JP2009520664A - 太陽熱利用目的に適したシリコンの製造方法 - Google Patents
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Abstract
そこで、ソーラーグレードシリコンの簡易な製造を可能にする、ソーラーグレードシリコンの製造方法を提供することを課題とし、太陽電池用に適したシリコン生成する方法であって、シリコンを溶解し、冷却プロセスの間に少なくとも1つの部位に球面形状を有する結晶正面を形成するように凝固させるものである。
Description
10 るつぼへの金属シリコンの充填
12 シリコンの溶融
14 溶融シリコンの冶金処理
16 球面の1区間の形状の結晶化フロントでの溶融シリコンの方向凝固
18 凝固シリコンインゴットの縁部領域の分離
20 残りのシリコンインゴットの粉砕
22 シリコン片のオーバエッチング
24 シリコン片の洗浄及び乾燥
30 電気アーク炉における炭素での二酸化ケイ素の炭素熱還元
42 別々のるつぼでのシリコン片の溶融
46 別々の凝固炉における平坦な結晶化フロントでの方向凝固
48 凝固シリコンインゴットの縁部領域の分離
52 別々のるつぼでのシリコン片の溶融
56 別々の凝固炉における球面の1区間の形状の結晶化フロントでの方向凝固
58 凝固シリコンインゴットの縁部領域の分離
60 残りのシリコンインゴットの粉砕
62 シリコン片のオーバエッチング
64 シリコン片の洗浄及び乾燥
70 るつぼ
72 溶融シリコン
74a 結晶源
74b 結晶源
74c 結晶源
76a 凝固シリコン
76b 凝固シリコン
76c 凝固シリコン
78a 結晶化フロント
78b 結晶化フロント
78c 結晶化フロント
Claims (21)
- シリコンの溶融と、
溶融体の方向凝固と、
の処理ステップを有する、ソーラーグレードシリコンの製造方法であって、
結晶化フロントが方向凝固中に形成され、前記フロントが少なくとも1つの部位が球面である形状を有することを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、結晶化フロントが溶融体内で放射方向に対称に伝播することを特徴とする方法。
- 請求項1又は2に記載の方法であって、凝固が溶融体の表面で始まることを特徴とする方法。
- 請求項1又は2に記載の方法であって、凝固が溶融体の体積内に位置する場所から始まることを特徴とする方法。
- 請求項3に記載の方法であって、溶融体がるつぼ内にあり、凝固がるつぼの底部面から始まることを特徴とする方法。
- 請求項1ないし5のいずれかに記載の方法であって、金属シリコンが溶融される方法。
- 請求項6に記載の方法であって、金属シリコンが、炭素での二酸化ケイ素の炭素熱還元により抽出されることを特徴とする方法。
- 請求項7に記載の方法であって、炭素熱還元が電気アーク炉で実行されることを特徴とする方法。
- 請求項6ないし8のいずれかに記載の方法であって、凝固前に、溶融金属シリコンが処理炉で冶金的に処理されることによって、溶融体が好ましくはパージガスで精製される、及び/又はスラグ形成成分が冶金処理中に添加されることを特徴とする方法。
- 請求項9に記載の方法であって、凝固が処理炉で実行されることを特徴とする方法。
- 請求項1ないし10のいずれかに記載の方法であって、溶融体の凝固後、凝固シリコンインゴットの各面の縁部領域が除去されることによって、縁部領域が好ましくは数センチメートル厚であることを特徴とする方法。
- 請求項11に記載の方法であって、残りのシリコンインゴットが粉砕され、エッチング液でオーバエッチングされることによって、粉砕から生じるシリコン片は好ましくは直径が約5ミリメートルであることを特徴とする方法。
- 請求項12に記載の方法であって、オーバエッチング後にシリコン片が洗浄及び乾燥されることを特徴とする方法。
- 請求項11ないし13に記載の方法であって、シリコンインゴット又はシリコン片が再び溶融し、別の方向凝固が行われることを特徴とする方法。
- 請求項14に記載の方法であって、溶融を繰り返すため、別々のるつぼが提供される、及び/又は溶融が別々の凝固炉で行われることを特徴とする方法。
- 請求項14又は15に記載の方法であって、追加の方向凝固が請求項1ないし5のいずれかにしたがい実行されることを特徴とする方法。
- 請求項14ないし16のいずれかに記載の方法であって、追加の方向凝固後、凝固シリコンインゴットの各面の縁部領域が除去されるにおいて、縁部領域が好ましくは数センチメートル厚であることを特徴とする方法。
- 請求項17に記載の方法であって、残りのシリコンインゴットが粉砕され、エッチング液でオーバエッチングされることによって、粉砕から生じるシリコン片は好ましくは直径が約5ミリメートルであることを特徴とする方法。
- 請求項18に記載の方法であって、オーバエッチング後、シリコン片が洗浄され乾燥されることを特徴とする方法。
- 前記請求項の方法のいずれかにしたがい製造されたシリコンから少なくとも部分的に作製されることを特徴とするシリコンウェーハ。
- 前記請求項の方法のいずれかにしたがい製造されたシリコンから少なくとも部分的に作製されることを特徴とする太陽電池。
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