JP2009176772A - 半導体装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】当該半導体装置が有するIGBT素子のスイッチング耐量をより向上することのできる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置1は、半導体基板101の上表面Suに形成されたエミッタ電極106及びゲート電極104と、半導体基板101の下表面Sd全面に形成されたコレクタ電極108とを有するトレンチゲート型IGBT素子を活性領域Ddに複数備えるとともに、エミッタ電極106及びコレクタ電極108間に所定の電圧を印加するためのガードリング110を耐圧領域Drに備える。さらに、半導体装置1は、そのコレクタ層107の端部107aが、複数のIGBT素子のうち活性領域Ddの最外周に位置するIGBT素子の直下に、すなわち、活性領域Ddと耐圧領域Drとの境界Bから距離L1だけ活性領域Dd側に位置している。
【選択図】図1

Description

本発明は、例えばIGBT素子が形成される活性領域と耐圧構造が形成される耐圧領域とを有する半導体基板を備える半導体装置に関する。
従来、この種の半導体装置として例えば特許文献1に記載の技術が知られている。この文献1に記載の技術について説明する。この文献に記載された半導体装置では、N導電型の半導体基板の上表面(第1主面)側の表層に選択的に形成されたIGBT素子のベース領域とこのIGBT素子を取り囲むように形成されたガードリング(耐圧領域)との間に、ゲート電極に対して電気的に独立したダミートレンチがベース領域を取り囲むように設けられている。そして、ダミートレンチに近接する、ガードリングの端部及びゲートトレンチにより区画されたベース領域の端部は、エミッタ電極と電気的に接続され、ブレークダウン電流のキャリア回収領域として機能する。これにより、ブレークダウン電流に起因してIGBT素子が破壊されることを低減しようとしている。
特開2007−250672号公報 米国特許出願公開第2004/0144992A1号明細書
ところで、上記特許文献1に記載の技術では、当該半導体装置を容易に製造することが可能であることから、半導体基板の上表面と対向する下表面(第2主面)の全面にわたって一様に、IGBT素子のコレクタ層を構成する高濃度P導電型層及びコレクタ電極が形成されている。
こうした構造の半導体装置にあっては、半導体基板の活性領域に形成されたIGBT素子がオンされると、コレクタ電極及びコレクタ層のうち、半導体基板の活性領域に位置する部分からだけでなく、半導体基板の耐圧領域に位置する部分からもキャリア(この場合、ホール)が半導体基板に注入される。そして注入されたホールは、離間距離が最も短い、活性領域の最外周に位置するIGBT素子に向かって集中して流れることになる。このように電流集中が発生すると、例えばエミッタ電極及びコレクタ電極間を電流が流れ続けてしまういわゆるラッチアップが生じたり、最外周に位置するIGBT素子に発熱が生じたりするなどして、集中した電流に起因してIGBT素子が破壊されてしまう。ちなみに、こうしたIGBT素子の破壊は、通常、IGBT素子のオンからオフへのスイッチング時に生じる。
これに対し、例えば特許文献2に記載の技術も知られている。この文献に記載の技術では、上記特許文献1に記載の技術とは異なり、IGBT素子のコレクタ層を構成するP導電型層は、半導体基板の下表面の全面にわたって一様に形成されているのではなく、IGBT素子のスナップバック特性を改善する目的で、半導体基板の耐圧領域に形成された耐圧構造の直下にまで延伸されている。
こうした構造の半導体装置によれば、上記課題は生じないようにも思われる。しかしながら、こうした構造の半導体装置であっても、半導体基板の耐圧領域にコレクタ層が存在することに変わりは無く、上記従来技術と同様に、半導体基板の活性領域に形成されたIGBT素子がオンされると、コレクタ電極及びコレクタ層のうち、半導体基板の耐圧領域に位置する部分からもホールが半導体基板に注入され、最外周に位置するIGBT素子に集中して電流が流れてしまう。結局のところ、IGBT素子のスイッチング耐量を向上するには依然として改善の余地が残されている。
