行方向順に少なくとも2つのレンズ要素と該少なくとも2つのレンズ要素以外のレンズとを有し、前記2つのレンズ要素を光軸方向に独立に移動させることにより、ディストーション以外の収差と焦点距離が変化しないように前記被照射面の照度分布を変化させ、前記レンズを光軸方向に移動させることにより、焦点距離と収差が変化しないように前記被照射面に入射する光の角度分布を変化させるようにしている。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【0010】
図1は本発明の一実施形態の露光装置の概略を示す光学系の構成図である。1は照明光を供給する光源手段、2は光源からの光束をオプティカルインテグレータに導光するためのリレーレンズである。
【0011】
3は、ハエの目レンズよりなるオプティカルインテグレータであり、オプティカルインテグレータ3の射出面近傍には多数の光源像(2次光源)が形成される。なお、本実施形態ではハエの眼レンズでオプティカルインテグレータを構成しているが、光源からの光束を混合して出射端に面光源を形成するオプティカルパイプをオプティカルインテグレータとして使用してもよい。
【0012】
オプティカルインテグレータ3の射出面近傍には絞り4が配置され、絞り駆動機構5により絞りの大きさ及び形状を可変としている。この絞り4の開口形状をレチクル9上のパターンに応じて最適に設定することで、投影光学系10の瞳面11に形成される光強度分布を制御している。
【0013】
6は、オプティカルインテグレータ3からの光束でマスキングブレード7面を重畳的にケーラー照明するためのコンデンサー光学系であり、第1レンズ群6aと第2レンズ群6bから構成されている。第1レンズ群6aを第1の駆動機構16により光軸方向に駆動することで被照射面であるマスキングブレード7面上の照度分布を光軸対称に変化させ、第2レンズ群6bを第2駆動機構17により光軸方向に駆動させることでマスキングブレード7面上に入射する光の角度分布(倍率テレセン)を変化させるようになっている。
【0014】
マスキングブレード7は、複数の可動な遮光板より成り、マスキングブレード駆動機構18により任意の開口形状が形成される。
【0015】
8は、結像レンズで、マスキングブレード7の開口形状を被照射面の一つであるレチクル9に転写し、必要な照明領域を制限している。
【0016】
10はレチクル9上のパターンを縮小投影する投影光学系、12はレチクル9上のパターンが投影転写されるウエハ(感光基板)、13はウエハ12を保持して光軸と直交する平面に沿って2次元的に移動するXYステージである。XYステージ13は後述する作用のため、所定量以上光軸方向に上下できる構造になっていることが望ましい。
【0017】
本実施形態における光学系では、オプティカルインテグレータ3の入射面とマスキングブレード7面とレチクル9面とウエハ12面とが共役関係である。また、絞り4と投影光学系10の瞳面11とが略共役関係となっている。マスキングブレード7面とレチクル9面とウエハ12面は、それぞれ本発明における被照射面に相当する。
【0018】
14は、ウエハ12面上の照度分布を計測するためのディテクターであり、照射画面領域内をXYステージの駆動とともに移動しながら露光光を受光し、その出力に対応した信号を検出装置15に送っている。
【0019】
主制御装置19は、絞り駆動機構5、検出装置15、第1レンズ群6aを駆動する第1駆動機構16、第2レンズ群6bを駆動する第2駆動機構17、及びマスキングブレード駆動機構18を制御する。
【0020】
図2A、図2B、及び図2Cは、コンデンサー光学系6の機能を説明する光路図である。
【0021】
まず、第1駆動機構16について説明する。第1駆動機構16は、第1レンズ群6aを光軸方向に移動することにより、マスキングブレード7面上の照度分布を光軸対称にほぼリニアに変化させる機構である。この照度分布変化は、具体的にはコンデンサー光学系6のディストーションを変化させることで実現している。
【0022】
つまり、図2Aに示すように、ディストーションをプラス方向に発生させるように第1レンズ群6aを駆動することで、結果的に軸上に対して光軸対称に周辺の照度が低くなるような照度分布が形成される。
【0023】
又、図2Bに示すように、第1レンズ群6aを駆動することで、ディストーションが零に近くなり照度分布はほぼフラットになる。
【0024】
又、図2Cに示すように、ディストーションがマイナス方向に発生するように第1レンズ群6aを駆動することで、照度分布は周辺が高くなる。
【0025】
マスキングブレード7面はウエハ12面と共役であるから、マスキングブレード7面での照度分布を変化させることで、ウエハ12面上の照度分布を変化させることができる。
【0026】
その際、第1レンズ群6aは少なくとも2つ以上のレンズ要素からなり、互いのレンズ要素をそれぞれ光軸方向に独立に駆動することで、ディストーションは変化するが、それ以外の性能(照明NA、テレセン度、有効光源の均一性など)が実質的に変化しないように構成されている。
【0027】
そのために、第1レンズ群6aの最終レンズ(最も被照射面側のレンズ)は、被照射面側が凹面のメニスカス負レンズとすることが好ましい。このメニスカス負レンズが光軸方向に移動することで、このメニスカス負レンズを通過する軸外主光線の光線高に差を生じさせ、ディストーションを効果的に変化させることができる。一方、このメニスカス負レンズで発生する球面収差は、その前段に位置するレンズによってキャンセルされるので、第1レンズ群6aにおける球面収差係数の部分和がレンズの移動によって変化しないという効果も同時に得られる。なお、各図において第1レンズ群6aは、すべて両凸レンズによって構成されているように描かれているが、これは概念図であって、本発明の系はこれに限定されるものではない。
