JP2002303535A - 磁気式位置センサ - Google Patents

磁気式位置センサ

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JP2002303535A
JP2002303535A JP2001104278A JP2001104278A JP2002303535A JP 2002303535 A JP2002303535 A JP 2002303535A JP 2001104278 A JP2001104278 A JP 2001104278A JP 2001104278 A JP2001104278 A JP 2001104278A JP 2002303535 A JP2002303535 A JP 2002303535A
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Japan
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stator
rotor
permanent magnet
magnet piece
magnetic
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JP2001104278A
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Mitsuru Sekiya
谷 満 関
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Mikuni Corp
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Mikuni Corp
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Publication date
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    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】磁気式位置センサにおいて、検出精度の向上、
小型化等を図る。 【解決手段】永久磁石片10と、永久磁石片10の外側
円弧面10bに対向して配置された第1ステータ20及
び第2ステータ30と、第1ステータ20と第2ステー
タ30との間に配置されたホール素子40と、永久磁石
片10の内側円弧面10aに対向して配置されたアマチ
ュア50とを備え、ロータ1には、永久磁石片10のみ
が一体的に回転するように形成され、これにより、ロー
タ1の回転角度を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁束の変化を利用
して位置の変化を検出する非接触式の磁気式位置センサ
に関し、特に、永久磁石片を両側から挟むように配置さ
れたステータとアマチュアを備えた非接触式の磁気式位
置センサに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の磁気式位置センサとしては、例え
ば特開平8−35809号公報に記載されたものが知ら
れている。この磁気式位置センサは、回転軸に固定され
た円筒形状のヨーク(アマチュア)の内壁面に固着され
た円筒状の永久磁石を備えたロータと、このロータの内
側において半円形状に形成されて二分された二つのステ
ータと、これら二つのステータの間に配置されたホール
素子等により構成されている。そして、二つのステータ
の周りをロータが回動すると、例えば、永久磁石、一方
のステータ、ホール素子、他方のステータ、永久磁石、
ヨーク(アマチュア)、永久磁石という順路を辿って磁
束が流れる。この際、ロータの位置により、ホール素子
を通過する磁束が変化するため、その変化に応じた電圧
がホール素子から出力され、これにより、ロータの回転
角度が検出されるものである。この構成により、ロータ
の軸中心にずれを生じても出力変動を生じにくいという
特徴をもっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の磁気式位置センサにおいては、磁力の変化する範囲
が180°に固定されてしまう。したがって、検出範囲
