JPH08304011A - 磁気式角度センサ - Google Patents

磁気式角度センサ

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JPH08304011A
JPH08304011A JP11581595A JP11581595A JPH08304011A JP H08304011 A JPH08304011 A JP H08304011A JP 11581595 A JP11581595 A JP 11581595A JP 11581595 A JP11581595 A JP 11581595A JP H08304011 A JPH08304011 A JP H08304011A
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angle sensor
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JP11581595A
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Tetsuro Muraji
哲朗 連
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Mikuni Corp
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Mikuni Corp
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 温度変動によらず常に高精度に回転体の角度
位置を検出できる磁気式角度センサを提供する。 【構成】 被検知体1の回転に応動する回転体2と、回
転体を囲繞し、かつ少なくとも1つの検出用磁気ギャッ
プ7を含む固定磁路を形成する固定磁路形成手段4と、
回転体に応動して固定磁路に沿って移動自在な可動磁路
を形成し、検出用磁気ギャップを各々が含む一対の可変
長閉磁路を形成する可動磁路形成手段5と、検出用磁気
ギャップに配置された磁束密度検出手段8と、可変長閉
磁路に各々鎖交した一対の励磁コイル9a、9bと、か
らなる磁気式角度センサにおいて、検出用磁気ギャップ
内の磁束密度が略零となるような励磁電流が各励磁コイ
ルに流れるときの励磁コイルを含む電流路の中間点の電
位を回転体の位置を表す位置信号として生成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】内燃エンジンのスロットルポジシ
ョンセンサ(TPS)等の回転体の角度変位を検出する
磁気式角度センサに関する。
【0002】
【従来の技術】ホール素子を利用して、被検知体の回転
角度に比例したセンサ出力を得る磁気式角度センサが、
特開平5−26610号公報に開示されている。上記公
報に記載された磁気式角度センサは、スロットルバルブ
に連動して回転するスロットルシャフトと一体的に回動
するように、その回転面上に一対の永久磁石を対向配置
し、さらに、この一対の永久磁石間でスロットルシャフ
トの軸線上に一つのホール素子を配置したものとなって
いる。
【0003】これによれば、一対の永久磁石がスロット
ルシャフトの回転軸を挟んで磁気回路を形成する。そし
て、その形成された磁気回路の磁界方向は、スロットル
シャフトの回転角度に応じて変化することになる。従っ
て、かかる一対の永久磁石間に設けられたホール素子を
通過する磁束の変化を検出して、スロットルの開度を検
出できるというものである。
【0004】また、シャフトの回転軸を中心とする円弧
上に沿って一対の円弧状永久磁石を並設し、これら円弧
状永久磁石から回転軸の軸線方向に離間した位置に一つ
のホール素子を配置して、かかる一対の円弧状永久磁石
によって形成される磁気回路の磁界の方向を検出するこ
とにより、アイドル運転状態を検出できるというもので
ある。
【0005】これらの磁気式位置センサはいずれも、一
つの磁気回路内に一つのホール素子を配置して、かかる
磁気回路内の磁界の変化等を検出する構造となってい
る。しかしながら、ホール素子は動作温度の変動によ
り、検出感度及び検出出力のオフセット値が変動し、か
かる感度やオフセットの変動は、そのままセンサ出力の
