JPH07318304A

JPH07318304A - 磁気式位置センサ

Info

Publication number: JPH07318304A
Application number: JP11290394A
Authority: JP
Inventors: Tetsuro Muraji; 哲朗連
Original assignee: Mikuni Corp
Current assignee: Mikuni Corp
Priority date: 1994-05-26
Filing date: 1994-05-26
Publication date: 1995-12-08

Abstract

(57)【要約】【構成】少なくとも１つの第１閉磁路を形成する第１
の磁路形成手段（１）と、第１の磁路形成手段に対して
非接触で所定範囲に亘って相対的に移動可能であって第
１閉磁路を２つの閉磁路に分岐する分岐路を形成する第
２の磁路形成手段（６）と、所定範囲を挟む位置にて第
１閉磁路に鎖交する２つの第１及び第２コイル（２，
３）と、分岐磁路に鎖交する１つの第３コイル（６）
と、前記３つのうち少なくとも１つのコイルを交流励磁
して他のコイルに発生する起電力を検出する検出手段
と、により磁気式位置センサを構成する。【効果】本発明の磁気式位置センサによれば、非接触
型であるので耐久性があるとともに、構造が簡素である
ので製造が容易かつ安価である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、直線移動あるいは回転
移動する可動部材の位置を検出できる磁気式位置センサ
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、かかる磁気式位置センサとして、
自動車等のスロットル開度を検出するスロットルポジシ
ョンセンサ（Throttle Position Senser）が知られてい
る。一例を示すと、例えば、特公昭５５−１３２８６及
び特公昭５５−９８１８に開示されているものがある。
これらは、可動磁心と固定磁心とが３つの対向部で結合
し、２つの閉回路を構成している。可動磁心の変位によ
り対向部面積が変化し、各閉磁路の磁気抵抗による各コ
イルのインダクタンス変化を検出して、可動磁心の位置
信号を検出するものである。

【０００３】しかし、可動磁心と固定磁心で作られる２
つの閉回路は、対向部面積以外に、そのギャップ長の影
響を受けることになり、固定磁心が可動磁心に対して変
位する時に、両磁心のギャップ長を一定に維持するため
には、両磁心の対向面の平行度を高精度に製造する必要
があるため製造コストが高くなるという問題がある。ま
た、ホール素子を利用した磁気式位置センサがある。例
えば特開平５−２６６１０号公報に開示されているよう
なものである。

【０００４】かかるセンサの構造は、スロットルバルブ
に連動して回転するスロットルシャフトと一体的に回動
するように、その回転面上に一対の永久磁石を対向配置
し、さらに、この一対の永久磁石間でスロットルシャフ
トの軸線上に一つのホール素子を配置したものとなって
いる。これによれば、一対の永久磁石がスロットルシャ
フトの回転軸を挟んで磁気回路を形成する。そして、そ
の形成された磁気回路の磁界方向は、スロットルシャフ
トの回転角度に応じて変化することになる。従って、か
かる一対の永久磁石間に設けられたホール素子を通過す
る磁束の変化を検出して、スロットルの開度を検出でき
るというものである。

【０００５】また、シャフトの回転軸を中心とする円弧
上に沿って一対の円弧状永久磁石を並設し、これら円弧
状永久磁石から回転軸の軸線方向に離間した位置に一つ
のホール素子を配置して、かかる一対の円弧状永久磁石
によって形成される磁気回路の磁界の方向を検出するこ
とにより、アイドル運転状態を検出できるというもので
ある。

【０００６】これらの磁気式位置センサはいずれも、一
つの磁気回路内に一つのホール素子を配置して、かかる
磁気回路内の磁界の変化等を検出する構造となってい
る。しかし、磁気位置センサにホール素子等を用いる場
合には、その温度特性により出力ドリフトが生じるので
温度補償のための温度補償回路等が必要になるという欠
点がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術の問題点
等に鑑み、本願発明の目的とするところは、加工精度を
要求しない簡素な構成で、かつ耐久性があり、回動移動
あるいは直線移動等の変位位置を高精度に検出できる磁
気式位置センサを提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気式位置セン
サは、少なくとも１つの第１閉磁路を形成する第１の磁
路形成手段と、前記第１の磁路形成手段に対して非接触
で所定範囲に亘って相対的に移動可能であって前記第１
閉磁路を２つの閉磁路に分岐する分岐磁路を形成する第
２の磁路形成手段と、前記所定範囲を挟む位置にて前記
第１閉磁路に鎖交する２つの第１及び第２コイルと、前
記分岐磁路に鎖交する１つの第３コイルと、前記３つの
コイルのうち少なくとも１つのコイルを交流励磁して他
のコイルに発生する起電力を検出する検出手段とからな
ることを特徴とするものである。

