JP2001074409A - 非接触式ポジションセンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 センサとしての基本的な構成が共通し、ロー
タリセンサに適用した場合は任意の使用角度を設定で
き、リニアセンサに適用した場合は磁石の厚さを厚くし
ても漏れ磁束が増加することのない非接触式ポジション
センサを提供する。 【解決手段】 ２つの磁石対向辺１０１ａ，１０１ｂを
有する第１ステータ１０１と、上記２つの磁石対向辺を
結ぶ軌跡上に１つの磁石対向辺１０２ａを有する第２ス
テータ１０２と、上記第１、第２ステータ間に設けられ
たホール素子１０３と、上記３つの磁石対向辺と対向す
るように上記軌跡に沿って移動自在であるとともに上記
軌跡の方向に隣接配置された２つの磁石１０４，１０５
と、を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、磁束変化を検出し
て電圧に変換するホール素子を用いた非接触式ポジショ
ンセンサに関し、特に、磁石に向き合う磁石対向辺が３
つあるステータを用いたセンサに関する。

【０００２】

【従来の技術】ホール素子を用いた非接触式ポジション
センサとしては、ロータリーセンサとリニアセンサとが
ある。図２６は、特開平８−３５８０９号に記載された
従来のロータリセンサの中央断面図である。同図に示す
ように、結合軸１は、最外側に円筒型のロータ２を有
し、このロータ２の内側には、円筒型の永久磁石３が固
定されている。永久磁石３の内側には、永久磁石３から
若干の隙間を設けて半円型をした２つのステータ４，５
が固定される。ステータ４，５の間には、直径方向に伸
びる隙間６が形成され、この隙間６の中にホール素子７
がある。

【０００３】ステータ４，５の周りを円筒型のロータ２
と永久磁石３とが回転すると、ホール素子７を通過する
磁束が変化し、この磁束の変化がホール素子７の電圧の
変化となって表れ、この電圧の変化を測定することによ
って、ロータ２の回転角度を測定することができること
になる。

【０００４】図２７は、特表平７−５００４２１号に記
載されたリニアセンサの構成を示す。このセンサは、ホ
ール素子１１と、このホール素子１１を挟んで設けられ
たステータ１２，１３と、可動磁石１４とを有し、可動
磁石１４のステータ１２，１３と反対側にもう一つのス
テータ１５を設けた構成となっている。

【０００５】可動磁石１４はスライダ１６に取り付けら
れ、スライダ１６がその長手方向に移動する。可動磁石
１４が（ａ）のようにステータ１２，１３の中間にある
と、２つの磁気回路Ａ，Ｂが対称的に形成され、中心に
位置するホール素子１１を通過する磁束は０となる。可
動磁石１４が（ｂ）に示すように右に移動すると、磁気
回路Ａ，Ｂのバランスが崩れ、ホール素子１１は磁気回
路Ａに含まれるので、この間の磁束の変化が検知され、
スライダ１６の移動長さを知ることができる。可動磁石
１４が（ｃ）に示すように左に移動すると、ホール素子
１１は、磁気回路Ｂに含まれ、この間の磁束の変化から
スライダ１６の位置を検知できることになる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】これらの従来例におい
て、図２６のロータリーセンサは、環状の永久磁石を使
用しているので、出力特性角は１８０゜サイクルで出力
勾配が設定される。そのうち使用可能角は１５０゜程度
となり、１５０゜以下で使用する場合は、それだけ分解
能が低下するという問題があった。

【０００７】一方、図２７のリニアセンサでは、可動磁
石１４の厚さｔが厚くなると、ステータ１２，１３と、
ステータ１５との距離は大きくなり、漏れ磁束が増加し
出力値の直進性が悪化してしまう。これを避けるために
厚さｔを薄くすると、磁力が弱くなって所定の感度を得
られなくなる、という問題があった。

【０００８】本発明は、上記の問題の解決を図ったもの
で、センサとしての基本的な構成が共通し、ロータリセ
ンサに適用した場合は、任意の使用角度を設定でき、リ
ニアセンサに適用した場合は、磁石の厚さを厚くしても
漏れ磁束が増加することのない非接触式ポジションセン
サを提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の非接触式ポジションセンサは、２つの磁石
対向辺を有する第１ステータと、上記２つの磁石対向辺
を結ぶ軌跡上に１つの磁石対向辺を有する第２ステータ
と、上記第１、第２ステータ間に設けられたホール素子
と、上記３つの磁石対向辺と対向するように上記軌跡に
沿って移動自在であるとともに上記軌跡の方向に隣接配
置された２つの磁石と、を有することを特徴としてい
る。

【００１０】リニアセンサとしては、上記磁石が板状磁
石であってスライダに保持され、該スライダが直線の軌
跡に沿って進退可能である構成を特徴としている。ロー
タリセンサとしては、上記磁石が湾曲した磁石であって
ロータに保持され、該ロータが円弧の軌跡に沿って回動
可能である構成を特徴としている。

【００１１】また、リニアセンサの場合、上記第１、第
２ステータをケース内に収容するとともに、該ケース内
に上記磁石と第１、第２ステータとの距離を一定に保つ
案内部と上記スライダを進退自在に支持する軸受部とを
形成した構成としてもよい。

【００１２】このとき、上記案内部が、ケース内に形成
されたレールと、スライダに設けられた１又は２以上の
コロとを有する構成としたり、上記コロが上記２つの磁
石の重心位置近くにあって、スライダの進退方向と直交
する方向に一対設けられている構成とすることができ
る。

【００１３】ロータリセンサの場合、上記第１、第２ス
テータをケース内に収容し、該ケースのカバーにガイド
ピンを立設して該ガイドピンで第１ステータを貫通保持
するともに、第１ステータを貫通したガイドピンに上記
ロータを回動自在に軸支させた構成とすることができ
る。

【００１４】または、上記第１、第２ステータをケース
内に収容し、上記ロータに中空結合部を形成し、上記ケ
ースに上記ロータの中空結合部と嵌合する突起部を設け
た構成としてもよい。

【００１５】上記のリニアセンサやロータリセンサにお
いて、上記第１、第２ステータの上記軌跡と直交する方
向の幅と、上記可動磁石の軌跡と直交する方向の幅とが
ほぼ同じである構成とすることが望ましい。