精度に影響を及ぼすという問題がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術の問題点
に鑑み、本願発明の目的とするところは、温度変動によ
らず常に高精度に回転体の角度位置を検出できる磁気式
角度センサを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記した本発明の磁気式
位置センサは、被検知体の回転に応動する回転体と、前
記回転体を囲繞しかつ少なくとも1つの検出用磁気ギャ
ップを含む固定磁路を形成する固定磁路形成手段と、前
記回転体に応動して前記固定磁路に沿って移動自在な可
動磁路を形成し、前記検出用磁気ギャップを各々が含む
1対の可変長閉磁路を形成する可動磁路形成手段と、前
記検出用磁気ギャップに配置された磁束密度検出手段
と、前記可変長閉磁路に各々鎖交した一対の励磁コイル
と、前記磁束密度検出手段の検出出力に応じて、前記検
出用磁気ギャップの磁束密度を略零とすべく、前記励磁
コイルの励磁電流を供給する励磁電流供給手段と、前記
励磁電流の比に応じた信号を前記回転体の位置を表す位
置信号として生成する電流比検出手段と、からなり、前
記励磁電流供給手段は、前記一対の励磁コイルを直列に
含む単一の電流路と、前記電流路に定電圧を供給する定
電圧供給手段と、前記電流路中の前記励磁コイルに挟ま
れる中間点に前記磁束密度検出手段の検出出力に応じた
付加電流を供給する付加電流供給手段とからなり、前記
電流比検出手段は、前記中間点の電位を前記位置信号と
するからなることを特徴とする。
【0008】
【作用】検出用磁気ギャップ内の磁束密度が略零となる
ような励磁電流が各励磁コイルに流れるときの励磁コイ
ルを含む電流路の中間点の電位は、可変長磁路の長さに
応じて変化するので、当該電位が回転体の位置に応じて
変化するのである。
【0009】
【実施例】以下、添付図面を参照しつつ本発明による磁
気式角度センサを詳細に説明する。図1及び図2に、本
発明に係る磁気式角度センサの一実施例を示す。図1
は、当該磁気式角度センサの平面図を示し、図2は、図
1のB−B断面図を夫々示している。
【0010】本図に示される磁気式角度センサにおいて
は、例えばエンジンのスロットシャフトに応動する被検
知体である回転シャフト1は回転軸Cを中心に回転す
る。回転シャフト1には、回転体である扇形状の可動磁
性部材2がネジ1a等の結合手段によって結合されてい
る。かかる可動磁性部材2は、回転シャフト1と一体に
回動する。
【0011】可動磁性部材2を狭い間隙3を介して囲繞
し、環状部を形成する環状の固定磁路部材4は、第1の
閉磁路を形成する第1磁路形成手段として作用する。固
定磁磁性部材4は、他の部分に比して半径方向の厚さを
小さくした磁気抵抗部4aを含んでいる。かくの如く半
径方向の厚さを小さくするすると、磁束の通過する断面
積が小となるのでかかる部分の単位長当たりの磁気抵抗
が大となり、可動磁性部材2の単位角度Δθ当たりの回
転に対する閉磁路の磁気抵抗変化ΔRがより大きくなる
ので、回転角度の検出精度がより高くなる。
【0012】固定磁性部材4の厚肉とした部分の内周壁
4bbには、磁気抵抗部4aの内周壁4aaに向かって伸張
する固定分岐磁性部材5の一端が固着されている。そし
て、固定分岐磁性部材5は、一端が固定磁性部材4に固
着した部分5aと、先端部が略円形頭部となっている部
分5bとに分割されており、両部分の互いに対向する端
面間には検出用磁気ギャップ7が形成されている。固定
磁性部材4は検出用磁気ギャップ7の中心及び回転軸C
を通る中心線B−Bに対して均質対称形となるのが好ま
しい。
【0013】固定分岐磁性部材5の他端すなわち前記略
円形頭部の近傍に回転中心軸Cが存在している。尚、固
定分岐磁性部材5の一端は、固定磁性部材4に固着して
いるが、固定分岐磁性部材5aと固定磁性部材4とは一
体に成型されることも考えられる。そして、検出用磁気
ギャップ7には磁束密度検出手段としてのホール素子8
が配置されている。固定分岐磁性部材5及び検出用磁気
ギャップ7は、可動磁性部材2と共に上記第1の閉磁路
を2つの可変長閉磁路に分岐せしめる第2磁路形成手段
として作用する。
【0014】固定磁性部材4には一対のコイル9a、9