が狭いもの例えば15°のものでは磁力変化の値は15
°/180°と小さくなり、わずかな磁力変化で作動角
度を検出するため検出制度が悪くなる。また、180°
以上の検出も不可能である。
【0004】本発明は、上記の点に鑑みて成されたもの
であり、その目的とするところは、10°〜240°の
磁力変化の周期に対応可能な磁路構成を有し、ロータ等
の可動体を支持する支持部等が経時的に変化して軸芯ず
れ等の位置ずれを生じても、その影響を受けることなく
可動体の位置を高精度に検出できる磁気式位置センサを
提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気式位置セン
サは、永久磁石片と、永久磁石片の一方側の面に対向し
て配置された第1ステータ及び第2ステータと、第1ス
テータと第2ステータとの間に配置されて磁束の変化を
検出する磁気センサと、永久磁石片の他方側の面に対向
して配置された磁路を形成するアマチュアとを備え、可
動体の位置を検出する磁気式位置センサであって、上記
第1ステータは永久磁石片の一方側の面と対向する一つ
の磁極部を有し、上記第2ステータは永久磁石片の一方
側の面と対向する二つの磁極部を有し、上記可動体に
は、永久磁石片のみが一体的に移動するように形成され
ている、ことを特徴としている。この構成によれば、ス
テータとアマチュアとの間において、可動体が一方側に
偏倚したとしても、可動体と一緒に移動するのは永久磁
石片のみであるため、ステータとアマチュアとの間隔は
変化しない。したがって、可動体の偏倚によって磁束の
強さが変化することはなく、又、磁束漏れ等を極力抑制
でき、高精度なセンシングが行なえる。
【0006】上記構成において、可動体は所定軸の回り
に回動自在なロータからなり、永久磁石片はロータの回
転中心と同心の円弧面をなすように形成されている、構
成を採用することができる。この構成によれば、位置情
報としてロータの回転角度を検出できるため、例えば、
二輪車等のアクセルグリップの回転角度等を検出するの
に好適である。
【0007】上記構成において、ロータの径方向外側に
は、第1ステータと第2ステータが径方向外側に向かっ
て順次に配置され、ロータの径方向内側には、アマチュ
アが配置されている、構成を採用することができる。こ
の構成によれば、ロータそのものを大きくできないよう
な回転体(例えば、アクセルグリップ)のセンシングに
好適であり、それ故に、センサとしての小型化が行なえ
る。
【0008】上記構成において、ロータの径方向内側に
は、第1ステータと第2ステータが径方向内側に向かっ
て順次に配置され、ロータの径方向外側には、アマチュ
アが配置されている、構成を採用することができる。こ
の構成によれば、逆にロータの径が大きくなるような回
転体のセンシングに好適であり、その内側に第1ステー
タ及び第2ステータを配置することによりスペースの有
効利用が図れ、センサ全体としての小型化も行なえる。
【0009】上記構成において、永久磁石片は、ロータ
の回転中心を通る径方向の内側と外側で異なる極性に着
磁されかつロータの回転方向における中央部を境に極性
が逆転するように着磁されている、構成を採用すること
ができる。この構成によれば、永久磁石片から効率良く
磁力を発生させることができる。特に、可動体がロータ
の場合において好適である。
【0010】上記構成において、第2ステータ及びアマ
チュアは、少なくとも永久磁石片の移動範囲に対応する
長さを有する、構成を採用することができる。この構成
によれば、ロータが回動しても永久磁石片がステータ及
びアマチュアの両側の端部からはみ出すことはなく、そ
れ故に磁束漏れを防止でき安定したセンシングが行なえ
る。
【0011】上記構成において、ロータのスラスト方向
におけるステータ及びアマチュアの幅は、少なくとも永
久磁石片の幅にロータのスラスト方向へのずれ量を加え
た長さを有する、構成を採用することができる。この構
成によれば、ロータがスラスト方向に位置ずれを生じて
も永久磁石片がステータ及びアマチュアからはみ出すこ
とはなく、それ故に磁束漏れを防止でき安定したセンシ
ングが行なえる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、添付図面を参照しつつ説明する。図1及び図2は、
本発明に係る磁気式位置センサの一実施形態を示すもの
