JPH06160416A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JPH06160416A JPH06160416A JP31336292A JP31336292A JPH06160416A JP H06160416 A JPH06160416 A JP H06160416A JP 31336292 A JP31336292 A JP 31336292A JP 31336292 A JP31336292 A JP 31336292A JP H06160416 A JPH06160416 A JP H06160416A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stoppers
- pendulum
- adhesive
- sections
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 質量部とストッパとの間隔をばらつきなく高
い精度で一定のものとする。 【構成】 枠部１２内に質量部１３がヒンジ部１４を通
じて一体に連結されたペンデュラム１２、その両側から
ストッパ１７及び１８を接着剤１９にて接着するが、ス
トッパ１７、１８のその接着部分に浅い凹部２６が構成
され、その凹部２６の深さの２倍の厚さで接着剤１９が
形成され、又接着剤の幅の３倍に凹部２６の幅が形成さ
れ、ペンデュラムの枠部１２とストッパ１７、１８とを
その面を密着させて接着剤１９で両者を接着するが、そ
の時接着剤１９は凹部２６の側壁２６ａから離されて、
接着剤を付ける際の加圧力に無関係に、質量部１３及び
ストッパ１７、１８との間隔は常に一定値となる。
い精度で一定のものとする。 【構成】 枠部１２内に質量部１３がヒンジ部１４を通
じて一体に連結されたペンデュラム１２、その両側から
ストッパ１７及び１８を接着剤１９にて接着するが、ス
トッパ１７、１８のその接着部分に浅い凹部２６が構成
され、その凹部２６の深さの２倍の厚さで接着剤１９が
形成され、又接着剤の幅の３倍に凹部２６の幅が形成さ
れ、ペンデュラムの枠部１２とストッパ１７、１８とを
その面を密着させて接着剤１９で両者を接着するが、そ
の時接着剤１９は凹部２６の側壁２６ａから離されて、
接着剤を付ける際の加圧力に無関係に、質量部１３及び
ストッパ１７、１８との間隔は常に一定値となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はペンデュラムの両側に
ストッパを接着剤で接着して、ペンデュラムの質量部の
変位を一定範囲に制限するようにした加速度センサに関
する。
ストッパを接着剤で接着して、ペンデュラムの質量部の
変位を一定範囲に制限するようにした加速度センサに関
する。
【０００２】
【従来の技術】図３Ａに従来のこの種の加速度センサを
示し、図３Ｂにこれを複数同時に作る場合の連結状態に
ある断面を示す。ペンデュラム１１は方形の枠部１２内
に方形の質量部１３が位置し、質量部１３の両端は肉薄
のヒンジ部１４により枠部１２と一体に連結されてい
る。ヒンジ部１４にピエゾ抵抗素子１５が付けられて検
出部とされ、ピエゾ抵抗素子１５は配線によって、枠部
１２の一辺上の端子電極１６に接続されている。枠部１
２、質量部１３、ヒンジ部１４はシリコンウエハをエッ
チングして一体に作られている。
示し、図３Ｂにこれを複数同時に作る場合の連結状態に
ある断面を示す。ペンデュラム１１は方形の枠部１２内
に方形の質量部１３が位置し、質量部１３の両端は肉薄
のヒンジ部１４により枠部１２と一体に連結されてい
る。ヒンジ部１４にピエゾ抵抗素子１５が付けられて検
出部とされ、ピエゾ抵抗素子１５は配線によって、枠部
１２の一辺上の端子電極１６に接続されている。枠部１
２、質量部１３、ヒンジ部１４はシリコンウエハをエッ
チングして一体に作られている。
【０００３】このペンデュラム１１の両側、つまり図に
おいて上下の面にそれぞれ板上のストッパ１７及び１８
が枠部１２の部分において接着剤１９により接着されて
いる。ストッパ１７、１８は枠部１２と対向する部分を
除いて浅くえぐられて質量部１３が変位可能とされてい
るが、その変位できる範囲はストッパ１７、１８により
一定値以内に制限されている。
おいて上下の面にそれぞれ板上のストッパ１７及び１８
が枠部１２の部分において接着剤１９により接着されて
いる。ストッパ１７、１８は枠部１２と対向する部分を
除いて浅くえぐられて質量部１３が変位可能とされてい
るが、その変位できる範囲はストッパ１７、１８により
一定値以内に制限されている。
