JP2009192517A - 変位検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 磁性移動体１がそのストローク方向に対して垂直な方向に位置ズレした場合であっても、磁気センサ２の出力ズレの影響を抑制することを課題とする。
【解決手段】 磁性固定体には、磁気センサ２の中心部を通る対称軸線を中心にして対称的な形状となるように、コの字状の断面を有する第１、第２分割ブロック６、７が配置されている。そして、磁性移動体１の第１端面と磁気センサ２との間には第１エアギャップ（Ｇ１）が形成され、また、磁性移動体１の第２端面と第１、第２分割ブロック６、７の各対向部１３、１４との間には第２エアギャップ（Ｇ２）が形成されている。これによって、仮に磁性移動体１がそのストローク方向に対して垂直な方向に位置ズレした場合であっても、第１エアギャップ（Ｇ１）と第２エアギャップ（Ｇ２）とが互いにギャップ長の増減を補い合うため、磁気センサ２の出力ズレの影響を抑制することができる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、２つの第１、第２磁性体間に非磁性体を有する移動体、あるいは磁性体よりなる移動体（磁性移動体）の移動方向への移動位置（移動量、ストローク量）を検出する変位検出装置に関するものである。

［従来の技術］
従来より、直線変位検出装置として、図１３および図１４に示したように、平板状の磁性固定体１０１に対して相対的に直線移動（直線変位）する磁性移動体１０２と、この磁性移動体１０２の移動方向の中央部において、磁性移動体１０２と対向するように配置されたホールＩＣ１０３と、磁性移動体１０２の移動方向の両端部において、磁性移動体１０２と対向するように配置された２つの第１、第２磁石１１１、１１２とを備えた磁気式ポテンショメータが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

磁性固定体１０１は、第１磁石１１１を経由して磁性移動体１０２とホールＩＣ１０３との間を結ぶ第１磁気回路（Ｊ１）、および第２磁石１１２を経由して磁性移動体１０２とホールＩＣ１０３との間を結ぶ第２磁気回路（Ｊ２）を形成する磁性固定プレートである。
そして、磁性固定体１０１の中央部には、磁性移動体１０２に近づく方向に突出した突出部１１３が設けられている。この突出部１１３の図示上端面は、ホールＩＣ１０３を搭載するＩＣ搭載面となっている。また、磁性固定体１０１の両側の図示上端面は、２つの第１、第２磁石１１１、１１２をそれぞれ取り付けるための磁石取付面となっている。
そして、２つの第１、第２磁石１１１、１１２は、磁性固定体１０１の磁石取付面に接する磁極面の極性が互いに異なるように着磁されている。

また、従来より、回転変位検出装置として、図１５および図１６に示したように、例えば電子スロットル装置等のバルブの回転角度を検出する非接触式の回転角度検出装置が知られている（例えば、特許文献２及び３参照）。
この回転角度検出装置は、図１５に示したように、モータの回転駆動力をバルブを支持するシャフトに伝達する動力伝達機構（歯車減速機構等）の最終減速ギヤ１０４の磁石保持部に固定された２つの第１、第２磁石１２１、１２２、これらの第１、第２磁石１２１、１２２によって磁化されるヨーク（磁性体）１２３、１２４、および例えばセンサカバー等の固定部材に配置されるホールＩＣ等によって構成されている。

また、回転角度検出装置は、図１６に示したように、動力伝達機構（歯車減速機構等）の最終減速ギヤ１０４の磁石保持部に固定された２つの第１、第２磁石１３１、１３２、これらの第１、第２磁石１３１、１３２によって磁化されるヨーク（磁性体：図示せず）、例えばセンサカバー等の固定部材に固定されるホールＩＣ１３３、およびこのホールＩＣ１３３を挟み込むステータ１３４、１３５等によって構成されている。
なお、最終減速ギヤ１０４は、例えば電子スロットル装置、特に回転角度検出装置の軽量化を図るという目的で樹脂化されている。また、最終減速ギヤ１０４は、ギヤ歯形状を形成するために略扇形形状となっている。

［従来の技術の不具合］
ところが、従来の直線変位検出装置においては、磁性移動体１０２をその移動方向に直線移動（ストローク）させることで、磁性移動体１０２と２つの第１、第２磁石１１１、１１２との間に形成される第２エアギャップ（Ｇ２）がストローク量に応じて変化し、ホールＩＣ１０３を通過する磁束量もストローク量に応じて変化するため、ホールＩＣ１０３よりストローク量に対応した出力が発生するように構成されている。
しかし、ホールＩＣ１０３の出力は、第２エアギャップ（Ｇ２）の２乗に反比例となるため、磁性移動体１０２のストローク量に対するホールＩＣ１０３の出力特性の直線性（リニアリティ）が悪いという問題がある。

また、従来の直線変位検出装置においては、磁性移動体１０２の移動方向に対して垂直な方向（図示上下方向）に磁性移動体１０２が位置ズレした場合、磁性移動体１０２とホールＩＣ１０３との間に形成される第１エアギャップ（Ｇ１）が変化してしまう。
これにより、磁性移動体１０２が図示上方に位置ズレした場合には、第１エアギャップ（Ｇ１）が大きくなり、ホールＩＣ１０３を通過する磁束量が小さくなってしまう。また、磁性移動体１０２が図示下方に位置ズレした場合には、第１エアギャップ（Ｇ１）が小さくなり、ホールＩＣ１０３を通過する磁束量が大きくなってしまう。
したがって、磁性移動体１０２がその移動方向に対して垂直方向に位置ズレした場合には、ストローク量に対するホールＩＣ１０３の出力特性に出力ズレが発生するという問題がある。

また、従来の回転変位検出装置（回転角度検出装置）においては、被検出部としての最終減速ギヤ１０４側に磁気回路を形成するための２つの第１、第２磁石１２１、１２２または２つの第１、第２磁石１３１、１３２を配置しているが、前述したように、最終減速ギヤ１０４が樹脂化されているので、２つの第１、第２磁石１２１、１２２または２つの第１、第２磁石１３１、１３２に樹脂成形圧が印加される。このため、２つの第１、第２磁石１２１、１２２または２つの第１、第２磁石１３１、１３２の割れや欠け等の不具合が発生し、製造上の歩留りが悪化するという問題がある。あるいはその問題を回避するために２つの第１、第２磁石１２１、１２２または２つの第１、第２磁石１３１、１３２を、最終減速ギヤ１０４を樹脂成形した後の後工程にて接着剤等にて最終減速ギヤ１０４の磁石保持部に組み付ける必要があり、コストが増加するという問題がある。

また、従来の回転変位検出装置を、例えば電子スロットル装置等のバルブの回転角度の検出に適用した場合、樹脂化により線膨張係数の差が増加することで、２つの第１、第２磁石１３１、１３２やヨーク等の被検出磁気回路が、最終減速ギヤ１０４の移動方向（回転方向）に対して垂直な方向（最終減速ギヤ１０４の径方向）に位置ズレする可能性がある。これにより、温度環境下で、２つの第１、第２磁石１３１、１３２やヨーク等の被検出磁気回路と、ホールＩＣ１３３との間に形成されるエアギャップ（Ｇ）が変動してしまうため、ホールＩＣ１３３を通過する磁束量が変化し、温度特性を悪化させるという問題がある。
特開平９−２３６６４４号公報 特許第３５９６６６７号公報 特開２００１−７４４０９号公報

本発明の目的は、移動体または磁性移動体の移動方向への移動位置に対する磁気センサの出力特性の直線性（リニアリティ）の悪化を抑制することで、移動体または磁性移動体の移動方向への移動位置の検出精度を向上させることのできる変位検出装置を提供することにある。また、移動体または磁性移動体がその移動方向に対して垂直な方向に位置ズレした場合であっても、磁気センサの出力ズレの影響を抑制することのできる変位検出装置を提供することにある。

請求項１に記載の発明によれば、２つの第１、第２磁石を、第１磁路を通る磁束の流れ方向と第２磁路を通る磁束の流れ方向とが互いに逆向きとなるように着磁している。そして、磁性固定体に、磁気センサの中心部を通る対称軸線を中心にして対称的な形状となるように、上記の対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置された２つの第１、第２分割部を設けている。そして、２つの第１、第２分割部に、磁性移動体に対してギャップを隔てて対向し、磁性移動体の移動方向に対して平行な対向面をそれぞれ設けている。

ここで、第１磁石より出て、磁性移動体および磁気センサを通過する磁束の量は、磁性固定体の第１分割部の対向面と磁性移動体とが、ギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向する対向面積の変化に対応して変更される。また、第２磁石より出て、磁性移動体および磁気センサを通過する磁束の量は、磁性固定体の第２分割部の対向面と磁性移動体とが、ギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向する対向面積の変化に対応して変更される。
これによって、磁性移動体の移動方向への移動位置に対する磁気センサの出力特性の直線性（リニアリティ）の悪化を抑制することが可能となるので、磁性移動体の移動方向への移動位置の検出精度を向上させることができる。

請求項２に記載の発明によれば、２つの第１、第２分割部は、磁性移動体をその移動方向に直線移動自在に収容する移動体収容空間を隔てて対向するように配置されている。
請求項３に記載の発明によれば、２つの第１、第２分割部は、少なくとも磁性移動体および磁気センサを（間に）挟んで対向するように配置されている。
請求項４に記載の発明によれば、２つの第１、第２分割部は、磁性移動体に対してギャップを隔てて対向する対向部をそれぞれ有している。これらの各対向部は、磁性移動体の移動方向に対して平行な方向に延ばされており、しかも所定の隙間を隔てて互いに対向するように配置されている。
請求項５に記載の発明によれば、２つの第１、第２分割部の各対向部は、磁性移動体と少しだけ重なり合うように、磁性移動体よりも磁気センサ側に対して逆側に配置されている。

請求項６に記載の発明によれば、２つの第１、第２磁石は、磁性移動体の移動方向の軸線よりも磁気センサ側に配置されている。これにより、２つの第１、第２磁石から放出された磁束が、磁性移動体および磁気センサを通過する。
請求項７に記載の発明によれば、磁気センサは、磁性移動体に対してギャップ（第１ギャップ：Ｇ１）を隔てて対向し、磁性移動体の移動方向に対して平行な感磁面を有している。
請求項８に記載の発明によれば、磁性移動体は、磁気センサ（の感磁面）に対してギャップ（第１ギャップ：Ｇ１）を隔てて対向し、磁性移動体の移動方向に対して平行な第１端面を有し、且つ２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向し、磁性移動体の移動方向に対して平行な第２端面を有している。
これによって、磁性移動体がその移動方向に対して垂直な方向に位置ズレした場合であっても、磁気センサ（の感磁面）と磁性移動体の第１端面との間に形成されるギャップ（第１ギャップ：Ｇ１）と２つの第１、第２分割部の各対向面と磁性移動体の第２端面との間に形成されるギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）とが互いにギャップ長の増減を補い合うため、磁気センサの出力ズレの影響を抑制することができる。

請求項９に記載の発明によれば、磁性固定体は、磁気センサの中心部を通る対称軸線上に、磁気センサを搭載するセンサ固定ブロックを有している。このセンサ固定ブロックは、第１磁石を取り付ける取付面（第１磁石取付面）、および第２磁石を取り付ける取付面（第２磁石取付面）を有している。
請求項１０に記載の発明によれば、２つの第１、第２磁石は、センサ固定ブロックの各取付面（第１、第２磁石取付面）に当接する側の磁極面の極性が互いに逆極性となるように、センサ固定ブロックに着磁（配置）されている。これにより、第１磁石から放出されて第１磁路を通る磁束の流れ方向と、第２磁石から放出されて第２磁路を通る磁束の流れ方向とが互いに逆向きとなる。

請求項１１に記載の発明によれば、２つの第１、第２磁石から放出された磁束が互いに逆方向に流れる２つの第１、第２磁気回路を備えている。
ここで、第１磁気回路とは、磁性移動体、磁気センサおよび磁性固定体の第１分割部を通過し、第１磁石から放出された磁束により形成される磁気回路のことである。また、第２磁気回路とは、磁性移動体、磁気センサおよび磁性固定体の第２分割部を通過し、第２磁石から放出された磁束により形成される磁気回路のことである。

請求項１２に記載の発明によれば、２つの第１、第２分割部の各対向面は、磁性移動体に対してギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向し、磁性移動体の移動方向に対して平行な平面（平坦面）である。また、磁性移動体は、２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向する平面（平坦面、平面形状の第２端面）を有する直方体形状に形成されている。
請求項１３に記載の発明によれば、磁性固定体は、磁気センサの中心部を通る対称軸線上に、磁気センサを搭載するセンサ固定ブロックを有している。このセンサ固定ブロックは、磁性移動体に対してギャップを隔てて対向し、磁性移動体の移動方向に対して平行な対向面を有している。そして、センサ固定ブロックの対向面は、磁性移動体に対してギャップ（第１ギャップ：Ｇ１）を隔てて対向し、磁性移動体の移動方向に対して平行な平面（平坦面）である。