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、当該半導体装置が有するIGBT素子のスイッチング耐量をより向上することのできる半導体装置を提供することにある。
こうした目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、半導体基板の第1主面に形成されたエミッタ電極及びゲート電極と、前記半導体基板の第1主面と対向する第2主面に形成されたコレクタ電極とを有し、これらエミッタ電極及びコレクタ電極間を前記半導体基板を介して電流が流れるように構成されたIGBT素子が前記半導体基板の活性領域に形成されており、前記エミッタ電極及びコレクタ電極間に所定の電圧を印加するための耐圧構造が前記半導体基板の耐圧領域に形成された半導体装置として、前記半導体基板の第2主面側の表層には、前記IGBT素子を構成するコレクタ領域として機能する不純物領域が形成され、前記不純物領域の端部は、前記活性領域と前記耐圧領域との境界よりも活性領域側に位置することとした。
半導体装置としてのこのような構成では、課題の欄に記載した従来技術とは異なり、IGBT素子を構成するコレクタ領域として機能する不純物領域が、半導体基板の耐圧領域に形成された耐圧構造の直下にまで延伸されるのではなく、半導体基板の活性領域の第2主面側の表層に不純物領域(コレクタ領域)が形成された上で、そのコレクタ領域の端部が、活性領域と耐圧領域との境界よりも活性領域側に位置する。そのため、半導体基板の活性領域に形成されたIGBT素子がオンされても、コレクタ電極及びコレクタ領域から多量のキャリアが半導体基板内に注入されることは抑制される。したがって、活性領域の最外周に位置するIGBT素子に向かって集中して電流が流れることは抑制され、そうした電流集中に起因してIGBT素子が破壊されることも抑制される。すなわち、当該半導体装置が有するIGBT素子のスイッチング耐量をより向上することができるようになる。
具体的には、請求項2に記載の発明では、第1主面及びこの第1主面に対向する第2主面を有する第1導電型の半導体基板を備える半導体装置として、前記半導体基板の活性領域には、前記半導体基板の第1主面側の表層に選択的に形成され、ベース領域となる第2導電型の第1半導体領域と、前記半導体基板の第1主面から第2主面に向かって第1半導体領域を貫通するように形成されたゲートトレンチに絶縁膜を介して埋設されるゲート電極と、第1半導体領域内の第1主面側の表層に前記ゲートトレンチの側面に隣接するように選択的に形成され、エミッタ領域となる第1導電型の第2半導体領域と、第2半導体領域に電気的に接続されるエミッタ電極と、前記半導体基板の第2主面側の表層に形成され、コレクタ領域となる第2導電型の第3半導体領域と、第3半導体領域に電気的に接続されるコレクタ電極とを有するIGBT素子が形成されており、前記半導体基板の前記活性領域を取り囲む耐圧領域には、前記半導体基板の第1主面側の表層に選択的に形成され、ガードリングとして機能する第2導電型の第4半導体領域が形成されており、第3半導体領域の端部は、前記活性領域と前記耐圧領域との境界よりも前記活性領域側に位置することとした。すなわち、半導体基板の活性領域に形成されるIGBT素子として、ゲートトレンチ型のIGBT素子を採用するとともに、半導体基板の耐圧領域に形成される耐圧構造として、ガードリングを採用することとした。なお、請求項1における不純物領域は、第3半導体領域に相当する。
半導体装置としてのこのような構成では、課題の欄に記載した従来技術とは異なり、IGBT素子を構成するコレクタ領域として機能する不純物領域が、半導体基板の耐圧領域に形成された耐圧構造の直下にまで延伸されるのではなく、半導体基板の活性領域の第2主面側の表層に第3半導体領域が形成された上で、その第3半導体領域の端部が、半導体基板の活性領域と耐圧領域との境界よりも活性領域側に位置する。そのため、半導体基板の活性領域に形成されたIGBT素子がオンされても、コレクタ電極及び第3半導体領域から多量のキャリアが半導体基板内に注入されることは抑制されるようになる。したがって、活性領域の最外周に位置するIGBT素子に向かって集中して電流が流れることは抑制され、そうした電流集中に起因してIGBT素子が破壊されることも抑制される。すなわち、当該半導体装置が有するIGBT素子のスイッチング耐量をより向上することができるようになる。