【０００４】この様な加速度センサは図３Ｂに示すよう
に複数個が連結された状態で同時に作り、接着剤１９の
接続された位置において、線２１で示すように切断され
て、図３Ａに示す加速度センサが得られる。図３Ｂに示
すように、端子電極１６が設けられている部分において
は、これと対向するストッパ１７の位置にリード線接続
用穴２２が開けられており、電極１６に対しボンディン
グ接続を行うことができるようにされている。又ストッ
パ１７、１８により、その内部が密封状態となるためガ
ス抜き用の穴２３が一方のストッパ１８に形成されてい
る。更にこのペンデュラムを構成するシリコンウエハに
反り、うねり等があっても、各ストッパを各センサ毎に
確実に接着できるように一つの加速度センサ毎にストッ
パの周辺部は肉薄のフレクチャ２４とされている。なお
図３Ａは電極１６が見えるように穴２２より右側の部分
を切断して示している。
に複数個が連結された状態で同時に作り、接着剤１９の
接続された位置において、線２１で示すように切断され
て、図３Ａに示す加速度センサが得られる。図３Ｂに示
すように、端子電極１６が設けられている部分において
は、これと対向するストッパ１７の位置にリード線接続
用穴２２が開けられており、電極１６に対しボンディン
グ接続を行うことができるようにされている。又ストッ
パ１７、１８により、その内部が密封状態となるためガ
ス抜き用の穴２３が一方のストッパ１８に形成されてい
る。更にこのペンデュラムを構成するシリコンウエハに
反り、うねり等があっても、各ストッパを各センサ毎に
確実に接着できるように一つの加速度センサ毎にストッ
パの周辺部は肉薄のフレクチャ２４とされている。なお
図３Ａは電極１６が見えるように穴２２より右側の部分
を切断して示している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来の加速度セン
サはペンデュラムの枠部１２の平面上に接着剤１９が形
成されているため、ペンデュラム１１とストッパ１７、
１８とを接着する際に、その接着剤１９の厚さと、接着
剤に加わる圧力とによって質量部１３とストッパ１７及
び１８との間隙がばらつき、質量部１３の変位に対する
制限を一定に作ることが困難であった。又検出部として
静電容量式のものを用いる場合は、その質量部１３が変
位していない時の静電容量値が一定のものとならず、ば
らつきが生じる問題があった。
サはペンデュラムの枠部１２の平面上に接着剤１９が形
成されているため、ペンデュラム１１とストッパ１７、
１８とを接着する際に、その接着剤１９の厚さと、接着
剤に加わる圧力とによって質量部１３とストッパ１７及
び１８との間隙がばらつき、質量部１３の変位に対する
制限を一定に作ることが困難であった。又検出部として
静電容量式のものを用いる場合は、その質量部１３が変
位していない時の静電容量値が一定のものとならず、ば
らつきが生じる問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明によれば、ペン
デュラムと枠部の接着されている部分の、その少なくと
も一方に浅い凹部が形成され、これらを接着する接着剤
はその凹部内に設けられ、その接着剤は凹部の側壁と離
されている。
デュラムと枠部の接着されている部分の、その少なくと
も一方に浅い凹部が形成され、これらを接着する接着剤
はその凹部内に設けられ、その接着剤は凹部の側壁と離
されている。
【０００７】
【実施例】図１、図２にこの発明による加速度センサの
実施例を示し、図３と対応する部分には同一符号を付け
てある。この実施例においては、ストッパ１７、１８の
枠部１２と対向する面にその枠部１７の全周に沿った浅
い凹部２６がそれぞれ形成されている。この凹部２６内
に接着剤１９が配置されて、接着剤１９によってストッ
パ１７、１８と枠部１２とが接着されている。この接着
剤１９は凹部２６の側壁２６ａと離れている。
実施例を示し、図３と対応する部分には同一符号を付け
てある。この実施例においては、ストッパ１７、１８の
枠部１２と対向する面にその枠部１７の全周に沿った浅
い凹部２６がそれぞれ形成されている。この凹部２６内
に接着剤１９が配置されて、接着剤１９によってストッ
パ１７、１８と枠部１２とが接着されている。この接着
剤１９は凹部２６の側壁２６ａと離れている。
【０００８】例えばその接着部分を拡大して図２Ｃ、図
２Ｄに示すが、凹部２６の深さは例えば１０μｍ乃至１
２μｍ、幅は１．２ｍｍ程度とされ、図２Ｃに示すよう
にその凹部２６の中央にスクリーン印刷により接着剤１
９を形成し、その接着剤１９の厚さは２０μｍ乃至２５
