JP2009109435A - 回転角検出装置および回転角検出方法 - Google Patents

回転角検出装置および回転角検出方法 Download PDF

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Abstract

【課題】回転軸の一周をつうじて回転角を精度良く検出できる回転角検出装置および回転角検出方法を提供する。
【解決手段】回転軸Rに取り付けられ該回転軸Rの回転角を検出する装置であって、回転軸Rの径方向に並置されて互いに対向する一対の磁石4,5によって磁界を発生し、回転軸Rの周方向に配置された状態で回転軸Rと共に回転する磁界発生部2と、磁界発生部2における一方の磁石4の回転軌跡と他方の磁石5の回転軌跡との間に位置し、回転軸Rの周方向に並置された複数の磁気センサ3a〜3hとを備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、回転角検出装置および回転角検出方法に関するものである。
回転軸の回転角を磁気により測定するための従来の技術としては、回転軸を挟んで対向した一対の静止した磁石と、この一対の磁石の間に配置され回転軸上に設けられた1つの磁気センサとを備え、回転する磁気センサが磁石間の磁界を検出するものがある。このような装置では、一対の磁石の間に配置された磁気センサが回転軸と共に回転し、回転に応じて磁気センサからの出力信号が変化するので、出力信号の大きさに基づいて回転軸の回転角を知ることができる。回転角を磁気により測定する装置の例としては、例えば特許文献1に開示されたものある。
特許第3264151号公報
しかしながら、上述した構成の回転角検出装置においては、磁界を検出する磁気センサが1つであるために、±45°の角度範囲でしか高い計測精度を得ることができない。そのため、回転軸の一周をつうじて回転角を精度良く検出することが困難となる。
本発明は、上記した問題点を鑑みてなされたものであり、回転軸の一周をつうじて回転角を精度良く検出できる回転角検出装置および回転角検出方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明による回転角検出装置は、回転軸の回転角を検出する回転角検出装置であって、回転軸の径方向に並置されて互いに対向する一対の磁界形成部材によって磁界を発生する磁界発生部と、回転軸周りの全周にわたって回転軸の周方向に並置された複数の磁気センサと、を備え、回転軸の回転に応じて、磁界発生部と複数の磁気センサとが相対的に回転し、複数の磁気センサは、磁界発生部における一方の磁界形成部材の回転軌跡と他方の磁界形成部材の回転軌跡との間に位置するか、或いは、複数の磁気センサの回転軌跡が磁界発生部における一方の磁界形成部材と他方の磁界形成部材との間を通過するように配置されており、一対の磁界形成部材のうち、回転軸の径方向に対し外側に位置する磁界発生部材の一端と回転軸の中心を結ぶ直線と、一対の磁界形成部材のうち、回転軸の径方向に対し外側に位置する磁界発生部材の他端と回転軸の中心を結ぶ直線とが成す角度は、隣り合う磁気センサ同士が回転軸周りに成す角度よりも大きくなっており、磁気センサは、第1の磁気抵抗効果素子を有しており、第1の磁気抵抗効果素子のピン層の磁化方向は回転軸の径方向と交差していることを特徴とする。
また、本発明による回転角検出方法は、回転軸の回転角を検出する方法であって、回転軸の径方向に並置され互いに対向する一対の磁界形成部材によって磁界を発生する磁界発生部を、回転軸の周方向に並んで配置し、回転軸の回転に応じて磁界発生部と複数の磁気センサとを相対的に回転させ、複数の磁気センサを、磁界発生部における一方の磁界形成部材の回転軌跡と他方の磁界形成部材の回転軌跡との間に位置するか、或いは、複数の磁気センサの回転軌跡が磁界発生部における一方の磁界形成部材と他方の磁界形成部材との間を通過するように回転軸周りの全周にわたって回転軸の周方向に並置し、一対の磁界形成部材のうち、回転軸の径方向に対し外側に位置する磁界発生部材の一端と回転軸の中心を結ぶ直線と、一対の磁界形成部材のうち、回転軸の径方向に対し外側に位置する磁界発生部材の他端と回転軸の中心を結ぶ直線とが成す角度を、隣り合う磁気センサ同士が回転軸周りに成す角度よりも大きくし、磁気センサが有する第1の磁気抵抗効果素子のピン層の磁化方向を回転軸の径方向と交差させ、第1の磁気抵抗効果素子によって磁界を検出することにより、回転軸の回転角を検出することを特徴とする。