上記請求項2に記載の構成において、例えば請求項3に記載の発明のように、前記半導体基板の前記活性領域には、複数のIGBT素子が形成されており、第3半導体領域の端部は、前記複数のIGBT素子のうち最外周に位置するIGBT素子の直下よりも前記耐圧領域側に位置することが望ましい。あるいは、例えば請求項4に記載の発明のように、前記半導体基板の前記活性領域には、複数のIGBT素子が形成されており、第3半導体領域の端部は、前記複数のIGBT素子のうち最外周に位置するIGBT素子の直下に位置することが望ましい。このように、第3半導体領域の端部の位置を調節することにより、当該半導体装置が有するIGBT素子のスイッチング耐量を調節することができるようになる。特に、上記請求項4に記載の構成によれば、当該半導体装置が有するIGBT素子を構成するエミッタ電極及びコレクタ電極間に流れる電流量を確保しつつ、スイッチング耐量を向上することができるようになる。
また、上記請求項2〜4のいずれかに記載の構成において、例えば請求項5に記載の発明では、前記半導体基板の前記耐圧領域の、前記半導体基板の第2主面側の表層に、第2導電型の第5半導体領域がさらに形成されており、第5半導体領域は、第3半導体領域よりも低濃度に形成されていることした。これによっても、上記請求項2〜4のいずれかに記載の構成に準じた作用効果を得ることができるようになる。
なお、半導体基板の第2主面側の表層のうち耐圧領域に形成される半導体領域の濃度は第3半導体領域よりも低濃度に限らない。上記請求項2〜4のいずれかに記載の構成において、例えば請求項6に記載の発明のように、前記半導体基板の前記耐圧領域の、前記半導体基板の第2主面側の表層には、第2導電型の複数の第6半導体領域がさらに形成されており、前記複数の第6半導体領域は、各々、前記活性領域を取り囲む平面視環状に形成されていることとしてもよい。あるいは、例えば請求項7に記載の発明のように、前記半導体基板の前記耐圧領域の、前記半導体基板の第2主面側の表層には、第2導電型の複数の第6半導体領域がさらに形成されており、前記複数の第6半導体領域は、各々、平面視円形状に形成されており、全体として、前記活性領域を取り囲む平面視環状に配列されていることとしてもよい。ほかにも、例えば請求項8に記載の発明のように、前記半導体基板の前記耐圧領域の、前記半導体基板の第2主面側の表層には、第2導電型の複数の第6半導体領域がさらに形成されており、前記複数の第6半導体領域は、各々、平面視矩形状に形成されており、全体として、前記活性領域を取り囲む平面視環状に配列されていることとしてもよい。要は、半導体基板の第2主面側の表層のうち耐圧領域全域にわたって第6半導体領域が形成されないのであれば、その不純物濃度及び平面視形状並びに配列態様は任意である。
上記請求項5〜8のいずれかに記載の構成において、例えば請求項9に記載の発明のように、前記半導体基板の前記耐圧領域には、第5半導体領域もしくは第6半導体領域と前記コレクタ電極との間に絶縁膜をさらに備えることが望ましい。これにより、半導体基板の活性領域に形成されたIGBT素子のオン時に、第5半導体領域もしくは第6半導体領域から多量のキャリアが半導体基板内に注入することを確実に抑制することができるようになる。
以下、本発明に係る半導体装置の一実施の形態について、図1及び図2を併せ参照しつつ説明する。なお、図1は、本実施の形態の側面構造の一例を示す図であり、図2は、本実施の形態の平面構造の一例を示す平面図である。
この図1に示すように、本実施の形態の半導体装置1は、いわゆるトレンチゲート構造のFS(フィールドストップ)型IGBT(Insulated GateBipolar Transistor)素子が半導体基板101の活性領域Ddに複数形成されている。
詳しくは、ドリフト層となる低濃度N導電型(第1導電型)の半導体基板101(FZウエハ)の上表面(第1主面)Su側の表層には、活性領域Ddにおいて、P導電型(第2導電型)にてベース領域(第1半導体領域)102及び102aが選択的に形成されている。これらベース領域102及び102aには、IGBT素子のチャネルが構成される。
