JP2009262295A - 仕上研磨用定盤 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の仕上研磨用定盤は、柔軟な研磨フィルムを用いた仕上研磨用定盤において、柔軟な研磨フィルムを搭載する定盤の面に複数の平行な溝を設けることを特徴としている。
【選択図】図1
Description
また、本発明の仕上研磨用定盤は、第2に、第1の特徴において、溝を形成する凹部の深さを50〜200μm、幅を3〜4mmとし、隣接する凹部の間の凸部の幅を1〜4mmとすることを特徴としている。
また、本発明の仕上研磨用定盤は、第3に、第1または第2の特徴において、凹部と凸部との境目の角部を丸めることを特徴としている。
また、本発明の仕上研磨用定盤は、第4に、第1ないし第3の特徴のいずれかにおいて、定盤がフロートガラス板から形成されることを特徴としている。
(1)仕上研磨用定盤の平行溝による排水効果により、潤滑材(例えば、水。)が排水されやすくなり、研磨試料の研磨面と研磨フィルムとが容易に接触し、研磨効率を向上させることができる。
(2)研磨試料の研磨面と研磨フィルムとの接触面積が制限されるため、研磨試料の研磨面が研磨フィルムに吸い付きにくいので、楽に研磨することができる。
(3)研磨試料から発生した削り屑が定盤の並行溝上の研磨フィルムの凹部へ排出されるので、研磨面を傷つける頻度が著しく低下する。
(4)耐摩耗性が大きく異なる素材からなる複合材料を研磨する場合でも、平面性の高い研磨が可能である。
なお、仕上研磨用定盤に搭載される研磨フィルムについては、特段説明しないが、例えば、公知の固定砥粒フィルムが用いられる。また、研磨試料としては、例えば、直径25mmの樹脂製円筒基材の表面に岩石等の研磨試料を複数埋込んだものが用いられる。
溝3を形成する凹部4は、矩形状をしており、例えば、深さは50〜200μmの範囲が望ましく、100μm程度がより望ましい。また、凹部4の幅は、例えば、3〜4mm程度が望ましく、さらに、凹部4間の凸部5の幅は、1〜4mm程度が望ましい。
複数の平行な溝3が形成された仕上研磨用定盤1に搭載された研磨フィルム7面に研磨試料8を適度に押付けながら潤滑材9(例えば、水。)を供給しながら研磨作業を行うと、図3に示すように、余分な潤滑材9は複数の平行な溝3から排出され、研磨フィルム7は仕上研磨用定盤1の溝3の部分において溝3の凹部4に落込んだ状態になり、研磨フィルム7の表面には溝3と同じ間隔で円弧状凹部10が形成される。
(1)仕上研磨用定盤1の並行な溝3による排水効果により、余分な潤滑材9(例えば、水。)が排水され、凸部5の上方における研磨試料8の研磨面と研磨フィルム7との間には潤滑材9が介在しないから、凸部5の上方で研磨試料8の研磨面と研磨フィルム7が容易に接触し、研磨効率を向上させることができる。
(2)研磨試料8の研磨面と研磨フィルム7との接触面積が円弧状凹部10の形成により制限されるため、研磨試料8の研磨面が研磨フィルム7に吸い付きにくいので、楽に研磨することができる。
(3)研磨試料8から発生した削り屑11が定盤の並行溝3上の研磨フィルムの円弧状凹部10へ排出されるので、研磨面を傷つける頻度が著しく低下する。
(4)耐摩耗性が大きく異なる素材からなる複合材料を研磨する場合でも、平面性の高い研磨が可能である。
2 板体
3 複数の平行な溝
4 凹部
5 凸部
6 凹部と凸部との境目の角部
7 研磨フィルム
8 研磨試料
9 潤滑材
10 円弧状凹部
11 削り屑
Claims (4)
- 柔軟な研磨フィルムを用いた仕上研磨用定盤において、柔軟な研磨フィルムを搭載する定盤の面に複数の平行な溝を設けることを特徴とする仕上研磨用定盤。
- 溝を形成する凹部の深さを50〜200μm、幅を3〜4mmとし、隣接する凹部の間の凸部の幅を1〜4mmとすることを特徴とする請求項1記載の仕上研磨用定盤。
- 凹部と凸部との境目の角部を丸めることを特徴とする請求項2記載の仕上研磨用定盤。
- 定盤がフロートガラス板から形成されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の仕上研磨用定盤。
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