上記した回転角度検出装置および回転各検出方法においては、複数の磁気センサが磁界発生部における一方の磁界形成部材の回転軌跡と他方の磁界形成部材の回転軌跡との間に位置するか、或いは、複数の磁気センサの回転軌跡が磁界発生部における一方の磁界形成部材と他方の磁界形成部材の間を通過するように、回転軸の周方向に並置される。これにより、磁界発生部が各磁気センサを通過するか又は各磁気センサが磁界発生部を通過する際に回転角に比例した出力信号を各磁気センサから得ることができるので、各磁気センサからの出力信号を合成することによって、回転軸の一周をつうじて回転角を精度良く得ることができる。
また、回転角検出装置は、複数の磁気センサが、第2の磁気抵抗効果素子を更に有しており、第2の磁気抵抗効果素子のピン層の磁化方向は回転軸の径方向に沿っていることを特徴としてもよい。第1の磁気抵抗効果素子から出力される出力信号は、磁界発生部の中心を通過する際の電位と、磁界発生部以外の場所における電位とが互いに等しくなる場合がある。このような場合、第2の磁気抵抗効果素子は、磁界発生部以外の場所では殆ど信号を出力しないので、第1および第2の磁界発生部において検出された電位とそれ以外の場所で検出された電位とを区別することができる。これにより、好適に回転角を検出することができる。
また、回転角検出装置は、磁界発生部における一対の磁石が、回転軸の周方向に沿って円弧状に湾曲する形状を有することを特徴としてもよい。これにより、磁気センサと一対の磁石との距離が該磁石の一端から他端に亘ってほぼ等しくなり、磁気センサ周辺の磁場の大きさを一定にできる。或いは、磁界発生部における一対の磁石が、回転軸の径方向と交差する方向に沿って延伸する形状を有してもよい。
なお、本願で言う一対の磁界形成部材とは概ね平行な磁場を発生するものであれば良く、一対の永久磁石を径方向に並置する、或いは、永久磁石とヨークを径方向に並置するものであっても良い。或いは、ヨークに複数の磁石を平行に貼りあわせた部材を径方向に並置するものであっても良い。
本発明による回転角検出装置および回転角検出方法によれば、回転軸の一周をつうじて回転角を精度良く検出できる。
[第1実施形態]
以下、添付図面を参照しながら本発明による回転角検出装置および回転角検出方法の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
図1は、本発明による回転角検出装置の第1実施形態を示す図である。図1(a)は回転角検出装置1の平面図を示しており、図1(b)は図1(a)に示すI−I線に沿った側面断面図を示している。なお、図1(a)において回転軸Rの軸方向は紙面に垂直な方向であり、図1(a)は回転軸Rの軸方向から回転角検出装置1を見た図となっている。また、図1(b)において回転軸Rの軸方向は紙面の上下に延びており、図1(b)は回転軸Rの中心軸線を含む断面を示している。
本実施形態に係る回転角検出装置1は、回転軸Rに取り付けられており、該回転軸Rの回転角を検出する装置である。図1(a)、図1(b)に示すように、回転角検出装置1は、磁界発生部2と、磁気センサ3a〜3hと、支持材15とを備えている。支持材15は、樹脂製の円形(或いは略正方形)平板状の部材である。支持材15の中央部分には、回転軸Rが、その軸方向と支持材15の厚さ方向とが一致するように挿通されており、支持材15と回転軸Rとが互いに固定されている。磁界発生部2は、支持材15に固定され、回転軸Rと共に回転する。なお磁界発生部2の相対位置は、回転軸Rの回転によらず一定である。