また、ベース領域102及び102aには、半導体基板101の上表面Suから下表面Sdに向かってベース領域102及び102aをそれぞれ貫通するように複数のゲートトレンチ103が形成されている。そして、ゲートトレンチ103底面及び側面上に形成されたゲート絶縁膜(図示略)を介して、ゲートトレンチ103内に例えばポリシリコンが充填され、ゲート電極104が埋設されている。
また、ベース領域102a内の上表面Su側の表層においては、ゲートトレンチ103(ゲート電極104)の側面に隣接するように、高濃度N導電型にてエミッタ領域(第2半導体領域)105が選択的に形成されている。このエミッタ領域105は、例えばアルミニウム系材料を用いて形成されたエミッタ電極106と電気的に接続されている。
なお、図1に示すように、本実施形態の半導体装置1では、ベース領域102及び102aは、ゲートトレンチ103によって分断されている。このゲートトレンチ103によって分断された領域のうち、ゲートトレンチ103間隔の狭い領域であるベース領域102aには、エミッタ領域105が選択的に形成されている。そして、ベース領域102aは、エミッタ領域105と共にエミッタ電極106に接触し、その電位が固定されている。一方、ゲートトレンチ103によって分断された領域のうち、ゲートトレンチ103間隔の広い領域であるベース領域102には、先のベース領域102aとは異なり、エミッタ領域105は形成されていない。そのため、ベース領域102は、その電位が固定されていない浮遊電位となっている。これにより、キャリアの蓄積効果が高められ、ドリフト層である半導体基板101のオン電圧が低減されるようになる。こうしたベース領域102及び102aは、図1に示すように、半導体基板101の上表面Su側の表層部に交互に配置されている。
また、図1に示すように、半導体基板101の下表面Sd側の表層には、高濃度P導電型にてコレクタ層(第3半導体領域、不純物領域)107が形成されている。そして、コレクタ層107は例えばアルミニウム系材料を用いて構成されたコレクタ電極108と電気的に接続されている。なお、このコレクタ層107については後述する。
また、図1に示すように、半導体基板101とコレクタ層107との間には、N導電型にてフィールドストップ層109が形成されている。こうしたトレンチゲート構造のIGBT素子として、FS型IGBT素子を採用すると、パンチスルー型やノンパンチスルー型等の他のトレンチ構造と比較して、半導体装置1の厚さを薄くすることができ、ひいては、体格の小型化を図ることができるようになる。
次に、IGBT素子が形成される活性領域Ddを取り囲む周囲の耐圧領域Drについて説明する。図1及び図2に示すように、半導体基板101の上表面Su側の表層には、半導体基板101の耐圧領域Drにおいて、エミッタ電極106及びコレクタ電極108間に所定の電圧(例えば1200[V])の電圧を印加できるようにするための耐圧構造として、複数のガードリング110がP導電型にて形成されている。図2においては便宜上、ガードリング110を2つのみ図示しているが、ガードリング110は、平面視矩形状に形成された活性領域Ddを取り囲む領域である耐圧領域Dr内に平面視環状に形成される。このように、耐圧構造としてガードリング110を採用すると、半導体基板101とベース領域102及び102aとの間のPN接合への逆バイアス電圧の印加により形成される空乏層がIGBT素子の周辺へ広がるため、活性領域Ddの端部における電界集中を抑制することができるようになる。
なお、先の図1に示すように、ガードリング110は、ベース領域102及び102aと略同程度の深さとなるように形成されている。これにより、ベース領域120及び102a並びにガードリング110を同一の製造工程にて形成することができるようになるため、当該半導体装置の製造工程を簡素化することができるようになる。
ところで、課題の欄にも記載したように、従来の半導体装置においては、エミッタ電極106及びコレクタ電極108間に半導体基板101を介して電流を流す際のキャリアの注入源となるコレクタ層及びコレクタ電極が、半導体基板の下表面Sdの全面にわたって形成されていた。あるいは、そうしたコレクタ層が、IGBT素子のスナップバック特性を改善する目的で、半導体基板101の耐圧領域Drに形成された耐圧構造(ガードリング110に相当)の直下にまで延伸されていた。