【０００９】

【作用】このような特徴を有する本発明の磁気式位置セ
ンサは少なくとも１つの第１閉磁路を形成する第１の磁
路形成手段と、前記第１の磁路形成手段に対して非接触
で所定範囲に亘って相対的に移動可能であって前記第１
閉磁路を２つの閉磁路に分岐する分岐磁路を形成する第
２の磁路形成手段と、前記所定範囲を挟む位置にて前記
第１閉磁路に鎖交する２つの第１及び第２コイルと、前
記分岐磁路に鎖交する１つの第３コイルとからなり、前
記３つのコイルのうち少なくとも１つのコイルを交流励
磁して他のコイルに発生する起電力を検出する検出手段
とにより第１の磁路形成手段と可動な第２の磁路形成手
段の相対位置を検出している故、構造の簡素化を図りつ
つも非接触型センサであるので耐久性に優れ、かつ位置
検出手段としてコイルを用いているので温度特性の受け
ることなく、高精度に変動位置等の検出を行うことがで
きる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の磁気式位置センサに係る実施
例について、図面に基づき説明する。図１は、回転移動
における回動角を検出する磁気式位置センサの実施例を
示すものである。図１（ａ）乃至図１（ｃ）に示される
構成においては、磁性部材１は一対の半円環状磁性部材
１ａ，１ｂ間を互いに平行に位置決めする一対の磁性連
結部材１ｃ，１ｄから構成されている。そして、この磁
性連結部材１ｃ，１ｄにはコイル２，３が夫々巻回配置
されている。また、半円環状磁性部材１ａ，１ｂの対向
する空間内には、ギャップ４，５が生ずるようにコイル
６が巻回された磁性部材１０が配置されている。この磁
性部材１０は非磁性材料からなる連結棒７を介して回動
シャフト９に固着されている。ここで、一対の半円環状
磁性部材１ａ，１ｂの曲率半径と連結棒７の長さすなわ
ち磁性部材１０の回動半径とは同一に設定され、半円環
状磁性部材１ａ，１ｂの曲率の中心と磁性部材１０の回
動の中心とが一致している。

【００１１】従って、回動シャフト９が回動することに
より、磁性部材１０は、一対の半円環状磁性部材１ａ，
１ｂ間をその周方向に沿って移動することになる。以上
のような構成から成る磁気式位置センサによれば、コイ
ル６を図示しない交流電源にて励磁すると、コイル６に
流れる交流電流による起磁力が発生する。この起磁力が
磁性部材１内に分布してコイル２，３に鎖交する磁束を
生じ、コイル２，３に交流の起電力を発生させる。この
交流起電力の大きさはコイル２，３に鎖交する磁束φの
変化率〓φ／〓ｔに比例する。ここで、コイル６の位置
に応じて、コイル２，３に鎖交する磁束の変化率は変化
する。即ち、コイル６の回転位置に応じてコイル２，３
に生じる起電力が変化するという原理を利用して、コイ
ル６の回転位置を検出するものである。

【００１２】交流励磁されたコイル６から発した磁束
は、ギャップ４を通過して半円環状磁性部材１ａに入
り、磁路が２つに分岐し、磁性連結部材１ｃ，１ｄを夫
々通過し、さらにギャップ５を通過して、再びコイル６
に戻り、２つの閉磁路が形成される。また、閉磁路の磁
束の方向は電流の方向に応じて変化する。このように、
２分された閉磁路の各々の磁性連結部材１ｃ，１ｄに巻
回配置されたコイル２，３の出力電圧を第２図の如き位
置検出回路にて検出及び演算を行いコイル６の位置即ち
回動シャフト９の位置を検出することが出来る。尚、コ
イル６に対する交流起電力供給には回動シャフト９にス
リップリング（図示せず）を設けてこれに摺接するブラ
シ（図示せず）を介して行うことも可能である。また、
本実施例ではコイル６に交流電力を供給してコイル２，
３から交流電圧を検出しているが、コイル２，３のいず
れか一方に交流電力を供給してコイル２，３の他方とコ
イル６とに生ずる交流電圧を検出電圧とすることも可能
である。

