JP2009181954A - 有機電界発光表示装置及びその製造方法 - Google Patents

有機電界発光表示装置及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2009181954A
JP2009181954A JP2008115941A JP2008115941A JP2009181954A JP 2009181954 A JP2009181954 A JP 2009181954A JP 2008115941 A JP2008115941 A JP 2008115941A JP 2008115941 A JP2008115941 A JP 2008115941A JP 2009181954 A JP2009181954 A JP 2009181954A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
layer
light emitting
organic light
insulating film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008115941A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5181112B2 (ja
Inventor
Young-Seo Choi
永 瑞 崔
Kwan-Hee Lee
▲権▼ 煕 李
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Mobile Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Mobile Display Co Ltd filed Critical Samsung Mobile Display Co Ltd
Publication of JP2009181954A publication Critical patent/JP2009181954A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5181112B2 publication Critical patent/JP5181112B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/22Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/02Details
    • H05B33/04Sealing arrangements, e.g. against humidity
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/842Containers
    • H10K50/8428Vertical spacers, e.g. arranged between the sealing arrangement and the OLED
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K59/871Self-supporting sealing arrangements
    • H10K59/8723Vertical spacers, e.g. arranged between the sealing arrangement and the OLED

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

【課題】有機電界発光表示装置及びその製造方法に関し、より詳細には、衝撃による損傷を防止することにより、耐久性が向上した有機電界発光表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁膜上に島状に形成されている複数のアノード電極と、該複数のアノード電極の周囲に形成されている複数のPDL層と、該PDL層から一定の距離をおいて離隔するように形成されかつ透明基板の最上層の絶縁膜上に形成された衝撃緩和層と、該衝撃緩和層上に形成されるスペーサとを含む第1基板と、該第1基板に対向し、前記スペーサにより、前記第1基板と所定の間隔をおいて形成される第2基板とを備える有機電界発光表示装置及びその製造方法を提供する。
【選択図】図2