である。図示するように、この磁気式位置センサは、ロ
ータ1に一体的に固定された永久磁石片10と、ロータ
1の径方向外側に配置された第1ステータ20及び第2
ステータ30と、第1ステータ20と第2ステータ30
との間に配置された磁気センサとしてのホール素子40
と、ロータ1の径方向内側に配置された磁路を形成する
アマチュア50等を、その基本構成として備えている。
【0013】永久磁石片10は、図1に示すように、ロ
ータ1の回転中心Cと同心の内側円弧面10aと外側円
弧面10bをなすように形成されて、ロータ1内に埋設
されている。また、この円弧状をなす永久磁石片10
は、ロータ1の回転中心Cを通る径方向の内側半分と外
側半分とで異なる極性(N極、S極)に着磁され、か
つ、ロータ1の回転方向Rにおける中央部を境に極性が
逆転するように着磁されている。
【0014】第1ステータ20は、図1及び図2に示す
ように、ロータ1(及び永久磁石片10)の径方向外側
の領域に固定して配置され、ロータ1の回転中心Cと同
心の円弧状をなすように形成され、その内側円弧面20
aが、永久磁石片10の外側円弧面10bと対向してい
る。そして、この内側円弧面20aの近傍が磁極部21
を形成している。
【0015】第2ステータ30は、図1及び図2に示す
ように、ロータ1(及び永久磁石片10)の径方向外側
の領域でかつ第1ステータ20の外側の領域に固定して
配置され、第1ステータ20を収容する凸状湾曲部31
と、凸状湾曲部31の両側に連続して形成された二つの
磁極部32,33により形成されている。凸状湾曲部3
1、磁極部32,33は、それぞれロータ1の回転中心
Cと同心の円弧状をなすように形成され、凸状湾曲部3
1の内側円弧面31aと第1ステータ20の外側円弧面
20bとの間にホール素子40が挟持されている。ま
た、二つの磁極部32,33の内側円弧面32a,33
aは、第1ステータ20の内側円弧面20aと面一にな
った同一の円筒面を形成して、永久磁石片10の外側円
弧面10bと対向している。
【0016】ホール素子40は、第1ステータ20から
第2ステータ30へ又は第2ステータ30から第1ステ
ータ20へ通る磁束の変化を検出し、その変化に応じた
電圧値を出力信号として出力するものである。尚、ここ
では、磁気センサとしてホール効果を利用したホール素
子を用いたが、磁束の変化を検出できるものであれば、
その他の磁気センサであっても良い。
【0017】アマチュア50は、図1及び図2に示すよ
うに、ロータ1(及び永久磁石片10)の径方向内側の
領域に固定して配置され、ロータ1の回転中心Cと同心
の円弧状をなすように形成され、その外側円弧面50a
が、永久磁石片10の内側円弧面10aと対向してい
る。
【0018】そして、図1及び図2に示すように、ロー
タ1の回転方向Rにおけるアマチュア50の円弧長さL
1及び第2ステータ30の円弧長さL2は、少なくとも
永久磁石片10の移動範囲に対応する長さに形成されて
いる。これにより、ロータ1が回動しても永久磁石片1
0がアマチュア50及び第2ステータ30の両側の端部
からはみ出すことはなく、磁束漏れが防止される。尚、
ここでは、アマチュア50を円弧状に形成したが、環状
に連続したものを採用することも可能である。
【0019】また、図2に示すように、ロータ1のスラ
スト方向(回転軸の軸線方向)における第1ステータ2
0の幅Ws1、第2ステータ30の幅Ws2、及びアマ
チュア50の幅Waは、少なくとも永久磁石片10の幅
Wmに、ロータ1のスラスト方向へのずれ量δ(経時変
化等をも考慮して算出された値)を加えた長さWm+δ
と同じ長さか、あるいは、それ以上の長さに設定されて
いる。これにより、組み付け精度のバラツキあるいは経
時変化等によりロータ1がスラスト方向に位置ずれを生
じても、永久磁石片10が第1ステータ20及び第2ス
テータ30とアマチュア50との幅方向端部からはみ出
すことはなく、磁束の漏れが防止される。
【0020】また、第1ステータ20及び第2ステータ
30と、アマチュア50とは両者間の距離Tsが常に一
定となるように固定され、各円弧面に対して垂直方向に
磁束が通過することで、安定したセンシングが行なえ
る。すなわち、ロータ1の回転中心Cが寸法精度のバラ
ツキあるいは軸受部の摩耗等により偏倚し(ずれ)た場
合、図1に示すように、第1ステータ20及び第2ステ