請求項１４に記載の発明によれば、２つの第１、第２分割部の各対向面は、磁性移動体の中心軸線を中心とする曲率半径の曲面（湾曲面）である。また、磁性移動体は、２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向する曲面（湾曲面、曲面形状の第２端面）を有する円柱形状に形成されている。
この場合には、磁性移動体が仮に磁性移動体の中心軸線を中心にして揺動運動を行っても、２つの第１、第２分割部の各対向面（曲面）と磁性移動体の曲面とがギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向する対向面積が、変化しない。
これによって、磁性移動体の移動方向への移動位置に対する磁気センサの出力特性の直線性（リニアリティ）が良好となり、ギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）が狭くなる方向、あるいはギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）が広くなる方向に位置ズレした場合でも出力ズレを小さくすることができる。
請求項１５に記載の発明によれば、磁性固定体は、磁気センサの中心部を通る対称軸線上に、磁気センサを搭載するセンサ固定ブロックを有している。このセンサ固定ブロックは、磁性移動体に対してギャップを隔てて対向し、磁性移動体の移動方向に対して平行な対向面を有している。そして、センサ固定ブロックの対向面は、磁性移動体の中心軸線を中心とする曲率半径の曲面（湾曲面）である。

請求項１６に記載の発明によれば、２つの第１、第２磁石を、第１磁路を通る磁束の流れ方向と第２磁路を通る磁束の流れ方向とが互いに逆向きとなるように着磁している。そして、磁性固定体に、磁気センサの中心部を通る対称軸線を中心にして対称的な形状となるように、上記の対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置された２つの第１、第２分割部を設けている。そして、２つの第１、第２分割部に、移動体に設けられる磁性体に対してギャップを隔てて対向し、移動体の移動方向に対して平行な対向面をそれぞれ設けている。

ここで、第１磁石より出て、移動体に設けられる磁性体および磁気センサを通過する磁束の量は、磁性固定体の第１分割部の対向面と移動体に設けられる磁性体とが、ギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向する対向面積の変化に対応して変更される。また、第２磁石より出て、移動体に設けられる磁性体および磁気センサを通過する磁束の量は、磁性固定体の第２分割部の対向面と移動体に設けられる磁性体とが、ギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向する対向面積の変化に対応して変更される。
これによって、移動体の移動方向への移動位置に対する磁気センサの出力特性の直線性（リニアリティ）の悪化を抑制することが可能となるので、移動体の移動方向への移動位置の検出精度を向上させることができる。

請求項１７に記載の発明によれば、２つの第１、第２分割部の各対向面は、移動体に設けられる磁性体に対してギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向し、移動体の移動方向に対して平行な平面（平坦面）である。また、移動体に設けられる磁性体は、２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向し、移動体の移動方向に対して平行な平面（平坦面、平面形状の第２端面）を有する直方体形状に形成されている。
請求項１８に記載の発明によれば、磁性固定体は、磁気センサの中心部を通る対称軸線上に、磁気センサを搭載するセンサ固定ブロックを有している。このセンサ固定ブロックは、移動体に設けられる磁性体に対してギャップを隔てて対向し、移動体の移動方向に対して平行な対向面を有している。そして、センサ固定ブロックの対向面は、移動体に設けられる磁性体に対してギャップ（第１ギャップ：Ｇ１）を隔てて対向し、移動体の移動方向に対して平行な平面（平坦面）である。

請求項１９に記載の発明によれば、２つの第１、第２分割部の各対向面は、移動体に設けられる磁性体の中心軸線を中心とする曲率半径の曲面（湾曲面）である。また、移動体に設けられる磁性体は、２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向する曲面（湾曲面、曲面形状の第２端面）を有する円柱形状に形成されている。
この場合には、移動体が仮に移動体に設けられる磁性体の中心軸線を中心にして揺動運動を行っても、２つの第１、第２分割部の各対向面（曲面）と移動体に設けられる磁性体の曲面とがギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向する対向面積が、変化しない。 これによって、移動体の移動方向への移動位置に対する磁気センサの出力特性の直線性（リニアリティ）が良好となり、ギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）が狭くなる方向、あるいはギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）が広くなる方向に位置ズレした場合でも出力ズレを小さくすることができる。

請求項２０に記載の発明によれば、磁性固定体は、磁気センサの中心部を通る対称軸線上に、磁気センサを搭載するセンサ固定ブロックを有している。このセンサ固定ブロックは、移動体に設けられる磁性体に対してギャップを隔てて対向し、移動体の移動方向に対して平行な対向面を有している。そして、センサ固定ブロックの対向面は、移動体に設けられる磁性体の中心軸線を中心とする曲率半径の曲面（湾曲面）である。
請求項２１に記載の発明によれば、移動体は、２つの第１、第２磁性体間に非磁性体を有している。すなわち、２つの第１、第２磁性体（例えば鉄等の磁性材料）と、非磁性体（例えばアルミニウム、ステンレス、銅、黄銅、合成樹脂、セラミックス等の非磁性材料）とを機械的結合によって結合することで、移動体を製造することができる。

請求項２２に記載の発明によれば、移動体に設けられる磁性体は、磁気センサ（の感磁面）に対してギャップ（第１ギャップ：Ｇ１）を隔てて対向し、移動体の移動方向に対して平行な第１端面を有し、且つ２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向し、移動体の移動方向に対して平行な第２端面を有している。
これによって、移動体がその移動方向に対して垂直な方向に位置ズレした場合であっても、磁気センサ（の感磁面）と移動体に設けられる磁性体の第１端面との間に形成されるギャップ（第１ギャップ：Ｇ１）と２つの第１、第２分割部の各対向面と移動体に設けられる磁性体の第２端面との間に形成されるギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）とが互いにギャップ長の増減を補い合うため、磁気センサの出力ズレの影響を抑制することができる。

請求項２３に記載の発明によれば、２つの第１、第２磁石を、第１磁路を通る磁束の流れ方向と第２磁路を通る磁束の流れ方向とが互いに逆向きとなるように着磁している。そして、磁性固定体に、磁気センサの中心部を通る対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置された２つの第１、第２分割部を設けている。そして、２つの第１、第２分割部に、移動体に設けられる磁性体に対してギャップを隔てて対向し、移動体の移動方向（回転方向、回転軌跡）に沿って湾曲した対向面（移動体の移動方向に対して平行な対向面）をそれぞれ設けている。

ここで、第１磁石より出て、移動体に設けられる磁性体および磁気センサを通過する磁束の量は、磁性固定体の第１分割部の対向面と移動体に設けられる磁性体とが、ギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向する対向面積の変化に対応して変更される。また、第２磁石より出て、移動体に設けられる磁性体および磁気センサを通過する磁束の量は、磁性固定体の第２分割部の対向面と移動体に設けられる磁性体とが、ギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向する対向面積の変化に対応して変更される。
これによって、移動体の移動方向（回転方向）への移動位置（回転位置、回転変位量）に対する磁気センサの出力特性の直線性（リニアリティ）の悪化を抑制することが可能となるので、移動体の移動方向（回転方向）への移動位置（回転位置、回転変位量）の検出精度を向上させることができる。

請求項２４に記載の発明によれば、２つの第１、第２分割部の各対向面は、磁性固定体に保持固定される磁気センサの中心部付近を中心とする曲率半径の凹曲面（湾曲面）である。また、移動体に設けられる磁性体は、２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向し、移動体の移動方向に沿って湾曲した凸曲面（湾曲面、曲面形状の第２端面）を有する部分円筒形状に形成されている。
請求項２５に記載の発明によれば、磁性固定体は、磁気センサの中心部を通る対称軸線上に、磁気センサを搭載するセンサ固定ブロックを有している。このセンサ固定ブロックは、移動体に設けられる磁性体に対してギャップを隔てて対向し、移動体の移動方向に沿って湾曲した対向面（移動体の移動方向に対して平行な対向面）を有している。そして、センサ固定ブロックの対向面は、磁性固定体に保持固定される磁気センサの中心部付近を中心とする曲率半径の凸曲面（湾曲面）である。

請求項２６に記載の発明によれば、移動体に設けられる磁性体は、磁気センサ（の感磁面）に対してギャップ（第１ギャップ：Ｇ１）を隔てて対向し、移動体の移動方向に沿って湾曲した凹曲面（移動体の移動方向に対して平行な凹曲面、第１端面）を有し、且つ２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向し、移動体の移動方向に沿って湾曲した凸曲面（移動体の移動方向に対して平行な凸曲面、第２端面）を有している。
これによって、移動体がその移動方向（回転方向、回転軌跡）に対して垂直な方向に位置ズレした場合であっても、磁気センサ（の感磁面）と移動体に設けられる磁性体の凹曲面（第１端面）との間に形成されるギャップ（第１ギャップ：Ｇ１）と２つの第１、第２分割部の各対向面と移動体に設けられる磁性体の凸曲面（第２端面）との間に形成されるギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）とが互いにギャップ長の増減を補い合うため、磁気センサの出力ズレの影響を抑制することができる。
請求項２７に記載の発明によれば、移動体に設けられる磁性体は、移動体の移動方向（回転方向、回転軌跡）に沿って円弧状に延びる部分円筒形状に形成されている。

本発明を実施するための最良の形態は、移動体または磁性移動体の移動方向への移動位置の検出精度を向上させるという目的を、移動体または磁性移動体の移動方向への移動位置に対する磁気センサの出力特性の直線性（リニアリティ）の悪化を抑制することで実現した。また、移動体または磁性移動体がその移動方向に対して垂直な方向に位置ズレした場合であっても、磁気センサの出力ズレの影響を抑制するという目的を、移動体に設けられる磁性体または磁性移動体に、磁気センサの感磁面に対してギャップ（第１ギャップ：Ｇ１）を隔てて対向する第１端面、凹曲面、および磁性固定体の２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップ（第２ギャップ：Ｇ２）を隔てて対向する第２端面、凸曲面を設けたことで実現した。

［実施例１の構成］
図１および図２は本発明の実施例１を示したもので、図１は直線変位検出装置を示した図である。

本実施例の内燃機関（以下エンジンと言う）には、その可変動弁機構のコントロールシャフトの直線変位（直線運動、直動）を検出する直線変位検出装置が取り付けられている。この直線変位検出装置は、可変動弁機構のコントロールシャフトの移動方向への直線変位に伴って移動方向（ストローク方向）に直線移動する移動体（磁性体よりなる移動体：以下磁性移動体と言う）１と、この磁性移動体１と対向するように配置された磁気センサ２と、磁性移動体１および磁気センサ２に向かって磁束を放出する２つの第１、第２磁石（マグネット）３、４と、磁気センサ２および２つの第１、第２マグネット３、４を保持固定する磁性固定体とを備えている。
ここで、磁性固定体は、エンジンの近傍に固定された磁性固定ブロックであって、磁気センサ２を搭載（保持固定）するセンサ固定ブロック５、および磁気センサ２の中心部を通る対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置された２つの第１、第２分割ブロック６、７を有している。

直線変位検出装置は、磁性移動体１、磁気センサ２、２つの第１、第２マグネット３、４および磁性固定体によって、２つの第１、第２マグネット３、４から放出された磁束が互いに逆方向に流れる２つの第１、第２磁気回路（Ｊ１、Ｊ２）が形成される。
磁性移動体１は、図示左端から図示右端に至るまで全て鉄等の磁性材料（磁性体）によって形成された移動磁性体（磁性移動ブロック）である。この磁性移動体１は、直方体形状に形成されて、磁気センサ２の感磁面との間に第１エアギャップ（エアギャップ１：Ｇ１）を隔てて対向する平面形状の第１端面（図示下端面）、および磁性固定体の２つの第１、第２分割ブロック６、７の各対向面との間に第２エアギャップ（エアギャップ２：Ｇ２）を隔てて対向する平面形状の第２端面（図示上端面）を有している。

本実施例の磁気センサ２は、磁性移動体１の第１端面に対して第１エアギャップ（Ｇ１）を隔てて対向し、磁性移動体１のストローク方向の軸線に対して平行な感磁面（一方の感磁面）を有している。この磁気センサ２は、他方の感磁面が、センサ固定ブロック５のセンサ搭載面に当接するように、センサ搭載面上に搭載されている。そして、磁気センサ２は、２つの第１、第２マグネット３、４より放出された磁束を検出するホールＩＣを有している。また、磁気センサ２は、ホールＩＣを鎖交する磁束密度に応じて出力が変化する非接触式の磁気検出素子を構成するホール素子と、このホール素子の出力を増幅する増幅回路とを一体化したＩＣ（集積回路）であって、ホールＩＣを鎖交する磁束密度に対応した電圧信号（出力信号）を発生する。これにより、磁気センサ２からは、エンジン制御ユニット（エンジン制御装置：ＥＣＵ）に向けてセンサ出力電圧が出力される。

２つの第１、第２マグネット３、４は、磁気センサ２の中心部を通る対称軸線を中心にして対称的な位置関係となるように、その対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置されている。これらの第１、第２マグネット３、４は、磁性固定体に形成される第１磁路を通る磁束の流れ方向と磁性固定体に形成される第２磁路を通る磁束の流れ方向とが互いに逆向きとなるように着磁されている。また、２つの第１、第２マグネット３、４は、磁性固定体のセンサ固定ブロック５の各第１、第２磁石取付面に当接する側の磁極面の極性が互いに逆極性となるように着磁されている。