bが、夫々巻回配置され上記2つの可変長閉磁路に各々
鎖交している。コイル9a及び9bは、中心線B−Bに
対称な位置に配置されるのが好ましい。尚、固定分岐磁
性部材5bの円形頭部の中心は固定磁性部材4の円弧中
心と略一致しており、さらに、可動磁性部材の回転中心
Cとも略一致しているのが好ましい。そして、固定磁性
部材4が可動磁性部材2の先端の可動軌跡に沿って延在
しているのが好ましい。
【0015】そして、2つの励磁コイル9a,9bは、
単一の電流路内において互いに直列に接続されており、
前記励磁コイル9a及び9bを含む電流路には、定電圧
印加手段としての直流電源10による直流電圧Vdが印
加されている。従って、励磁コイル9a及び9bの電流
路には励磁電流が供給され、励磁コイル9a及び9bに
より各々磁束が生成される。各々の磁束が固定分岐磁性
部材5において相殺する方向、例えば矢印S1及びS2
方向に夫々流れるようにコイル9a及び9bの巻き方が
選定されている。
【0016】コイル9a及び9bは、制御回路11に接
続されている。制御回路11には、ホール素子8の検出
信号が供給され、制御回路11は、かかる検出信号に基
づいて、検出用磁気ギャップ7を通過する磁束密度を略
零とすべくコイル9a及び9bに供給される励磁電流を
制御するのである。かかる制御により励磁コイル9a及
び9bの起磁力が調整され、可動磁性部材2の角度位置
を表す信号が出力端子から得られる。
【0017】図1の制御回路11の具体的な構成を図3
に示す。図3において、直流電源Vccにより給電される
ホール素子8は、これを貫く磁束密度に応じて差動出力
するものであり、検出用磁気ギャップ7に生じた磁束密
度に応じたレベルの正側検出信号及び負側検出信号を演
算増幅器OP1の正相入力端子及び逆相入力端子に夫々
に供給する。演算増幅器OP1は、これらの検出信号を
差動増幅した信号を制御電圧としてする出力する。演算
増幅器OP1の出力端は、励磁コイル9a及び9bの直
列回路の接続点Dに接続されている。励磁コイル9a及
び9bの直列回路には、直流電源10よりの定電圧Vd
が印加されるとともに、接続点Dに制御電圧が供給され
て、励磁コイル9a及び9bに流れる励磁電流が制御さ
れることとなり、励磁コイル9a及び9bにより生成さ
れる磁束の大きさが調整される。
【0018】次に、かかる磁気式角度センサの詳しい動
作を説明する。コイル9a,9bは、直流電源10によ
って励磁されると、夫々磁束を発する。励磁コイル9a
から発せられた磁束は、矢印S1に示す如く、固定磁性
部材4固定分岐磁性部材5a、検出用磁気ギャップ7、
固定分岐磁性部材5a、及び可動磁性部材2で形成され
る閉磁路S1を経由して再びコイル9aに再び戻る。一
方、コイル9bから発せられた磁束は、矢印S2に示す
如く、固定磁性部材4、可動磁性部材2、固定分岐磁性
部材5a、検出用磁気ギャップ7、及び固定分岐磁性部
材5bで形成される閉磁路S2を経由して再びコイル9
bに戻る。
【0019】ところで、検出用磁気ギャップ7には、励
磁コイル9aから発せられた磁束と励磁コイル9bから
発せられた磁束とが互いに打ち消しあう方向に流れてい
る。ここで、検出用磁気ギャップ7の磁束密度の大きさ
は、可動磁性部材2の先端部と固定磁性部材4aの対向
しない部分の長さを夫々L1、L2とした場合、かかる
L1とL2との差は、可動磁性部材の移動量即ち回転位
置を表すことになる。そして、検出磁気ギャップ7の磁
束密度は、かかるL1とL2との差に比例することにな
る。従って、検出磁気ギャップ7の磁束密度は、可動磁
性部材2の回転位置等を表すことになり、かかる磁束密
度を略零とする励磁電流を励磁コイル9a及び9bに流
すべく励磁コイル9a及び9bの直列回路の接続点Dに
印加される制御電圧の大きさは、可動磁性部材2の回転
位置に相当する故、かかる制御電圧をセンサ出力として
検出すれば、可動磁性部材2の移動量即ち回転位置を知
ることができるのである。
【0020】即ち、制御電圧VCは、励磁コイル9a及
び9bのインピーダンスの大きさが等しいとした場合、
励磁コイル9a及び9bに流れる励磁電流を夫々I1及
びI2とすると、下記数式1の如く表される。
【0021】