【００１６】リニアセンサにおいて、第２ステータの１
つの磁石対向辺の両側に第１ステータの２つの磁石対向
辺を対称に配置し、第１ステータの磁石対向辺の長さを
Ｓａ１，Ｓａ２第２ステータの磁石対向辺の長さをＳａ
３、２つの磁石の長さをＭａ１，Ｍａ２、磁石間の隙間
をＧａ１、３つの磁石対向辺間の隙間をＧａ２，Ｇａ３
とし、磁石のストロークを２Ｌとした場合、 Ｍａ１＝Ｍａ２＝２Ｌ−Ｇａ１ Ｇａ１＝Ｇａ２＝Ｇａ３ Ｓａ１＝Ｓａ２＝Ｓａ３＝Ｍａ１ という構成が最も高感度となる。

【００１７】同じく、リニアセンサにおいて、第２ステ
ータの１つの磁石対向辺の両側に第１ステータの２つの
磁石対向辺を対称に配置し、第１ステータの２つの磁石
対向辺の長さをＳｂ１，Ｓｂ２、第２ステータの磁石対
向辺の長さをＳｂ３、２つの磁石の長さをＭｂ１，Ｍｂ
２、磁石間の隙間をＧｂ１、３つの磁石対向辺間の隙間
をＧｂ２，Ｇｂ３とし、磁石のストロークを２Ｌとした
場合、 Ｍｂ１＝Ｍｂ２＝Ｌ−Ｇｂ１／２ Ｇｂ１＝Ｇｂ２＝Ｇｂ３ Ｓｂ１＝Ｓｂ２＝Ｓｂ３／２＝Ｍｂ１ という構成が最もコンパクトとなる。

【００１８】ロータリセンサでは、第２ステータの１つ
の磁石対向辺の両側に第１ステータの２つの磁石対向辺
を対称に配置し、第１ステータの２つの磁石対向辺の中
心角をＳθａ１，Ｓθａ２、第２ステータの磁石対向辺
の中心角をＳθａ３、２つの磁石の中心角をＭθａ１，
Ｍθａ２、磁石間の隙間をＧθａ１、３つの磁石対向辺
間の隙間をＧθａ２，Ｇθａ３とし、磁石のストローク
を２θとした場合、 Ｍθａ１＝Ｍθａ２＝２θ−Ｇθａ１ Ｇθａ１＝Ｇθａ２＝Ｇθａ３ Ｓθａ１＝Ｓθａ２＝Ｓθａ３＝Ｍθａ１ という構成が最も高感度となる。

【００１９】また、第２ステータの１つの磁石対向辺の
両側に第１ステータの２つの磁石対向辺を対称に配置
し、第１ステータの２つの磁石対向辺の中心角をＳθｂ
１，Ｓθｂ２第２ステータの磁石対向辺の中心角をＳθ
ｂ３、２つの磁石の中心角をＭθｂ１，Ｍθｂ２、磁石
間の隙間をＧθｂ１、３つの磁石対向辺間の隙間をＧθ
ｂ２，Ｇθｂ３とし、磁石のストロークを２θとした場
合、 Ｍθｂ１＝Ｍθｂ２＝θ−Ｇθｂ１／２ Ｇθｂ１＝Ｇθｂ２＝Ｇθｂ３ Ｓθｂ１＝Ｓθｂ２＝Ｓθｂ３／２＝Ｍθｂ１ という構成が最もコンパクトになる。

【００２０】さらに、第１ステータと第２ステータ間の
ホール素子が挿入される隙間の間隔が、磁石間の隙間及
び３つの磁石対向辺間の隙間と等しい構成とすることが
望ましい。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下に本発明の非接触式ポジショ
ンセンサを図面を用いて説明する。図１は本発明の非接
触式ポジションセンサの基本構成を示す図で、リニアセ
ンサに適用した例を示す。本発明のセンサは、第１ステ
ータ１０１と、第２ステータ１０２と、これらの間に配
置されたホール素子１０３と、これらに対向して配置さ
れた可動磁石１０４，１０５と、可動磁石を結合するス
ライダ１０６とで構成される。

【００２２】第１ステータ１０１は、「コ」字型で、両
側に磁石対向辺１０１ａ，１０１ｂを有し、第２ステー
タ１０２は、ただ１つの磁石対向辺１０２ａを有し、こ
れら３つの磁石対向辺１０１ａ，１０１ｂ，１０２ａ
は、一つの直線上に配置されている。第１、第２ステー
タ１０１，１０２とホール素子１０３の配置は、鏡面対
称である。スライダ１０６は、図の矢符号で示すよう
に、その長手方向に進退可能で、その移動量が、このセ
ンサによって検知される。

【００２３】可動磁石１０４，１０５は、若干の隙間を
介して配置された同じ長さの板状磁石で、その厚さ方向
に磁極Ｎ，Ｓが形成され、可動磁石１０４と１０５とで
は、磁極が反対になるように図示のように配置される。
このような磁極の配置は、以下に記載する他の実施例で
も同様となっている。

【００２４】図１（ａ）に示すように可動磁石１０４，
１０５が丁度中央にある場合、可動磁石１０４，１０５
と第１ステータ１０１とによって磁気回路Ａが形成さ
れ、可動磁石１０４，１０５と第２ステータ１０２とに
よって磁気回路Ｂが形成され、ホール素子１０３を通過
する磁束は０となる。

【００２５】図１（ｂ）に示すように可動磁石１０４，
１０５が右端にくると、可動磁石と第１、第２ステータ
１０１，１０２の右側とで磁気回路Ｃが形成され、ホー
ル素子１０３を磁束が通過する。ホール素子１０３を通
過する磁束は、（ａ）の０から可動磁石が右に移動する
に連れて徐々に増加し、（ｂ）で最大となる。そして、
磁束の変化に応じた電圧を出力し、可動磁石の位置、す
なわち、スライダ１０６の位置を検知できることにな
る。

【００２６】図１（ｃ）に示すように可動磁石１０４，
１０５が左端に移動すると、第１ステータ１０１の左側
に偏った磁気回路Ｄが形成される。この磁束の方向は磁
気回路Ｃとは逆向きになるので、スライダ１０６の右方
向の移動量をプラスとすれば、この（ｃ）の左方向への
移動はマイナスとして検知される。