ータ30と永久磁石片10との距離T1と、アマチュア
50と永久磁石片10との距離T2とは変化してしま
う。しかしながら、永久磁石片10とステータ20,3
0及びアマチュア50との距離T1+T2は、永久磁石
片10の厚さTmが変化しない限り一定(Ts−Tm)
であるため、磁束の強さも一定となる。したがって、ロ
ータ1の位置ずれの影響を受けることなく、高精度なセ
ンシングが行なえる。
【0021】以上の構成からなる磁気式位置センサは、
角度θの作動角を有し、図3(a)に示すように、ロー
タ1が時計回りの回転端に位置するとき図示するように
磁力線が流れて、図4(a)に示すように、ホール素子
40を通過する磁束は−Aとなる。この状態から、図3
(b)に示すようにロータ1が角度θ/2だけ反時計回
りに回転すると、図4(a)に示すようにホール素子4
0を通過する磁束は零となる。さらに、図3(c)に示
すように、ロータ1が角度θ/2だけ反時計回りに回転
すると、図4(c)に示すようにホール素子40を通過
する磁束は+Aとなる。その結果、ホール素子40から
は、図4(b)に示すように、ロータ1の回転角度に比
例した電圧値が出力されることになる。上記の磁気式位
置センサは、小型化、構造の簡略化、軽量化が行なえる
ため、二輪車等のアクセルグリップの回転角度を検出す
るような場合に適している。
【0022】図5及び図6は、本発明に係る磁気式位置
センサの他の実施形態を示すものである。図示するよう
に、この磁気式位置センサは、回動軸Sに首振り可能に
支持されたロータ101に対して一体的に固定された永
久磁石片110と、ロータ101の径方向内側に配置さ
れた第1ステータ120及び第2ステータ130と、第
1ステータ120と第2ステータ130との間に配置さ
れた磁気センサとしての二個のホール素子140と、ロ
ータ101の径方向外側に配置された磁路を形成するア
マチュア150等を、その基本構成として備えている。
【0023】永久磁石片110は、図5に示すように、
ロータ101の回転中心Cと同心の内側円弧面110a
と外側円弧面110bをなすように形成されて、ロータ
101に一体的に形成されている。また、この円弧状を
なす永久磁石片110は、ロータ101の回転中心Cを
通る径方向の内側半分と外側半分とで異なる極性(N
極、S極)に着磁され、かつ、ロータ101の回転方向
Rにおける中央部を境に極性が逆転するように着磁され
ている。
【0024】第1ステータ120は、図5及び図6に示
すように、ロータ101(及び永久磁石片110)の径
方向内側の領域に固定して配置され、ロータ101の回
転中心Cと同心の外側円弧面120aをもつように形成
され、その外側円弧面120aが、永久磁石片110の
内側円弧面110aと対向している。そして、この外側
円弧面120aの近傍が磁極部121を形成している。
【0025】第2ステータ130は、図5及び図6に示
すように、ロータ101(及び永久磁石片110)の径
方向内側の領域でかつ第1ステータ120のさらに内側
の領域に固定して配置され、第1ステータ120を収容
する凹状部131と、凹状部131の両側に連続して形
成された二つの磁極部132,133により形成されて
いる。二つの磁極部132,133は、それぞれロータ
101の回転中心Cと同心の外側円弧面132a,13
3aをもつように形成され、一方、凹状部131は平坦
面131aとされて、この平坦面131aと第1ステー
タ120の平坦面120bとの間にホール素子140が
挟持されている。また、二つの磁極部132,133の
外側円弧面132a,133aは、第1ステータ120
の外側円弧面120aと面一になった同一の円筒面を形
成して、永久磁石片110の内側円弧面110aと対向
している。
【0026】ホール素子140は、第1ステータ120
から第2ステータ130へ又は第2ステータ130から
第1ステータ120へ通る磁束の変化を検出し、その変
化に応じた電圧値を出力信号として出力するものであ
る。尚、ここでは、磁気センサとしてホール効果を利用
したホール素子を用いたが、磁束の変化を検出できるも
のであれば、その他の磁気センサであっても良い。ま
た、ここでは、二つのホール素子140を採用している
ため、一方を他方が故障した場合等に作動させてフェー
ルセーフ機能をもたせることができる。その他、複数の
