JP2009263149A - 多結晶シリコンロッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単結晶シリコンインゴット10のショルダ部10sおよびテイル部10tを切り落として得られたボディ部10bから平板状シリコン11を切り出し、更に、短冊状に切断してシリコン棒(芯線)12を得る。このようにして切り出した芯線の表面は、切断加工時に生じた残留歪みを除去する目的で、エッチング処理を施すことが好ましい。結晶成長軸方位が<100>の場合、晶壁線(h1〜h4)は4本となるが、シリコン棒(芯線)12は、その面が、晶壁線と特定範囲のオフアングルθを成すように切り出される。このときのオフアングルθは、5度乃至40度の範囲であることが好ましい。
【選択図】図2
Description
10s ショルダ部
10t テイル部
10b ボディ部
11 平板状シリコン
12 シリコン棒(芯線)
Claims (7)
- シリコン芯線にCVD法によりシリコンを析出させて多結晶シリコンロッドを製造する方法であって、単結晶シリコンインゴットより切り出されたシリコン部材を前記シリコン芯線として用いることを特徴とする多結晶シリコンロッドの製造方法。
- 前記単結晶シリコンインゴットは、チョクラルスキ法(CZ法)又はフローティングゾーン法(FZ法)によって育成されたものであり、該単結晶シリコンインゴットの結晶成長軸方位は、ミラー指数で<100>若しくは<111>であることを特徴とする請求項1に記載の多結晶シリコンロッドの製造方法。
- 前記シリコン芯線は、該芯線の側面が、前記単結晶シリコンインゴットの晶癖線に対して5度乃至40度の範囲の角度を成すように切り出されたものである請求項1又は2に記載の多結晶シリコンロッドの製造方法。
- 前記単結晶シリコンインゴットはチョクラルスキ法(CZ法)によって育成されたものであり、7ppma乃至20ppmaの格子間酸素濃度を有するものである請求項2又は3に記載の多結晶シリコンロッドの製造方法。
- 前記格子間酸素濃度は17ppma以上である請求項4に記載の多結晶シリコンロッドの製造方法。
- 前記シリコン芯線の表面は、前記単結晶シリコンインゴットからの切り出しの後に、50μm乃至200μmの取代でエッチング処理が施されていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の多結晶シリコンロッドの製造方法。
- 前記CVD法によるシリコンの析出が、トリクロロシラン(TCS)および水素よりなるガス雰囲気下で実行される請求項1乃至6の何れか1項に記載の多結晶シリコンロッドの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008112115A JP5137670B2 (ja) | 2008-04-23 | 2008-04-23 | 多結晶シリコンロッドの製造方法 |
AU2009201143A AU2009201143B2 (en) | 2008-04-23 | 2009-03-23 | Method of manufacturing polycrystalline silicon rod |
EP09004489A EP2145858B1 (en) | 2008-04-23 | 2009-03-27 | Method of manufacturing polycrystalline silicon rod |
US12/418,165 US8328935B2 (en) | 2008-04-23 | 2009-04-03 | Method of manufacturing polycrystalline silicon rod |
CN2009101329689A CN101565185B (zh) | 2008-04-23 | 2009-04-03 | 多晶硅棒的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008112115A JP5137670B2 (ja) | 2008-04-23 | 2008-04-23 | 多結晶シリコンロッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009263149A true JP2009263149A (ja) | 2009-11-12 |
JP5137670B2 JP5137670B2 (ja) | 2013-02-06 |
Family
ID=41215278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008112115A Active JP5137670B2 (ja) | 2008-04-23 | 2008-04-23 | 多結晶シリコンロッドの製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8328935B2 (ja) |
EP (1) | EP2145858B1 (ja) |
JP (1) | JP5137670B2 (ja) |
CN (1) | CN101565185B (ja) |
AU (1) | AU2009201143B2 (ja) |
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RU2011133919A (ru) * | 2009-02-04 | 2013-02-20 | Токуяма Корпорейшн | Процесс получения поликристаллического кремния |
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-
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- 2009-03-23 AU AU2009201143A patent/AU2009201143B2/en not_active Ceased
- 2009-03-27 EP EP09004489A patent/EP2145858B1/en active Active
- 2009-04-03 CN CN2009101329689A patent/CN101565185B/zh active Active
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JP7128124B2 (ja) | 2019-01-18 | 2022-08-30 | 信越化学工業株式会社 | 多結晶シリコン棒、多結晶シリコンロッドおよびその製造方法 |
JP2022159501A (ja) * | 2019-01-18 | 2022-10-17 | 信越化学工業株式会社 | 多結晶シリコン棒、多結晶シリコンロッドおよびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101565185B (zh) | 2012-09-26 |
EP2145858A2 (en) | 2010-01-20 |
JP5137670B2 (ja) | 2013-02-06 |
EP2145858B1 (en) | 2012-03-14 |
EP2145858A3 (en) | 2010-12-29 |
US20090269493A1 (en) | 2009-10-29 |
US8328935B2 (en) | 2012-12-11 |
CN101565185A (zh) | 2009-10-28 |
AU2009201143A1 (en) | 2009-11-12 |
AU2009201143B2 (en) | 2013-10-17 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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