磁界発生部2は、回転軸Rの径方向に並置された一対の磁石4,5によって構成されている。磁石4,5は、回転軸Rの径方向と交差する方向に沿って延伸する棒状のフェライト磁石又はネオジム磁石である。磁石4,5の長手方向の幅は、磁気センサ3a〜3hが検出する角度(すなわち磁気センサ同士が回転軸周りに成す角度)よりも10°以上大きい角度をカバーする幅であり、磁気センサ3a〜3hの検出角度を例えば45°とすると、磁石4,5は55°以上カバーできる幅を有する。本構成のようにすることで、一対の磁石4,5が形成する概ね平行な磁場間に、少なくとも一つの磁界検出手段が存在することになる。磁界発生部2の磁石4,5は、回転軸Rの径方向と交差する長手方向の一方の側面にN極4a,5aを有し、他方の側面にS極4b,5bを有する。磁界発生部2は、磁石4,5のN極4aとS極5bとが互いに対向するように支持材15に固定されて磁界を発生しており、磁界の方向は回転軸Rに対して外向きである。
磁気センサ3a〜3hは、磁石4,5の間の磁界を検出するためのセンサである。磁気センサ3a〜3hは、磁石4の回転軌跡と磁石5の回転軌跡との間に位置し、回転軸Rの周方向に並置されており、図示しない支持構造によって定位置に支持・固定され、回転軸Rの回転とは関係なく静止している。なお本実施形態では、磁気センサ3a〜3hは、隣り合う磁気センサの周方向位置同士が回転軸周りに45°の角度を成すように全周にわたって配置されている。図2に、本実施形態において用いられる磁気センサ3a〜3hの構成を示す。図2に示すように、磁気センサ3a〜3hは、巨大磁気抵抗(GMR:Giant Magneto Resistive)素子20,21を少なくとも有している。GMR素子20,21は、同一のパッケージ内に隣り合わせで配置されている。これら一対のGMR素子20,21は、本実施形態における第1および第2の磁気抵抗効果素子に相当し、GMR素子20のピン層20aの磁化方向B1は回転軸Rの径方向と交差する(好ましくは直交する)方向に固定されており、GMR素子21のピン層21aの磁化方向B1は回転軸Rの径方向に沿うように(好ましくは径方向と平行に)固定されている。
続いて、磁気センサ3a〜3hの構成について更に詳細に説明する。図3は、GMR素子の概念的な構成および作用を示す図である。図3に示すGMR素子22は、強磁性層および反強磁性層の交換結合により磁化方向が固定されたピン層22aと、強磁性層からなり周囲の磁界によって磁化方向が変化するフリー層22bと、ピン層22aおよびフリー層22bに挟まれた電子誘導層22cとによって構成されている。そして、ピン層22aの磁化方向B1とフリー層22bの磁化方向B2とが互いに平行である場合に素子の電気抵抗が最小となり、ピン層22aの磁化方向B1とフリー層22bの磁化方向B2が互いに反平行である場合に素子の電気抵抗値が最大となる。従って、GMR素子22の電気抵抗値を検出することにより、磁界の向きを知ることができる。例えば、図3(a)および(b)に示すようにピン層22aの磁化方向B1が磁石16から磁石17への向きに固定されている場合を考える。図3(a)のようにGMR素子22が磁石16,17のN極16aとS極17bとの間に挟まれると、フリー層22bの磁化方向B2は周囲の磁界に従って磁石16のN極16aから磁石17のS極17bへの向きとなり、磁化方向B1と平行となって電気抵抗値が最小となる。逆に、図3(b)のようにGMR素子22が磁石16のS極16bと磁石17のN極17aとの間に挟まれると、フリー層22bの磁化方向B2は周囲の磁界に従って磁石17のN極17aから磁石16のS極16bへの向きとなり、磁化方向B1と反平行となって電気抵抗値が最大となる。
図4(a)および(b)は、図2に示したGMR素子20,21におけるピン層20a,21aの磁化方向の設定を示す図である。また、図5は、GMR素子20,21のピン層20a,21aの磁化方向B1に対する磁化方向B2の角度に応じた出力信号値を概念的に示すグラフである。図5においては、図4(a)に示す状態を回転角0°としている。いま、図4(a)に示すように回転軸Rの径方向と直交する方向に沿ってピン層20aの磁化方向B1を設定した場合、回転角0°ではピン層20aの磁化方向B1が磁界の向き(N極4aからS極5bへ)と直交しており、図5に示すようにGMR素子20からの出力信号は中間値となる。このような場合、GMR素子20は、図5の中間値からグラフの四角で囲った部分、すなわち±22.5°の範囲では、回転角度にほぼ比例する信号を出力する。