【0028】
図2Bには、説明を簡単にするために、ディストーションが零近傍のときに照度分布がフラットになる場合を示した。しかし、実際には、ディストーションが零近傍でも照度分布がフラットにならないことがある。これは、オプティカルインテグレータ3としてのハエの眼レンズを構成する小レンズ群が単レンズであるため正弦条件が満たされないこと、更には、反射防止膜の特性や硝材透過率の特性が照度分布に影響を与えているためである。
【0029】
以上を考慮して、照明NA、テレセン度、有効光源の均一性などの性能を満足させつつ、照度分布調整を可能とするには、ディストーションをマイナス領域内で変化させるように設計することが望ましい。
【0030】
また、照度分布補正を適正に行う際のコンデンサー光学系6の各画角におけるディストーションY(%)は画角の割合をX(0≦X≦1)、最大画角(X=1)におけるディストーションをD(%)としたとき、
Y=D×Xn(1.5≦n≦3.0)の条件を満足しつつ変化するように設計することが望ましい。
【0031】
次に、第2駆動機構17について説明する。第2駆動機構17は、第2レンズ群6bを光軸方向に移動することで、コンデンサ−光学系6の射出瞳位置を変化させ、結果的に倍率テレセンをほぼリニアに変化させる機構である。
【0032】
図3は、第2レンズ群6bの機能を説明するための光路図である。第2レンズ群6bを駆動することでマスキングブレードに入射する光の角度分布(倍率テレセン)は変化するが、それ以外の性能(照明NA、ディストーション、有効光源の均一性など)は実質的に変化しないようになっている。
【0033】
コンデンサー光学系6は、オプティカルインテグレータ3から射出された光束を、マスキングブレード7面にいわゆるケーラー照明している光学系である。よって、軸外主光線の傾きは、第1レンズ群6aの位置で大きいが、第2レンズ群6bの位置では小さく光軸とほぼ平行である。
【0034】
従って、ディストーション変化を効果的に行うには、軸外主光線の光線高の差が大きくなる位置、つまりオプティカルインテグレータ3に近い第1レンズ群6aで行うのが望ましい。
【0035】
以上より、上記補正機構を備えるコンデンサー光学系6を照明光学系内に搭載することで露光光の照度分布と角度分布(倍率テレセン)を独立に変化させることが可能となる。従って、照明モードを切り替えた場合に諸々の理由で変化する照度分布と角度分布(倍率テレセン)をそれぞれ適正な値に補正することが出来る。
【0036】
図4は、露光光の角度分布と照度分布を補正する手順を示すフローチャートである。
【0037】
まず、ステップ101にて、照明モードが切り替えられたら、ステップ102にて露光光の角度分布を測定する。
【0038】
露光光の角度分布を測定する方法は種々考えられるが、例えばマスキングブレード駆動装置18を駆動して、測定したい像高に対応する位置にマスキングブレード7で微小開口を設定すると共に、ディテクター14を実際のウエハ基準面から光軸Z方向に所定量デフォーカスさせる方法がある。この際、レチクル9は光路上からはずしておく。このときの装置の状態を図5(a)に示す。マスキングブレード7で制限された露光光のみがウエハ面で一旦結像し、角度を反映したままディテクター14に入射する。ディテクター14の受光面上部には、光束の拡がりに対して充分小さな径のピンホールがある。このディテクター14をXYステージ13にて、例えば2次元マトリクス状に光束の拡がっている範囲で水平移動させることにより、入射する光強度を計測し、露光光の角度分布を判定している。尚、ディテクターの代わりに2次元CCDを用いて一括計測しても良い。
【0039】
他にも、マスキングブレード7と共役な位置に微小開口を設けることで、同様な計測が可能である。具体的には図5(b)に示すように、マスキングブレード7は開放して、Crパターンにより微小開口部を形成した専用レクチルを配置すること等が考えられる。
【0040】
更なる手段として、ディテクター14はデフォーカスさせず、微小開口をレクチル9面から光軸Z方向と逆方向に所定量デフォーカスした位置に設けても計測可能である。その際、微小開口として、通常は下面に設けられるレクチルCrパターンを上面に設けた専用レチクルを使用しても良い。
【0041】
以上のような方法で、光軸上のポイントを計測すれば光軸上におけるテレセン(シフト成分)が計測可能であり、適当な像高ポイントを計測すれば倍率テレセンが計測可能である。
【0042】
計測、検出された角度分布情報は主制御装置19に送られ、倍率テレセンのズレ量が算出される。続いて、算出された倍率テレセンのズレ量が規格内であるか否かステップ103にて判定され、規格外であった場合には、このずれを補正すべく、ステップ104にて主制御装置19が第2レンズ群6bの移動量、移動方向を計算し、主制御装置19は、第2駆動装置17に信号を送り、ステップ105にて第2レンズ群6bを計算した所定量、所定方向に駆動させる。駆動御ステップ102に戻り、再度露光光の角度分布測定を行う。倍率テレセンのズレ量が適正値になっていたら次のステップ106に進む。そうでない場合は適正値になるまで上記の手順を繰り返す。
【0043】
露光光の角度分布(倍率テレセンのズレ)が最適になっている場合には、ステップ106にて、ディテクター14をXYステージ13にて露光領域内の複数点に水平移動させ、各々の位置で光強度を測定することにより照度分布の測定を行い、ステップ107にて照度分布が規格値を満足しているかどうかの確認を行う。