【００１３】第２図に示される回路おいては、コイル
２，３の出力電圧の実効値を電圧検出器１２，１３にて
夫々検出し、その出力を増幅器１４，１５にて夫々増幅
して出力Ｖ１，Ｖ２となり、次に演算回路１６にてＶ１
／（Ｖ１＋Ｖ２）なる演算を行う。この演算結果はコイ
ル６の位置即ち回動シャフト９の回転角の位置を示して
いる。

【００１４】第３図は回転移動における回動角を検出す
る磁気式位置センサの第２の実施例を示すものである。
尚、図３において図１と同等部分は同一符号を付してあ
る。図３に示されるように、磁性部材１は一対の半円環
状磁性部材１ａ，１ｂと、これらを互いに平行に位置決
めする一対の磁性連結部材１ｃ，１ｄから構成されてい
る。そして、この磁性連結部材１ｃ，１ｄにはコイル
２，３が夫々巻回配置されている。また、コイル６は回
動自在な回動シャフト９に巻回されており、回動シャフ
ト９には、磁路部材８ａ，８ｂが固着されている。磁路
部材８ａ，８ｂは交流励磁されたコイル６から発生する
磁束を半円環状磁性部材１ａ，１ｂに伝達させるための
通路としての役割を担うものである。かかる磁路部材は
磁性材料からなる。半円環状磁性部材１ａ，１ｂの半円
周内上で、一対の磁路部材８ａ，８ｂが半円環状磁性部
材１ａ，１ｂに対し相対運動が可能となるように回動可
能な回動シャフト９の半径方向に沿って伸張するように
担持されている。一対の半円環状磁性部材１ａ，１ｂの
曲率半径よりも磁路部材８ａ，８ｂの回動半径は小さく
設定され、また、それら曲率の中心と回動の中心とは一
致している。従って、回動シャフト９が回動することに
より、磁路部材８ａ，８ｂは、一対の半円環状磁性部材
１ａ，１ｂの内壁に対向しつつその周方向に沿って移動
することになる。

【００１５】以上のような構成から成る磁気式位置セン
サによれば、図示しない交流電源にてコイル６を励磁す
るとこれによって発生する磁束は、磁路部材８ａを通
り、磁路部材８ａと半円環状磁性部材１ａとのギャップ
を通過して半円環状磁性部材１ａに入り、磁束は２つに
分岐し、連結部１ｃ，１ｄを夫々経由し、半円環状磁性
部材１ｂと磁路部材８ｂとのギャップを通り、磁路部材
８ｂを通過して、再びコイル６に戻り２つの閉磁路が形
成される。この磁束の方向は電流の方向に応じて変化す
る。

【００１６】このように、２分された閉磁路において、
コイル２，３の出力電圧より前記第１の実施例と同様に
して、前記第２図の位置検出回路より磁路部材８の位置
すなわち回動シャフト９の回動角を検出することができ
る。尚、回動コイル６を励磁するためには図示しないス
リップリング及びブラシの構成を用いても良い。

【００１７】第４図は、回転移動における回動角を検出
する磁気式位置センサの第３の実施例を示すものであ
る。図１及び図３と同等部分には同一符号を付してあ
る。本図に示される実施例においては、第１の磁路形成
手段は、半円環状磁性部材１ａ及び半円環状磁性部材１
ａの両脚部間に架設された棒状磁性部材１ｂとからな
る。第２の磁路形成手段は、コイル６が巻回された磁性
部材１０及び磁路部材８から構成されている。磁性部材
１０及び磁路部材８は、半円環状磁性部材１ａ及び棒状
磁性部材１ｂによって囲まれる空間内に配置されてい
る。磁性部材１０の一端は棒状磁性部材１ｂと当接又は
固着している。また、磁性部材１０と棒状磁性部材１ｂ
とは一体に成型されることも考えられる。磁路部材８は
回動シャフト９にネジ等の結合手段１１により結合され
ており、磁路部材８は回動シャフト９に担持されて半円
環状磁性部材１ａの半円周内で回動運動を行う。磁性部
材１０の他端は磁性部材８の回転中心部と当接してい
る。半円環状磁性部材１ａの曲率半径よりも磁路部材８
の回動半径は小さく設定され、それら曲率の中心と回動
の中心とは一致している。また、半円環状磁性部材１ａ
には一対のコイル２，３が巻回配置されている。