【数1】 VC=Vd×{I2/(I1+I2)} ……(1) 上記数式1より明らかな如く、励磁コイル9a及び9b
から発せられる磁束の大きさは、励磁電流に比例するこ
とになるので、制御電圧VC検出すれば、可動磁性部材
2の位置を知ることができるのである。
【0022】そして、接続点Dの出力即ちセンサ出力は
図示せぬ後段の検出回路に導かれ、かかる検出回路は、
センサ出力から可動磁性部材2の位置若しくは回転角度
を得ることになる。かかる構成によれば、ホール素子に
よって検出される磁束密度が常に略零となるように励磁
コイル9a及び9bからの磁束が打ち消し合うので、ホ
ール素子の温度特性にあまり影響されず常に安定した高
精度なセンサ出力を得ることが可能となる。また、励磁
コイルを直列に接続して、両端間に定電圧を印加する構
成である故、単一の電源回路により2つの励磁コイルを
励磁することが可能となり、コストが安くなる。
【0023】図4は、図1の制御回路のより実用的な構
成を示すものである。図3と同一の機能を有する部分
は、同一の符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
図4において、直流電源VCCにより給電されるホール素
子8は、差動出力するものであり、検出用磁気ギャップ
7に生じた磁束密度に応じたレベルの正側検出信号及び
負側検出信号を出力する。
【0024】ホール素子8の正側及び負側出力端は、抵
抗R3及びR4を介して演算増幅器OP2の逆相及び正
相入力端子に夫々接続されている。演算増幅器OP2
は、ホール素子の正側出力電圧、抵抗R3、及びR2で
定まる逆相入力電圧VAと、電源電圧VCCを抵抗R1及
びR2で分圧した基準電圧Vrと、ホール素子8の負側
出力電圧との差電圧を、抵抗R4及びR5によって分圧
した正相入力電圧VBとの差電圧を反転増幅した信号を
演算増幅器OP3の正相入力端子に供給する。演算増幅
器OP3の出力端からは供給された入力信号と同位相の
信号が出力され、その出力端は、コンデンサC1及び抵
抗R7を介して逆相入力端子に接続されて積分回路を構
成している。トランジスタTR1とトランジスタTR2
とのエミッタ同士が互いに接続されており、トランジス
タTR1のコレクタには直流電源VCCが供給され、トラ
ンジスタTR2のコレクタは接地されていわゆるプッシ
ュプル増幅器を構成している。両トランジスタのベース
には演算増幅器OP2の出力端が抵抗R8を介して接続
されている。トランジスタTR1及びTR2の接続点F
は、コイル9a及びコイル9bの直列回路の接続点Dに
接続されている。両トランジスタのベースには、演算増
幅器OP3よりの出力信号が抵抗R8を介して供給され
る。トランジスタTR1及びTR2からなるプッシュプ
ル増幅器は、かかる出力信号を増幅し、接続点Fより導
出される信号を制御電圧として次段のコイル9a及び9
bの直列回路の接続点Dに供給する。コイル9a及び9
bの直列回路には定電圧Vccが供給されており、接続
点Dに印加される制御電圧により励磁コイル9a及び9
bの各々に供給される励磁電流が調整される。即ち、励
磁コイル9a及び9bの起磁力が調整されることにな
る。
【0025】そして、接続点Dの出力即ちセンサ出力は
図示せぬ後段の検出回路に導かれ、かかる検出回路は、
センサ出力から可動磁性部材2の角度位置信号を得るこ
とになる。図5及び図6に、本発明の磁気式角度センサ
の他の実施例を示す。図5は、当該磁気式角度センサの
平面図を示し、図6は、図5のB−B断面図を夫々示し
ている。
【0026】図1及び図2の磁気式角度センサと同一機
能を有する部分は、同一符号を付し、かかる部分の説明
を省略する。図5に示される磁気式角度センサは、固定
磁性部材4の脚部端面間に付加磁気ギャップ6を設けた
構成とする。前記した以外の構成は、図1に示される磁
気式角度センサと同一の構造を有する。
【0027】次に、かかる磁気式位置センサの動作を説
明する。励磁コイル9a,9bは、直流電源10によっ
て励磁されると、夫々磁束を発する。励磁コイル9aか
ら発せられた磁束は、矢印S1に示す如く、固定磁性部
材4、固定分岐磁性部材5a、検出用磁気ギャップ7、
固定分岐磁性部材5b、及び可動磁性部材2で形成され
る閉磁路S1を経由して再びコイル9aに再び戻る。一