ホール素子の出力特性をそれぞれ異なる勾配にして、分
解能を向上させることも可能である。
【0027】アマチュア150は、図5及び図6に示す
ように、ロータ101(及び永久磁石片110)の径方
向外側の領域に固定して配置され、ロータ101の回転
中心Cと同心の円弧状をなすように形成され、その内側
円弧面150aが、永久磁石片110の外側円弧面11
0bと対向している。
【0028】そして、図5に示すように、ロータ101
の回転方向Rにおけるアマチュア150の円弧長さL1
及び第2ステータ130の円弧長さL2は、少なくとも
永久磁石片110の移動範囲に対応する長さに形成され
ている。これにより、ロータ101が回動しても永久磁
石片110がアマチュア150及び第2ステータ130
の両側の端部からはみ出すことはなく、磁束漏れが防止
される。尚、ここでは、アマチュア150を円弧状に形
成したが、環状に連続したものを採用することも可能で
ある。
【0029】また、図6に示すように、ロータ101の
スラスト方向(回転軸の軸線方向)における第1ステー
タ120の幅Ws1、第2ステータ130の幅Ws2、
及びアマチュア150の幅Waは、少なくとも永久磁石
片110の幅Wmに、首振り等をも考慮したロータ10
1のスラスト方向へのずれ量δ(経時変化等をも考慮し
て算出された値)を加えた長さWm+δと同じ長さかあ
るいはそれ以上の長さに設定されている。これにより、
組み付け精度のバラツキあるいは経時変化等によりロー
タ101がスラスト方向に位置ずれを生じても、あるい
は、ロータ101の首振りが大きくなっても、永久磁石
片110が第1ステータ120及び第2ステータ130
とアマチュア150との幅方向端部からはみ出すことは
なく、磁束の漏れが防止される。
【0030】また、第1ステータ120及び第2ステー
タ130と、アマチュア150とは共通の保持部材16
0によって固定され、両者間の距離Tsは常に一定とな
り、各円弧面に対して垂直方向に磁束が通過すること
で、安定したセンシングが行なえる。すなわち、ロータ
101の回転中心Cが寸法精度のバラツキあるいは軸受
部の摩耗等により偏倚し(ずれ)た場合、図5に示すよ
うに、第1ステータ120及び第2ステータ130と永
久磁石片110との距離T1と、アマチュア150と永
久磁石片110との距離T2とは変化してしまう。しか
しながら、永久磁石片110とステータ120,130
及びアマチュア150との距離T1+T2は、永久磁石
片110の厚さTmが変化しない限り一定(Ts−T
m)であるため、磁束の強さも一定となる。したがっ
て、ロータ101の位置ずれの影響を受けることなく、
高精度なセンシングが行なえる。
【0031】以上の構成からなる磁気式位置センサは、
角度θの作動角を有し、図7(a)に示すように、ロー
タ101が反時計回りの回転端に位置するとき図示する
ように磁力線が流れて、前述の図4(a)に示すよう
に、ホール素子140を通過する磁束は−Aとなる。こ
の状態から、図7(b)に示すようにロータ101が角
度θ/2だけ時計回りに回転すると、前述の図4(a)
に示すようにホール素子140を通過する磁束は零とな
る。さらに、図7(c)に示すように、ロータ101が
角度θ/2だけ時計回りに回転すると、前述の図4
(c)に示すようにホール素子140を通過する磁束は
+Aとなる。その結果、ホール素子140からは、前述
の図4(b)に示すように、ロータ101の回転角度に
比例した電圧値が出力されることになる。
【0032】上記実施形態においては、可動体として回
転するロータを示したが、これに限定されず、可動体と
一体的に永久磁石片が設けられ、この永久磁石片の両側
にステータとアマチュアを配置する構成を採用するもの
であれば、その他の可動体であっても良い。
【0033】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の磁気式位置
センサによれば、可動体と一体的に移動するものが永久
磁石片のみとしたことにより、可動体の偏倚等の影響を
受けることなく、安定した高精度なセンシングが行なえ
る。また、可動体として所定軸の回りに回動自在なロー
タを採用すれば、例えば、二輪車等のアクセルグリップ
の回転角度等を検出するのに好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る磁気式位置センサの一実施形態を