【００１８】以上のような構成から成る磁気式位置セン
サによれば、コイル６を交流電源にて励磁するとコイル
６からでた磁束は、磁路部材８を通り、磁路部材８と半
円環状磁性部材１ａとのギャップを通過して半円環状磁
性部材１ａに入り、２つの磁束に分離されコイル２，３
を夫々経由し、棒状磁性部材１ｂを通り、再びコイル６
に戻り２つの閉磁路を形成する。この磁束の方向は励磁
電流の方向に応じて変化する。

【００１９】このように、２分された閉磁路において、
コイル２，３の出力電圧より前記第１の実施例と同様に
して、前記第２図の位置検出回路より磁路部材８の位置
すなわち回動シャフト９の回動角を検出することができ
る。当該構成とすれば、半円環状磁性部材１ａ及び棒状
磁性部材１ｂにて１つの閉磁路を形成することが出来る
ので装置の小型化が可能である。また、コイル６を固定
している故、安定した磁場を供給することが可能とな
る。

【００２０】第５図は、他の実施例を示し、この実施例
においては、コイル２及び３を交流励磁して、コイル６
に生じる起電力を検出して磁路部材８の位置すなわち回
動シャフト９の回動角の検出を行う。第４図の実施例と
同−部分は同一符号を付し、同一部分の説明は省略す
る。図５において、交流電源１７と１８とは周波数は同
じで、位相は一定の関係にあり、コイル２，３の巻き方
はこれらによる磁束が半円環状磁性部材１ａ及び棒状磁
性部材１ｂにおいて相加するようになっている。

【００２１】コイル２を交流電源１７にて励磁するとコ
イル２から発した磁束は棒状磁性部材１ｂを通り（Ｄ１
方向）、磁性部材１０の位置で２つに分岐し、一方は磁
性部材１０及び磁路部材８を通り、半円環状磁性部材１
ａに入り、再びコイル２に戻り、他方は、半円環状磁性
部材１ａに入り、コイル３を経由して再びコイル２に戻
る。

【００２２】また、コイル３を交流電源１８にて励磁す
るとコイル３からでた磁束は半円環状磁性部材１ａをＤ
２方向に流れ、磁路部材８の位置で磁束は２つに分岐
し、一方は磁路部材８及び磁性部材１０を通過し棒状磁
性部材１ｂに入り再びコイル３に戻り、他方はコイル２
を経由し、棒状磁性部材１ｂに入り、再びコイル３に戻
る。磁束の方向は電流の方向により変化する。

【００２３】コイル６にはコイル２及びコイル３から発
せられた磁束により、磁路部材８の回転位置に応じた起
電力が発生することになる。この起電力を検出して磁路
部材８の位置を検出することができる。かかる構成とす
れば、１つのコイルに生じる起電力を検出することによ
り、磁路部材８の位置を検出することができるので演算
回路等を設ける必要がなく簡単な回路構成にて位置検出
が可能となる。

【００２４】上記図１乃至図５の実施例による磁気式位
置センサの具体的応用については、回動シャフトを例え
ば内燃機関のスロットルバルブに連結することにより、
スロットルポジションセンサを得ることができる。以上
の実施例に係る磁気式位置センサは、さらに、自動工作
機械、自動搬送機械等における位置検出手段としても用
いることができ、工場の自動化（ＦＡ）等においても好
ましく適用できるものである。

【００２５】第６図は本願発明の他の実施例を示すもの
である。図１、図３、図４、及び図５と同等部分は同一
符号を付してある。本図に示される実施例においては、
第１の磁路形成手段すなわち磁性部材１は、一対の磁性
部材１ａ，１ｂと、一対の磁性部材１ａ，１ｂを互いに
平行に位置決めする一対の磁性連結部材１ｃ，１ｄと、
から構成されている。そして、この磁性連結部材１ｃ，
１ｄにはコイル２，３が夫々巻回配置されている。第２
の磁路形成手段は、コイル６が巻回された磁性部材１０
と、磁性部材１ａ，１ｂに平行な補助分岐磁性部材８ａ
と、磁性部材１ｂと補助分岐磁性部材８ａとの間を平行
移動する可動磁性部材８ｂと、から成る。磁性部材１０
は磁性部材１ａと補助分岐磁性部材８ａとを磁気的に連
結している。また、可動磁性部材８ｂは、補助分岐磁性
部材８ａと磁性部材１ｂとの間に非接触に配置されてい
る。可動磁磁性部材８ｂは図示しない支持部材により支
持されて、図示しない所定の駆動手段により磁性部材１
ｂと補助分岐磁性部材８ａとの対向面内を長手方向（矢
印Ｍ方向）に亘って移動可能である。