２つの第１、第２マグネット３、４は、磁性移動体１のストローク方向の軸線よりも磁気センサ側に配置されている。
第１マグネット３は、センサ固定ブロック５の第１磁石取付面と第１分割ブロック６の第１磁石取付面との間に形成されるギャップに配置されている。具体的には、センサ固定ブロック５の第１磁石取付面および第１分割ブロック６の第１磁石取付面に接着剤等の固定手段を用いて第１マグネット３が保持固定されている。
第２マグネット４は、センサ固定ブロック５の第２磁石取付面と第２分割ブロック７の第２磁石取付面との間に形成されるギャップに配置されている。具体的には、センサ固定ブロック５の第２磁石取付面および第２分割ブロック７の第２磁石取付面に接着剤等の固定手段を用いて第２マグネット４が保持固定されている。
そして、２つの第１、第２マグネット３、４は、平面形状が長方形状（または正方形状）で、例えばサマリウム−コバルト（Ｓｍ−Ｃｏ）磁石、ネオジウム（Ｎｄ）磁石等の希土類磁石、アルニコ磁石、フェライト磁石、樹脂磁石が用いられ、長期間磁力を安定して発生し続ける直方体形状の永久磁石である。

磁性固定体は、鉄等の磁性材料によって形成された固定磁性体である。この磁性固定体は、図示しない固定部材に固定されたセンサ固定ブロック５、およびこのセンサ固定ブロック５と共に２つの第１、第２磁路を形成する２つの第１、第２分割ブロック６、７を有している。
センサ固定ブロック５は、直方体形状に形成されて、磁気センサ２の中心部を通る対称軸線上に配置されている。このセンサ固定ブロック５は、磁気センサ２を搭載する平面状のセンサ搭載面、第１マグネット３を取り付ける平面状の第１磁石取付面、および第２マグネット４を取り付ける平面状の第２磁石取付面を有している。そして、センサ固定ブロック５は、磁気センサ２を搭載するセンサ搭載面と第１マグネット３を取り付ける第１磁石取付面との間を結ぶ第１磁路が形成される。また、センサ固定ブロック５は、磁気センサ２を搭載するセンサ搭載面と第２マグネット４を取り付ける第２磁石取付面との間を結ぶ第２磁路が形成される。

２つの第１、第２分割ブロック６、７は、コの字状の断面を有し、磁気センサ２の中心部を通る対称軸線を中心にして対称的な形状となるように、その対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置されている。これらの第１、第２分割ブロック６、７は、磁性移動体１をそのストローク方向に直線移動自在に収容する移動体収容空間９を隔てて対向するように配置されている。また、２つの第１、第２分割ブロック６、７は、磁性移動体１、磁気センサ２、２つの第１、第２マグネット３、４およびセンサ固定ブロック５を間に挟んで対向するように配置されている。

２つの第１、第２分割ブロック６、７は、磁性移動体１のストローク方向の軸線よりも２つの第１、第２マグネット側に、磁性移動体１のストローク方向の軸線に対して平行な方向に、しかも互いに接近するように突出した突出部１１、１６を有している。これらの突出部１１、１６には、２つの第１、第２マグネット３、４の磁極面に当接する２つの第１、第２磁石取付面がそれぞれ形成されている。これらの第１、第２磁石取付面は、磁性移動体１のストローク方向の軸線に対して垂直な方向に延びている。

また、２つの第１、第２分割ブロック６、７は、磁性移動体１のストローク方向の両側に、磁性移動体１のストローク方向の軸線に対して垂直な方向に延びる垂直部１２、１５を有している。
また、２つの第１、第２分割ブロック６、７は、磁性移動体１のストローク方向の軸線よりも２つの第１、第２マグネット側に対して逆側に、磁性移動体１の第２端面に対して第２エアギャップ（Ｇ２）を隔てて対向するように配置されて、磁性移動体１のストローク方向の軸線に対して平行な方向に延びる対向部（延長部）１３、１４を有している。これらの第１、第２分割ブロック６、７の各対向部１３、１４は、所定の隙間（磁性移動体１のストローク方向の隙間：ギャップ）を隔てて互いに対向するように配置されている。

そして、２つの第１、第２分割ブロック６、７の各対向部１３、１４は、磁性移動体１と少しだけ重なり合うように配置されている。また、２つの第１、第２分割ブロック６、７の各対向部１３、１４は、磁性移動体１の第２端面に対して第２エアギャップ（Ｇ２）を隔てて対向し、磁性移動体１のストローク方向の軸線に対して平行な対向面をそれぞれ有している。
そして、第１分割ブロック６は、第１マグネット３を取り付ける第１磁石取付面と磁性移動体１の第２端面に対向する対向面との間を結ぶ第１磁路が形成される。また、第２分割ブロック７は、第２マグネット４を取り付ける第２磁石取付面と磁性移動体１の第２端面に対向する対向面との間を結ぶ第２磁路が形成される。

第１磁気回路（Ｊ１）は、磁性移動体１、磁気センサ２および磁性固定体（センサ固定ブロック５、第１分割ブロック６）を通過し、第１マグネット３から放出された磁束により形成される。この第１磁気回路（Ｊ１）は、センサ固定ブロック５に形成される、磁気センサ２と第１マグネット３との間を結ぶ第１磁路、および第１分割ブロック６に形成される、第１マグネット３と磁性移動体１との間を結ぶ第１磁路を含んでいる。
これにより、第１マグネット３の磁極面（Ｎ極）から出た磁束は、第１分割ブロック６（突出部１１→垂直部１２→対向部１３）→第２エアギャップ（Ｇ２）→磁性移動体１→第１エアギャップ（Ｇ１）→磁気センサ２（ホールＩＣ）→センサ固定ブロック５の経路で第１マグネット３の磁極面（Ｓ極）に戻る。

第２磁気回路（Ｊ２）は、磁性移動体１、磁気センサ２および磁性固定体（センサ固定ブロック５、第２分割ブロック７）を通過し、第２マグネット４から放出された磁束により形成される。この第２磁気回路（Ｊ２）は、センサ固定ブロック５に形成される、磁気センサ２と第２マグネット４との間を結ぶ第２磁路、および第２分割ブロック７に形成される、第２マグネット４と磁性移動体１との間を結ぶ第２磁路を含んでいる。
これにより、第２マグネット４の磁極面（Ｎ極）から出た磁束は、センサ固定ブロック５→磁気センサ２（ホールＩＣ）→第１エアギャップ（Ｇ１）→磁性移動体１→第２エアギャップ（Ｇ２）→第２分割ブロック７（対向部１４→垂直部１５→突出部１６）の経路で第２マグネット４の磁極面（Ｓ極）に戻る。
したがって、本実施例の直線変位検出装置は、２つの第１、第２マグネット３、４の各磁極面（Ｎ極）から放出された磁束が、２つの第１、第２磁気回路（Ｊ１、Ｊ２）を互いに逆方向に流れる。

［実施例１の検出方法］
次に、本実施例の直線変位検出装置の検出方法を図１および図２に基づいて簡単に説明する。ここで、図２は、磁気センサを通過する磁束量に対する磁性移動体のストローク量を示した特性図である。

可変動弁機構のコントロールシャフトがその軸線方向に移動すると、コントロールシャフトに連結された磁性移動体１がそのストローク方向に直線移動する。
このとき、磁性移動体１のストローク量に応じて、磁性移動体１の第２端面と磁性固定体の第１分割ブロック６の対向部１３の対向面とが対向する対向面積が変化する。また、磁性移動体１のストローク量に応じて、磁性移動体１の第２端面と磁性固定体の第２分割ブロック７の対向部１４の対向面とが対向する対向面積が変化する。

そして、第１マグネット３の磁極面（Ｎ極）より出て、第１磁気回路（Ｊ１：磁性移動体１および磁気センサ２）を通過する磁束の量は、磁性移動体１の第２端面と第１分割ブロック６の対向部１３の対向面との対向面積の変化に対応して変更される。また、第２マグネット４の磁極面（Ｎ極）より出て、第２磁気回路（Ｊ２：磁気センサ２および磁性移動体１）を通過する磁束の量は、磁性移動体１の第２端面と第２分割ブロック７の対向部１４の対向面との対向面積の変化に対応して変更される。

ここで、本実施例の直線変位検出装置においては、第１磁路を含む第１磁気回路（Ｊ１）を通過する磁束の流れ方向と第２磁路を含む第２磁気回路（Ｊ２）を通過する磁束の流れ方向とが互いに逆向きとなるように、すなわち、２つの第１、第２マグネット３、４の磁極面（センサ固定ブロック５に当接する側の磁極面）の極性が互いに逆極性となるように磁性固定体に配置されている。
なお、磁性移動体１の初期位置（図１の位置）から最大移動位置に至るまでの最大ストローク量を例えば８ｍｍとする。

したがって、磁性移動体１のストローク量が小さい時（例えば０ｍｍの時）には、図１に示したように、磁性移動体１が移動体収容空間９内において図示左寄りに配置される。これにより、磁性移動体１の第２端面と第１分割ブロック６の対向部１３の対向面との対向面積の方が、磁性移動体１の第２端面と第２分割ブロック７の対向部１４の対向面との対向面積よりも広くなるので、第１マグネット３の磁束の影響が強くなる。このため、図２のグラフに示したように、磁気センサ２（ホールＩＣ）が正の方向の磁束の量（または磁束密度）を検出する。この結果、磁気センサ２（ホールＩＣ）の出力信号（センサ信号）は、磁性移動体１の第２端面と第１分割ブロック６の対向部１３の対向面との対向面積に対応した正の電圧信号となる。

また、磁性移動体１のストローク量が大きい時（例えば８ｍｍの時）には、磁性移動体１が移動体収容空間９内において図示右寄りに配置される。これにより、磁性移動体１の第２端面と第１分割ブロック６の対向部１３の対向面との対向面積よりも、磁性移動体１の第２端面と第２分割ブロック７の対向部１４の対向面との対向面積の方が広くなるので、第２マグネット４の磁束の影響が強くなる。このため、図２のグラフに示したように、磁気センサ２（ホールＩＣ）が負の方向の磁束の量（または磁束密度）を検出する。この結果、磁気センサ２（ホールＩＣ）の出力信号（センサ信号）は、磁性移動体１の第２端面と第２分割ブロック７の対向部１４の対向面との対向面積に対応した負の電圧信号となる。

また、磁性移動体１のストローク量が例えば４ｍｍの時には、磁性移動体１が移動体収容空間９内において中央位置に配置される。この場合には、磁性移動体１の第２端面と第１分割ブロック６の対向部１３の対向面との対向面積が、磁性移動体１の第２端面と第２分割ブロック７の対向部１４の対向面との対向面積と同じ広さになるので、第１マグネット３から放出された磁束と第２マグネット４から放出された磁束とが相殺される。このため、磁気センサ２（ホールＩＣ）が検出する磁束の量（または磁束密度）は、図２のグラフに示したように、ゼロ（０）になる。この結果、磁気センサ２（ホールＩＣ）の出力信号（センサ信号）は、ゼロ（０）となる。
そして、ＥＣＵは、磁気センサ２（ホールＩＣ）より出力される電圧信号に基づいて、コントロールシャフトの直線変位量（ストローク量）を算出し、このストローク量に基づいてエンジンの吸気バルブ（または排気バルブ）のバルブリフト量を算出する。

［実施例１の効果］
以上のように、本実施例の直線変位検出装置においては、第１磁路を含む第１磁気回路（Ｊ１）を通過する磁束の流れ方向と第２磁路を含む第２磁気回路（Ｊ２）を通過する磁束の流れ方向とが互いに逆向きとなるように、２つの第１、第２マグネット３、４が着磁されている。すなわち、２つの第１、第２マグネット３、４は、各磁極面（センサ固定ブロック５に当接する側の磁極面）の極性が互いに逆極性となるように、磁性固定体の各ギャップに配置（着磁）されている。
そして、磁性固定体（磁性固定ブロック）に対して相対的に直線変位する磁性移動体１は、検出対象物としての可変動弁機構のコントロールシャフトに連結されている。

また、磁性固定体は、センサ固定ブロック５および２つの第１、第２分割ブロック６、７等を有している。そして、センサ固定ブロック５のセンサ搭載面上には、磁気センサ２が搭載されている。また、２つの第１、第２分割ブロック６、７は、磁気センサ２の中心部を通る対称軸線を中心にして対称的な形状となるように、磁気センサ２の中心部を通る対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置されている。また、２つの第１、第２分割ブロック６、７には、磁性移動体１の第２端面に対して第２エアギャップ（Ｇ２）を隔てて対向する対向部１３、１４が設けられている。これらの対向部１３、１４の図示下端面には、磁性移動体１の第２端面に対して第２エアギャップ（Ｇ２）を隔てて対向し、磁性移動体１のストローク方向に対して平行な対向面がそれぞれ形成されている。そして、２つの第１、第２分割ブロック６、７の各対向部１３、１４は、磁性移動体１と少しだけ重なり合うように、磁性移動体１よりも磁気センサ側に対して逆側に配置されている。