Description

本発明は、有機電界発光表示装置及びその製造方法に関し、より詳細には、衝撃による損傷を防止することにより、耐久性が向上した有機電界発光表示装置及びその製造方法に関する。
近年、陰極線管(Cathode Ray Tube)の短所である重量及び体積を減らすことができる各種平板表示装置が開発されている。平板表示装置には、液晶表示装置(Liquid Crystal Display)、電界放出表示装置(Field Emission Display)、プラズマ表示パネル(Plasma Display Panel)、及び有機電界発光表示装置(Organic Light Emitting Display;OLED)などがある。
平板表示装置のうち、有機電界発光表示装置は、電子と正孔との再結合により光を発生する有機発光ダイオード(OLED)を用いて画像を表示する。
有機発光ダイオードは、アノード電極と、カソード電極と、アノード電極とカソード電極との間に位置する発光層とを含み、アノード電極からカソード電極方向に電流が流れると、光を発光して色を表現することができる。
このような有機電界発光表示装置は、高い色再現性や薄肉さなどといった様々な利点により、応用分野において、携帯電話のほか、PDA、MP3などへと、市場が大きく拡大している。
有機電界発光表示装置は、薄膜トランジスタ、有機発光ダイオードなどが形成されている透明基板と、該透明基板を封止する封止基板とを備える。そして、透明基板と封止基板との間には、これらの間隔を一定に維持するためのスペーサが備えられる。
このように構成された有機電界発光表示装置は、外部から封止基板または透明基板に衝撃が加えられると、スペーサにその衝撃が伝達される。
スペーサに伝達された衝撃は、有機発光ダイオードにも伝達され得る。これにより、有機発光ダイオードが損傷し得るが、特に、伝達される衝撃の強度が大きければ、有機発光ダイオードの損傷の程度は大きくなる。これにより、損傷した有機発光ダイオードは、光を発光することができず、有機電界発光表示装置にムラができたようにみえるという問題があった。
このため、屈曲試験またはボール落下試験により、内部素子に欠陥が発生したか否かをテストして機構の強度を評価し、所定の強度に耐えられなかった場合は不良と判定して製品として出荷できないようにする。
したがって、有機電界放出表示装置の機構の強度は、非常に重要な要素であり、機構の強度を高めることは、非常に重要である。
大韓民国特許公開第2006−0077898号
そこで、本発明の目的は、衝撃緩和層を備えることにより、耐久性が向上した有機電界発光表示装置及びその製造方法を提供することである。
上記目的を達成するため、本発明の第1の態様は、絶縁膜上に島状に形成されている複数のアノード電極と、該複数のアノード電極の周囲に形成されている複数のPDL層と、該PDL層から一定の距離をおいて離隔するように形成されかつ透明基板の最上層の絶縁膜上に形成された衝撃緩和層と、該衝撃緩和層上に形成されるスペーサとを含む第1基板と、該第1基板に対向し、前記スペーサにより、前記第1基板と所定の間隔をおいて形成される第2基板とを備えることを特徴とする有機電界発光表示装置を提供する。
従来技術では、スペーサをPDL層上に設けざるを得なかったのに対して、本発明は、衝撃緩和層をPDL層から離隔するように形成し、この衝撃緩和層上にスペーサを形成する、すなわちスペーサをPDL層から離隔し、かつ、衝撃緩和層を介して絶縁膜上に設けたことにより、従来技術の問題点を解決したものである。
付加的な態様として、前記PDL層及び前記衝撃緩和層は、同じ物質からなり、同じ工程によって形成される。
上記目的を達成するため、本発明の第2の態様は、ガラス上に薄膜トランジスタを形成するステップと、前記薄膜トランジスタ上に絶縁膜を形成するステップと、前記絶縁膜上に前記薄膜トランジスタと電気的に接続される複数のアノード電極を形成するステップと、前記アノード電極上に絶縁膜を形成した後、当該絶縁膜をパターニングし、前記アノード電極の周辺に位置する複数のPDL層と、該PDL層から所定の間隔をおいて離隔する衝撃緩和層とを形成するステップと、前記衝撃緩和層上にスペーサを形成するステップとを含む有機電界発光表示装置の製造方法を提供する。
以上、本発明に係る有機電界発光表示装置及びその製造方法によると、PDL層108から離隔するように衝撃緩和層109を形成し、衝撃緩和層109上にスペーサ110を形成することにより、外部から伝達される衝撃によって有機発光ダイオードが損傷することを防止することができる。
以下、添付の図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
図1―1は、有機電界発光表示装置の参考例を示す平面図である。
図1―2は、図1―1のa−a断面図である。