【００２７】上記図１の非接触式ポジションセンサは、
次の特性を有する。 磁気回路が閉ループで構成されており、磁束の漏れが
すくない。 スライダ１０６は磁力によりその移動方向と直角方向
にはずれにくいため出力変動が少ない。 可動磁石１０４，１０５の厚さｔが厚くなっても、磁
束漏れが増すことはない。 スライダ１０６が常に第１、第２ステータ１０１，１
０２側に吸い寄せられているので、振動を受けても動き
にくい。

【００２８】図２は図１の非接触式ポジションセンサを
角度センサに適用した実施例である。この非接触式ポジ
ションセンサ１１０は、２つの磁石対向辺１１１ａ，１
１１ｂを備えた第１ステータと、１つの磁石対向辺１１
２ａを備えた第２ステータと、これらの間に配置された
ホール素子１１３と、可動磁石１１４，１１５と、これ
ら可動磁石を固定するロータ１１６とから構成される。

【００２９】３つの磁石対向辺１１１ａ，１１１ｂ，１
１２ａは、同一の円弧上に配置され、全体でほぼ半円を
形成している。一方、可動磁石１１４，１１５は、磁石
対向辺の円弧と同じ曲率中心を持つ湾曲した板状磁石
で、円弧に沿って配置され、ロータ１１６はこの円弧に
沿って矢印のように回動する。

【００３０】この実施例でも、可動磁石１１４，１１５
が円弧に沿って移動すると、図１と同じように磁気回路
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに相当するものが形成され、ホール素子
１１３を通過する磁束が変化し、これを検知することで
ロータ１１６の回転角度を検出することができることに
なる。

【００３１】図３は、本発明の非接触式ポジションセン
サを実際のリニアセンサに適用した組立図で、（ａ）は
センサ中央の断面図、（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ断面図で
ある。これらの図において、センサのケース１２０内の
空間に、第１ステータ１２１と第２ステータ１２２が収
容され、これらの間にホール素子１２３が配置される。
可動磁石１２４，１２５は、スライダ１２６内の第３ス
テータ１２６ａに貼付され、第１、第２ステータ１２
１，１２２に対面するように収容される。

【００３２】スライダ１２６の両側にはコロ１２６ｂが
あり、ケース１２０内に形成されたレール１２７上を転
動自在となっている。また、スライダ１２６のステータ
に面する側と反対側には、スプリング受部１２６ｃがあ
り、ケース１２０内に形成されたスプリング受部１２０
ａとの間にコイルスプリング１２８を嵌装し、スライダ
１２６を常に、図の下方に向けて付勢している。

【００３３】以上の構成において、スライダ１２６は、
ケース１２０の軸受１２０ｂに支持され、可動磁石１２
４，１２５が第１、第２ステータ１２１，１２２を吸引
したとき、コロ１２６ｂがレール１２７に接触すること
でそれ以上ステータ１２１，１２２に近づくことができ
なくなる。コロ１２６は、可動磁石１２４，１２５と第
３ステータ１２６ａの重心近くに設けられていることか
ら、左右一対で安定して支持できるが、可動磁石１２
４，１２５の上下両端近くに一対づつ、計４個設ける構
成等、他の構成としてもよい。また、軸受１２０ｂとス
ライダ１２６との間にガタツキがあっても、上記のコロ
１２６ｂとレール１２７との支持により支障を生じるこ
とはない。

【００３４】スライダ１２６は、可動磁石１２４，１２
５によってステータの中心に吸引されるため、スライダ
１２６が可動磁石１２４，１２５の吸引方向と直角方向
にズレることはない。しかしながら、第１、第２ステー
タ１２１，１２２の移動方向と直交する方向の幅Ｈと、
可動磁石１２４，１２５の同じ方向の幅ｈとをほぼ等し
くしておくことが最も望ましい。

【００３５】以上のように、本発明の実施例では、スラ
イダ１２６を、一対又は複数対のコロ１２６とレール１
２７とにより支持し、さらに、軸受１２０ｂにおいて支
持したので、寸法の誤差等が生じてもスライダを安定し
て支持でき、スムーズに摺動させることが可能となっ
た。また、外部から振動を受けてスライダと可動磁石に
荷重が発生しても、その荷重がスライダの軸受１２０ｂ
に殆ど加わらないので、軸受けの摩耗が少ない。さら
に、一対のコロ１２６と軸受１２０ｂで支持する構成な
ので、メカニカル・ヒステリシスが小さく、したがっ
て、作動時の出力ヒステリシスも小さい。

【００３６】図４は、本発明の非接触式ポジションセン
サを実際のロータリーセンサに適用した組立図である。
同図においてケース１３０内には、第１ステータ１３
１、第２ステータ１３２があり、これらの間にホール素
子１３３が挿入されている。

【００３７】ケース１３０内のこれらが嵌装される空間
は、カバー１３７で閉止されるが、このカバー１３７に
はロータ１３６を回動自在に支持するガイドピン１３７
ａと、第２ステータ１３２を固定するピン１３７ｂとが
ある。ガイドピン１３７ａは第１ステータ１３１を貫通
支持し、貫通した先にロータ１３６が回動自在に嵌合さ
れる。もう一方のピン１３７ｂには、第２ステータ１３
２が嵌合固定される。また、ロータ１３６とケース１３
０との間の空間には渦巻き状のバネ１３８が嵌装され、
ロータ１３６がガイドピン１３７ａを軸として一方向に
回転するように常時付勢している。図示しないが、ロー
タ１３６の回転を所定の位置で止めるためのストッパが
設けられている。

【００３８】ロータ１３６は、その一部が第２ステータ
１３２と対向する位置まで延設され、ここに第３のステ
ータ１３６ａが嵌装され、第３のステータには円弧状の
２つの可動磁石１３４，１３５を１つの円弧に沿って配
置する。

【００３９】第１、第２ステータ、可動磁石、ロータの
位置関係は、図２に示したものと基本的には同じであ
る。以上の構成であるから、可動磁石１３４，１３５
は、ガイドピン１３７ａを中心に回転し、第１、第２ス
テータ１３１，１３２の磁石対向辺が形成する円弧に沿
って移動する。

【００４０】ガイドピン１３７ａとロータ１３６との嵌
合部にガタツキがあって、可動磁石１３４，１３５に磁
石の吸引方向のずれが生じた場合、可動磁石１３４，１
３５と第１、第２ステータとの間で吸引するので、ガタ
ツキの一方に片寄せられ、出力精度への影響が小さくな
り、作動ヒステリシスも殆ど無く、作動に影響を与える
ことはない。