ここで、第１マグネット３の磁極面（Ｎ極）より出て、第１磁気回路（Ｊ１：磁性移動体１および磁気センサ２）を通過する磁束の量は、磁性固定体の第１分割ブロック６の対向部１３の対向面と磁性移動体１の第２端面とが、第２エアギャップ（Ｇ２）を隔てて対向する対向面積の変化に対応して変更される。また、第２マグネット４の磁極面（Ｎ極）より出て、第２磁気回路（Ｊ２：磁気センサ２および磁性移動体１）を通過する磁束の量は、第２分割ブロック７の対向部１４の対向面と磁性移動体１の第２端面とが、第２エアギャップ（Ｇ２）を隔てて対向する対向面積の変化に対応して変更される。

これによって、本実施例の直線変位検出装置においては、２つの第１、第２分割ブロック６、７の各対向部１３、１４の対向面と磁性移動体１の第２端面とが対向する対向面積を、磁性移動体１のストローク方向へのストローク量に応じて比例的に変化させることにより、磁性移動体１を介して磁気センサ２（ホールＩＣ）を通過する磁束の量を直線的に変化させることが可能となる。これにより、磁性移動体１のストローク方向へのストローク量に応じて、磁気センサ２より出力される出力信号が直線的に変化する。
したがって、磁性移動体１のストローク方向へのストローク量に対する磁気センサ２の出力特性の直線性（リニアリティ）の悪化を抑制することが可能となるので、磁性移動体１のストローク方向へのストローク量の検出精度を向上させることができる。

そして、磁性移動体１の第１端面と磁気センサ２の感磁面との間には、所定のギャップ長を有する第１エアギャップ（Ｇ１）が形成されている。また、磁性移動体１の第２端面と２つの第１、第２分割ブロック６、７の各対向部１３、１４の対向面との間には、所定のギャップ長を有する第２エアギャップ（Ｇ２）が形成されている。
これによって、仮に磁性移動体１がそのストローク方向に対して垂直な方向（図１における位置ズレ方向）に位置ズレした場合であっても、第１エアギャップ（Ｇ１）と第２エアギャップ（Ｇ２）とが互いにギャップ長の増減を補い合うため、磁気センサ２の出力ズレの影響を抑制することができる。例えば第１エアギャップ（Ｇ１）が大きくなると、その分だけ第２エアギャップ（Ｇ２）が小さくなる。逆に、第１エアギャップ（Ｇ１）が小さくなると、その分だけ第２エアギャップ（Ｇ２）が大きくなる。

図３は本発明の実施例２を示したもので、直線変位検出装置を示した図である。
本実施例の直線変位検出装置は、実施例１と同様に、磁性移動体（磁性移動ブロック）１、磁気センサ２、２つの第１、第２マグネット３、４および磁性固定体（磁性固定ブロック）を備えている。

本実施例の磁性移動体１は、実施例１と同様にして、鉄等の磁性体（磁性材料）よりなる移動体であって、可変動弁機構のコントロールシャフトの移動方向への直線変位に伴って移動方向（ストローク方向）に直線移動する。
また、本実施例の磁性固定体は、横Ｅ字状の断面を有するセンサ固定ブロック５、および逆Ｌ字状の断面を有する２つの第１、第２分割ブロック６、７を有している。
センサ固定ブロック５は、磁性移動体１のストローク方向の軸線に対して平行な方向に延びるベース部１９を有している。このベース部１９の中央部には、図示上方に突出したセンサ固定部２０が一体的に設けられている。このセンサ固定部２０は、直方体形状に形成されて、磁気センサ２の中心部を通る対称軸線上に配置されている。そして、センサ固定部２０は、その図示上端面が、磁気センサ２を搭載する平面状のセンサ搭載面とされている。

ベース部１９の両端部には、図示上方に突出した２つの第１、第２磁石取付部２１、２２が一体的に設けられている。これらの第１、第２磁石取付部２１、２２は、磁気センサ２の中心部を通る対称軸線を中心にして対称的な形状（または位置関係）となるように、磁気センサ２の中心部を通る対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置されている。そして、２つの第１、第２磁石取付部２１、２２は、その図示上端面が、第１マグネット３を取り付ける平面状の第１磁石取付面、および第２マグネット４を取り付ける平面状の第２磁石取付面とされている。
ここで、本実施例のセンサ固定ブロック５は、磁気センサ２を搭載するセンサ搭載面と第１マグネット３を取り付ける第１磁石取付面との間を結ぶ第１磁路が形成される。また、センサ固定ブロック５は、磁気センサ２を搭載するセンサ搭載面と第２マグネット４を取り付ける第２磁石取付面との間を結ぶ第２磁路が形成される。

２つの第１、第２分割ブロック６、７は、磁気センサ２の中心部を通る対称軸線を中心にして対称的な形状となるように、その対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置されている。これらの第１、第２分割ブロック６、７は、実施例１と同様に、磁性移動体１をそのストローク方向に直線移動自在に収容する移動体収容空間９を隔てて対向するように配置されている。また、２つの第１、第２分割ブロック６、７は、磁性移動体１、磁気センサ２およびセンサ固定ブロック５のセンサ固定部２０を間に挟んで対向するように配置されている。

２つの第１、第２分割ブロック６、７は、磁性移動体１のストローク方向の両側に、磁性移動体１のストローク方向の軸線に対して垂直な方向に延びる垂直部１２、１５を有している。これらの垂直部１２、１５の図示下端面には、２つの第１、第２マグネット３、４の磁極面に当接する２つの第１、第２磁石取付面がそれぞれ形成されている。これらの第１、第２磁石取付面は、磁性移動体１のストローク方向の軸線に対して平行な方向に延びている。

また、２つの第１、第２分割ブロック６、７は、実施例１と同様に、対向部１３、１４を有している。また、２つの第１、第２分割ブロック６、７の各対向部１３、１４は、磁性移動体１の第２端面に対して第２エアギャップ（Ｇ２）を隔てて対向し、磁性移動体１のストローク方向の軸線に対して平行な対向面をそれぞれ有している。
そして、第１分割ブロック６は、第１マグネット３を取り付ける第１磁石取付面と磁性移動体１の第２端面に対向する対向面との間を結ぶ第１磁路が形成される。また、第２分割ブロック７は、第２マグネット４を取り付ける第２磁石取付面と磁性移動体１の第２端面に対向する対向面との間を結ぶ第２磁路が形成される。

第１磁気回路（Ｊ１）は、磁性移動体１、磁気センサ２および磁性固定体（センサ固定ブロック５、第１分割ブロック６）を通過し、第１マグネット３から放出された磁束により形成される。この第１磁気回路（Ｊ１）は、センサ固定ブロック５に形成される、磁気センサ２と第１マグネット３との間を結ぶ第１磁路、および第１分割ブロック６に形成される、第１マグネット３と磁性移動体１との間を結ぶ第１磁路を含んでいる。
これにより、第１マグネット３の磁極面（Ｎ極）から出た磁束は、第１分割ブロック６（垂直部１２→対向部１３）→第２エアギャップ（Ｇ２）→磁性移動体１→第１エアギャップ（Ｇ１）→磁気センサ２（ホールＩＣ）→センサ固定ブロック５（センサ固定部２０→ベース部１９→第１磁石取付部２１）の経路で第１マグネット３の磁極面（Ｓ極）に戻る。

第２磁気回路（Ｊ２）は、磁性移動体１、磁気センサ２および磁性固定体（センサ固定ブロック５、第２分割ブロック７）を通過し、第２マグネット４から放出された磁束により形成される。この第２磁気回路（Ｊ２）は、センサ固定ブロック５に形成される、磁気センサ２と第２マグネット４との間を結ぶ第２磁路、および第２分割ブロック７に形成される、第２マグネット４と磁性移動体１との間を結ぶ第２磁路を含んでいる。
これにより、第２マグネット４の磁極面（Ｎ極）から出た磁束は、センサ固定ブロック５（第２磁石取付部２２→ベース部１９→センサ固定部２０）→磁気センサ２（ホールＩＣ）→第１エアギャップ（Ｇ１）→磁性移動体１→第２エアギャップ（Ｇ２）→第２分割ブロック７（対向部１４→垂直部１５）の経路で第２マグネット４の磁極面（Ｓ極）に戻る。
これによって、実施例１と同様の効果を達成することができる。

図４は本発明の実施例３を示したもので、直線変位検出装置を示した図である。
本実施例の直線変位検出装置は、磁気センサ２、２つの第１、第２マグネット３、４、磁性固定体（磁性固定ブロック）および２つの第１、第２磁性体３１、３２を有する移動体（可動体）１０を備えている。

本実施例の移動体１０は、直方体形状に形成されており、２つの第１、第２磁性体３１、３２間に非磁性体３３を有している。
第１磁性体３１は、鉄等の磁性材料によって形成された第１磁性移動体であって、磁気センサ２の感磁面に結合された磁性体（磁性固定体、磁性固定ブロック）１７との間に第１エアギャップ（Ｇ１）を隔てて対向する平面形状の第１端面（平面、平坦面、図示下端面）、および磁性固定体の第１分割ブロック６の対向部１３の対向面との間に第２エアギャップ（Ｇ２）を隔てて対向する平面形状の第２端面（平面、平坦面、図示上端面）を有している。

第２磁性体３２は、鉄等の磁性材料によって形成された第２磁性移動体であって、磁気センサ２の感磁面に結合された磁性体１７との間に第１エアギャップ（Ｇ１）を隔てて対向する平面形状の第１端面（平面、平坦面、図示下端面）、および磁性固定体の第２分割ブロック７の対向部１４の対向面との間に第２エアギャップ（Ｇ２）を隔てて対向する平面形状の第２端面（平面、平坦面、図示上端面）を有している。
非磁性体３３は、例えばアルミニウム、ステンレス、銅、黄銅、合成樹脂、セラミックス等の非磁性材料によって形成された非磁性移動体であって、溶接や接着等の機械的結合によって２つの第１、第２磁性体３１、３２に結合されている。

本実施例の磁性固定体は、直方体形状に形成されたセンサ固定ブロック５、コの字状に形成された２つの第１、第２分割ブロック６、７、および磁性体１７を有している。この磁性体１７は、磁気センサ２の感磁面上に配置されて、センサ固定ブロック５のセンサ搭載面との間に磁気センサ２を挟み込んで保持固定している。
また、２つの第１、第２分割ブロック６、７は、実施例１と同様に、対向部１３、１４を有している。また、２つの第１、第２分割ブロック６、７の各対向部１３、１４は、移動体１０のストローク方向の両端に設けられる２つの第１、第２磁性体３１、３２の各第２端面に対して第２エアギャップ（Ｇ２）を隔てて対向し、移動体１０のストローク方向の軸線に対して平行な対向面（平面、平坦面）をそれぞれ有している。
そして、第１分割ブロック６は、第１マグネット３を取り付ける第１磁石取付面と移動体１０のストローク方向の一端（図示左端）に設けられる第１磁性体３１の第２端面に対向する対向面との間を結ぶ第１磁路が形成される。また、第２分割ブロック７は、第２マグネット４を取り付ける第２磁石取付面と移動体１０のストローク方向の他端（図示右端）に設けられる第２磁性体３２の第２端面に対向する対向面との間を結ぶ第２磁路が形成される。

第１磁気回路（Ｊ１）は、移動体１０の第１磁性体３１、磁気センサ２および磁性固定体（センサ固定ブロック５、第１分割ブロック６、磁性体１７）を通過し、第１マグネット３から放出された磁束により形成される。この第１磁気回路（Ｊ１）は、磁性体１７に形成される、第１磁性体３１と磁気センサ２との間を結ぶ第１磁路、センサ固定ブロック５に形成される、磁気センサ２と第１マグネット３との間を結ぶ第１磁路、および第１分割ブロック６に形成される、第１マグネット３と第１磁性体３１との間を結ぶ第１磁路を含んでいる。
これにより、第１マグネット３の磁極面（Ｎ極）から出た磁束は、第１分割ブロック６（突出部１１→垂直部１２→対向部１３）→第２エアギャップ（Ｇ２）→移動体１０（第１磁性体３１）→第１エアギャップ（Ｇ１）→磁性固定体（磁性体１７）→磁気センサ２（ホールＩＣ）→センサ固定ブロック５の経路で第１マグネット３の磁極面（Ｓ極）に戻る。

第２磁気回路（Ｊ２）は、移動体１０の第２磁性体３２、磁気センサ２および磁性固定体（センサ固定ブロック５、第２分割ブロック７、磁性体１７）を通過し、第２マグネット４から放出された磁束により形成される。この第２磁気回路（Ｊ２）は、磁性体１７に形成される、第２磁性体３２と磁気センサ２との間を結ぶ第２磁路、センサ固定ブロック５に形成される、磁気センサ２と第２マグネット４との間を結ぶ第２磁路、および第２分割ブロック７に形成される、第２マグネット４と第２磁性体３２との間を結ぶ第２磁路を含んでいる。
これにより、第２マグネット４の磁極面（Ｎ極）から出た磁束は、センサ固定ブロック５→磁気センサ２（ホールＩＣ）→磁性固定体（磁性体１７）→第１エアギャップ（Ｇ１）→移動体１０（第２磁性体３２）→第２エアギャップ（Ｇ２）→第２分割ブロック７（対向部１４→垂直部１５→突出部１６）の経路で第２マグネット４の磁極面（Ｓ極）に戻る。
これによって、実施例１と同様の効果を達成することができる。