図1―1に示すように、有機電界発光表示装置は、透明基板(図示せず)と、封止基板(図示せず)とを備える。ここで、透明基板は、その上に形成された薄膜トランジスタ(図示せず)、絶縁膜(図示せず)、及び有機発光ダイオードのアノード電極10などを含む。また、アノード電極10上には、PDL(Pixel Definition Layer)層11が形成される。PDL層11の所定の領域には、アノード電極10が露出し、露出した領域は、光を発光する発光領域12になる。そして、発光領域12には、発光層(図示せず)が形成され、有機発光ダイオードが形成される。このような有機発光ダイオードは、薄膜トランジスタと電気的に接続され、薄膜トランジスタから伝達される信号に対応して発光する。一方、PDL層11の一領域上には、複数のスペーサ13が形成される。スペーサ13は、透明基板と封止基板とが一定の間隔を維持するようにする。
このように構成された有機電界発光表示装置の封止基板または透明基板に外部から衝撃が加えられと、図1−1、図1−2に示すようにスペーサ13にその衝撃が伝達される。
スペーサ13に衝撃が伝達されると、その下のPDL層11に衝撃が伝達され、PDL層11に伝達された衝撃は、発光層及びアノード電極10にも伝達される。したがって、伝達される衝撃の強度が大きければ、有機発光ダイオードが損傷して光を発光しないことがある。これにより、有機電界発光表示にムラができたようにみえることがある。
したがって、本発明では、これを防止するため、衝撃緩和層を備えた有機電界発光表示装置を示し、これに関する詳細な説明は、図2を参照して後述する。
図2は、本発明に係る有機電界発光表示装置の断面図である。同図に示すように、有機電界発光表示装置は、透明基板150と、該透明基板150を封止する封止基板200とで構成される。
透明基板150のガラス100上には、バッファ層101が形成され、バッファ層101上には、半導体層102が形成される。そして、半導体層102上に絶縁膜103が形成され、絶縁膜103上に金属層を形成した後、パターニングを行い、ゲート電極104を形成する。そして、半導体層102にイオンドーピング工程を行う。
そして、ゲート電極104上に絶縁膜105を形成した後、所定の領域にコンタクトホールを形成する。そして、その上に金属層を形成してパターニングを行い、ソースドレインメタル106を形成する。ソースドレインメタル106は、コンタクトホールを介して、半導体層102の両端に接触する。
そして、その上に絶縁膜107を形成して平坦化を行った後、絶縁膜107にコンタクトホールを形成し、その上にアノード電極111が形成されるようにする。アノード電極111は、コンタクトホールを介して、ソースドレインメタル106と接触する。
そして、アノード電極111上に絶縁膜を形成する。そして、形成された絶縁膜をエッチングし、絶縁膜がPDL層108と衝撃緩和層109とになるようにする。PDL層108は、有機発光ダイオードが形成される領域を画定する膜であって、PDL層108の内部にアノード電極111が露出する。そして、アノード電極111上に発光層(図示せず)が形成され、その上にカソード電極(図示せず)が形成され、有機発光ダイオードが形成される。
衝撃緩和層109は、PDL層108から離間するように形成される。このため、衝撃緩和層109に衝撃が加えられても、PDL層108にはその衝撃は伝達されない。つまり、外部から衝撃が加えられて衝撃緩和層109に力が伝達されても、PDL層108に形成されている発光層に力が加えられることを防止することができる。
そして、衝撃緩和層109上にスペーサ110が形成され、透明基板150と封止基板200との間隔を維持する。このとき、スペーサ110は、封止基板200に接触するように形成され得、一定の間隔を有して封止基板200から離隔するように形成され得る。そして、外部から衝撃が加えられると、スペーサ110にその衝撃が伝達され、スペーサ110に伝達された衝撃は、衝撃緩和層109にのみ伝達されるために、発光層は保護されるようになる。
有機電界発光表示装置の透明基板150及び封止基板200は、エポキシ(図示せず)やフリット(図示せず)などによって接合される。そして、透明基板150と封止基板200との間の空間にNのような不活性気体が注入される。
また、機構の強度を高めるため、透明基板150と封止基板200との間に有機物などの様々な補強材を形成することにより、強度をさらに高めることができる。
有機電界発光表示装置の参考例を示す平面図である。 図1−2は、図1−1のa−a断面図である。 本発明に係る有機電界発光表示装置の断面図である。
符号の説明
100;ガラス
101;バッファ層
102;半導体層
103、105、107;絶縁膜
104;ゲート電極
106;ソースドレインメタル
11,108;PDL層
109;衝撃緩和層
13,110;スペーサ
10,111;アノード電極
150;透明基板
200;封止基板