方、コイル9bから発せられた磁束は、矢印S2に示す
如く、固定磁性部材4、固定分岐磁性部材5b、検出用
磁気ギャップ7、及び固定分岐磁性部材5a、及び可動
磁性部材2で形成される閉磁路S2を経由して再びコイ
ル9bに戻る。例えば、可動磁性部材2が励磁コイル9
a側に回転した場合は、A1が大となる一方、A2が小
となる。従って、矢印S1方向に流れる磁束が強くなる
のに対して、矢印S2方向の磁束が弱くなる。
【0028】ところで、検出用磁気ギャップ7において
は、励磁コイル9aから発せられた磁束と励磁コイル9
bから発せられた磁束とが互いに打ち消しあう方向に流
れている。ここで、可動磁性部材2の先端部の付加磁気
ギャップ6を挟む固定磁性部材4に対向する部分の面積
を夫々A1、A2とすると、面積A1と面積A2との差
は、可動磁性部材1の回転位置に対応する。そして、か
かる面積A1と面積A2との差に比例した磁束が検出用
磁気ギャップ7に生ずることになる。従って、検出磁気
ギャップ7の磁束密度は、可動磁性部材2の回転角度位
置等を表すことになる。そして、制御回路11は、図3
若しくは図4に示したものと同一の回路構成を有して、
励磁コイル9a及び9bの励磁電流を調整して検出磁気
ギャップ7の磁束密度を略零とし、可動磁性部材2の回
転位置を示す位置信号を生成するのである。
【0029】次に、図7に、本発明の磁気式位置センサ
の他の実施例を示す。尚、図1及び図5の磁気式角度セ
ンサと同一符号が付されている部分は同図に示した磁気
式位置センサと同等な機能を有する部分であり、かかる
部分の説明は省略する。図7に示される磁気式角度セン
サにおいては、例えばエンジンのスロットルシャフトに
連動する被検知体である非磁性材料から成る回転シャフ
ト1は回転軸Cを中心に回転する。回転シャフト1の外
周には円筒若しくは円環状の可動磁性部材2が配置さ
れ、さらに、可動磁性部材2には、環状のマグネット1
2が外嵌している。可動磁性部材2及び環状マグネット
12は、回転シャフト1に対して接着剤等により固定さ
れており、これらは回転シャフト1と一体に回転運動を
なし、全体として環状の回転体を形成する。
【0030】環状マグネット12は、回転軸Cに対する
横方向例えば半径方向に着磁された磁区が円周方向に分
布する半円環状断面を有する2つの半円環体のマグネッ
ト12a及び12bが互いに連結されて構成される。そ
して、マグネット12aの磁極は外周側がN極、内周側
がS極となり、マグネット12bは、外周側がS極、内
周側がN極となっており全体として回転軸Cをよぎる方
向に磁化された環状マグネット12となっている。
【0031】間隙3を介して半円環状断面を有する一対
の半円環体状の固定磁性部材4a及び4bがマグネット
12a及び12bを囲繞している。固定磁性部材4a及
び4bは、好ましくは均質対称形となっている。尚、回
転中心Cは、固定磁性部材4a及び4bの円弧中心と略
一致しているのが好ましい。そして、固定磁性部材4a
及び4bの両脚端面は互いに対向して一対の付加磁気ギ
ャップ6a及び6bを形成している。好ましくは、磁気
ギャップ6a及び6bは、回転中心Cを通る面(センサ
の中心線B−B)に沿って形成される。
【0032】そして、固定磁性部材4a、4bは付加磁
気ギャップ6a,6bを含む固定磁路を形成する第1磁
路形成手段を構成する。更に、一方の固定磁性部材4a
の外周半円弧の略中央部には、固定磁性部材4aから延
長した磁路を導くための長手状の固定磁性部材13aの
一端が連結されている。同様に、他方の固定磁性部材4
bの外周半円弧の略中央部にも、固定磁性部材4bから
延長された磁路を導くための長手状の固定磁性部材13
bの一端が連結されている。かかるかる一対の長手状の
固定磁性体13a及び13bの他端の端面間には検出用
磁気ギャップ7が形成されている。そして、長手状の固
定磁性部材13a、13b及び検出用磁気ギャップ7
は、第2の固定磁路を形成するための第2磁路形成手段
を構成する。
【0033】そして、検出用磁気ギャップ7にはホール
素子8が配置されており、一対の長手状の固定磁性部材
13a及び13bには、一対の励磁コイル9a及び9b
が巻回配置されている。励磁コイル9a及び9bの各々
には制御回路11から検出用磁気ギャップ7の磁束密度