μｍ、つまり凹部２６の深さより厚く、例えば倍程度と
し、その幅は０．４ｍｍ即ち凹部２６の幅より小さく、
この例では１／３程度の幅とする。この状態でペンデュ
ラム１１とストッパ１７及び１８とを接着し、その両対
接面を密着させる。この時図２Ｄに示すように接着剤の
幅は０．８ｍｍ乃至１．０ｍｍ程度と広がるが、その凹
部２６の幅１．２ｍｍ以下となって、接着剤１９は凹部
２６の側壁２６ａと接しないようにされている。この例
においても図１Ｂに示すように、各加速度センサ単位に
ストッパ１７、１８の周辺部には肉薄のフレクチャ２４
を形成しておき、ペンデュラムが形成されるシリコンウ
エハの全体の反りやうねりがあっても、各加速度センサ
単位にストッパ１７、１８がペンデュラムに密着して、
質量部１３とストッパ１７及び１８との間隙が必ず一定
値となるようにされる。
２Ｄに示すが、凹部２６の深さは例えば１０μｍ乃至１
２μｍ、幅は１．２ｍｍ程度とされ、図２Ｃに示すよう
にその凹部２６の中央にスクリーン印刷により接着剤１
９を形成し、その接着剤１９の厚さは２０μｍ乃至２５
μｍ、つまり凹部２６の深さより厚く、例えば倍程度と
し、その幅は０．４ｍｍ即ち凹部２６の幅より小さく、
この例では１／３程度の幅とする。この状態でペンデュ
ラム１１とストッパ１７及び１８とを接着し、その両対
接面を密着させる。この時図２Ｄに示すように接着剤の
幅は０．８ｍｍ乃至１．０ｍｍ程度と広がるが、その凹
部２６の幅１．２ｍｍ以下となって、接着剤１９は凹部
２６の側壁２６ａと接しないようにされている。この例
においても図１Ｂに示すように、各加速度センサ単位に
ストッパ１７、１８の周辺部には肉薄のフレクチャ２４
を形成しておき、ペンデュラムが形成されるシリコンウ
エハの全体の反りやうねりがあっても、各加速度センサ
単位にストッパ１７、１８がペンデュラムに密着して、
質量部１３とストッパ１７及び１８との間隙が必ず一定
値となるようにされる。
【０００９】尚上述においては、ストッパ１７、１８と
しては、例えばガラス板で作られ、ペンデュラム１１は
シリコンウエハから作られる。しかしこれに限られるこ
となくストッパもシリコンウエハで作っても良く、又そ
の他の材料でもよく、同様にペンデュラム１１もシリコ
ンウエハに限られることなくその他の材料から作っても
よい。又検出部としてはピエゾ抵抗素子に限られること
なく静電容量式のものを用いてもよい。更にストッパ１
７、１８に対して凹部２６を形成したが、枠部１２側に
凹部を形成してもよく、或いは枠部及びストッパの両者
に凹部を形成してもよい。
しては、例えばガラス板で作られ、ペンデュラム１１は
シリコンウエハから作られる。しかしこれに限られるこ
となくストッパもシリコンウエハで作っても良く、又そ
の他の材料でもよく、同様にペンデュラム１１もシリコ
ンウエハに限られることなくその他の材料から作っても
よい。又検出部としてはピエゾ抵抗素子に限られること
なく静電容量式のものを用いてもよい。更にストッパ１
７、１８に対して凹部２６を形成したが、枠部１２側に
凹部を形成してもよく、或いは枠部及びストッパの両者
に凹部を形成してもよい。
【００１０】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、ペ
ンデュラムの枠部とストッパとの接着部分に凹部が形成
され、その凹部に接着剤が位置しており、且つ凹部の側
面壁に接着剤が接触しないように構成され、また、この
凹部の深さは高い精度で作ることは容易であるから、質
量部１３とストッパ１７、１８との間隔を常にばらつき
のない、高い精度で一定の値のものとすることが可能で
あり、質量部１３の変位の制限範囲が常に一定のものを
得ることができ、又検出部として静電容量式のものとし
た場合に、その質量部が変位していない場合における静
電容量値が一定のものを得ることができる。
ンデュラムの枠部とストッパとの接着部分に凹部が形成
され、その凹部に接着剤が位置しており、且つ凹部の側
面壁に接着剤が接触しないように構成され、また、この
凹部の深さは高い精度で作ることは容易であるから、質
量部１３とストッパ１７、１８との間隔を常にばらつき
のない、高い精度で一定の値のものとすることが可能で
あり、質量部１３の変位の制限範囲が常に一定のものを
得ることができ、又検出部として静電容量式のものとし
た場合に、その質量部が変位していない場合における静
電容量値が一定のものを得ることができる。
【図１】Ａはこの発明の実施例を示す一部破断した斜視
図、Ｂは複数のセンサ素子を作る場合におけるペンデュ
ラム及びストッパを接着した状態を示す断面図、Ｃは接