Claims (5)

  1. 絶縁膜上に島状に形成されている複数のアノード電極と、該複数のアノード電極の周囲に形成されている複数のPDL層と、該PDL層から一定の距離をおいて離隔するように形成されかつ透明基板の最上層の絶縁膜上に形成された衝撃緩和層と、該衝撃緩和層上に形成されるスペーサとを含む第1基板と、
    該第1基板に対向し、前記スペーサにより、前記第1基板と所定の間隔をおいて形成される第2基板と
    を備えることを特徴とする有機電界発光表示装置。
  2. 前記第1基板と前記第2基板との間の空間に不活性気体が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光表示装置。
  3. 前記第1基板と前記第2基板との間の空間に有機物が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光表示装置。
  4. 前記PDL層及び前記衝撃緩和層は、同じ物質からなり、同じ工程によって形成されることを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光表示装置。
  5. ガラス上に薄膜トランジスタを形成するステップと、
    前記薄膜トランジスタ上に絶縁膜を形成するステップと、
    前記絶縁膜上に前記薄膜トランジスタと電気的に接続される複数のアノード電極を形成するステップと、
    前記アノード電極上に絶縁膜を形成した後、当該絶縁膜をパターニングし、前記アノード電極の周辺に位置する複数のPDL層と、当該PDL層から所定の間隔をおいて離隔する衝撃緩和層とを形成するステップと、
    前記衝撃緩和層上にスペーサを形成するステップと
    を含むことを特徴とする有機電界発光表示装置の製造方法。
JP2008115941A 2008-01-30 2008-04-25 有機電界発光表示装置及びその製造方法 Active JP5181112B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2008-0009614 2008-01-30
KR1020080009614A KR100889682B1 (ko) 2008-01-30 2008-01-30 유기전계발광표시장치 및 그의 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009181954A true JP2009181954A (ja) 2009-08-13
JP5181112B2 JP5181112B2 (ja) 2013-04-10

