JP2009222687A - 加速度センサ装置および加速度センサ装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】重り部11と、重り部11を囲繞する枠状の固定部13と、固定部13の下面に開口部7aを有するようにして固定部13に設けられる孔部7と、一方端が固定部13に連結され、且つ他方端が重り部11に連結される梁部12と、梁部12に設けられる抵抗素子15と、を有するセンサ素子20と、センサ素子20が載置される主面1Aを有する基板1と、基板1の主面1Aと固定部下面の開口部7a周囲との間に介在され、一部が孔部7に埋入された状態でセンサ素子20と基板1とを接合する接着剤8と、を備えた構成とする。
【選択図】図3
Description
図1は本実施形態にかかる加速度センサ装置の斜視図、図2は図1の加速度センサ装置の蓋10を外した状態の平面図、図3は図1に示す加速度センサ装置の断面図であり、図3(a)は図2のA−A’線で切断したときの断面に相当し、図3(b)は図2のB−B’線で切断したときの断面に相当する。これらの図に示すように本実施形態にかかる加速度センサ装置は、基板1とセンサ素子20とから主に構成されている。
図6は上述した実施形態にかかる加速度センサ装置の変形例を示す断面図である。なお、図6の断面図は図2におけるA−A’線における断面に相当するものである。この変形例にかかる加速度センサ装置は、センサ素子20の出力信号を演算処理するICチップ30をさらに含んでいる。図6に示す加速度センサ装置では、基板1の下面側に設けたキャビティにICチップ30が収容されており、基板1に設けたビアホール導体3や配線導体などを介してセンサ素子20及び外部端子2と電気的に接続されている。ICチップ30は、例えば、センサ素子20の出力信号を増幅する増幅回路、センサ素子20の温度特性を補正する温度補償回路、ノイズを除去するノイズ除去回路などが集積化されたものである。このようなICチップ30を備えることによって加速度を高精度に検知することができる。
次に本実施の形態に係る加速度センサ装置の製造工程を説明する。
まず重り部11と、重り部11を囲繞する枠状の固定部13と、固定部13の下面に開口部7aを有するようにして固定部13に設けられる孔部7と、一方端が固定部13に連結され、且つ他方端が重り部11に連結される梁部12と、梁部12に設けられる抵抗素子15と、を有するセンサ素子20およびセンサ素子20が載置される主面1Aを有する基板1を準備する。
次に図7に示すように基板1の主面1Aで且つセンサ素子20を載置したときに開口部7aと対応する位置に接着用部材8´を塗布する。接着用部材8´は硬化前のシリコーン樹脂やエポキシ樹脂であり、ディスペンサーなどを用いて基板1の主面1Aに塗布される。接着用部材8´は、基板1の主面1Aへ塗布した際の塗布面が固定部13の幅より小さく、且つ孔部7の開口部7aより大きくなるようにして塗布される。なお孔部7の深さや開口部7aの大きさは接着用部材8´の塗布量等との関係で調整される。接着用部材8´には、シリカ、シリコン、ジビニルベンゼンなどからなる直径が2μm〜20μm程度の球状のスペーサ部材が混合されており、このスペーサ部材が固定部13の下面と基板1の主面1Aとの間に介在されることにより基板1の主面1Aと重り部11の下面との間に隙間を形成することができる。
次に接着用部材の一部が孔部7に入るようにしてセンサ素子20を基板1の主面1Aに載置させ、接着用部材8´を硬化させることによりセンサ素子20と基板1とを接合する。このとき余分な接着剤8は孔部7の中に収容されるため接着剤8が固定部13の下面の外側にはみ出るのを抑えたり、固定部13の下面に沿って広がるのを抑えることができる。これにより接着剤8の接着面積のばらつきを小さくすることができ、センサ素子20に不均一な残留応力が発生するのを抑制して電気的な特性が優れた加速度センサ装置となすことができる。
2・・・外部端子
3・・・ビアホール導体
4・・・基板側電極パッド
5・・・キャビティ
6・・・金属細線
7・・・孔部
8・・・接着剤
11・・・重り部
12・・・梁部
13・・・固定部
14・・・素子側電極パッド
15・・・抵抗素子
20・・・センサ素子
Claims (7)
- 重り部と、前記重り部を囲繞する枠状の固定部と、前記固定部の下面に開口部を有するようにして前記固定部に設けられる孔部と、一方端が前記固定部に連結され、且つ他方端が前記重り部に連結される梁部と、前記梁部に設けられる抵抗素子と、を有するセンサ素子と、
前記センサ素子が載置される主面を有する基板と、
前記基板の主面と前記固定部下面の前記開口部周囲との間に介在され、一部が前記孔部に埋入された状態で前記センサ素子と前記基板とを接合する接着剤と、を有する加速度センサ装置。 - 前記孔部が前記固定部の四隅に対応する位置に設けられている請求項1に記載の加速度センサ装置。
- 前記重り部は平面形状が矩形状をなすとともに、前記梁部が前記重り部の上面四辺の中央部に連結されている請求項2に記載の加速度センサ装置。
- 前記孔部の内壁面と前記固定部の側面とを連通する連通部が設けられている請求項1に記載の加速度センサ装置。
- 前記接着剤にはスペーサ部材が含有されている請求項1に記載の加速度センサ装置。
- 前記センサ素子の出力信号を信号処理するICチップをさらに含む請求項1に記載の加速度センサ装置。
- 重り部と、前記重り部を囲繞する枠状の固定部と、前記固定部の下面に開口部を有するようにして前記固定部に設けられる孔部と、一方端が前記固定部に連結され、且つ他方端が前記重り部に連結される梁部と、前記梁部に設けられる抵抗素子と、を有するセンサ素子および前記センサ素子が載置される主面を有する基板を準備する工程Aと、
前記基板の主面で且つ前記センサ素子を載置したときに前記開口部と対応する位置に接着用部材を塗布する工程Bと、
前記接着用部材の一部が前記孔部に入るようにして前記センサ素子を前記基板の主面に載置させ、前記接着用部材を硬化させることにより前記センサ素子と前記基板とを接合する工程Cと、を含む加速度センサ装置の製造方法。
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