［実施例４の構成］
図５ないし図７は本発明の実施例４を示したもので、図５は直線変位検出装置を示した図である。
ここで、実施例１の直線変位検出装置は、内燃機関（エンジン）の可変動弁機構のコントロールシャフトの直線変位（直線運動、直動）を検出する直線変位センサである。この直線変位センサは、磁性体よりなる移動体（磁性移動体１）の移動方向を軸として揺動運動を行う構造となっている。

そして、実施例１の直線変位検出装置は、図８に示したように、直方体形状の磁性移動体１の第２端面（平面）と２つの第１、第２分割ブロック６、７の各対向部１３、１４の対向面（平面）とが対向する面積を可変させることにより、磁気センサ２（ホールＩＣ）よりリニア出力を取り出す構造となっている。
しかるに、磁性移動体１の第２端面と２つの第１、第２分割ブロック６、７の各対向部１３、１４の対向面とがいずれも平面形状となっているので、上述したように、磁性移動体１の移動方向を軸として揺動運動を行う構成においては、磁性移動体１の第２端面と２つの第１、第２分割ブロック６、７の各対向部１３、１４の対向面との間に形成される第２エアギャップ（エアギャップ２：Ｇ２）が変化し、磁気センサ２（ホールＩＣ）の出力（センサ出力）がリニアとならない可能性がある。

そこで、本実施例の直線変位検出装置においては、図５および図６に示したように、移動体１０を構成する２つの第１、第２磁性体３１、３２およびこれらの第１、第２磁性体３１、３２間に配設される非磁性体３３を円柱形状としている。そして、移動体１０の２つの第１、第２磁性体３１、３２の第１端面および第２端面は、円柱外周面（凸曲面）である。なお、第１、第２磁性体３１、３２と非磁性体３３とは、溶接または接着等の機械的結合により結合している。
また、本実施例の磁性固定体は、逆凸字状の断面を有するセンサ固定ブロック５、Ｌ字状の断面を有する２つの第１、第２分割ブロック６、７、および磁性体１７を有している。

センサ固定ブロック５は、ベース部１９の中央部に、図示下方に突出したセンサ固定部２０が一体的に設けられている。
磁性体１７は、磁気センサ２の感磁面に配置されて、センサ固定部２０のセンサ搭載面との間に磁気センサ２を挟み込んで保持固定している。この磁性体１７は、円柱形状の移動体１０の円柱外周面（特に２つの第１、第２磁性体３１、３２の円柱外周面）に対向する対向部３９の形状が、円弧内周面（対向面）を有する円弧形状となっている。この磁性体１７の対向部３９は、移動体１０の２つの第１、第２磁性体３１、３２の円柱外周面（第１端面）に対して第１エアギャップ（Ｇ１）を隔てて対向し、移動体１０のストローク方向の軸線に対して平行な対向面を有している。この磁性体１７の対向部３９の対向面は、移動体１０の第１磁性体３１の中心軸線を中心とする曲率半径の凹曲面（湾曲面）である。

２つの第１、第２分割ブロック６、７は、移動体１０のストローク方向の両側に、移動体１０のストローク方向の軸線に対して垂直な方向に延びる垂直部１２、１５を有している。これらの垂直部１２、１５の図示上端面には、２つの第１、第２マグネット３、４の磁極面に当接する２つの第１、第２磁石取付面がそれぞれ形成されている。
そして、第１分割ブロック６は、円柱形状の移動体１０の円柱外周面（特に第１磁性体３１の円柱外周面）に対向する対向部４１、４２の形状が、円筒内周面（対向面）を有する円筒形状および円弧内周面（対向面）を有する円弧形状となっている。第１分割ブロック６の対向部４１、４２は、移動体１０の第１磁性体３１の円柱外周面（第２端面）に対して第２エアギャップ（Ｇ２）を隔てて対向し、移動体１０のストローク方向の軸線に対して平行な対向面を有している。この第１分割ブロック６の対向部４１、４２の対向面は、移動体１０の第１磁性体３１の中心軸線を中心とする曲率半径の凹曲面（湾曲面）である。

また、第２分割ブロック７は、円柱形状の移動体１０の円柱外周面（特に第２磁性体３２の円柱外周面）に対向する対向部４３、４４の形状が、円筒内周面（対向面）を有する円筒形状および円弧内周面（対向面）を有する円弧形状となっている。第２分割ブロック６の対向部４３、４４は、移動体１０の第２磁性体３２の円柱外周面（第２端面）に対して第２エアギャップ（Ｇ２）を隔てて対向し、移動体１０のストローク方向の軸線に対して平行な対向面を有している。この第２分割ブロック７の対向部４３、４４の対向面は、移動体１０の第２磁性体３２の中心軸線を中心とする曲率半径の凹曲面（湾曲面）である。

第１磁気回路（Ｊ１）は、図６（ａ）、（ｂ）に示したように、移動体１０の第１磁性体３１、磁気センサ２および磁性固定体（センサ固定ブロック５、第１分割ブロック６、磁性体１７）を通過し、第１マグネット３から放出された磁束により形成される。この第１磁気回路（Ｊ１）は、センサ固定ブロック５に形成される、磁気センサ２と第１マグネット３との間を結ぶ第１磁路、第１分割ブロック６に形成される、第１マグネット３と移動体１０の第１磁性体３１との間を結ぶ第１磁路、および磁性体１７に形成される、移動体１０の第１磁性体３１と磁気センサ２との間を結ぶ第１磁路を含んでいる。
これにより、第１マグネット３の磁極面（Ｎ極）から出た磁束は、第１分割ブロック６（垂直部１２→対向部４１、４２）→第２エアギャップ（Ｇ２）→移動体１０の第１磁性体３１→第１エアギャップ（Ｇ１）→磁性固定体（磁性体１７）→磁気センサ２（ホールＩＣ）→センサ固定ブロック５（センサ固定部２０→ベース部１９）の経路で第１マグネット３の磁極面（Ｓ極）に戻る。

第２磁気回路（Ｊ２）は、図６（ｂ）、（ｃ）に示したように、移動体１０の第２磁性体３２、磁気センサ２および磁性固定体（センサ固定ブロック５、第２分割ブロック７、磁性体１７）を通過し、第２マグネット４から放出された磁束により形成される。この第２磁気回路（Ｊ２）は、センサ固定ブロック５に形成される、磁気センサ２と第２マグネット４との間を結ぶ第２磁路、第２分割ブロック７に形成される、第２マグネット４と移動体１０の第２磁性体３２との間を結ぶ第２磁路、および磁性体１７に形成される、移動体１０の第２磁性体３２と磁気センサ２との間を結ぶ第２磁路を含んでいる。
これにより、第２マグネット４の磁極面（Ｎ極）から出た磁束は、センサ固定ブロック５（ベース部１９→センサ固定部２０）→磁気センサ２（ホールＩＣ）→磁性固定体（磁性体１７）→第１エアギャップ（Ｇ１）→移動体１０の第２磁性体３２→第２エアギャップ（Ｇ２）→第２分割ブロック７（対向部４４、４３→垂直部１５）の経路で第２マグネット４の磁極面（Ｓ極）に戻る。

［実施例４の検出方法］
次に、本実施例の直線変位検出装置の検出方法を図５ないし図７に基づいて簡単に説明する。ここで、図７は、磁気センサ（ホールＩＣ）を通過する磁束量に対する移動体のストローク量を示した特性図である。

可変動弁機構のコントロールシャフトがその軸線方向に移動すると、コントロールシャフトに連結された移動体１０がそのストローク方向に直線移動する。
このとき、移動体１０のストローク量に応じて、移動体１０の第１磁性体３１の第２端面（凸曲面）と磁性固定体の第１分割ブロック６の対向部４１、４２の対向面（凹曲面）とが対向する対向面積が変化する。また、移動体１０のストローク量に応じて、移動体１０の第２磁性体３２の第２端面（凸曲面）と磁性固定体の第２分割ブロック７の対向部４４、４３の対向面（凹曲面）とが対向する対向面積が変化する。

そして、第１マグネット３の磁極面（Ｎ極）より出て、第１磁気回路（Ｊ１：移動体１０の第１磁性体３１および磁気センサ２）を通過する磁束の量は、移動体１０の第１磁性体３１の第２端面（凸曲面）と第１分割ブロック６の対向部４１、４２の対向面（凹曲面）との対向面積の変化に対応して変更される。また、第２マグネット４の磁極面（Ｎ極）より出て、第２磁気回路（Ｊ２：磁気センサ２および移動体１０の第２磁性体３２）を通過する磁束の量は、移動体１０の第２磁性体３２の第２端面（凸曲面）と第２分割ブロック７の対向部４４、４３の対向面（凹曲面）との対向面積の変化に対応して変更される。

ここで、本実施例の直線変位検出装置においては、実施例１と同様にして、第１磁路を含む第１磁気回路（Ｊ１）を通過する磁束の流れ方向と第２磁路を含む第２磁気回路（Ｊ２）を通過する磁束の流れ方向とが互いに逆向きとなるように、すなわち、２つの第１、第２マグネット３、４の磁極面（センサ固定ブロック５に当接する側の磁極面）の極性が互いに逆極性となるように磁性固定体に配置されている。
なお、移動体１０の初期位置（図６（ａ）の位置）から最大移動位置に至るまでの最大ストローク量を例えば８ｍｍとする。

したがって、移動体１０のストローク量が小さい時（例えば０ｍｍの時）には、図６（ａ）に示したように、移動体１０が移動体収容空間９内において図示右寄りに配置される。これにより、移動体１０の第１磁性体３１の第２端面（凸曲面）と第１分割ブロック６の対向部４１、４２の対向面（凹曲面）との対向面積の方が、移動体１０の第２磁性体３２の第２端面（凸曲面）と第２分割ブロック７の対向部４４、４３の対向面（凹曲面）との対向面積よりも狭くなるので、第１マグネット３の磁束の影響が強くなる。このため、図７のグラフ（状態１）に示したように、磁気センサ２（ホールＩＣ）が正の方向の磁束の量（または磁束密度）を検出する。この結果、磁気センサ２（ホールＩＣ）の出力信号（センサ信号）は、移動体１０の第１磁性体３１の第２端面（凸曲面）と第１分割ブロック６の対向部４１、４２の対向面（凹曲面）との対向面積に対応した正の電圧信号となる。

また、移動体１０のストローク量が例えば４ｍｍの時には、図５および図６（ｂ）に示したように、移動体１０が移動体収容空間９内において中央位置に配置される。この場合には、移動体１０の第１磁性体３１の第２端面（凸曲面）と第１分割ブロック６の対向部４１、４２の対向面（凹曲面）との対向面積が、移動体１０の第２磁性体３２の第２端面（凸曲面）と第２分割ブロック７の対向部４４、４３の対向面（凹曲面）との対向面積と同じ広さになるので、第１マグネット３から放出された磁束と第２マグネット４から放出された磁束とが相殺される。このため、磁気センサ２（ホールＩＣ）が検出する磁束の量（または磁束密度）は、図７のグラフ（状態２）に示したように、ゼロ（０）になる。この結果、磁気センサ２（ホールＩＣ）の出力信号（センサ信号）は、ゼロ（０）となる。

また、移動体１０のストローク量が大きい時（例えば８ｍｍの時）には、図６（ｃ）に示したように、移動体１０が移動体収容空間９内において図示左寄りに配置される。これにより、移動体１０の第１磁性体３１の第２端面（凸曲面）と第１分割ブロック６の対向部４１、４２の対向面（凹曲面）との対向面積よりも、移動体１０の第２磁性体３２の第２端面（凸曲面）と第２分割ブロック７の対向部４４、４３の対向面（凹曲面）との対向面積の方が狭くなるので、第２マグネット４の磁束の影響が強くなる。このため、図７のグラフ（状態３）に示したように、磁気センサ２（ホールＩＣ）が負の方向の磁束の量（または磁束密度）を検出する。この結果、磁気センサ２（ホールＩＣ）の出力信号（センサ信号）は、移動体１０の第２磁性体３２の第２端面（凸曲面）と第２分割ブロック７の対向部４４、４３の対向面（凹曲面）との対向面積に対応した負の電圧信号となる。
そして、ＥＣＵは、磁気センサ２（ホールＩＣ）より出力される電圧信号に基づいて、コントロールシャフトの直線変位量（ストローク量）を算出し、このストローク量に基づいてエンジンの吸気バルブ（または排気バルブ）のバルブリフト量を算出する。