なお、図4(b)に示すように回転軸Rの径方向と平行にピン層21aの磁化方向B1を設定した場合、回転角0°ではフリー層21bの磁化方向B1が磁界の向き(N極4aからS極5bへ)と逆となる。このような場合、GMR素子21は、図5に示すグラフの最小値を出力するが、この信号は無視される。
磁気センサ3a〜3hのGMR素子20は、図5に示すグラフにおいて、337.5°〜22.5°もしくは157.5°〜202.5°といった角度幅45°の範囲において角度にほぼ比例した信号を出力する。図6に、各磁気センサ3a〜3hのから出力された信号(電圧)を合成したグラフを示す。図6の縦軸は、出力信号の電圧[V]であり、横軸は回転角[°]である。また、縦軸のAの範囲は磁界発生部2において磁気センサ3a〜3hのGMR素子20が検出した出力信号の範囲であり、各磁気センサ3a〜3hからの出力信号と回転角との相関を直線状に合成する為に、必要に応じて出力信号にバイアスを付加している。図6に示すように、例えばA1は磁界発生部2において磁気センサ5aから出力される信号(電圧)が適用される角度範囲であり、A2は磁界発生部2において磁気センサ5bから出力される信号が適用される角度範囲である。同様に、A5は磁界発生部2において磁気センサ5eから出力される信号が適用される角度範囲であり、A6は磁界発生部2において磁気センサ5fから出力される信号が適用される角度範囲である。このように、検出された出力信号を差動増幅回路において増幅し、45°の間隔でバイアスを印加することで、図6に示すように360°にわたって回転角に比例する信号を得ることができる。
次に、GMR素子21による磁界の検出について説明する。GMR素子21は、磁界発生部2の一対の磁石4,5間を通過する場合と、それ以外の場所を通過する場合とでは出力信号が異なる。すなわち、図4(b)の説明において述べたように、GMR素子21が第1の磁界発生部2を通過する際には、磁界とピン層21aの磁化方向B1とが反平行状態となるのでGMR素子21からの出力信号は最小値となる。一方、GMR素子21が第2の磁界発生部3を通過する際には、磁界とピン層21aの磁化方向B1とが平行状態となるのでGMR素子21からの出力信号は最大値となる。
ここで、GMR素子20では、磁界発生部2の中心を通過する際の中点電位(図5のCの部分)と、磁界発生部2以外の場所における電位とが互いに等しくなる場合がある。このとき、GMR素子21の出力信号は、磁界発生部2以外の場所においては殆ど出力信号が得られない。これにより、GMR素子21は、GMR素子20が第1および第2の磁界発生部2,3において検出した中点電位と、第1および第2の磁界発生部2,3以外で検出した電位とを区別することができる。
本実施形態による回転角検出方法は、以上の構成を備える回転角検出装置1を用いて好適に実施できる。すなわち、回転軸Rの回転角を検出する方法であって、回転軸Rの径方向に並置され互いに対向する一対の磁石4,5によって磁界を発生する磁界発生部2を、回転軸Rの周方向に並んで配置し、回転軸Rの回転に応じて磁界発生部2と複数の磁気センサ3a〜3hとを相対的に回転させ、複数の磁気センサ3a〜3hを、磁界発生部2における一方の磁石4の回転軌跡と他方の磁石5の回転軌跡との間に位置するか、或いは、複数の磁気センサ3a〜3hの回転軌跡が磁界発生部2における一方の磁石4と他方の磁石5との間を通過するように回転軸R周りの全周にわたって回転軸Rの周方向に並置し、回転軸Rと交差する方向の一端と他端とが回転軸R周りに成す角度を、隣り合う磁気センサ3a〜3h同士が回転軸R周りに成す角度よりも大きくし、GMR素子20のピン層20aの磁化方向B1を回転軸Rの径方向と交差させ、GMR素子20によって磁界を検出することにより、回転軸Rの回転角を検出する。