【００４１】ロータ１３６のずれが吸引方向と直角方向
に生じた場合、これはガイドピンのスラスト方向のずれ
となるが、可動磁石１３４，１３５と第１、第２ステー
タ１３１，１３２の位相が一致するように規制され、ス
ラスト方向のガタツキも吸収される。

【００４２】図５は、図４と同じくロータリセンサの実
施例であるが、この実施例は、ガイドピンを使用しない
例である。（ａ）は中心の断面図、（ｂ）は（ａ）のII
−II断面図、（ｃ）は（ａ）のIII−IIIから見た図で、
図２に対応する図である。

【００４３】ケース１４０内には、第１ステータ１４１
と第２ステータ１４２が円弧に沿って配置され、これら
の間にはホール素子１４３が、外側には可動磁石１４
４，１４５と第３のステータ１４６ａとが配置される。
可動磁石１４４，１４５と第３のステータ１４６ａと
は、ともにロータ１４６に固定され、ロータの回転によ
って第１、第２ステータの円弧の若干外側を隙間を介し
て回動自在である。

【００４４】ロータ１４６は、その一方に形成された中
空結合部１４６ｃをケースの突起部１４０ａに嵌合して
ケース１４０に回動自在に支持され、他方は、ロータリ
センサの取り付け相手のボディ１４９から突出したシャ
フト１４８に支持される。図５（ｂ）に示すように、シ
ャフト１４８の先端には切欠部１４８ａがあり、ロータ
１４６に形成された切欠部１４６ｂと重なって回り止め
となっている。

【００４５】シャフト１４８が軸ａを中心に回動する
と、可動磁石１４４，１４５が円弧上を移動し、ホール
素子１４３を通過する磁束が変化するので、シャフト１
４８の回転角を測定できることになる。

【００４６】ロータ１４６の嵌合部に、可動磁石１４
４，１４５の吸引方向のガタツキが生じた場合、可動磁
石１４４，１４５が第１、第２ステータ１４１，１４２
を吸引して、ガタツキの一方に寄せることでガタツキを
吸収する。

【００４７】ロータ１４６が吸引方向と直角方向にずれ
た場合、これは軸ａの方向のずれであるが、可動磁石１
４４，１４５と第１、第２ステータ１４１，１４２の位
相が一致するように（中心が一致するように）規制さ
れ、スラスト方向のずれも吸収される。したがって、上
記のずれやガタツキにより出力精度への影響が小さくな
り、作動ヒステリシスも殆ど無い。

【００４８】すなわち、図４及び図５の実施例では、ロ
ータと可動磁石との間に振動による外力が作用した場合
でも、上述したように、ロータは常に一定の位置に自動
的に復帰するので、振動の影響を受けにくい。また、振
動の影響がロータの軸受部に加わらないので、摩耗も少
なくなる。

【００４９】図６は、本発明の非接触式ポジションセン
サの変位量と出力の関係を示す線図である。縦軸にホー
ル素子の出力をとり、横軸には、リニアセンサの場合
は、移動長さ、ロータリセンサの場合は角度をとる。本
発明の非接触式ポジションセンサは、左右対称形状とし
ているので、中心からある範囲内では、図６に示すよう
に、磁力の変化と、角度や長さの変位との間には、直線
的な関係がある。この直線部分が測定可能領域となる。
そこで、実際のセンサでは、角度や長さの変位をこの中
心付近の直線部分内に納まるように設計するが、そのと
き、この直線の勾配tanαがセンサの感度を表わすこと
になる。一般に、可動磁石の長さを長くすると、感度が
向上するが、ステータの形状も可動磁石に合わせて大き
くしなければ効果的ではない。

【００５０】図７は本発明のリニア型非接触式ポジショ
ンセンサで、最も感度が良くなる実施例を示す。すなわ
ち、最も感度の良いステータと可動磁石の寸法と位置関
係を示す実施例である。基本的な構成は図１に記載した
ものと同じとなっているが、磁石対向辺や可動磁石の長
さが長くなっていることに特徴がある。

【００５１】第１ステータの２つの磁石対向辺の長さを
Ｓａ１，Ｓａ２、第２ステータの磁石対向辺の長さをＳ
ａ３とし、２つの可動磁石の長さをそれぞれＭａ１とＭ
ａ２とする。可動磁石間の隙間をＧａ１、一直線に並ん
だ３つの磁石対向辺間の隙間をＧａ２，Ｇａ３とする。
可動磁石のストロークを中心から片側にＬづつ、計２Ｌ
とする。

【００５２】以下に、最も感度が良くなる各部の寸法、
位置関係について、説明する。まず、可動磁石の長さＭ
ａ１とＭａ２との関係であるが、図８に示すように、Ｍ
ａ１＝Ｍａ２付近が良い。

【００５３】すなわち、図８（ａ）はＭａ１＝Ｍａ２の
ときで、リニアリティは０で直線性が確保できる。しか
し、（ｂ）に示すようにＭａ１＞Ｍａ２の場合や、
（ｃ）に示すように、Ｍａ１＜Ｍａ２の場合は、変位量
と電圧との間のリニアリティが悪化する。

【００５４】次に、可動磁石の長さＭａ１とストローク
Ｌとの関係であるが、Ｍａ１＝２Ｌ付近が良く、特に、
Ｍａ１＝２Ｌ−Ｇａ１付近が効率の良い長さである。仮
に、Ｍａ１＜２Ｌの場合、図９の一点鎖線に示すよう
に、ストローク２Ｌ内で、リニアリティが悪化する。Ｍ
ａ１＞２Ｌの場合は、リニアリティへの影響はないが、
作動ストロークに対して不要な長さとなり、無駄であ
る。

【００５５】図１０はクリアランスＧａ２，Ｇａ３とリ
ニアリティとの関連を示す図である。同図（ａ）に示す
ようにＧａ２＝Ｇａ３付近の場合のリニアリティは良好
なのに対し、（ｂ）、（ｃ）に示すようにＧａ２＜Ｇａ
３やＧａ２＞Ｇａ３の場合は、いずれもリニアリティが
悪化する。