示す構成図である。
【図2】図1に示す永久磁石片、第1ステータ、第2ス
テータ、磁気センサ、アマチュアの分解斜視図である。
【図3】図1に示す磁気式位置センサの動作を説明する
ものであり、(a)は初期位置、(b)はロータが作動
角の半分だけ回転した位置、(c)はロータが最大に回
転した位置をそれぞれ示す。
【図4】(a)はホール素子を通過する磁束特性、
(b)はホール素子の出力特性を示すグラフである。
【図5】本発明に係る磁気式位置センサの他の実施形態
を示す構成図である。
【図6】図5に示す構成の断面図である。
【図7】図5に示す磁気式位置センサの動作を説明する
ものであり、(a)は初期位置、(b)はロータが作動
角の半分だけ回転した位置、(c)はロータが最大に回
転した位置をそれぞれ示す。
【符号の説明】
1 ロータ(可動体) 10 永久磁石片 10a 内側円弧面 10b 外側円弧面 20 第1ステータ 21 磁極部 30 第2ステータ 32,33 磁極部 40 ホール素子(磁気センサ) 50 アマチュア 101 ロータ(可動体) 110 永久磁石片 110a 内側円弧面 110b 外側円弧面 120 第1ステータ 121 磁極部 130 第2ステータ 132,133 磁極部 140 ホール素子(磁気センサ) 150 アマチュア C 回転中心 L1 アマチュアの長さ L2 第2ステータの長さ Wa アマチュアの幅 Ws1 第1ステータの幅 Ws2 第2ステータの幅

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 永久磁石片と、前記永久磁石片の一方側
    の面に対向して配置された第1ステータ及び第2ステー
    タと、前記第1ステータと前記第2ステータとの間に配
    置されて磁束の変化を検出する磁気センサと、前記永久
    磁石片の他方側の面に対向して配置された磁路を形成す
    るアマチュアとを備え、可動体の位置を検出する磁気式
    位置センサであって、 前記第1ステータは、前記永久磁石片の一方側の面と対
    向する一つの磁極部を有し、 前記第2ステータは、前記永久磁石片の一方側の面と対
    向する二つの磁極部を有し、 前記可動体には、前記永久磁石片のみが一体的に移動す
    るように形成されている、ことを特徴とする磁気式位置
    センサ。
  2. 【請求項2】 前記可動体は、所定軸の回りに回動自在
    なロータからなり、 前記永久磁石片は、前記ロータの回転中心と同心の円弧
    面をなすように形成されている、ことを特徴とする請求
    項1記載の磁気式位置センサ。
  3. 【請求項3】 前記ロータの径方向外側には、前記第1
    ステータと前記第2ステータが、径方向外側に向かって
    順次に配置され、 前記ロータの径方向内側には、前記アマチュアが配置さ
    れている、ことを特徴とする請求項2記載の磁気式位置
    センサ。
  4. 【請求項4】 前記ロータの径方向内側には、前記第1
    ステータと前記第2ステータが、径方向内側に向かって
    順次に配置され、 前記ロータの径方向外側には、前記アマチュアが配置さ
    れている、ことを特徴とする請求項2記載の磁気式位置
    センサ。
  5. 【請求項5】 前記永久磁石片は、前記ロータの回転中
    心を通る径方向の内側と外側で異なる極性に着磁され、
    かつ、前記ロータの回転方向における中央部を境に極性
    が逆転するように着磁されている、ことを特徴とする請
    求項2ないし4いずれかに記載の磁気式位置センサ。
  6. 【請求項6】 前記第2ステータ及び前記アマチュア
    は、少なくとも前記永久磁石片の移動範囲に対応する長
    さを有する、ことを特徴とする請求項1ないし5いずれ
    かに記載の磁気式位置センサ。
  7. 【請求項7】 前記ロータのスラスト方向における前記
    ステータ及びアマチュアの幅は、少なくとも前記永久磁
    石片の幅に前記ロータのスラスト方向へのずれ量を加え
    た長さを有する、ことを特徴とする請求項2ないし6い
    ずれかに記載の磁気式位置センサ。
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