を略零とするような励磁電流が供給される。制御回路1
1の具体例を図8に示している。この回路は励磁コイル
9a及び9bに直列に抵抗R9及びR10を接続した点
以外は、図3の回路と同一の構成である。
【0034】次に、この磁気式位置センサの詳しい動作
を説明する。いま、図示の如くマグネットの中心とセン
サの中心線B−Bとが略一致する場合、概ね点線で示さ
れるような磁束の分布となる。すなわち、マグネット1
2aからでた磁束が固定磁性部材4aを通ってマグネッ
ト12bへ戻るループと、マグネット12aから出た磁
束が固定磁性部材4bを通ってマグネットへ戻るループ
との2つの磁路を生じる。この時、図示の如くマグネッ
ト12a及び12bの中心と固定磁性部材4の中心とが
略一致する場合は、上述の2つの磁路のみに磁束が流
れ、付加磁気ギャプ6a及び6bに磁束はほとんど流れ
ない。従って、制御回路11の演算増幅回路OP1の出
力電圧は零である。
【0035】この状態から回転体(可動磁性部材2、環
状マグネット12及び回転シャフト1)が回転し、回転
体と固定磁性部材4とにおける相対的変位が生じると、
その変位量に応じて各ギャップに磁束が流れることにな
る。即ち、例えば、マグネット12aの固定磁性部材4
aに対向する面積とマグネット12bの固定磁性部材4
aに対する面積とに差が生じるとともに、マグネット1
2aの固定磁性部材4bに対向する面積とマグネット1
2bの固定磁性部材4bに対向する面積とにも同様の差
が生じる。このとき、ガウスの定理により、固定磁性部
材4a及び4bに流入する磁束の総和と、固定磁性部材
4a及び4bから流出する磁束の総和と同じになるた
め、2つのマグネット12a,12bの1つの固定磁性
部材に対向する各面積の差即ちマグネットの移動量に応
じて生じる磁束は、付加磁気ギャップ6a及び6bを通
って1つの半円環体状の固定磁性部材からそれに相対す
る半円環体状の固定磁性部材に導かれると共に、長手状
の固定磁性部材13a、13b、及び検出用磁気ギャッ
プ7よりなる第2閉磁路にも流れることになる。従っ
て、回転体の移動量即ち回転量に応じた磁束が検出用磁
気ギャップ7を流れることになり、かかる検出用磁気ギ
ャップ7に生じる磁束密度を略零とするように励磁コイ
ル9a及び9bの直列回路の接続点Dに印加される制御
電圧の大きさは、回転体の回転位置に相当する故、かか
る制御電圧をセンサ出力として検出すれば、回転体の移
動量即ち回転位置を知ることができるのである。
【0036】尚、図8の制御回路11は、前記した図4
と同一の構成とすることもできる。ところで、起磁力源
であるマグネット及び励磁コイルは、温度により変動す
るという問題がある。以下に、励磁コイル及びマグネッ
トの起磁力の温度依存特性の一例を示す。例えば、銅コ
イル線材の抵抗変化率は、+0.4(%/℃)でああ
る。そして、フェライト磁石及びサマリウム・コバルト
磁石の起磁力変化率は、夫々−0.4(%/℃)及び−
0.04(%/℃)である。
【0037】上記したことから明らかなように、フェラ
イト磁石及びサマリウム・コバルト磁石は温度上昇に伴
って、起磁力が低下することを示している。それに対し
て、銅コイル線材は、温度上昇に伴って抵抗が上昇する
ことを示している。かかる起磁力等の温度変動は、その
ままセンサの検出精度を悪化させる原因になる。かかる
問題は、抵抗R9及びR10の値を選定することにより
解決できるのである。
【0038】ここで、電源電圧をVdとし、接続点Dに
印加される制御電圧をVCとし、励磁コイル9a及び9
bの抵抗の大きさを共にRaとし、電気抵抗R9及びR
10の抵抗の大きさを共にRとし、及び励磁コイル9a
及び9bに流れる電流を夫々I1、I2とすれば、励磁
コイルの起磁力とバランスして磁気ギャップ内の磁束を
ゼロとするためには、マグネット12a及び12bによ
って検出磁気ギャップ7内に磁束を生起させる起磁力F
に対して、下記(2)式が成立すべきである。
【0039】
【数2】F=K(I1−I2) ……(2) ここで、Kは励磁コイル9a、9bの巻き数に対応す
る。上記(2)式は、検出磁気ギャップ7でのマグネッ
ト12a,12bによる起磁力Fに対抗して磁気ギャッ
プ7内での磁束をゼロとするための励磁コイルによる起
磁力が励磁コイル9a及び9bに流れる電流の差に比例