【0044】
照度分布が規格値を満たしていれば終了し、そうでない場合はステップ108にて主制御装置19が第1レンズ群の移動量、移動方向を計算し、その結果に基づいて第1駆動装置16は第1レンズ群6aを計算した所定量、所定方向に駆動させる。駆動後、ステップ106に戻り、再度測定を行って、照度分布を規格値内に追い込む。
【0045】
尚、照度分布補正の手段として、上記移動レンズ群6aの駆動による光軸対称成分の補正に加え、必要に応じてクサビ状の光学素子等によって、傾き成分の照度分布補正を行うことで、更なる照度均一性を実現することが可能である。
【0046】
次に、上記説明した露光装置を利用した半導体デバイスの製造方法の実施例を説明する。
【0047】
図6は、半導体デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、あるいは液晶パネルやCCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ステップ1(回路設計)では、半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(マスク製作)では、設計した回路パターンを形成したマスクを製作する。一方、ステップ3(ウエハ製造)では、シリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は、前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工程を含む。ステップ6(検査)では、ステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷(ステップ7)される。
【0048】
図7は、ステップ4のウエハプロセスの詳細なフローチャートである。ステップ11(酸化)では、ウエハの表面を酸化させる。ステップ12(CVD)では、ウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ13(電極形成)では、ウエハ上に電極を蒸着等によって形成する。ステップ14(イオン打ち込み)ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ15(レジスト処理)ではウエハに感光材を塗布する。ステップ16(露光)では、上記説明した露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに露光する。ステップ17(現像)では露光したウエハを現像する。ステップ18(エッチング)では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ19(レジスト剥離)では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことによって、ウエハに多重に回路パターンが形成される。
【0049】
本実施例の製造方法を用いれば、従来は製造が難しかった高精度の半導体デバイスを製造することができる。
【0050】
【発明の効果】
以上説明した本発明によれば、倍率テレセン、および照度分布を互いに且つ独立に調整する機能を照明光学系内の一つのレンズ系に持たせることで装置の簡素化、小型化を達成できる。また、高い照度均一性と適正な角度特性の露光光を全ての照明モードにおいて実現する露光装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の照明光学系を含む露光装置の光路図
【図2A】第1レンズ群6aの第1の状態におけるディストーションと照度分布を説明するための光路図
【図2B】第1レンズ群6aの第2の状態におけるディストーションと照度分布を説明するための光路図
【図2C】第1レンズ群6aの第3の状態におけるディストーションと照度分布を説明する光路図
【図3】第2レンズ群6bの位置と倍率テレセンとの関係を説明するための光路図
【図4】本実施形態の照度分布、倍率テレセンの補正手順を示すフローチャート
【図5】(a)は、本実施形態の露光光角度分布測定方法を示す図、(b)は本実施形態の露光光角度分布測定方法を示す図
【図6】半導体デバイスの製造工程を示す図
【図7】図7の工程中のウエハプロセスの詳細を示す図
【符号の説明】
1 光源
2 リレーレンズ
3 オプティカルインテグレータ
4 絞り
5 絞り駆動機構
6 コンデンサー光学系
6a 第1レンズ群
6b 第2レンズ群
7 マスキングブレード
8 結像レンズ
9 レチクル
10 投影光学系
11 投影光学系の瞳
12 ウエハ
13 XYステージ
14 ディテクター
15 検出装置
16 第1レンズ群を駆動する第1駆動機構
17 第2レンズ群を駆動する第2駆動機構
18 マスキングブレード駆動機構
19 主制御装置
Claims (7)
- 光源からの光を用いて2次光源を形成するオプティカルインテグレータと、前記オプティカルインテグレータからの光を被照射面に導光するコンデンサー光学系とを備えた照明光学系において、
前記コンデンサー光学系は光の進行方向順に少なくとも2つのレンズ要素と該少なくとも2つのレンズ要素以外のレンズとを有し、
前記2つのレンズ要素を光軸方向に独立に移動させることにより、ディストーション以外の収差と焦点距離が変化しないように前記被照射面の照度分布を変化させ、
前記レンズを光軸方向に移動させることにより、焦点距離と収差が変化しないように前記被照射面に入射する光の角度分布を変化させることを特徴とする照明光学系。 - 前記少なくとも2つのレンズ要素のうち、最も被照射面側のレンズ要素は、被照射面側に凹面を向けたメニスカス負レンズであることを特徴とする請求項1記載の照明光学系。