本実施形態の回転角検出装置1および回転角検出方法においては、複数の磁気センサ3a〜3hが磁界発生部2における一方の磁石4の回転軌跡と他方の磁石5の回転軌跡との間に位置するように、回転軸Rの周方向に並置される。これにより、磁界発生部2が各磁気センサ3a〜3hを通過する際に回転角に比例した出力信号を各磁気センサ3a〜3hから得ることができるので、各磁気センサ3a〜3hからの出力信号を合成することによって、回転軸Rの一周をつうじて回転角を精度良く得ることができる。
次に、本発明者が本実施形態の回転角検出装置1を試作し、回転軸Rの回転角を検出した結果について説明する。
図7(a)は、図1に示した配置における、各磁気センサ3a〜3hのGMR素子20からの157.5°〜202.5°における出力信号(電圧)を示すグラフである。また、図7(a)には理想的な計算値も示されている。また、図7(b)は、図7(a)に示したGMR素子20の出力信号と理想値との角度誤差[°]を示すグラフである。157.5°〜202.5°の範囲においては、実測値と計算値とに格段の差がないことが分かる。そして、角度誤差においても、理想値との差がおよそ±0・40[°]であり、理想的な計算値とほとんど差がない。このことから、図1のように、磁気センサ3a〜3hを配置し、GMR素子20のピン層20aの磁化方向B1を回転軸Rの径方向に対して垂直に設定することにより、磁気センサ3a〜3hからの出力信号が理想値に近づくことが見出された。
また、図8(a)は、図1に示した配置における、各磁気センサ3a〜3hのGMR素子20からの337.5°〜22.5°における出力信号(電圧)を示すグラフである。また、図8(a)には理想的な計算値も示されている。また、図8(b)は、図8(a)に示したGMR素子20の出力信号と理想値との角度誤差[°]を示すグラフである。337.5°〜22.5°の範囲においても、実測値と計算値とにほとんど差がないとことが分かる。そして、角度誤差においても、理想値との差がおよそ±0・50[°]であり、検出された回転軸の回転角が理想的な計算値に近いことが分かる。このことから、図1のように磁気センサ3a〜3hを配置し、GMR素子20のピン層20aの磁化方向B1を回転軸Rの径方向に対して垂直に設定することにより、磁気センサ3a〜3hからの出力信号が理想値に近づくことが見出された。
図9は、GMR素子20のH−R(磁界−電気抵抗)曲線を示す図である。この実施形態においては、GMR素子20のH−R曲線における飽和領域側のみの磁界を利用して回転軸Rの回転角を検出した。図9に示すように、飽和領域は、例えばGMR素子20が180°から±22.5度(157.5°、202.5°)の時にH−R曲線を概ね直線で近似した場合の直線Lから外れる点を変曲点と規定し、変曲点よりも外側となる領域である。GMR素子20は、飽和領域側の磁界のみを検出対象として設定する。図10は、GMR素子20の飽和領域および非飽和領域における回転角の検出値と、理想的な計算値との誤差を示すグラフである。図10に示すように、非飽和領域において検出された回転角度の誤差は、計算値に対して±2.50[°]の範囲内であるのに対し、飽和領域において検出された回転角度の誤差は±0.50[°]の範囲内に収まっている。
[第2実施形態]
次に、添付図面を参照しながら本発明による回転角検出装置および回転角検出方法の第2実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
図11は、本発明による回転角検出装置の第2実施形態を示す図である図11(a)は回転角検出装置10の平面図を示しており、図11(b)は図11(a)に示すXI−XI線に沿った側面断面図を示している。なお、図11(a)において回転軸Rの軸方向は紙面に垂直な方向であり、図11(a)は回転軸Rの軸方向から回転角検出装置1を見た図となっている。また、図11(b)において回転軸Rの軸方向は紙面の上下に延びており、図11(b)は回転軸Rの中心軸線を含む断面を示している。