することを示している。そして、コイルに流れる電流I
1,I2は、下記(3)式及び下記(4)式の如く夫々
表すことができる。
【0040】
【数3】 I1=(Vd−VC)/(Ra+R) ……(3)
【0041】
【数4】I2=VC/(Ra+R) ……(4) 上記(3)式及び(4)式を上記(2)式に代入する
と、下記数式5が導出される。
【0042】
【数5】 VC=(1/2)・Vd−(1/2)・(Ra+R)・(F/K)……(5) 上記(5)式より明らかなように、制御電圧Vcは、検
出磁気ギャプ7の磁束の大きさFに比例する。また上記
した如く、一般に、マグネットは温度上昇に伴って、起
磁力が低下するのに対してコイルは、温度上昇に伴って
抵抗が上昇する。
【0043】ここで、上記(5)式を微分すると、下記
(6)式が導出される。
【0044】
【数6】 ΔV=(−1/2K)・{(Ra+R)ΔF+F・ΔRa} ……(6) 今、温度変化により、F,Raの変化分ΔF、ΔRaが
発生したとき出力Vの変化ΔVが0となるためには、下
記(7)式が成立しなければならない。
【0045】
【数7】 (Ra+R)ΔF+F・ΔRa=0 ……(7) 上記(7)式を下記(8)式の如く変形する。
【0046】
【数8】 (ΔF/F)+(ΔRa/Ra+R)=0 ……(8) 上記(8)式を更に、下記(9)式の如く変形する。
【0047】
【数9】 (ΔF/F)+[(ΔRa/Ra)/{1+(R/Ra)}]=0 ……(9) ここで、(ΔF/F)=Y、(ΔR/Ra)=Xとし
て、これらを上記(9)式に代入すると、下記(10)
式が導出される。
【0048】
【数10】 Y+[X/{1+(R/Ra)}]=0 ……(10) 上記(10)式を満たすように、R/Raを設計するの
である。例えば、銅コイル線材及びフェライト磁石を用
いると、X=0.0004(0.4%/℃)、Y=−
0.004(−0.4%/℃)であるから、−0.00
4+[0.004/{1+(R/Ra)}=0となり、
R/Ra=0である故、R=0となる。
【0049】また、銅コイル線材及びサマリウム・コバ
ルト磁石を用いた時、X=0.004(0.4%/
℃)、Y=−0.0004(−0.04%/℃)である
から、−0.0004+[0.004/{1+(R/R
a)}=0とすれば、R/Ra=9となる。よって、R
/Raを選定することによって、温度補償が達成される
のである。
【0050】また、上記実施例等では、密度検出手段と
してホール素子7を用いているがこれに限定されるもの
ではなく、例えば磁気抵抗効果素子等の他の磁束密度検
出手段を用いても良い。本実施例に係る磁気式角度セン
サの具体的応用については、回転シャフト1を例えば内
燃機関のスロットルバルブに連結することにより、スロ
ットルポジションセンサを得ることができる。
【0051】以上の実施例等に係る磁気式角度センサ
は、さらに、自動工作機械、自動搬送機械等における位
置検出手段としても用いることができ、工場の自動化
(FA)等においても好ましく適用できるものである。
【0052】
【発明の効果】以上述べたように、磁路形成手段中の磁
束密度検出手段によって検出される磁束密度が略零とな
るように、2つの励磁コイルを含む単一電流路における
中間点に印加する励磁電圧を制御し、励磁電圧を検出し
て回転体の位置を検出する構成であるので、磁気センサ
の温度特性に左右されず、常に、被検知体の正確な角度
位置を検出することができるのである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る磁気式角度センサの第1の実施
例を示す図であり、その平面図を示す。
【図2】 図1の磁気式角度センサのB−B断面図であ
る。
【図3】 図1の制御回路の具体的な構成を示す回路図
である。
【図4】 図1の制御回路の具体的な構成を示す回路図
である。
【図5】 本発明に係る磁気式角度センサの第2の実施
例を示す図であり、その平面図を示す。
【図6】 図5の磁気式角度センサのB−B断面図であ
る。
【図7】 本発明に係る磁気式角度センサの第3の実施
例を示す図である。
【図8】 図7の磁気式角度センサの制御回路を示す図
である。
【主要部分の符号の説明】