［実施例４の効果］
以上のように、本実施例の直線変位検出装置においては、実施例１と同様の効果を達成することができる。
また、移動体１０が仮に移動体１０の２つの第１、第２磁性体３１、３２の中心軸線を中心にして揺動運動を行っても、磁性固定体の磁性体１７の対向部３９の対向面（円弧内周面：凹曲面）と移動体１０の２つの第１、第２磁性体３１、３２の円柱外周面（凸曲面）とが、第１エアギャップ（Ｇ１）を隔てて対向する対向面積が変化しない。さらに、２つの第１、第２分割ブロック６、７の各対向部４１〜４４の対向面（円筒内周面、円弧内周面：凹曲面）と移動体１０の２つの第１、第２磁性体３１、３２の円柱外周面（凸曲面）とが、第２エアギャップ（Ｇ２）を隔てて対向する対向面積が変化しない。
これによって、移動体１０の移動方向への移動位置に対する磁気センサ２の出力特性の直線性（リニアリティ）が良好となり、図示上下方向、例えば第１、第２エアギャップ（Ｇ１、Ｇ２）が狭くなる方向、あるいは第１、第２エアギャップ（Ｇ１、Ｇ２）が広くなる方向に位置ズレした場合でも出力ズレを小さくすることができる。

図９は本発明の実施例５を示したもので、図９（ａ）〜（ｃ）は２つの第１、第２磁性体を有する移動体の製造方法を示した図である。
本実施例の移動体１０は、図９（ａ）に示したように、先ず例えばアルミニウム、ステンレス、銅、黄銅、合成樹脂、セラミックス等の非磁性材料によって円柱体５０を形成する。
このとき、円柱体５０の軸線方向（移動体１０のストローク方向）の両端部の外径を中央部の外径よりも細くしておく。これにより、円柱体５０の軸線方向の中央部に大径の非磁性体３３が形成され、円柱体５０の軸線方向の両端部に非磁性体３３よりも小径の非磁性体５１、５２が形成される。

次に、図９（ｂ）に示したように、鉄等の磁性材料によって薄板状の第１、第２磁性板（鉄板）５３、５４を形成する。２つの第１、第２磁性板５３、５４は、円柱体５０の非磁性体５１、５２の円柱外周面を円周方向に取り囲むように非磁性体５１、５２の円柱外周面に巻き付けることが可能なサイズとなるよう、鉄板を打ち抜きまたは切削または塑性加工する等して形成されている。
次に、円柱体５０の非磁性体５１、５２の円柱外周面に、第１、第２磁性板５３、５４を巻き付けて、溶接または接着等の機械的結合により結合することで、非磁性体３３の軸線方向の両側に２つの第１、第２磁性体３１、３２を有する移動体１０を製造することができる。

図１０は本発明の実施例６を示したもので、直線変位検出装置を示した図である。
本実施例の直線変位検出装置は、実施例４の移動体１０を、実施例１及び２と同様な構成の磁性体よりなる移動体（磁性移動体１）に変更している。
これによっても、実施例４と同様の効果を達成することができる。

［実施例７の構成］
図１１および図１２は本発明の実施例７を示したもので、図１１は回転変位検出装置を示した図である。
本実施例のエンジンには、燃焼室内に供給する吸入空気量を制御する電子スロットル装置が取り付けられている。

電子スロットル装置は、エンジンの吸気ダクトの途中に結合されるスロットルボディと、このスロットルボディの内部（吸気通路）を開閉するスロットルバルブと、このスロットルバルブを支持固定するシャフトと、スロットルバルブを駆動するモータを含むアクチュエータと、エンジンの運転状態に応じてモータへの供給電力を可変制御して、スロットルバルブのバルブ角度（回転角度）を制御するエンジン制御ユニット（ＥＣＵ）とを備えている。

ここで、スロットルバルブのシャフトを開弁作動方向または閉弁作動方向に駆動するアクチュエータ（バルブ駆動装置）は、電力の供給を受けるとスロットルバルブを駆動する回転駆動力を発生するモータ、およびこのモータの回転駆動力をシャフトに伝達するための動力伝達機構を含んで構成される電動式アクチュエータである。なお、動力伝達機構は、モータの回転速度を所定の減速比となるように減速すると共に、モータの回転駆動力を増大させる歯車減速機構によって構成されている。この歯車減速機構は、モータの出力軸に固定されたピニオンギヤ（モータ側ギヤ）、このピニオンギヤと噛み合って回転する中間減速ギヤ、およびこの中間減速ギヤと噛み合って回転する最終減速ギヤ（バルブ側ギヤ）を有している。また、歯車減速機構を構成する３つのギヤのうち少なくとも最終減速ギヤは、合成樹脂によって所定のギヤ形状となるように一体的に形成されている。

また、電子スロットル装置には、運転者のスロットル操作量に応じて開弁駆動（または閉弁駆動）されるスロットルバルブの回転角度に相当するスロットル開度を電子信号に変換し、ＥＣＵへどれだけスロットルバルブが開かれているかを出力する非接触式の回転角度検出装置（非接触式ポジションセンサ：以下回転変位検出装置と言う）が搭載されている。
回転変位検出装置は、スロットルバルブの回転角度を検出する回転角度センサ（スロットル開度センサ）であって、軟磁性体よりなる磁性体である磁性移動体１、磁気センサ２、２つの第１、第２磁石（第１、第２マグネット）３、４および磁性固定体（磁性固定ブロック）を備えている。また、回転変位検出装置は、磁気センサ２、２つの第１、第２マグネット３、４および磁性固定体によって、２つの第１、第２マグネット３、４から放出された磁束が互いに逆方向に流れる２つの第１、第２磁気回路（Ｊ１、Ｊ２）が形成される。

磁性移動体１は、磁性移動体１の移動方向（ストローク方向、回転方向）に沿って円弧状に延びる部分円筒形状の軟磁性体よりなる。この磁性移動体１は、鉄等の磁性材料によって形成された磁性移動体（磁性移動ブロック）であって、電子スロットル装置の最終減速ギヤに保持固定されている。
また、磁性移動体１は、磁気センサ２の感磁面に結合された磁性体（磁性固定体、磁性固定ブロック）５７の凸曲面（磁性体５７の曲がり方向外側の壁面）との間に第１エアギャップ（エアギャップ１：Ｇ１）を隔てて対向する凹曲面形状の第１端面、および磁性固定体の２つの第１、第２分割ブロック６、７の各湾曲部６１、６２の対向面（湾曲部６１、６２の曲がり方向内側の壁面）との間に第２エアギャップ（エアギャップ２：Ｇ２）を隔てて対向する凸曲面形状の第２端面（凸曲面）を有している。
磁性移動体１の第１端面は、磁性移動体１の移動方向（回転方向）および磁性体５７の凸曲面に沿って円弧状に湾曲し、磁気センサ２の中心部付近を中心とする曲率半径を有する凹曲面（磁性移動体１の曲がり方向内側の壁面）である。また、磁性移動体１の第２端面は、磁性移動体１の移動方向（回転方向）に沿って円弧状に湾曲し、磁気センサ２の中心部付近を中心とする曲率半径を有する凸曲面（磁性移動体１の曲がり方向外側の壁面）である。

磁気センサ２は、一方の感磁面が、磁性固定体の磁性体５７のセンサ搭載面（平面）に当接し、また、他方の感磁面が、磁性固定体の磁性体（センサ固定部）６０のセンサ搭載面（平面）に当接している。この磁気センサ２は、実施例１と同様に、２つの第１、第２マグネット３、４より放出された磁束を検出するホールＩＣを有している。
２つの第１、第２マグネット３、４は、実施例１と同様に、磁気センサ２の中心部を通る対称軸線を中心にして対称的な位置関係となるように、その対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置されている。これらの第１、第２マグネット３、４は、磁性固定体のセンサ固定ブロック５の各第１、第２磁石取付面に当接する側の磁極面の極性が互いに逆極性となるように着磁されている。

２つの第１、第２マグネット３、４は、磁性移動体１よりも磁気センサ２に近い側に配置されている。なお、２つの第１、第２マグネット３、４は、磁性移動体１よりも磁気センサ２に近い側であればどこに配置しても構わない。
第１マグネット３は、磁性固定体のベース部５９の第１磁石取付面と磁性固定体の湾曲部６１の第１磁石取付面との間に形成されるギャップに配置されている。
第２マグネット４は、磁性固定体のベース部５９の第２磁石取付面と磁性固定体の湾曲部６２の第２磁石取付面との間に形成されるギャップに配置されている。
そして、２つの第１、第２マグネット３、４は、平面形状が長方形状（または正方形状）で、長期間磁力を安定して発生し続ける直方体形状の永久磁石である。

磁性固定体は、磁気センサ２を搭載するセンサ固定ブロック５、および磁性体５７を有している。この磁性体５７は、部分円形状に形成されており、磁気センサ２の感磁面上に配置されて、センサ固定ブロック５のセンサ固定部６０のセンサ搭載面との間に磁気センサ２を挟み込んで保持固定している。また、磁性体５７の図示上端面は、磁気センサ２の感磁面に当接するセンサ搭載面（平面）となっている。また、磁性体５７の図示下端面は、磁性移動体１の移動方向（回転方向）に沿って円弧状に湾曲し、磁気センサ２の中心部付近を中心とする曲率半径を有する凸曲面（磁性体５７の曲がり方向外側の壁面）である。
センサ固定ブロック５は、磁気センサ２の中心部を通る対称軸線上に配設されて、部分円筒形状のベース部５９、このベース部５９の中央部から図示下方に突出した直方体形状のセンサ固定部６０、および部分円筒形状に形成された２つの第１、第２分割ブロック（第１、第２分割部）６、７を有している。つまり、センサ固定ブロック５は、磁束の流れが図示左右の磁性固定体で反対方向となるように左右対称にＣ字型の磁性材（ベース部５９を構成する２つの湾曲部および２つの第１、第２分割ブロック６、７の各湾曲部６１、６２）を組み付けた形状となっている。

２つの第１、第２分割ブロック６、７は、磁性移動体１の移動方向（回転方向）に沿って円弧状に延びる部分円筒形状の湾曲部（対向部）６１、６２を有している。これらの第１、第２分割ブロック６、７は、磁気センサ２との間に磁性移動体１および磁性体５７を挟んで、磁気センサ２の感磁面と対向するように配置されている。
２つの第１、第２分割ブロック６、７の各湾曲部６１、６２は、磁性移動体１の第２端面に対して第２エアギャップ（エアギャップ２：Ｇ２）を隔てて対向し、磁性移動体１の移動方向（回転方向）および磁性移動体１の第２端面（凸曲面）に沿って円弧状に湾曲した対向面（移動体の移動方向に対して平行な対向面）をそれぞれ有している。２つの第１、第２分割ブロック６、７の各湾曲部６１、６２の対向面は、磁性移動体１の回転軌跡（移動方向、回転方向）に沿って湾曲し、磁気センサ２の中心部付近を中心とする曲率半径を有する凹曲面（湾曲部６１、６２の曲がり方向内側の壁面、湾曲面）である。
そして、第１分割ブロック６の湾曲部６１は、第１マグネット３を取り付ける第１磁石取付面と磁性移動体１のの第２端面に対向する対向面との間を結ぶ第１磁路が形成される。また、第２分割ブロック７の湾曲部６２は、第２マグネット４を取り付ける第２磁石取付面と磁性移動体１の第２端面に対向する対向面との間を結ぶ第２磁路が形成される。

第１磁気回路（Ｊ１）は、磁性移動体１、磁気センサ２および磁性固定体（センサ固定ブロック５、第１分割ブロック６、磁性体５７）を通過し、第１マグネット３から放出された磁束により形成される。この第１磁気回路（Ｊ１）は、磁性体５７に形成される、磁性移動体１と磁気センサ２との間を結ぶ第１磁路、センサ固定ブロック５に形成される、磁気センサ２と第１マグネット３との間を結ぶ第１磁路、および第１分割ブロック６に形成される、第１マグネット３と磁性移動体１との間を結ぶ第１磁路を含んでいる。
これにより、第１マグネット３の磁極面（Ｎ極）から出た磁束は、第１分割ブロック６（湾曲部６１）→第２エアギャップ（エアギャップ２：Ｇ２）→磁性移動体１（軟磁性体）→第１エアギャップ（エアギャップ１：Ｇ１）→磁性固定体（磁性体５７）→磁気センサ２（ホールＩＣ）→センサ固定ブロック５（センサ固定部６０→ベース部５９）の経路で第１マグネット３の磁極面（Ｓ極）に戻る。

第２磁気回路（Ｊ２）は、磁性移動体１、磁気センサ２および磁性固定体（センサ固定ブロック５、第２分割ブロック７、磁性体５７）を通過し、第２マグネット４から放出された磁束により形成される。この第２磁気回路（Ｊ２）は、磁性体５７に形成される、磁性移動体１と磁気センサ２との間を結ぶ第２磁路、センサ固定ブロック５に形成される、磁気センサ２と第２マグネット４との間を結ぶ第２磁路、および第２分割ブロック７に形成される、第２マグネット４と磁性移動体１との間を結ぶ第２磁路を含んでいる。
これにより、第２マグネット４の磁極面（Ｎ極）から出た磁束は、センサ固定ブロック５（ベース部５９→センサ固定部６０）→磁気センサ２（ホールＩＣ）→磁性固定体（磁性体５７）→第１エアギャップ（エアギャップ１：Ｇ１）→磁性移動体１（軟磁性体）→第２エアギャップ（エアギャップ２：Ｇ２）→第２分割ブロック７（湾曲部６２）の経路で第２マグネット４の磁極面（Ｓ極）に戻る。