Family

ID=40578911

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008115941A Active JP5181112B2 (ja) 2008-01-30 2008-04-25 有機電界発光表示装置及びその製造方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8536785B2 (ja)
EP (1) EP2086009A1 (ja)
JP (1) JP5181112B2 (ja)
KR (1) KR100889682B1 (ja)
CN (1) CN101499486B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10636845B2 (en) 2017-12-25 2020-04-28 Sakai Display Products Corporation Organic electroluminescent display apparatus

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101119046B1 (ko) * 2010-01-08 2012-03-02 삼성모바일디스플레이주식회사 유기전계발광표시장치 및 그의 제조방법
KR20120105254A (ko) * 2011-03-15 2012-09-25 삼성디스플레이 주식회사 유기발광표시장치 및 그 제조방법
KR102134842B1 (ko) * 2013-07-12 2020-07-17 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 디스플레이 장치
KR102117849B1 (ko) * 2013-08-12 2020-06-03 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 패널 및 이의 제조 방법
KR102103499B1 (ko) 2013-10-16 2020-04-23 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102141208B1 (ko) 2014-06-30 2020-08-05 삼성디스플레이 주식회사 휴대용 전자장치
KR102653000B1 (ko) 2016-03-04 2024-04-01 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR102591754B1 (ko) * 2016-09-09 2023-10-20 삼성디스플레이 주식회사 커버 패널 및 이를 포함하는 표시 장치
KR20200145908A (ko) * 2019-06-20 2020-12-31 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002324666A (ja) * 2001-02-22 2002-11-08 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 表示装置及びその作製方法
JP2004319118A (ja) * 2003-04-11 2004-11-11 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd 表示装置の製造方法及びその製造装置
JP2006236963A (ja) * 2005-02-25 2006-09-07 Samsung Electronics Co Ltd 表示装置及びその製造方法
JP2007329448A (ja) * 2006-06-07 2007-12-20 Samsung Sdi Co Ltd 有機発光ディスプレイ装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3302262B2 (ja) 1996-06-10 2002-07-15 ティーディーケイ株式会社 有機エレクトロ・ルミネッセンス表示装置及びその製造方法
JP3536301B2 (ja) * 1997-08-21 2004-06-07 セイコーエプソン株式会社 表示装置
US6992439B2 (en) 2001-02-22 2006-01-31 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device with sealing structure for protecting organic light emitting element
JP4511072B2 (ja) 2001-03-30 2010-07-28 三洋電機株式会社 衝撃緩衝機能付電界発光デバイス及び電界発光デバイス用の衝撃緩衝機能付封止部材
JP4010394B2 (ja) * 2001-12-14 2007-11-21 大日本印刷株式会社 エレクトロルミネッセント素子
JP2003228302A (ja) * 2002-02-04 2003-08-15 Toshiba Electronic Engineering Corp 表示装置及びその製造方法
JP2003317936A (ja) * 2002-04-24 2003-11-07 Sanyo Electric Co Ltd エレクトロルミネッセンス表示装置
JP3884351B2 (ja) * 2002-08-26 2007-02-21 株式会社 日立ディスプレイズ 画像表示装置およびその製造方法
JP2004288456A (ja) 2003-03-20 2004-10-14 Denso Corp 有機elパネル
KR100544133B1 (ko) * 2003-09-25 2006-01-23 삼성에스디아이 주식회사 능동구동형 평판표시장치
WO2005052893A1 (en) * 2003-11-28 2005-06-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of manufacturing display device
US6992440B2 (en) * 2004-02-26 2006-01-31 Asahi Glass Company, Limited Light-emitting device and process for its production
JP2005340020A (ja) * 2004-05-27 2005-12-08 Hitachi Displays Ltd 有機エレクトロルミネッセンス表示装置およびその製造方法
US20080036367A1 (en) * 2004-08-26 2008-02-14 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Organic El Display Device
KR100642490B1 (ko) 2004-09-16 2006-11-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 유기전계발광 소자 및 그 제조방법
KR100681133B1 (ko) 2004-12-31 2007-02-08 엘지.필립스 엘시디 주식회사 유기전계발광소자 및 그 제조방법
KR100761083B1 (ko) * 2005-09-12 2007-09-21 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시 소자 및 그 제조방법
KR100914784B1 (ko) 2006-05-17 2009-08-31 엘지디스플레이 주식회사 전계발광소자 및 그 제조방법
US20090167171A1 (en) * 2007-11-22 2009-07-02 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Display device, organic light emitting diode display and manufacturing method of the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002324666A (ja) * 2001-02-22 2002-11-08 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 表示装置及びその作製方法
JP2004319118A (ja) * 2003-04-11 2004-11-11 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd 表示装置の製造方法及びその製造装置
JP2006236963A (ja) * 2005-02-25 2006-09-07 Samsung Electronics Co Ltd 表示装置及びその製造方法
JP2007329448A (ja) * 2006-06-07 2007-12-20 Samsung Sdi Co Ltd 有機発光ディスプレイ装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10636845B2 (en) 2017-12-25 2020-04-28 Sakai Display Products Corporation Organic electroluminescent display apparatus
US11094747B2 (en) 2017-12-25 2021-08-17 Sakai Display Products Corporation Organic electroluminescent display apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP5181112B2 (ja) 2013-04-10
US8536785B2 (en) 2013-09-17
EP2086009A1 (en) 2009-08-05
US20090189517A1 (en) 2009-07-30
CN101499486B (zh) 2013-03-27
KR100889682B1 (ko) 2009-03-19
CN101499486A (zh) 2009-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5181112B2 (ja) 有機電界発光表示装置及びその製造方法
US9070898B2 (en) Organic light emitting display device
US8928222B2 (en) Organic electroluminescent display device and method and apparatus of manufacturing the same
TWI223572B (en) Display apparatus and manufacturing method thereof
US11081663B2 (en) Organic electroluminescent display panel with auxiliary electrodes, method for manufacturing the same, and display device using the same
KR20140031003A (ko) 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
JP2008098148A (ja) 有機発光装置
JP2007294405A (ja) 有機発光装置
JP2006338946A (ja) 表示パネル
KR101362168B1 (ko) 유기전계발광표시장치 및 그의 제조방법
JP2004281085A (ja) フレキシブル有機elデバイスおよびフレキシブル有機elディスプレイ
KR102404780B1 (ko) 플렉서블 표시 장치
CN108666437B (zh) 显示面板及其制作方法
KR102124457B1 (ko) 표시 장치 및 그 제조 방법
KR101595471B1 (ko) 유기전계 발광소자 및 그 제조방법
KR100684855B1 (ko) 유기 발광 표시장치
KR101552986B1 (ko) 유기전계발광 표시장치와 그 제조방법
JP2009276721A (ja) 電気光学装置及びその検査方法並びに電子機器
JP5330655B2 (ja) 有機el表示装置
KR100739650B1 (ko) 유기 발광 표시장치 및 이의 제조 방법
KR100749490B1 (ko) 유기 전계 발광 표시장치 및 이의 제조 방법
KR102230529B1 (ko) 유기전계발광표시소자 및 이의 제조방법
KR100611754B1 (ko) 유기 전계 발광 소자의 제조 방법
JP2005302605A (ja) 半導体装置
KR101193177B1 (ko) 평판 표시 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100601

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100826

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110517

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110817

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20120508

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120910

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20120921

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20120924

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121106

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20121122

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121127

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5181112

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160125

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250