1 回転シャフト(被検知体) 2、4、5 磁性部材 3、6、7 磁気ギャップ 8 ホール素子 9 励磁コイル 10 直流電源 11 制御回路 12 マグネット

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検知体の回転に応動する回転体と、 前記回転体を囲繞し、かつ少なくとも1つの検出用磁気
    ギャップを含む固定磁路を形成する固定磁路形成手段
    と、 前記回転体に応動して前記固定磁路に沿って移動自在な
    可動磁路を形成し、前記検出用磁気ギャップを各々が含
    む一対の可変長閉磁路を形成する可動磁路形成手段と、 前記検出用磁気ギャップに配置された磁束密度検出手段
    と前記可変長閉磁路に各々鎖交した一対の励磁コイル
    と、 前記磁束密度検出手段の検出出力に応じて、前記検出用
    磁気ギャップの磁束密度を略零とすべく、前記励磁コイ
    ルの励磁電流を供給する励磁電流供給手段と、 前記励磁電流の比に応じた信号を前記回転体の位置を表
    す位置信号として生成する電流比検出手段と、からな
    り、 前記励磁電流供給手段は、前記一対の励磁コイルを直列
    に含む単一の電流路と、前記電流路に定電圧を供給する
    定電圧供給手段と、前記電流路中の前記励磁コイルに挟
    まれる中間点に前記磁束密度検出手段の検出出力に応じ
    た付加電流を供給する付加電流供給手段とからなり、 前記電流比検出手段は、前記中間点の電位を前記位置信
    号とすることを特徴とする磁気式角度センサ。
  2. 【請求項2】 前記磁束密度検出手段は、ホール素子で
    あることを特徴とする請求項1記載の磁気式角度セン
    サ。
  3. 【請求項3】 前記付加電流供給手段は、前記ホール素
    子の正側検出出力と負側検出出力との差に応じた出力電
    流を前記付加電流として前記中間点に供給する差動増幅
    手段であることを特徴とする請求項2記載の磁気式角度
    センサ。
  4. 【請求項4】 前記差動増幅手段は、単一の差動増幅器
    からなることを特徴とする請求項3記載の磁気式角度セ
    ンサ。
  5. 【請求項5】 前記差動増幅手段は、積分特性を有し、
    前記ホール素子の正側検出出力と負側検出出力との差に
    基づくP−I制御出力電流を前記付加電流とすることを
    特徴とする請求項3記載の磁気式角度センサ。
  6. 【請求項6】 前記電流路は、前記中間点を挟む位置に
    各々接続された1対の抵抗を有することを特徴とする請
    求項1乃至5のいずれか1に記載の磁気式角度センサ。
  7. 【請求項7】 前記抵抗の大きさは、前記励磁コイル
    と、前記固定磁路形成手段及び前記可動磁路形成手段と
    を構成する材料の温度特性に応じて定められていること
    を特徴とする請求項6記載の磁気式角度センサ。
  8. 【請求項8】 前記固定磁路形成手段は、環状部を形成
    する単一の固定磁性部材からなり、 前記可動磁路形成手段は、前記磁性部材の内周壁に一端
    が固設した固定分岐磁性部材と、前記固定分岐磁性部材
    の他端の近傍の回転中心軸の回りに前記回転体に応動し
    て回動自在な可動磁性部材とからなり、前記固定磁性部
    材が前記可動磁性部材の先端の可動軌跡に沿って延在し
    ており、 前記検出用磁気ギャップは前記固定分岐磁性部材内に形
    成され、 前記励磁コイルは、前記固定磁性部材に巻回されている
    ことを特徴とする請求項1記載の磁気式角度センサ。
  9. 【請求項9】 前記可動磁路形成手段は、少なくとも1
    対の互いに異なる等分磁極面を外表面に有すべく着磁さ
    れた環状マグネットからなり、 前記固定磁路形成手段は、少なくとも1つの磁気ギャッ
    プを含み前記環状マグネットを囲繞する第1の固定磁路
    を形成する第1磁路形成手段と、前記第1の固定磁路に
    結合し前記検出用磁気ギャップを含む第2の固定磁路を
    形成する第2磁路形成手段と、からなることを特徴とす
    る請求項1記載の磁気式角度センサ。
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