- マスク上のパターンを照明する請求項1又は2に記載された照明光学系と、前記パターンを感光基板上に投影露光する投影光学系とを備えることを特徴とする露光装置。
- 前記感光基板に入射する露光光の照度分布及び角度分布を検出する検出手段と、
前記検出手段の検出結果に応じて前記少なくとも2つのレンズ要素と前記レンズをそれぞれ駆動する駆動手段とを備えることを特徴とする請求項3記載の露光装置。 - 前記マスクを照明する照明条件を変更した際に発生する感光基板上の照度分布の変化及び感光基板に入射する露光光の角度分布の変化を前記検出手段によって検出し、前記検出手段の検出結果に基づいて前記感光基板に入射する露光光の照度分布と角度分布とを補正することを特徴とする請求項4記載の露光装置。
- 請求項3記載の露光装置を使用してマスク上のパターンを感光基板上に投影露光する露光方法であって、
前記マスクを照明する照明条件を変更したことにより発生する感光基板上の照度分布の変化及び感光基板に入射する露光光の角度分布の変化とを検出するステップと、
前記検出結果に基づいて照度分布と角度分布を補正すべく前記コンデンサー光学系を調整して照度分布と角度分布とを補正するステップとを含むことを特徴とする露光方法。 - 請求項3乃至5のいずれか一つに記載された露光装置を使用するデバイス製造方法であって、
マスク上のパターンを感光基板上に投影露光するステップと、
露光された前記感光基板を現像するステップとを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000060687A JP3599629B2 (ja) | 2000-03-06 | 2000-03-06 | 照明光学系及び前記照明光学系を用いた露光装置 |
US09/797,847 US6560044B2 (en) | 2000-03-06 | 2001-03-05 | Illumination optical system in exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000060687A JP3599629B2 (ja) | 2000-03-06 | 2000-03-06 | 照明光学系及び前記照明光学系を用いた露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001250762A JP2001250762A (ja) | 2001-09-14 |
JP3599629B2 true JP3599629B2 (ja) | 2004-12-08 |
Family
ID=18580954
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000060687A Expired - Fee Related JP3599629B2 (ja) | 2000-03-06 | 2000-03-06 | 照明光学系及び前記照明光学系を用いた露光装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6560044B2 (ja) |
JP (1) | JP3599629B2 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6833904B1 (en) | 1998-02-27 | 2004-12-21 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and method of fabricating a micro-device using the exposure apparatus |
US6868223B2 (en) | 2001-05-11 | 2005-03-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Illumination apparatus, exposure apparatus using the same and device fabrication method |
JP3826047B2 (ja) * | 2002-02-13 | 2006-09-27 | キヤノン株式会社 | 露光装置、露光方法、及びそれを用いたデバイス製造方法 |
JP4366163B2 (ja) * | 2003-09-25 | 2009-11-18 | キヤノン株式会社 | 照明装置及び露光装置 |
JP2005109304A (ja) * | 2003-10-01 | 2005-04-21 | Canon Inc | 照明光学系及び露光装置 |
JP2005114922A (ja) * | 2003-10-06 | 2005-04-28 | Canon Inc | 照明光学系及びそれを用いた露光装置 |
JP2005128271A (ja) * | 2003-10-24 | 2005-05-19 | Ushio Inc | 光配向用偏光光照射装置および光配向用偏光光照射装置における偏光軸の調整方法 |
JP4684563B2 (ja) * | 2004-02-26 | 2011-05-18 | キヤノン株式会社 | 露光装置及び方法 |
US7119883B2 (en) | 2004-10-13 | 2006-10-10 | Asml Holding N.V. | Correcting variations in the intensity of light within an illumination field without distorting the telecentricity of the light |