【００５６】次に、ホール素子が挿入される第１、第２
ステータのクリアランスＴとＧａ２，Ｇａ３の関係であ
るが、Ｔ＜Ｇａ２＝Ｇａ３のときがリニアリティが良い
が、図１１（ａ）に示すように、Ｔ＝Ｇａ２＝Ｇａ３付
近のとき特に効率が良い。Ｔ＞Ｇａ２＝Ｇａ３のとき
は、磁束のショートカットが起きて、図１１（ｂ）に示
すように、リニアリティが悪化する。

【００５７】３つのクリアランスＧａ１，Ｇａ２，Ｇａ
３の関係であるが、図１２（ａ）に示すように、Ｇａ１
＝Ｇａ２＝Ｇａ３付近のとき、リニアリティが最も良く
なり、Ｇａ１＞Ｇａ２＝Ｇａ３のときは、図１２（ｂ）
のような傾向があり、Ｇａ１＜Ｇａ２＝Ｇａ３のときは
図１２（ｃ）のようになって、いずれもリニアリティが
悪化する。

【００５８】第２ステータの長さＳａ３と、可動磁石の
長さＭａ１との関係は、図１３（ａ），（ｂ）に示す通
りである。すなわち、Ｓａ３＜Ｍａ１＝２Ｌ−Ｇａ１の
場合、（ａ）の一点鎖線で示すように、ストローク２Ｌ
の範囲内でのリニアリティが悪化し、Ｓａ３＞Ｍａ１＝
２Ｌ−Ｇａ１の場合は、（ｂ）に示すように、計測可能
な範囲Ｗは２Ｌ以上に拡がるが、リニアリティは悪化し
ている。したがって、Ｓａ３＝Ｍａ１＝２Ｌ−Ｇａ１付
近が最も良好である。

【００５９】第１ステータの磁石対向辺の長さＳａ１，
Ｓａ２と、第２ステータの磁石対向辺Ｓａ３と、ストロ
ーク２Ｌとの関係は、図１４に示す通りである。同図の
実線は、Ｓａ１＝Ｓａ２＝Ｓａ３の場合で、２Ｌの範囲
全体でリニアリティが良好である。これに対し、Ｓａ１
＜Ｓａ２の場合は、−Ｌ側でのリニアリティが悪化し、
Ｓａ２＜Ｓａ３の場合は、＋Ｌ側でのリニアリティが悪
化する。

【００６０】以上から、最も感度の良いセンサの条件
は、ストロークを２Ｌとして、ほぼ ２つの可動磁石の長さＭａ１，Ｍａ２は、可動磁石
間の隙間をＧａ１として、Ｍａ１＝Ｍａ２＝２Ｌ−Ｇａ
１ 第２ステータの長さＳａ３＝Ｍａ１＝２Ｌ−Ｇａ１ 第１ステータの長さＳａ３×３＋Ｇａ２×２（Ｓａ
１＝Ｓａ２＝Ｓａ３）≧６Ｌ−Ｇａ１ 隙間の幅は、Ｇａ１＝Ｇａ２＝Ｇａ３ の関係が成り立つこととなる。

【００６１】図１５は、最もコンパクトにできるリニア
型非接触式ポジションセンサの構成を示す図である。基
本的な構成は図７に記載したものと同じであるが、磁石
対向辺の長さや、可動磁石の長さが異なっている。

【００６２】第１ステータの２つの磁石対向辺の長さを
Ｓｂ１，Ｓｂ２、第２ステータの磁石対向辺の長さをＳ
ｂ３とし、２つの可動磁石の長さをそれぞれＭｂ１とＭ
ｂ２とする。可動磁石間の隙間をＧｂ１、一直線に並ん
だ３つの磁石対向辺間の隙間をＧｂ２，Ｇｂ３とする。
可動磁石のストロークは中心から片側にＬづつ、計２Ｌ
である。

【００６３】以下に、最もコンパクトになる各部の寸
法、位置関係について、可動磁石の長さとリニアリティ
の関係から説明する。図１６に示すように、可動磁石の
長さＭｂ１とＭｂ２とは、Ｍｂ１＝Ｍｂ２付近が良い。
特に、Ｍｂ１＝Ｍｂ２＝Ｌ付近が良く、特に、Ｍｂ１＝
Ｍｂ２＝Ｌ−（Ｇｂ１／２）付近が効率の良い長さであ
る。仮に、Ｍｂ１＜Ｌでは、図１６のように、作動スト
ローク２Ｌの範囲で磁力のリニアリティが悪化する。ま
た、Ｍｂ１＞Ｌでは作動ストロークに対して不要な長さ
であり、無駄となる。

【００６４】図１７は隙間Ｇｂ２，Ｇｂ３に関するもの
である。（ａ）はＧｂ２＝Ｇｂ３のときで、リニアリテ
ィが良好である。さらには、Ｇｂ１＝Ｇｂ２＝Ｇｂ３の
付近が最も良好である。（ｂ）はＧｂ２＜Ｇｂ３で、
（ｃ）はＧｂ２＞Ｇｂ３の場合で、共に、リニアリティ
が悪化している。

【００６５】ホール素子が挿入される第１、第２ステー
タのクリアランスＴとＧｂ２，Ｇｂ３の関係であるが、
図１１で説明したのと同様の理由から、Ｔ＜Ｇｂ２＝Ｇ
ｂ３付近のときが良い。隙間についても、図１２で説明
したのと同様の理由から、Ｇｂ１＝Ｇｂ２＝Ｇｂ３付近
のときがリニアリティが最も良くなる。

【００６６】図１８は第２ステータの長さＳｂ３と、可
動磁石の長さＭｂ１及びストロークＬとの関係を示す図
である。図１８（ａ）の実線はＳｂ３＝Ｍｂ１×２＝２
Ｌ−Ｇｂ１の時で、リニアリティは作動長さ２Ｌの全体
で確保されている。しかし、Ｓｂ３＜Ｍｂ１×２＝２Ｌ
−Ｇｂ１の場合は、一点鎖線で示すように、２Ｌの両端
において、リニアリティが悪化している。Ｓｂ３＞Ｍｂ
１×２＝２Ｌ−Ｇｂ１の場合は、図１８（ｂ）に示すよ
うに計測範囲Ｗは拡がるが、リニアリティは悪化してい
る。