【００２６】以上のような構成から成る磁気式位置セン
サによれば、図示しない交流電源にてコイル６を励磁す
るとこれによって発生する磁束は、補助分岐磁性部材８
ａを通り、補助分岐磁性部材８ａと可動磁性部材８ｂと
のギャップ、可動磁性部材８ｂ、及び可動磁性部材８ｂ
と磁性部材１ｂとのギャップをそれぞれ通り、磁性部材
１ｂに入り、磁束は２つに分岐し、磁性連結部材１ｃ，
１ｄを夫々経由し、磁性部材１ａを通り、再びコイル６
に戻り２つの閉磁路が形成される。この磁束の方向は電
流の方向に応じて変化する。このように、２分された閉
磁路において、コイル２，３の出力電圧より前記第１の
実施例と同様にして、前記第２図の位置検出回路より可
動磁性部材８ｂの位置を検出することができる。

【００２７】次に、本願発明による磁気式位置センサの
検出原理を図７に基づいて説明する。図７の概念図に示
されるように、コイル６を磁性部材１０に巻回し、コイ
ル６を交流電源１９にて励磁すると磁束が生じる。この
磁束の大きさはコイルの導線の巻き数と励磁電流の大き
さに比例する。本概念図ではコイルの６のギャップ４側
がＮ極、ギャップ５側をＳ極とする（電流の方向に応じ
てＮ極とＳ極は変わる。）固定の磁性部材１には一対の
コイル２，３が設けられている。以下に、このコイル６
から発生する磁束の通過経路及びコイル２，３に生じる
起電力の検出方法について説明する。

【００２８】コイル６から発した磁束はギャップ４を通
過して磁性部材１に入り、コイル２，３を夫々通過した
磁束はギャップ５を通過して再びコイル６に戻り、２つ
の閉磁気回路Ｓ１及びＳ２が夫々形成される。このと
き、２つの閉磁路Ｓ１及びＳ２を通る磁束の大きさは、
コイル６の位置に応じて変化する。コイル６は磁性部材
１の長手方向に対して移動可能である。例えば、コイル
６がコイル２側（左方向）に移動すれば、コイル２に鎖
交する磁束の大きさが増加し、その分コイル３に鎖交す
る磁束の大きさが減少する。一方、コイル６がコイル３
側（右方向）に移動すれば、上記内容と逆の現象が生ず
る。

【００２９】以下、この検出原理を図１の概念図に基づ
いて詳述する。Ｖ１及びＶ２はコイル２および３にて検
出された出力電圧を示し、αは磁性部材１の全長（Ｌa
＋Ｌb）に対する一端からの距離（Ｌb）の割合を示す。
磁束の通過する断面積を全てＳとし、磁性部材１の透磁
率をμとし、空気（ギャップ）の透磁率をμ₀とし、ギ
ャップ４，５のギャップ幅をＥとし、磁界の強さをＨ
4，Ｈ5とし、コイル２，３に鎖交する磁束による磁界の
強さをＨa，Ｈbとし、コイル６が巻回されている磁性部
材１０の長さをＬ6とし、コイル６の磁界の強さをＨ6と
すると、アンペア周回積分の定理により、下記数式１が
導き出される。

【００３０】

【数１】Ｈ4Ｅ＋ＨaＬa＋Ｈ5Ｅ＝Ｈ6Ｌ6 Ｈ4Ｅ＋ＨbＬb＋Ｈ5Ｅ＝Ｈ6Ｌ6 ここで、Ｈ6Ｌ6はコイル６の起磁力を示す。上記数式１
を簡単にすると下記数式２となる。

【００３１】

【数２】ＨaＬa＝ＨbＬb ここで、Ｌ＝Ｌa＋Ｌb、α＝Ｌb／Ｌとすると上記数式
２により、下記数式３が導かれる。

【００３２】

【数３】

【００３３】コイル２，３に生じる交流電圧Ｖ1及びＶ2
は、Ｈa及びＨbに比例するので下記数式４が導かれる。

【００３４】

【数４】

【００３５】以上の説明から明らかなように、磁性部材
１に夫々配置されたコイルに生じる起動電圧Ｖ1，Ｖ2を
得ることで、コイル６の位置を検出することができる。
尚、上記実施例及び概念図では可動のコイル６を励磁
し、他の二つのコイル２，３に生じる電圧を検出してコ
イル６の位置を検出しているが、コイル２を励磁し、コ
イル３，６に生じる電圧を検出してもコイル６の位置を
検出することが可能である。同様に、コイル３を励磁
し、コイル２，６に生じる電圧を検出しても良い。