着前のストッパ上の接着剤を示す図、Ｄはストッパに枠
部１２を接着した状態を示す断面図である。
図、Ｂは複数のセンサ素子を作る場合におけるペンデュ
ラム及びストッパを接着した状態を示す断面図、Ｃは接
着前のストッパ上の接着剤を示す図、Ｄはストッパに枠
部１２を接着した状態を示す断面図である。
【図２】図１Ａの分解斜視図。
【図３】Ａは従来の加速度センサを示す一部破断した斜
視図、Ｂはそれを複数同時生産する場合におけるペンデ
ュラム及びストッパを接着し切断前の状態の一部を示す
断面図である。
視図、Ｂはそれを複数同時生産する場合におけるペンデ
ュラム及びストッパを接着し切断前の状態の一部を示す
断面図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 質量部がヒンジ部を介して枠部に一体に
連結され、上記質量部の変位を検出する検出部が設けら
れてペンデュラムが構成され、 そのペンデュラムの両側に上記質量部の変位を一定範囲
に限定する第１、第２ストッパが、上記枠部に接着剤に
て接着された加速度センサにおいて、 上記接着部において、上記枠部及びストッパの少なくと
も一方に浅い凹部が形成され、 その凹部内に上記接着剤が位置し、その接着剤は上記凹
部の側壁から離されていることを特徴とする加速度セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31336292A JPH06160416A (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31336292A JPH06160416A (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | 加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160416A true JPH06160416A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18040348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31336292A Withdrawn JPH06160416A (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | 加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06160416A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153519A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Matsushita Electric Works Ltd | 加速度センサ |
| JP2009122113A (ja) * | 2008-12-22 | 2009-06-04 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 加速度センサの製造方法 |
| JP2009222687A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-01 | Kyocera Corp | 加速度センサ装置および加速度センサ装置の製造方法 |
-
1992
- 1992-11-24 JP JP31336292A patent/JPH06160416A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153519A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Matsushita Electric Works Ltd | 加速度センサ |
| JP2009222687A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-01 | Kyocera Corp | 加速度センサ装置および加速度センサ装置の製造方法 |
| JP2009122113A (ja) * | 2008-12-22 | 2009-06-04 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 加速度センサの製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000201 |