【００６７】磁石対向辺の長さＳｂ１，Ｓｂ２，Ｓｂ３
は、図１９の実線に示すように、Ｓｂ１＝Ｓｂ２＝Ｓｂ
３／２が最も効率が良い。したがって、第１ステータの
長さは、Ｓｂ３×２＋Ｇｂ２×２が良く、Ｓｂ１＜Ｓｂ
３／２や、Ｓｂ２＜Ｓｂ３／２の場合は、図１９の一点
鎖線や点線で示すようにリニアリティが悪化する。Ｓｂ
１＝Ｓｂ２＞Ｓｂ３／２でも良いが、全長が長くなるだ
け無駄であり、コンパクト化に反することになる。

【００６８】したがって、第１ステータの長さは、 第１ステータ長さ≧２（２Ｌ−Ｇｂ１）＋Ｇｂ１×２≧
４Ｌ となる。

【００６９】以上から最もコンパクトなリニアセンサ
は、ストロークを２Ｌとして、ほぼ ２つの可動磁石の長さＭｂ１，Ｍｂ２は、可動磁石
間の隙間をＧｂ１として、Ｍｂ１＝Ｍｂ２＝Ｌ−Ｇｂ１
／２ 第２ステータの長さＳｂ３＝２Ｍｂ１＝２Ｌ−Ｇｂ
１ 第１ステータの長さＳｂ３×２＋Ｇｂ２×２（Ｓｂ
１＝Ｓｂ２＝Ｓｂ３／２）≧４Ｌ 隙間の幅は、Ｇｂ１＝Ｇｂ２＝Ｇｂ３ の関係が成り立つこととなる。

【００７０】同一のストロークＬに対して、図７のリニ
アセンサと、図１５のリニアセンサとの第１ステータの
長さは、図７のリニアセンサでは６Ｌ−Ｇａ１で、図１
５では、４Ｌとなり、図７の方がほぼ５０％長くなる。

【００７１】図７のリニアセンサと図１５のリニアセン
サとを比較すると、図７の方が約２倍の感度となってい
る。これについて、図２０と図２１で説明する。

【００７２】図２０は図７のリニアセンサの磁気回路の
形成状況を説明する図である。この図に示すように図７
のリニアセンサでは磁石が中央にある（ｂ）のとき、内
回りと外回りの２つの磁気回路が形成される。磁石が右
又は左に移動すると、（ａ），（ｃ）に示すように、４
つの磁気回路が形成される。

【００７３】これに対し、図１５のコンパクトなリニア
センサでは、図２１に示すように、磁石が中央にある
（ｂ）のとき、１つの磁気回路しか形成されない。ま
た、磁石が右又は左に移動すると、（ａ），（ｃ）に示
すように、２つの磁気回路が形成され、結局、図２０の
場合の半分の磁気回路しか形成されないためである。

【００７４】図２２は、図７のリニアセンサに対応する
ロータリセンサで、最も感度の良いロータリセンサを示
す。リニアセンサでは各部の大きさを長さで表したが、
ここでは中心角で表している。すなわち、ストロークを
２θ（±θ）可動磁石の長さをＭθａ１，Ｍθａ２、第
１、第２ステータの磁石対向辺の長さをそれぞれＳθａ
１，Ｓθａ２，Ｓθａ３、隙間の間隔をＧθａ１，Ｇθ
ａ２，Ｇθａ３と表している。そして、これらの間に
は、図７のセンサについて、図８から図１４（図１１は
除く）で説明したことが全て該当する。

【００７５】したがって、最も感度の高いロータリセン
サの条件は、ほぼ ２つの可動磁石の長さＭθａ１，Ｍθａ２は、可動
磁石間の隙間をＧθａ１として、Ｍθａ１＝Ｍθａ２＝
２θ−Ｇθａ１ 第２ステータの長さＳθａ３＝Ｍθａ１＝２θ−Ｇ
θａ１ 第１ステータの長さＳθａ３×３＋Ｇθａ２×２
（Ｓθａ１＝Ｓθａ２＝Ｓθａ３）≧６θ−Ｇθａ１ 隙間の幅は、Ｇθａ１＝Ｇθａ２＝Ｇθａ３ の関係が成り立つこととなる。

【００７６】図２３は、図１５のリニアセンサに対応す
るロータリセンサで、最もコンパクトな構成のものであ
る。ここでも各部の大きさを角度で表している。すなわ
ち、ストロークを２θ（±θ）可動磁石の長さをＭθｂ
１，Ｍθｂ２、第１、第２ステータの長さをＳθｂ１，
Ｓθｂ２、隙間の間隔をＧθｂ１，Ｇθｂ２，Ｇθｂ３
と表している。そして、これらの間には、図１５のセン
サについて、図１６から図１９で説明したことが全て該
当する。

【００７７】したがって、最もコンパクトなロータリセ
ンサは、ストロークを２θとして、ほぼ ２つの可動磁石の長さＭθｂ１，Ｍθｂ２は、可動
磁石間の隙間をＧθｂ１として、Ｍθｂ１＝Ｍθｂ２＝
２θ−Ｇθｂ１ 第２ステータの長さＳθｂ３＝２Ｍθｂ１＝２θ−
Ｇθｂ１ 第１ステータの長さＳθｂ３×２＋Ｇθｂ２×２
（Ｓθｂ１＝Ｓθｂ２＝Ｓθｂ３／２）≧４θ 隙間の幅は、Ｇθｂ１＝Ｇθｂ２＝Ｇθｂ３ の関係が成り立つこととなる。

【００７８】図２２のロータリセンサと図２３のロータ
リセンサとを比較すると、図２２の方が約２倍の感度と
なる。これについて、図２４と図２５で説明する。

【００７９】図２４は図２２のロータリセンサの磁気回
路の形成状況を説明する図である。この図に示すように
図２２のロータリセンサでは磁石が中央にある（ｂ）の
とき、内回りと外回りの磁気回路が形成される。磁石が
右又は左に回転すると、（ａ），（ｃ）に示すように、
４つの磁気回路が形成される。

【００８０】これに対し、図２３のコンパクトなロータ
リセンサでは、図２５に示すように、磁石が中央にある
（ｂ）のとき、１つの磁気回路しか形成されない。ま
た、磁石が右又は左に回転すると、（ａ），（ｃ）に示
すように、２つの磁気回路が形成され、結局図２４の場
合の半分の磁気回路しか形成されないためである。