【００３６】尚、上記３つの検出方法においては、コイ
ル２，３のどちらか一方を励磁した場合には自己誘導に
より生じる電流が他方のコイルに流れる可能性があるた
め、コイル６を励磁する場合が検出誤差が少なくなる。

【００３７】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の磁気式位置
センサは、非接触型であるので耐久性があり、かつ構造
が簡単である。また、可動の磁性部材と固定の磁性部材
とのギャップは高精度である必要がないので加工が容易
である。更に、ホール素子等のかわりにコイルを用いて
いるため温度特性に大きく影響されることなく被検知対
象に連動する可動部材の位置を高精度に検出することが
可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気式位置センサの第１の実施
例を示す図であり図１（ａ）はセンサの平面図、図１
（ｂ）は図１（ａ）をＢ−Ｂ線から見た断面図、図１
（ｃ）は図１（ａ）をＣ−Ｃ線から見た断面図を夫々示
す。

【図２】本発明に係る磁気式位置センサの位置検出回
路を示す。

【図３】本発明に係る磁気式位置センサの第２の実施
例を示す図であり、図３（ａ）はセンサの平面図、図３
（ｂ）は図３（ａ）をＢ−Ｂ線から見た断面図、図３
（ｃ）は図３（ａ）をＣ−Ｃ線から見た断面図を夫々示
す。

【図４】本発明に係る磁気式位置センサの第３の実施
例を示す図であり図４（ａ）はセンサの正面図、図４
（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ線からみた断面図を夫々示
す。

【図５】本発明に係る磁気式位置センサの第４の実施
例を示す図であり図５（ａ）はセンサの正面図、図５
（ｂ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ線からみた断面図を夫々示
す。

【図６】本発明に係る磁気式位置センサの第５の実施
例を示す図であり、図６（ａ）はセンサの見取り図、図
６（ｂ）は図６（ａ）のＢ矢示図を夫々示す。

【図７】本発明に係る磁気式位置センサの検出原理を
示す概念図を示す。

【主要部分の符号の説明】

１，１０磁性部材２，３，６コイル４，５ギャップ７連結部材８磁路部材９回動シャフト

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも１つの第１閉磁路を形成する
第１の磁路形成手段と、前記第１の磁路形成手段に対し
て非接触で所定範囲に亘って相対的に移動可能であって
前記第１閉磁路を２つの閉磁路に分岐する分岐磁路を形
成する第２の磁路形成手段と、前記所定範囲を挟む位置
にて前記第１閉磁路に鎖交する２つの第１及び第２コイ
ルと、前記分岐磁路に鎖交する１つの第３コイルと、前
記３つのうち少なくとも１つのコイルを交流励磁して他
のコイルに発生する起電力を検出する検出手段と、から
なることを特徴とする磁気式位置センサ。
【請求項２】前記第１の磁路形成手段は少なくとも一
対の対向部を形成する固定磁性部材からなり、前記第２
の磁路形成手段は、前記対向部を連結し、かつ少なくと
も一部が前記対向部の少なくとも一方に対して相対的に
移動可能な可動分岐磁性部材からなることを特徴とする
請求項１記載の磁気式位置センサ。
【請求項３】前記第２の磁路形成手段は、前記対向部
に対向する補助分岐磁性部材と、一端が前記対向部の一
方に固着されかつ他端が補助分岐磁性部材に固着された
固定分岐磁性部材とからなり、前記可動分岐磁性部材は
前記対向部の他方と前記補助分岐磁性部材との対向面間
を平行移動可能であることを特徴とする請求項２記載の
磁気式位置センサ。
【請求項４】前記第２の磁路形成手段は前記対向部の
一方に一端が固設した固定分岐磁性部材を更に含み、前
記可動分岐磁性部材は前記固定分岐磁性部材の他端の近
傍の回転中心軸の回りに回動自在であり、かつ前記対向
部の他方が前記可動分岐磁性部材の先端の可動軌跡に沿
って延在していることを特徴とする請求項２記載の磁気
式位置センサ。
【請求項５】前記第３コイルは前記固定分岐磁性部材
に巻回されていることを特徴とする請求項３又は４記載
の磁気式位置センサ。
【請求項６】前記検出手段は、前記第３のコイルを交
流励磁し前記第１及び第２のコイルに発生する起電力を
検出することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１
記載の磁気式位置センサ。