図11(a)、図11(b)に示すように、第2実施形態による回転角検出装置10は、磁石の形状が回転軸Rの周方向に沿って円弧状に湾曲する形状を有する点で、第1実施形態と異なっている。
すなわち、第2実施形態による回転角検出装置10は、磁界発生部30と、磁気センサ3a〜3hと、支持材15とを備えている。支持材15は、樹脂製の円形(或いは略正方形)平板状の部材である。支持材15の中央部分には、回転軸Rが、その軸方向と支持材15の厚さ方向とが一致するように挿通されており、支持材15と回転軸Rとが互いに固定されている。磁界発生部30は、支持材15に固定され、回転軸Rと共に回転する。なお、磁界発生部30の相対位置は、回転軸Rの回転によらず一定である。
磁界発生部30は、回転軸Rの径方向に並置された一対の磁石(磁界形成部材)31,32によって構成されている。磁界発生部30は、回転軸Rの周方向に配置されている。磁石31,32は、フェライト磁石又はネオジム磁石である。
以上のような構成を有する回転角検出装置10は、回転軸Rの周方向に沿って円弧状に湾曲する磁石31,32であるので、磁気センサ3a〜3hと一対の磁石との距離が該磁石の一端から他端に亘ってほぼ等しくなり、磁気センサ3a〜3h周辺の磁場の大きさを一定にできる。これにより、第1実施形態同様に、回転角の一周をつうじて精度良く回転角を検出することができる。
本発明による回転角検出装置および回転角検出方法は、上記した実施形態に限られるものではなく、他に様々な変形が可能である。例えば、上記実施形態では、上記実施形態では磁界発生部1を回転させる構造としたが、複数の磁気センサ3a〜3hを回転させる構造としてもよい。この場合、複数の磁気センサ3a〜3hの回転軌跡が磁界発生部2における一方の磁石4と他方の磁石5との間を通過するように磁気センサ3a〜3hが配置される。
本発明による回転角検出装置の第1実施形態の構成を示す図である。(a)回転角検出装置の平面図を示している。(b)(a)に示すI−I線に沿った側面断面図を示している。 本実施形態において用いられる磁気センサの構成を示す図である。 GMR素子の概念的な構成および作用を示す図である。 (a)(b)図2に示したGMR素子におけるピン層の磁化方向の設定例を示す図である。 図4(a)の設定に対応するGMR素子からの出力信号値を概念的に示すグラフである。 各磁気センサから出力された信号を合成した結果を示すグラフである。 (a)図1に示した配置における、GMR素子からの出力信号を示すグラフである。(b)(a)に示したGMR素子の出力信号と理想値との角度誤差を示すグラフである。 (a)図1に示した配置における、GMR素子からの出力信号を示すグラフである。(b)(a)に示したGMR素子の出力信号と理想値との角度誤差を示すグラフである。 GMR素子のH−R(磁界−電気抵抗)曲線を示す図である。 GMR素子の飽和領域および非飽和領域における回転角の検出値と、理想的な計算値との誤差を示すグラフである。 本発明による回転角検出装置の第2実施形態の構成を示す図である。(a)回転角検出装置の平面図を示している。(b)(a)に示すXI−XI線に沿った側面断面図を示している。
符号の説明
1…回転角検出装置、2…磁界発生部、3a〜3h…磁気センサ、4,5…磁石、20…GMR素子(第1の磁気抵抗効果素子)、21…GMR素子(第2の磁気抵抗効果素子)、22…GMR素子、20a〜22a…ピン層、R…回転軸、B1…磁化方向。

Claims (5)

  1. 回転軸の回転角を検出する回転角検出装置であって、
    前記回転軸の径方向に並置されて互いに対向する一対の磁界形成部材によって磁界を発生する磁界発生部と、
    前記回転軸周りの全周にわたって前記回転軸の周方向に並置された複数の磁気センサと、
    を備え、
    前記回転軸の回転に応じて、前記磁界発生部と前記複数の磁気センサとが相対的に回転し、