【００８１】

【発明の効果】以上に説明したように本発明の非接触式
ポジションセンサは、２つの磁石対向辺を有する第１ス
テータと、上記２つの磁石対向辺を結ぶ軌跡上に１つの
磁石対向辺を有する第２ステータと、上記第１、第２ス
テータ間に設けられたホール素子と、上記３つの磁石対
向辺と対向するように上記軌跡に沿って移動自在である
とともに上記軌跡の方向に隣接配置された２つの磁石
と、を有する構成としたので、ロータリセンサに適用し
た場合は、任意の使用角度を設定でき、リニアセンサに
適用した場合は、磁石の厚さを厚くしても漏れ磁束が増
加することのない非接触式ポジションセンサを得ること
ができる。

【００８２】リニアセンサの場合、上記第１、第２ステ
ータをケース内に収容するとともに、該ケース内に上記
磁石と第１、第２ステータとの距離を一定に保つ案内部
と上記スライダを進退自在に支持する軸受部とを形成し
た構成なので、振動等でスライダや磁石が動いても一定
の位置に戻るようにすることができ、振動の影響も受け
にくい非接触式ポジションセンサを得ることができる。

【００８３】ロータリセンサの場合、上記第１、第２ス
テータをケース内に収容し、該ケースのカバーにガイド
ピンを立設して該ガイドピンで第１ステータを貫通保持
するともに、第１ステータを貫通したガイドピンに上記
ロータを回動自在に軸支させた構成とすれば、やはり、
振動等によりロータや磁石が動いても一定の場所に復帰
するようにできる。

【００８４】また、第２ステータの１つの磁石対向辺の
両側に第１ステータの２つの磁石対向辺を対称に配置
し、第１ステータの磁石対向辺の長さ、第２ステータの
磁石対向辺の長さ、磁石の長さ、磁石間の隙間、磁石対
向辺間の隙間を所定の関係にすることで、感度を最も良
くしたり、構成を最もコンパクトなものにしたりするこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の非接触式ポジションセンサをリニアセ
ンサに適用した場合の構成を示す図である。

【図２】本発明の非接触式ポジションセンサを角度セン
サに適用した場合の構成を示す図である。

【図３】非接触式ポジションセンサを実際のリニアセン
サに適用した組立図で、（ａ）はセンサ中央の断面図、
（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ断面図である。

【図４】本発明の非接触式ポジションセンサを実際のロ
ータリーセンサに適用した組立図である

【図５】ロータリセンサの別の実施例を示す図で、
（ａ）は中心の断面図、（ｂ）は（ａ）のII−II断面
図、（ｃ）は（ａ）のIII−IIIから見た図である。

【図６】本発明の非接触ポジションセンサの変位量と出
力の関係を示す線図である。

【図７】本発明のリニア型非接触式ポジションセンサ
で、最も感度が良くなる実施例を示す図である。

【図８】磁石の長さとリニアリティとの関係を示す線図
である。

【図９】センサのストロークＬと磁石の長さＭａ１とが
感度のリニアリティに与える影響を示す線図である。

【図１０】隙間Ｇａ２，Ｇａ３とリニアリティの関係を
示す線図である。

【図１１】第１と第２ステータ間の隙間Ｔと隙間Ｇａ
２，Ｇａ３との関係を示す線図である。

【図１２】隙間Ｇａ１，Ｇａ２，Ｇａ３とリニアリティ
の関係を示す線図である。

【図１３】第２ステータの磁石対向辺の長さと可動磁石
の長さＭａ１との関係を示す線図である。

【図１４】磁石対向辺の長さＳａ１，Ｓａ２，Ｓａ３
と、ストロークＬとの関係を示す線図である。

【図１５】本発明のリニア型非接触式ポジションセンサ
で、最もコンパクトになる実施例を示す図である。

【図１６】可動磁石の長さＭｂ１とストロークＬとの関
係を示す線図である。

【図１７】隙間Ｇｂ２，Ｇｂ３の関係を示す線図であ
る。

【図１８】第２ステータの長さＳｂ３と、可動磁石の長
さＭｂ１及びストロークＬとの関係を示す線図である。

【図１９】磁石対向辺Ｓｂ１，Ｓｂ２，Ｓｂ３の大きさ
の関係を示す線図である。

【図２０】最も感度の良いリニアセンサの磁気回路の発
生状況を示す図である。

【図２１】最もコンパクトなリニアセンサの磁気回路の
発生状況を示す図である。

【図２２】本発明のロータリ型非接触式ポジションセン
サで、最も感度が良くなる実施例を示す図である。

【図２３】本発明のロータリ型非接触式ポジションセン
サで、最もコンパクトな実施例を示す図である。

【図２４】最も感度の良いロータリセンサの磁気回路の
発生状況を示す図である。

【図２５】最もコンパクトなロータリセンサの磁気回路
の発生状況を示す図である。

【図２６】従来のリニアセンサの構成を示す図である。

【図２７】従来のロータリセンサの構成を示す図であ
る。

【符号の説明】

１０１，１１１，１２１，１３１，１４１ 第１ステ
ータ １０１ａ，１０１ｂ，１１１ａ，１１１ｂ 磁石対向
辺（第１ステータ） １０２，１１２，１２２，１３２，１４２ 第２ステ
ータ １０２ａ，１１２ａ 磁石対向
辺（第２ステータ） １０３，１１３，１２３，１３３，１４３ ホール素
子 １０４，１０５，１１４，１１５，１２４，１２５，１
３４，１３５，１４４，１４５
磁石 １０６，１２６ スライダ １１６，１３６，１４６ ロータ １２０，１３０，１４０ ケース １２０ｂ 軸受部 １２６ｂ コロ １２７ レール １３７ カバー １３７ａ ガイドピン １４０ａ 突起部 １４６ｃ 中空結合部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F063 AA02 AA35 DA01 DA05 DB04 DB07 DD04 EA02 EA03 GA31 GA36 GA42 GA52 2F077 JJ01 JJ03 JJ08 JJ23 VV02