JP4765314B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2011-09-07 | 株式会社ニコン | 照明光学装置 |
US7586583B2 (en) | 2005-09-15 | 2009-09-08 | Franklin Mark Schellenberg | Nanolithography system |
US8158917B2 (en) * | 2005-12-13 | 2012-04-17 | Agency For Science Technology And Research | Optical wavefront sensor and optical wavefront sensing method |
DE102008007449A1 (de) * | 2008-02-01 | 2009-08-13 | Carl Zeiss Smt Ag | Beleuchtungsoptik zur Beleuchtung eines Objektfeldes einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie |
JP5315711B2 (ja) * | 2008-02-08 | 2013-10-16 | ソニー株式会社 | 照明装置及び画像投影装置 |
US11067900B2 (en) | 2016-05-19 | 2021-07-20 | Nikon Corporation | Dense line extreme ultraviolet lithography system with distortion matching |
US10712671B2 (en) * | 2016-05-19 | 2020-07-14 | Nikon Corporation | Dense line extreme ultraviolet lithography system with distortion matching |
DE102017209440A1 (de) * | 2017-06-02 | 2018-12-06 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsbelichtungsverfahren und Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithografie |
CN110806681A (zh) * | 2019-11-01 | 2020-02-18 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种表面等离子体光刻机的高光功率密度照明系统 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USRE34634E (en) * | 1982-02-26 | 1994-06-07 | Nippon Kogaku Kabushiki Kaisha | Light illumination device |
US4851882A (en) * | 1985-12-06 | 1989-07-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Illumination optical system |
US6252647B1 (en) * | 1990-11-15 | 2001-06-26 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus |
JPH05343292A (ja) | 1992-06-08 | 1993-12-24 | Nikon Corp | 露光装置 |
JPH08179237A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Nikon Corp | 照明光学装置 |
KR960042227A (ko) | 1995-05-19 | 1996-12-21 | 오노 시게오 | 투영노광장치 |
JP3743576B2 (ja) | 1995-07-11 | 2006-02-08 | 株式会社ニコン | 投影露光装置、及びそれを用いた半導体素子又は液晶表示素子の製造方法 |
JPH09223661A (ja) | 1996-02-15 | 1997-08-26 | Nikon Corp | 露光装置 |
JP3991166B2 (ja) | 1996-10-25 | 2007-10-17 | 株式会社ニコン | 照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置 |
JPH10275771A (ja) * | 1997-02-03 | 1998-10-13 | Nikon Corp | 照明光学装置 |
US6333777B1 (en) | 1997-07-18 | 2001-12-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus and device manufacturing method |
JP3262039B2 (ja) | 1997-07-18 | 2002-03-04 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 |