    前記複数の磁気センサは、前記磁界発生部における一方の前記磁界形成部材の回転軌跡と他方の前記磁界形成部材の回転軌跡との間に位置するか、或いは、前記複数の磁気センサの回転軌跡が前記磁界発生部における一方の前記磁界形成部材と他方の前記磁界形成部材との間を通過するように配置されており、
    前記一対の磁界形成部材のうち、前記回転軸の径方向に対し外側に位置する前記磁界発生部材の一端と前記回転軸の中心を結ぶ直線と、前記一対の磁界形成部材のうち、前記回転軸の径方向に対し外側に位置する前記磁界発生部材の他端と前記回転軸の中心を結ぶ直線とが成す角度は、隣り合う前記磁気センサ同士が前記回転軸周りに成す角度よりも大きくなっており、
    前記磁気センサは、第1の磁気抵抗効果素子を有しており、前記第1の磁気抵抗効果素子のピン層の磁化方向は前記回転軸の径方向と交差していることを特徴とする、回転角検出装置。
  2. 前記複数の磁気センサは、第2の磁気抵抗効果素子を更に有しており、
    前記第2の磁気抵抗効果素子のピン層の磁化方向は前記回転軸の径方向に沿っていることを特徴とする、請求項1に記載の回転角検出装置。
  3. 前記磁界発生部における前記一対の磁石が、前記回転軸の周方向に沿って円弧状に湾曲する形状を有することを特徴とする、請求項1または2に記載の回転角検出装置。
  4. 前記磁界発生部における前記一対の磁石が、前記回転軸の径方向と交差する方向に沿って延伸する形状を有することを特徴とする、請求項1または2に記載の回転角検出装置。
  5. 回転軸の回転角を検出する方法であって、
    前記回転軸の径方向に並置され互いに対向する一対の前記磁界形成部材によって磁界を発生する磁界発生部を、前記回転軸の周方向に並んで配置し、前記回転軸の回転に応じて前記磁界発生部と複数の磁気センサとを相対的に回転させ、前記複数の磁気センサを、前記磁界発生部における一方の前記磁界形成部材の回転軌跡と他方の前記磁界形成部材の回転軌跡との間に位置するか、或いは、前記複数の磁気センサの回転軌跡が前記磁界発生部における一方の前記磁界形成部材と他方の前記磁界形成部材との間を通過するように前記回転軸周りの全周にわたって前記回転軸の周方向に並置し、
    前記一対の磁界形成部材のうち、前記回転軸の径方向に対し外側に位置する前記磁界発生部材の一端と前記回転軸の中心を結ぶ直線と、前記一対の磁界形成部材のうち、前記回転軸の径方向に対し外側に位置する前記磁界発生部材の他端と前記回転軸の中心を結ぶ直線とが成す角度を、隣り合う前記磁気センサ同士が前記回転軸周りに成す角度よりも大きくし、
    前記磁気センサが有する第1の磁気抵抗効果素子のピン層の磁化方向を前記回転軸の径方向と交差させ、前記第1の磁気抵抗効果素子によって前記磁界を検出することにより、前記回転軸の回転角を検出することを特徴とする、回転角検出方法。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002303535A (ja) * 2001-04-03 2002-10-18 Mikuni Corp 磁気式位置センサ
JP2003166854A (ja) * 2001-11-30 2003-06-13 Yazaki Corp 回転角度検出装置及び回転角度検出方法
JP2004264222A (ja) * 2003-03-03 2004-09-24 Midori Sokki:Kk 回転角度センサ用磁気マーカ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002303535A (ja) * 2001-04-03 2002-10-18 Mikuni Corp 磁気式位置センサ
JP2003166854A (ja) * 2001-11-30 2003-06-13 Yazaki Corp 回転角度検出装置及び回転角度検出方法
JP2004264222A (ja) * 2003-03-03 2004-09-24 Midori Sokki:Kk 回転角度センサ用磁気マーカ

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