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２つの磁石対向辺を有する第１ステータ
   と、上記２つの磁石対向辺を結ぶ軌跡上に１つの磁石対
   向辺を有する第２ステータと、上記第１、第２ステータ
   間に設けられたホール素子と、上記３つの磁石対向辺と
   対向するように上記軌跡に沿って移動自在であるととも
   に上記軌跡の方向に隣接配置された２つの磁石と、を有
   することを特徴とする非接触式ポジションセンサ。
2. 【請求項２】 上記磁石が板状磁石であってスライダに
   保持され、該スライダが直線の軌跡に沿って進退可能で
   あることを特徴とする請求項１記載の非接触式ポジショ
   ンセンサ。
3. 【請求項３】 上記磁石が湾曲した板状磁石であってロ
   ータに保持され、該ロータが円弧の軌跡に沿って回動可
   能であることを特徴とする請求項１記載の非接触式ポジ
   ションセンサ。
4. 【請求項４】 請求項２記載の非接触式ポジションセン
   サにおいて、上記第１、第２ステータをケース内に収容
   するとともに、該ケース内に上記磁石と第１、第２ステ
   ータとの距離を一定に保つ案内部と上記スライダを進退
   自在に支持する軸受部とを形成したことを特徴とする非
   接触式ポジションセンサ。
5. 【請求項５】 上記案内部が、ケース内に形成されたレ
   ールと、スライダに設けられた１又は２以上のコロとを
   有することを特徴とする請求項４記載の非接触式ポジシ
   ョンセンサ。
6. 【請求項６】 上記コロが上記２つの磁石の重心位置近
   くにあって、スライダの進退方向と直交する方向に一対
   設けられていることを特徴とする請求項５記載の非接触
   式ポジションセンサ。
7. 【請求項７】 請求項３記載の非接触式ポジションセン
   サにおいて、上記第１、第２ステータをケース内に収容
   し、該ケースのカバーにガイドピンを立設して該ガイド
   ピンで第１ステータを貫通保持するともに、第１ステー
   タを貫通したガイドピンに上記ロータを回動自在に軸支
   させたことを特徴とする非接触式ポジションセンサ。
8. 【請求項８】 請求項３記載の非接触式ポジションセン
   サにおいて、上記第１、第２ステータをケース内に収容
   し、上記ロータに中空結合部を形成し、上記ケースに上
   記ロータの中空結合部と嵌合する突起部を設けたことを
   特徴とする非接触式ポジションセンサ。
9. 【請求項９】 上記第１、第２ステータの上記軌跡と直
   交する方向の幅と、上記可動磁石の軌跡と直交する方向
   の幅とがほぼ同じであることを特徴とする請求項４から
   ８のいずれかに記載の非接触式ポジションセンサ。
10. 【請求項１０】 請求項２記載の非接触式ポジションセ
    ンサにおいて、第２ステータの１つの磁石対向辺の両側
    に第１ステータの２つの磁石対向辺を対称に配置し、第
    １ステータの磁石対向辺の長さをＳａ１，Ｓａ２第２ス
    テータの磁石対向辺の長さをＳａ３、２つの磁石の長さ
    をＭａ１，Ｍａ２、磁石間の隙間をＧａ１、３つの磁石
    対向辺間の隙間をＧａ２，Ｇａ３とし、磁石のストロー
    クを２Ｌとした場合、ほぼ Ｍａ１＝Ｍａ２＝２Ｌ−Ｇａ１ Ｇａ１＝Ｇａ２＝Ｇａ３ Ｓａ１＝Ｓａ２＝Ｓａ３＝Ｍａ１ の関係が成り立つことを特徴とする非接触式ポジション
    センサ。
11. 【請求項１１】 請求項２記載の非接触式ポジションセ
    ンサにおいて、第２ステータの１つの磁石対向辺の両側
    に第１ステータの２つの磁石対向辺を対称に配置し、第
    １ステータの２つの磁石対向辺の長さをＳｂ１，Ｓｂ
    ２、第２ステータの磁石対向辺の長さをＳｂ３、２つの
    磁石の長さをＭｂ１，Ｍｂ２、磁石間の隙間をＧｂ１、
    ３つの磁石対向辺間の隙間をＧｂ２，Ｇｂ３とし、磁石
    のストロークを２Ｌとした場合、ほぼ Ｍｂ１＝Ｍｂ２＝Ｌ−Ｇｂ１／２ Ｇｂ１＝Ｇｂ２＝Ｇｂ３ Ｓｂ１＝Ｓｂ２＝Ｓｂ３／２＝Ｍｂ１ の関係が成り立つことを特徴とする非接触式ポジション
    センサ。
12. 【請求項１２】 請求項３記載の非接触式ポジションセ
    ンサにおいて、第２ステータの１つの磁石対向辺の両側
    に第１ステータの２つの磁石対向辺を対称に配置し、第
    １ステータの２つの磁石対向辺の中心角をＳθａ１，Ｓ
    θａ２、第２ステータの磁石対向辺の中心角をＳθａ
    ３、２つの磁石の中心角をＭθａ１，Ｍθａ２、磁石間
    の隙間をＧθａ１、３つの磁石対向辺間の隙間をＧθａ
    ２，Ｇθａ３とし、磁石のストロークを２θとした場
    合、ほぼ Ｍθａ１＝Ｍθａ２＝２θ−Ｇθａ１ Ｇθａ１＝Ｇθａ２＝Ｇθａ３ Ｓθａ１＝Ｓθａ２＝Ｓθａ３＝Ｍθａ１ の関係が成り立つことを特徴とする非接触式ポジション
    センサ。
13. 【請求項１３】 請求項３記載の非接触式ポジション
    センサにおいて、第２ステータの１つの磁石対向辺の両
    側に第１ステータの２つの磁石対向辺を対称に配置し、
    第１ステータの２つの磁石対向辺の中心角をＳθｂ１，
    Ｓθｂ２第２ステータの磁石対向辺の中心角をＳθｂ
    ３、２つの磁石の中心角をＭθｂ１，Ｍθｂ２、磁石間
    の隙間をＧθｂ１、３つの磁石対向辺間の隙間をＧθｂ
    ２，Ｇθｂ３とし、磁石のストロークを２θとした場
    合、ほぼ Ｍθｂ１＝Ｍθｂ２＝θ−Ｇθｂ１／２ Ｇθｂ１＝Ｇθｂ２＝Ｇθｂ３ Ｓθｂ１＝Ｓθｂ２＝Ｓθｂ３／２＝Ｍθｂ１ の関係が成り立つことを特徴とする非接触式ポジション
    センサ。
14. 【請求項１４】 第１ステータと第２ステータ間のホー
    ル素子が挿入される隙間の間隔が、磁石間の隙間及び３
    つの磁石対向辺間の隙間とほぼ等しいことを特徴とする
    請求項１０又は１１に記載の非接触ポジションセンサ。