JPH11224853A (ja) | 1997-12-01 | 1999-08-17 | Nikon Corp | 照明光学装置、露光装置、露光方法、及び半導体デバイス製造方法 |
-
2000
- 2000-03-06 JP JP2000060687A patent/JP3599629B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-03-05 US US09/797,847 patent/US6560044B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20010033433A1 (en) | 2001-10-25 |
JP2001250762A (ja) | 2001-09-14 |
US6560044B2 (en) | 2003-05-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3599629B2 (ja) | 照明光学系及び前記照明光学系を用いた露光装置 | |
JP3610175B2 (ja) | 投影露光装置及びそれを用いた半導体デバイスの製造方法 | |
JP4865270B2 (ja) | 露光装置、及びそれを用いたデバイス製造方法 | |
JP2003243276A (ja) | 露光装置、露光方法、及びそれを用いたデバイス製造方法 | |
JPH10319321A (ja) | 照明装置及び該照明装置を用いた投影露光装置並びに該投影露光装置を用いたデバイスの製造方法及び該投影露光装置の製造方法 | |
JP3817365B2 (ja) | 投影露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 | |
KR100485314B1 (ko) | 투영노광장치와 이것을 사용한 디바이스제조방법 | |
JPH07230949A (ja) | 照明装置及びそれを用いた投影露光装置 | |
JPH1187232A (ja) | 露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 | |
JP3200244B2 (ja) | 走査型露光装置 | |
US6738129B2 (en) | Illumination apparatus, exposure apparatus, and device fabricating method using the same | |
JPH09325275A (ja) | 照明装置及びそれを用いた投影露光装置 | |
JP3599648B2 (ja) | 照明装置、投影露光装置並びにそれを用いたデバイス製造方法 | |
JP3796294B2 (ja) | 照明光学系及び露光装置 | |
US20050117137A1 (en) | Illumination system and exposure apparatus | |
JP2001166497A (ja) | 露光方法及び露光装置 | |
US6573977B1 (en) | Exposure control method, exposure apparatus and device manufacturing method | |
US6337734B1 (en) | Exposure control method, exposure apparatus and device manufacturing method | |
JP4545854B2 (ja) | 投影露光装置 | |
JP2000114164A (ja) | 走査型投影露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 | |
JP2008124308A (ja) | 露光方法及び露光装置、それを用いたデバイス製造方法 | |
JPH07297117A (ja) | 投影露光装置及びそれを用いた半導体デバイスの製造方法 | |
JPH0766121A (ja) | 投影露光装置及びそれを用いた半導体素子の製造方法 | |
JP4235410B2 (ja) | 露光方法 | |
JPH0729816A (ja) | 投影露光装置及びそれを用いた半導体素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040910 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040914 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070924 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080924 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090924 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090924 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100924 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100924 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110924 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |