JP2011179923A - 圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明によるヨーレートセンサ装置1は、圧電素子2を有するセンサ部を含むセンサ保持体5と、センサ保持体5の外周の少なくとも一部に近接して配置されたセンサ保持体の所定方向の変位を抑制する抑制体4とを備える。センサ保持体5は、底面14の延在方向と平行な方向に延在し厚さtを有する、ステンレスやシリコン等からなる一枚の板である。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明による圧電デバイスの第1実施形態に係るヨーレートセンサ装置1の内部耐振構造を示すX−Z方向断面図である。このヨーレートセンサ装置1(すなわち圧電振動デバイス)においては、例えば、箱状、枠状等の形状をなすケース4の内部に、段差を有して(階段状に)設けられた窪み11(抑制体),12が形成されており、それらの窪み11,12は、各々、内部空間G1,G2に対応している。
g=t×sinθ
で規定される。よって、バランサー5の側面8とケース4の内壁面13との間の間隔gの大きさは、ヨーレートセンサ装置1が搭載するセンサ素子の種類や、ヨーレートセンサ装置1の使用環境に応じて異なるであろう許容傾きθの値に応じて決定すれば良い。本実施形態にかかるヨーレートセンサ素子2の場合、回転の検出に悪影響を及ぼすシーソー運動を防止する目的であれば、隙間の間隔gをバランサー5のZ軸方向の厚さtの1/2以下とすることが好ましい。
図3は、本発明による圧電振動デバイスの第2実施形態に係るヨーレートセンサ装置20の内部耐振構造を示すX−Z方向断面図である。ヨーレートセンサ装置20は、ケース24の内部に第1実施形態における階段状の窪み11,12を有しておらず、壁体21(抑制体)がバランサー5の周囲を取り囲んでいること以外は、前述したヨーレートセンサ装置1と同様に構成されたものである。よって、図3においては、ヨーレートセンサ素子1と共通する部材には同一の符号を付し、重複した説明を避けるため、ここでは、それらの説明を省略する。
図4は、本発明による圧電振動デバイスの第3実施形態に係るヨーレートセンサ装置40の内部耐振構造を示すX−Z方向断面図である。ヨーレートセンサ装置40は、ケース内部に、バランサー5の下面45とケース44の底面54との間で画定される下方空間GLと、バランサー5の上面46とケース44の蓋部6との間で画定される上方空間GUとを連通させる通路41を有すること以外は、前述したヨーレートセンサ装置1と同様に構成されたものである。よって、図4においては、ヨーレートセンサ素子1と共通する部材には同一の符号を付し、重複した説明を避けるため、ここでは、それらの説明を省略する。
図5は、本発明による圧電振動デバイスの第4実施形態に係るヨーレートセンサ装置40’の内部耐振構造を示すX−Z方向断面図である。ヨーレートセンサ装置40’は、上方空間GUと下方空間GLとを連通させる通路41の通気孔42,43の開放部分にメッシュ部材58,59を備え、更に上方空間GU側の通気孔43の近辺に防風壁57を備えること以外は、前述した第3実施形態にかかるヨーレートセンサ装置40と同様に構成されたものである。よって、図5においては、ヨーレートセンサ素子40と共通する部材には同一の符号を付し、重複した説明を避けるため、ここでは、それらの説明を省略する。
図6は、本発明による圧電振動デバイスの第5実施形態に係るヨーレートセンサ装置60の内部耐振構造を示すX−Z方向断面図である。ヨーレートセンサ装置60は、バランサー65の周辺端部に立ち上がったバランサー壁66を有することを除いては、前述したヨーレートセンサ装置1と同様に構成されたものである。よって、図6においては、ヨーレートセンサ装置1と共通する部材には同一の符号を付し、重複した説明を避けるため、ここでは、それらの説明を省略する。
図7は、本発明による圧電振動デバイスの第6実施形態に係るヨーレートセンサ装置の外部耐振構造を示すX−Z方向断面図である。本実施形態では、少なくとも一つのヨーレートセンサ素子2を封入したセンサパッケージ100が、センサパッケージ100の設置面上に設けられた支持部103により下方より支持されている。支持部103としては、ばね、ゴム、ゲル等、一定の弾性を有する任意の固形部材を用いることができる。複数の支持部103が配置され、支持対象となるセンサパッケージ100を下方より複数の箇所で支持(保持)してもよい。
Claims (7)
- 圧電素子を有するセンサ部を支持するセンサ保持体と、
前記センサ保持体の外周の少なくとも一部に近接して配置され、且つ、該センサ保持体の所定方向の変位を抑制する抑制体と、
を備える圧電デバイス。 - 前記抑制体は、前記センサ保持体の外周の少なくとも一部に対向する面を有する、
請求項1に記載の圧電デバイス。 - 前記センサ保持体と前記抑制体との間のギャップの幅は、前記センサ保持体の厚さの半分よりも小さい、
請求項1又は2に記載の圧電デバイス。 - 前記センサ保持体の前記外周の少なくとも一部及び前記抑制体の前記対向する面の双方、又はそのいずれか一方に低摩擦膜を備える、
請求項2又は3に記載の圧電デバイス。 - 前記センサ保持体及び前記抑制体が内部に収容されるケースを備え、
前記センサ保持体が前記ケースの内部空間に支持され、
前記センサ保持体の上方の空間と前記センサ保持体の下方の空間とが、前記ケースに設けられた通気孔によって連通している、
請求項1乃至4のいずれかに記載の圧電デバイス。 - 前記センサ保持体の上方の空間における前記通気孔の開口部付近に防風壁を備える、
請求項5に記載の圧電デバイス。 - 前記センサ保持体が前記圧電素子を格納する筐体である、
請求項1乃至4のいずれかに記載の圧電デバイス。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014089049A (ja) * | 2012-10-29 | 2014-05-15 | Tdk Corp | 角速度センサ |
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