［実施例７の検出方法］
次に、本実施例の回転変位検出装置の検出方法を図１１および図１２に基づいて簡単に説明する。ここで、図１２は、磁気センサ（ホールＩＣ）を通過する磁束量に対する移動体の回転変位量（回転角度）を示した特性図である。

電子スロットル装置のスロットルバルブがその回転方向に回転変位すると、スロットルバルブのシャフトの回転軸方向の一端部に結合される最終減速ギヤに保持固定された磁性移動体１がそのストローク方向に曲線移動する（磁気センサ２の中心部付近を中心とした回転運動を行う）。
このとき、磁性移動体１の回転方向への回転変位量（回転角度）に応じて、磁性移動体１の第２端面（凸曲面）と磁性固定体の第１分割ブロック６の湾曲部６１の対向面（凹曲面）とが対向する対向面積が変化する。また、磁性移動体１の回転方向への回転変位量（回転角度）に応じて、磁性移動体１の第２端面（凸曲面）と磁性固定体の第２分割ブロック７の湾曲部６２の対向面（凹曲面）とが対向する対向面積が変化する。なお、磁性移動体１の第１端面（凹曲面）と磁性固定体の磁性体５７の凸曲面とが対向する対向面積は、磁性移動体１の第１端面が磁性体５７の凸曲面に沿って円弧状に湾曲しているため、磁性移動体１の回転方向への回転変位量（回転角度）が変化しても変わらない。

そして、第１マグネット３の磁極面（Ｎ極）より出て、第１磁気回路（Ｊ１：磁性移動体１および磁気センサ２）を通過する磁束の量は、磁性移動体１の第２端面（凸曲面）と第１分割ブロック６の湾曲部６１の対向面（凹曲面）との対向面積の変化に対応して変更される。また、第２マグネット４の磁極面（Ｎ極）より出て、第２磁気回路（Ｊ２：磁気センサ２および磁性移動体１）を通過する磁束の量は、磁性移動体１の第２端面（凸曲面）と第２分割ブロック７の湾曲部６２の対向面（凹曲面）との対向面積の変化に対応して変更される。

ここで、本実施例の回転変位検出装置においては、第１磁路を含む第１磁気回路（Ｊ１）を通過する磁束の流れ方向と第２磁路を含む第２磁気回路（Ｊ２）を通過する磁束の流れ方向とが互いに逆向きとなるように、すなわち、２つの第１、第２マグネット３、４の磁極面（センサ固定ブロック５に当接する側の磁極面、２つの第１、第２分割ブロック６、７に当接する側の磁極面）の極性が互いに逆極性となるように磁性固定体に配置されている。
なお、磁性移動体１の初期回転位置（限界位置）から最大回転位置（限界位置）に至るまでの回転方向への最大回転変位量（回転可能範囲）を例えば１００°とする。

したがって、磁性移動体１の回転方向への回転変位量（回転角度）が小さい時（例えば−５０°の時）には、図１１に二点鎖線（Ａ）で示したように、磁性移動体１が移動体収容空間内において回転方向の図示右寄りに配置される。これにより、磁性移動体１の第２端面（凸曲面）と第１分割ブロック６の湾曲部６１の対向面（凹曲面）との対向面積の方が、磁性移動体１の第２端面（凸曲面）と第２分割ブロック７の湾曲部６２の対向面（凹曲面）との対向面積よりも広くなるので、第１マグネット３の磁束の影響が強くなる。このため、図１２のグラフに示したように、磁気センサ２（ホールＩＣ）が正の方向の磁束の量（または磁束密度）を検出する。この結果、磁気センサ２（ホールＩＣ）の出力信号（センサ信号）は、磁性移動体１の第２端面（凸曲面）と第１分割ブロック６の湾曲部６１の対向面（凹曲面）との対向面積に対応した正の電圧信号となる。

また、磁性移動体１の回転方向への回転変位量（回転角度）が例えば０°の時には、図１１に実線で示したように、磁性移動体１が移動体収容空間内において回転方向の中央位置に配置される。この場合には、磁性移動体１の第２端面（凸曲面）と第１分割ブロック６の湾曲部６１の対向面（凹曲面）との対向面積が、磁性移動体１の第２端面（凸曲面）と第２分割ブロック７の湾曲部６２の対向面（凹曲面）との対向面積と同じ広さになるので、第１マグネット３から放出された磁束と第２マグネット４から放出された磁束とが相殺される。このため、磁気センサ２（ホールＩＣ）が検出する磁束の量（または磁束密度）は、図１２のグラフに示したように、ゼロ（０）になる。この結果、磁気センサ２（ホールＩＣ）の出力信号（センサ信号）は、ゼロ（０）となる。

また、磁性移動体１の回転方向への回転変位量（回転角度）が大きい時（例えば５０°の時）には、図１１に二点鎖線（Ｂ）で示したように、磁性移動体１が移動体収容空間内において回転方向の図示左寄りに配置される。これにより、磁性移動体１の第２端面（凸曲面）と第１分割ブロック６の湾曲部６１の対向面（凹曲面）との対向面積よりも、磁性移動体１の第２端面（凸曲面）と第２分割ブロック７の湾曲部６２の対向面（凹曲面）との対向面積の方が広くなるので、第２マグネット４の磁束の影響が強くなる。このため、図１２のグラフに示したように、磁気センサ２（ホールＩＣ）が負の方向の磁束の量（または磁束密度）を検出する。この結果、磁気センサ２（ホールＩＣ）の出力信号（センサ信号）は、磁性移動体１の第２端面（凸曲面）と第２分割ブロック７の湾曲部６２の対向面（凹曲面）との対向面積に対応した負の電圧信号となる。
そして、ＥＣＵは、磁気センサ２（ホールＩＣ）より出力される電圧信号に基づいて、磁性移動体１の回転変位量（回転角度）を算出し、この回転変位量（回転角度）に基づいてスロットルバルブの回転角度に相当するスロットル開度を算出する。

［実施例７の効果］
以上のように、本実施例の回転変位検出装置においては、２つの第１、第２分割ブロック６、７の各湾曲部６１、６２の対向面と磁性移動体１の第２端面とが対向する対向面積を、磁性移動体１の移動方向（回転方向）への回転変位量（回転角度）に応じて比例的に変化させることにより、磁性移動体１および磁性体５７を介して磁気センサ２（ホールＩＣ）を通過する磁束の量（センサ出力）を直線的に変化させることが可能となる。そして、被検出部材である磁性移動体１が部分円筒形状の軟磁性体のみで形成されている。つまり、最終減速ギヤ（樹脂ギヤ）には、２つの第１、第２マグネット３、４が設けられていないので、最終減速ギヤの樹脂成形時における樹脂成形圧での磁石（２つの第１、第２マグネット３、４）の割れや欠け等の不具合の発生を防止することができる。これにより、低コストで製造上の歩留りを向上できる。さらに、磁性移動体１の回転方向への回転変位量に応じて、磁気センサ２より出力される出力信号が直線的に変化する。
また、線膨張係数の差により変形が生じた場合でも、実施例１と同様に、エアギャップの量の変化は発生せず、広角度範囲を精度良く検出することができる。
したがって、軟磁性体よりなる磁性移動体１の回転方向への回転変位量（回転角度）に対する磁気センサ２の出力特性の直線性（リニアリティ）の悪化を抑制することが可能となるので、磁性移動体１の回転変位量（回転角度）の検出精度を向上させることができる。

そして、磁性移動体１の第１端面と磁気センサ２の感磁面（本実施例では磁性体５７の凸曲面）との間には、所定のギャップ長を有する第１エアギャップ（エアギャップ１：Ｇ１）が形成されている。また、磁性移動体１の第２端面と２つの第１、第２分割ブロック６、７の各湾曲部６１、６２の対向面との間には、所定のギャップ長を有する第２エアギャップ（エアギャップ２：Ｇ２）が形成されている。
これによって、仮に磁性移動体１がその移動方向（回転方向）に対して垂直な方向（スロットルバルブのシャフトや最終減速ギヤの径方向：図示上下方向）に位置ズレした場合であっても、エアギャップ１とエアギャップ２とが互いにギャップ長の増減を補い合うため、磁性移動体１の移動方向（回転方向）に対して径方向の位置ズレの影響、磁気センサ２の出力ズレの影響を小さくすることができる。例えばエアギャップ１が大きくなると、エアギャップ２が小さくなる。逆に、エアギャップ１が小さくなると、エアギャップ２が大きくなる。
したがって、本実施例の回転変位検出装置においては、被検出部材である磁性移動体１の構成材料や形状によらず、位置ズレに強く、広範囲な回転変位量（広角度範囲）を精度良く検出することが可能なリニア磁気回路を構成することができる。
なお、本実施例では、磁性体を有する移動体として、磁性体よりなり、移動方向に曲線移動する移動体（磁性移動体１）を採用しているが、磁性体を有する移動体として、２つの第１、第２磁性体間に非磁性体を有し、移動方向に曲線移動する移動体を採用しても良い。

［変形例］
本実施例では、本発明の変位検出装置を、内燃機関の可変動弁機構のコントロールシャフトの直線変位量（バルブリフト量）を検出する直線変位検出装置に適用した例を説明したが、本発明の変位検出装置を、スロットルバルブの回転変位（スロットル開度）を検出する回転変位検出装置に適用しても良い。また、本発明の変位検出装置を、アクセルペダルの回転変位（アクセル開度）を検出するアクセル開度検出装置に適用しても良い。これらの場合には、内燃機関のスロットルバルブの回転変位（スロットル開度）またはアクセルペダルの回転変位（アクセル開度）を、磁性移動体の直線変位に変換する回転直線変換手段（リンク機構等）を設ける。

本実施例では、２つの第１、第２分割部として、コの字状の断面を有する２つの第１、第２分割ブロック６、７、あるいはＬ字状の断面を有する２つの第１、第２分割ブロック６、７を採用したが、２つの第１、第２分割部として、Ｃ字状の断面を有する２つの第１、第２分割ブロックを採用しても良い。
２つの第１、第２マグネット（磁石）３、４は、軟磁性体または磁性体よりなる磁性移動体１、あるいは磁性体１０の２つの第１、第２磁性体３１、３２よりも磁気センサ２に近い側であれば磁性固定体（磁性固定ブロック）のどこに配置されていても構わない。

本実施例では、２つの第１、第２磁石として、永久磁石である第１、第２マグネット３、４を採用した例を説明したが、２つの第１、第２磁石として、電磁石を採用しても良い。この場合には、電磁石を構成する鉄心（固定磁性体）の周囲に巻回されるコイルの通電方向を、第１磁気回路（第１磁路）を通る磁束の流れ方向と第２磁気回路（第２磁路）を通る磁束の流れ方向とが互いに逆向きとなるように調整する。

直線変位検出装置を示した模式図である（実施例１）。 磁気センサ（ホールＩＣ）を通過する磁束量に対する磁性移動体のストローク量を示した特性図である（実施例１）。 直線変位検出装置を示した模式図である（実施例２）。 直線変位検出装置を示した模式図である（実施例３）。 直線変位検出装置を示した斜視図である（実施例４）。 （ａ）〜（ｃ）は直線変位検出装置の状態変化を示した模式図である（実施例４）。 磁気センサ（ホールＩＣ）を通過する磁束量に対する移動体のストローク量を示した特性図である（実施例４）。 （ａ）は直線変位検出装置を示した模式図で、（ｂ）は磁性移動体を示した斜視図である（実施例１）。 （ａ）〜（ｃ）は２つの第１、第２磁性体を有する移動体の製造方法を示した説明図である（実施例５）。 直線変位検出装置を示した斜視図である（実施例６）。 回転変位検出装置を示した模式図である（実施例７）。 磁気センサ（ホールＩＣ）を通過する磁束量に対する移動体の回転変位量（回転角度）を示した特性図である（実施例７）。 直線変位検出装置を示した構成図である（従来の技術）。 直線変位検出装置を示した模式図である（従来の技術）。 回転変位検出装置の磁石保持部を示した説明図である（従来の技術）。 回転変位検出装置の磁石保持部を示した説明図である（従来の技術）。

符号の説明

１ 磁性移動体（磁性体よりなる移動体、軟磁性体よりなる移動体）
２ 磁気センサ
３ 第１マグネット（第１磁石）
４ 第２マグネット（第２磁石）
５ センサ固定ブロック（磁性固定体）
６ 第１分割ブロック（磁性固定体、第１分割部）
７ 第２分割ブロック（磁性固定体、第２分割部）
９ 移動体収容空間
１０ 磁性体を有する移動体（２つの第１、第２磁性体間に非磁性体を有する移動体） １３ 第１分割ブロックの対向部
１４ 第２分割ブロックの対向部
３１ 第１磁性体
３２ 第２磁性体
３３ 非磁性体
４１ 第１分割ブロックの対向部
４２ 第１分割ブロックの対向部
４３ 第２分割ブロックの対向部
４４ 第２分割ブロックの対向部
６１ 第１分割ブロックの湾曲部
６２ 第２分割ブロックの湾曲部
Ｇ１ 第１エアギャップ（エアギャップ１）
Ｇ２ 第２エアギャップ（エアギャップ２）
Ｊ１ 第１磁気回路
Ｊ２ 第２磁気回路

Claims (27)

1. （ａ）移動方向に直線移動する磁性移動体と、
   （ｂ）この磁性移動体と対向するように配置されて、
   前記磁性移動体の直線移動に伴って前記磁性移動体を通過する磁束の変化を検出する磁気センサと、
   （ｃ）この磁気センサの中心部を通る対称軸線を中心にして対称的な位置関係となるように、前記対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置されて、
   前記磁性移動体および前記磁気センサに向かって磁束を放出する２つの第１、第２磁石と、
   （ｄ）前記磁気センサおよび前記２つの第１、第２磁石を保持固定すると共に、
   前記第１磁石を経由して前記磁性移動体と前記磁気センサとの間を結ぶ第１磁路、および前記第２磁石を経由して前記磁性移動体と前記磁気センサとの間を結ぶ第２磁路を形成する磁性固定体と
   を備えた変位検出装置において、
   前記２つの第１、第２磁石は、前記第１磁路を通る磁束の流れ方向と前記第２磁路を通る磁束の流れ方向とが互いに逆向きとなるように着磁されており、
   前記磁性固定体は、前記対称軸線を中心にして対称的な形状となるように、前記対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置された２つの第１、第２分割部を有し、
   前記２つの第１、第２分割部は、前記磁性移動体に対してギャップを隔てて対向し、前記磁性移動体の移動方向に対して平行な対向面をそれぞれ有していることを特徴とする変位検出装置。
2. 請求項１に記載の変位検出装置において、
   前記２つの第１、第２分割部は、前記磁性移動体をその移動方向に直線移動自在に収容する移動体収容空間を隔てて互いに対向するように配置されていることを特徴とする変位検出装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の変位検出装置において、
   前記２つの第１、第２分割部は、少なくとも前記磁性移動体および前記磁気センサを挟んで対向するように配置されていることを特徴とする変位検出装置。
4. 請求項１ないし請求項３のうちのいずれか１つに記載の変位検出装置において、
   前記２つの第１、第２分割部は、前記磁性移動体に対してギャップを隔てて対向する対向部をそれぞれ有し、
   前記２つの第１、第２分割部の各対向部は、前記磁性移動体の移動方向に対して平行な方向に延ばされており、しかも所定の隙間を隔てて互いに対向するように配置されていることを特徴とする変位検出装置。
5. 請求項４に記載の変位検出装置において、
   前記２つの第１、第２分割部の各対向部は、前記磁性移動体と少しだけ重なり合うように、前記磁性移動体よりも磁気センサ側に対して逆側に配置されていることを特徴とする変位検出装置。
6. 請求項１ないし請求項５のうちのいずれか１つに記載の変位検出装置において、
   前記２つの第１、第２磁石は、前記磁性移動体の移動方向の軸線よりも磁気センサ側に配置されていることを特徴とする変位検出装置。
7. 請求項１ないし請求項６のうちのいずれか１つに記載の変位検出装置において、
   前記磁気センサは、前記磁性移動体に対してギャップを隔てて対向し、前記磁性移動体の移動方向に対して平行な感磁面を有していることを特徴とする変位検出装置。
8. 請求項１ないし請求項７のうちのいずれか１つに記載の変位検出装置において、
   前記磁性移動体は、前記磁気センサに対してギャップを隔てて対向し、前記磁性移動体の移動方向に対して平行な第１端面、および前記２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップを隔てて対向し、前記磁性移動体の移動方向に対して平行な第２端面を有していることを特徴とする変位検出装置。
9. 請求項１ないし請求項８のうちのいずれか１つに記載の変位検出装置において、
   前記磁性固定体は、前記磁気センサの中心部を通る対称軸線上に、前記磁気センサを搭載するセンサ固定ブロックを有し、
   前記センサ固定ブロックは、前記第１磁石の取付面および前記第２磁石の取付面を有していることを特徴とする変位検出装置。
10. 請求項９に記載の変位検出装置において、
    前記２つの第１、第２磁石は、前記センサ固定ブロックの各取付面に当接する側の磁極面の極性が互いに逆極性となるように、前記センサ固定ブロックに着磁されていることを特徴とする変位検出装置。
11. 請求項１ないし請求項１０のうちのいずれか１つに記載の変位検出装置において、
    前記２つの第１、第２磁石から放出された磁束が互いに逆方向に流れる２つの第１、第２磁気回路を備えたことを特徴とする変位検出装置。
12. 請求項１ないし請求項１１のうちのいずれか１つに記載の変位検出装置において、
    前記２つの第１、第２分割部の各対向面は、平面であって、
    前記磁性移動体は、前記２つの第１、第２分割部の各対向面に対向する平面を有する直方体形状に形成されていることを特徴とする変位検出装置。
13. 請求項１２に記載の変位検出装置において、
    前記磁性固定体は、前記磁気センサの中心部を通る対称軸線上に、前記磁気センサを搭載するセンサ固定ブロックを有し、
    前記センサ固定ブロックは、前記磁性移動体に対してギャップを隔てて対向し、前記磁性移動体の移動方向に対して平行な対向面を有し、
    前記センサ固定ブロックの対向面は、平面であることを特徴とする変位検出装置。
14. 請求項１ないし請求項１１のうちのいずれか１つに記載の変位検出装置において、
    前記２つの第１、第２分割部の各対向面は、前記磁性移動体の中心軸線を中心とする曲率半径の曲面であって、
    前記磁性移動体は、前記２つの第１、第２分割部の各対向面に対向する曲面を有する円柱形状に形成されていることを特徴とする変位検出装置。
15. 請求項１４に記載の変位検出装置において、
    前記磁性固定体は、前記磁気センサの中心部を通る対称軸線上に、前記磁気センサを搭載するセンサ固定ブロックを有し、
    前記センサ固定ブロックは、前記磁性移動体に対してギャップを隔てて対向し、前記磁性移動体の移動方向に対して平行な対向面を有し、
    前記センサ固定ブロックの対向面は、前記磁性移動体の中心軸線を中心とする曲率半径の曲面であることを特徴とする変位検出装置。
16. （ａ）磁性体を有し、移動方向に直線移動する移動体と、
    （ｂ）この移動体と対向するように配置されて、
    前記移動体の直線移動に伴って前記移動体の磁性体を通過する磁束の変化を検出する磁気センサと、
    （ｃ）この磁気センサの中心部を通る対称軸線を中心にして対称的な位置関係となるように、前記対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置されて、
    前記移動体の磁性体および前記磁気センサに向かって磁束を放出する２つの第１、第２磁石と、
    （ｄ）前記磁気センサおよび前記２つの第１、第２磁石を保持固定すると共に、
    前記第１磁石を経由して前記移動体の磁性体と前記磁気センサとの間を結ぶ第１磁路、および前記第２磁石を経由して前記移動体の磁性体と前記磁気センサとの間を結ぶ第２磁路を形成する磁性固定体と
    を備えた変位検出装置において、
    前記２つの第１、第２磁石は、前記第１磁路を通る磁束の流れ方向と前記第２磁路を通る磁束の流れ方向とが互いに逆向きとなるように着磁されており、
    前記磁性固定体は、前記対称軸線を中心にして対称的な形状となるように、前記対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置された２つの第１、第２分割部を有し、
    前記２つの第１、第２分割部は、前記移動体の磁性体に対してギャップを隔てて対向し、前記移動体の移動方向に対して平行な対向面をそれぞれ有していることを特徴とする変位検出装置。
17. 請求項１６に記載の変位検出装置において、
    前記２つの第１、第２分割部の各対向面は、平面であって、
    前記移動体の磁性体は、前記２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップを隔てて対向し、前記移動体の移動方向に対して平行な平面を有する直方体形状に形成されていることを特徴とする変位検出装置。
18. 請求項１７に記載の変位検出装置において、
    前記磁性固定体は、前記磁気センサの中心部を通る対称軸線上に、前記磁気センサを搭載するセンサ固定ブロックを有し、
    前記センサ固定ブロックは、前記移動体の磁性体に対してギャップを隔てて対向し、前記移動体の移動方向に対して平行な対向面を有し、
    前記センサ固定ブロックの対向面は、平面であることを特徴とする変位検出装置。
19. 請求項１６に記載の変位検出装置において、
    前記２つの第１、第２分割部の各対向面は、前記移動体の磁性体の中心軸線を中心とする曲率半径の曲面であって、
    前記移動体の磁性体は、前記２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップを隔てて対向し、前記移動体の移動方向に対して平行な曲面を有する円柱形状に形成されていることを特徴とする変位検出装置。
20. 請求項１９に記載の変位検出装置において、
    前記磁性固定体は、前記磁気センサの中心部を通る対称軸線上に、前記磁気センサを搭載するセンサ固定ブロックを有し、
    前記センサ固定ブロックは、前記移動体の磁性体に対してギャップを隔てて対向し、前記移動体の移動方向に対して平行な対向面を有し、
    前記センサ固定ブロックの対向面は、前記移動体の磁性体の中心軸線を中心とする曲率半径の曲面であることを特徴とする変位検出装置。
21. 請求項１６ないし請求項２０のうちのいずれか１つに記載の変位検出装置において、
    前記移動体の磁性体は、前記２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップを隔てて対向する２つの第１、第２磁性体を有し、
    前記移動体は、前記２つの第１、第２磁性体間に非磁性体を有していることを特徴とする変位検出装置。
22. 請求項１６ないし請求項２１のうちのいずれか１つに記載の変位検出装置において、
    前記移動体の磁性体は、前記磁気センサに対してギャップを隔てて対向し、前記移動体の移動方向に対して平行な第１端面、および前記２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップを隔てて対向し、前記移動体の移動方向に対して平行な第２端面を有していることを特徴とする変位検出装置。
23. （ａ）磁性体を有し、移動方向に曲線移動する移動体と、
    （ｂ）この移動体と対向するように配置されて、
    前記移動体の曲線移動に伴って前記移動体の磁性体を通過する磁束の変化を検出する磁気センサと、
    （ｃ）この磁気センサの中心部を通る対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置されて、
    前記移動体の磁性体および前記磁気センサに向かって磁束を放出する２つの第１、第２磁石と、
    （ｄ）前記磁気センサおよび前記２つの第１、第２磁石を保持固定すると共に、
    前記第１磁石を経由して前記移動体の磁性体と前記磁気センサとの間を結ぶ第１磁路、および前記第２磁石を経由して前記移動体の磁性体と前記磁気センサとの間を結ぶ第２磁路を形成する磁性固定体と
    を備えた変位検出装置において、
    前記２つの第１、第２磁石は、前記第１磁路を通る磁束の流れ方向と前記第２磁路を通る磁束の流れ方向とが互いに逆向きとなるように着磁されており、
    前記磁性固定体は、前記対称軸線に対して垂直な方向の両側にそれぞれ配置された２つの第１、第２分割部を有し、
    前記２つの第１、第２分割部は、前記移動体の磁性体に対してギャップを隔てて対向し、前記移動体の移動方向に沿って湾曲した対向面をそれぞれ有していることを特徴とする変位検出装置。
24. 請求項２３に記載の変位検出装置において、
    前記２つの第１、第２分割部の各対向面は、前記磁気センサの中心部付近を中心とする曲率半径の凹曲面であって、
    前記移動体の磁性体は、前記２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップを隔てて対向し、前記移動体の移動方向に沿って湾曲した凸曲面を有する部分円筒形状に形成されていることを特徴とする変位検出装置。
25. 請求項２４に記載の変位検出装置において、
    前記磁性固定体は、前記磁気センサの中心部を通る対称軸線上に、前記磁気センサを搭載するセンサ固定ブロックを有し、
    前記センサ固定ブロックは、前記移動体の磁性体に対してギャップを隔てて対向し、前記移動体の移動方向に沿って湾曲した対向面を有し、
    前記センサ固定ブロックの対向面は、前記磁気センサの中心部付近を中心とする曲率半径の凸曲面であることを特徴とする変位検出装置。
26. 請求項２３ないし請求項２５のうちのいずれか１つに記載の変位検出装置において、
    前記移動体の磁性体は、前記磁気センサに対してギャップを隔てて対向し、前記移動体の移動方向に沿って湾曲した凹曲面、および前記２つの第１、第２分割部の各対向面に対してギャップを隔てて対向し、前記移動体の移動方向に沿って湾曲した凸曲面を有していることを特徴とする変位検出装置。
27. 請求項２３ないし請求項２６のうちのいずれか１つに記載の変位検出装置において、
    前記移動体の磁性体は、前記移動体の移動方向に沿って円弧状に延びる部分円筒形状に形成されていることを特徴とする変位検出装置。

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