JP2009267377A - 窒化物系半導体レーザ素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この窒化物系半導体レーザ素子30は、n型GaN基板11の主表面上に形成され、発光層を有する発光素子層15を備えている。発光素子層15は、(000−1)面からなる第1側面15aと、第1側面15aに対して傾斜した第2側面15bとを含み、第1側面15aと第2側面15bとに囲まれた領域によって、[0001]方向と垂直で、かつ、n型GaN基板11の主表面の面内方向に延びるリッジ35およびダミーリッジ36が形成されている。
【選択図】図3
Description
図3を参照して、第1実施形態による窒化物系半導体レーザ素子30の構造について説明する。
この第2実施形態では上記第1実施形態と異なり、n型GaN基板11上に下地層41を形成した後に発光素子層15を形成しており、以下、図7を参照して説明する。
この第3実施形態では、上記第2実施形態と異なり、下地層41にスクライブ傷41dを形成することによってクラック41aの形成位置を制御しており、以下、図11を参照して説明する。
この第4実施形態では、上記第2実施形態と異なり、n型GaN基板11のm面((1−100)面)上に下地層41および発光素子層15を形成しており、以下、図14を参照して説明する。
図9、図16および図17を参照して、上記第4実施形態の効果を確認するために行った実験について説明する。
この第5実施形態では、上記第1実施形態と異なり、m面((1−100)面)からなる主表面を有するn型4H−SiC基板71上に発光素子層15を形成しており、以下、図18を参照して説明する。
この第6実施形態では、上記第1実施形態と異なり、素子の幅方向の略中央部に形成された1つのリッジ95の側方において、その両側に、リッジ95の幅よりも大きな幅を有するダミーリッジ96が形成されており、以下、図19〜図21を参照して説明する。なお、ダミーリッジ96は、本発明の「支持部」の一例である。
この第6実施形態の変形例では、上記第6実施形態と異なり、リッジ95の側方において、その一方側にのみリッジ95の幅よりも大きな幅を有する1つのダミーリッジ96aが形成されており、以下、図22および図23を参照して説明する。なお、ダミーリッジ96aは、本発明の「支持部」の一例である。
2 第1半導体層(窒化物系半導体層)
3 発光層(窒化物系半導体層)
4 第2半導体層(窒化物系半導体層)
11 n型GaN基板(基板、下地基板)
11a 凹部
15、89 発光素子層(窒化物系半導体層)
7、15a、89a 第1側面
8、15b、89b 第2側面
41 下地層
41a クラック(凹部)
71 SiC基板(基板)
30、50、60、70、80、90、100 窒化物系半導体レーザ素子
35、45、55、65、75、95 リッジ
36、46、56、66、76、96 ダミーリッジ
Claims (6)
- 基板の主表面上に形成され、発光層を有する窒化物系半導体層を備え、
前記窒化物系半導体層は、
(000−1)面からなる第1側面と、
前記第1側面に対して傾斜した第2側面とを備え、
前記第1側面と前記第2側面とに囲まれた領域によって、[0001]方向と垂直で、かつ、前記基板の主表面の面内方向に延びる1つまたは複数のリッジが形成され、前記リッジの少なくとも1つが光導波路を有している、窒化物系半導体レーザ素子。 - 前記第2側面は、(A+B、A、−2A−B、2A+B)面(AおよびBは、A≧0、B≧0を満たし、かつ、AおよびBのいずれか一方が0ではない整数)からなる、請求項1に記載の窒化物系半導体レーザ素子。
- 前記第1側面および前記第2側面の少なくとも一方は、前記窒化物系半導体層の主表面に対して鈍角をなすように形成されている、請求項1または2に記載の窒化物系半導体レーザ素子。
- 前記基板の主表面に少なくとも2つの凹部が形成されており、
前記第1側面は、互いに隣り合う2つの前記凹部のうち、一方の前記凹部の内側面を起点として形成され、
前記第2側面は、前記互いに隣り合う2つの凹部のうち、他方の前記凹部の内側面を起点として形成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の窒化物系半導体レーザ素子。 - 前記基板の主表面上には、前記光導波路を有するリッジの側方に支持部が形成されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の窒化物系半導体レーザ素子。
- 基板の主表面に少なくとも2つの凹部を形成する工程と、
前記基板の主表面上に発光層を有する窒化物系半導体層を形成する工程とを備え、
前記窒化物系半導体層を形成する工程は、
隣り合う2つの前記凹部のうち、一方の前記凹部の内側面を起点として前記窒化物系半導体層の(000−1)面からなる第1側面を形成するとともに、前記隣り合う2つの凹部のうち、他方の前記凹部の内側面を起点として前記窒化物系半導体層の第2側面を形成することにより、前記第1側面と前記第2側面とに囲まれた領域によって1つまたは複数のリッジを形成する工程を含む、窒化物系半導体レーザ素子の製造方法。
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