そのため、IGBT素子がオンされると、コレクタ電極及びコレクタ層(高濃度P導電型層)のうち、半導体基板101の活性領域Dd直下に位置する部分だけでなく、半導体基板101の耐圧領域Dr直下に位置する部分からも、半導体基板101内にホールが注入されていた。半導体基板101の耐圧領域Dr直下に位置する部分から半導体基板101内に注入されたホールは、離間距離が短いことから、半導体基板101の活性領域Ddの最外周に位置するIGBT素子に向かって集中して流れることになる。このように電流集中が発生すると、例えばエミッタ電極106及びコレクタ電極108間を電流が流れ続けてしまういわゆるラッチアップが生じたり、最外周に位置するIGBT素子に発熱が生じたりするなどして、集中した電流に起因してIGBT素子が破壊されてしまう。ちなみに、こうしたIGBT素子の破壊は、通常、IGBT素子のオンからオフへのスイッチング時に生じる。
なお、後者によれば、こうした課題は生じないようにも思われる。しかしながら、後者であれ、半導体基板101の耐圧領域Drにコレクタ層が存在することに変わりは無く、前者とと同様に、半導体基板101の活性領域Ddに形成されたIGBT素子がオンされると、コレクタ電極及びコレクタ層のうち、半導体基板101の耐圧領域Drに位置する部分からもホールが半導体基板101に注入され、最外周に位置するIGBT素子に集中して電流が流れてしまう。
その点、本実施の形態では、図1に示すように、コレクタ層107の端部107aは、図1中に一点鎖線で示す、半導体基板101の活性領域Ddと耐圧領域Drとの境界Bよりも活性領域Dd側に位置することとした。詳しくは、コレクタ層107の端部107aは、半導体基板101の活性領域Ddに形成される複数のIGBT素子のうち最外周に位置するIGBT素子の直下に位置している。すなわち、コレクタ層107の端部107aは、境界Bから距離L1だけ活性領域Dd側に位置している。
これにより、半導体基板101の耐圧領域Dr直下にはコレクタ層107が存在しなくなるため、IGBT素子のオフからオンへのスイッチング時において、コレクタ電極108及びコレクタ層107から多量のホールが半導体基板101内に注入することが抑制されるようになる。すなわち、コレクタ層107が半導体基板101の下表面Sdの全面にわたって形成されている、あるいは、半導体基板101の耐圧領域Drに形成されたガードリング110の直下にまで延伸されていると発生することのある、耐圧領域Drのコレクタ層から当該半導体基板101へのホールH1の注入がなくなるため、活性領域Ddの最外周に位置するIGBT素子に向かって集中して過剰な電流が流れることが抑制され、そうした電流集中に起因してIGBT素子が破壊されることも抑制される。すなわち、当該半導体装置が有するIGBT素子のスイッチング耐量をより向上することができるようになる。
さらに、半導体基板101にホールの過剰な蓄積がなくなり、IGBT素子のオンからオフへのスイッチング時に半導体基板101に蓄積されたホールの引き抜き量が減少するため、スイッチング損失の低減を図ることができるようにもなる。
ちなみに、図1に示す構造を有する半導体装置1を製造するに際しては、まず、半導体基板101の下表面Sdの全面に対し、例えば砒素やリン等のN導電型の不純物をイオン注入機を用いて打ち込み、フィールドストップ層109として機能するN導電型層を形成する。その後、フォトレジストを用いたイオン注入により、半導体基板101の下表面Sdの一部に対し、例えばボロン等のP導電型の不純物をイオン注入機を用いて高濃度に打ち込み、コレクタ層107として機能する高濃度P導電型層を形成すればよい。
なお、本発明に係る半導体装置は、上記実施の形態にて例示した構成に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々に変形して実施することが可能である。すなわち、上記実施の形態を適宜変更した例えば次の形態として実施することもできる。
上記実施の形態では、図1に示したように、コレクタ層107の端部107aは、半導体基板101の活性領域Ddに形成される複数のIGBT素子のうち最外周に位置するIGBT素子の直下に位置していた。そのため、当該半導体装置1が有するIGBT素子を構成するエミッタ電極106及びコレクタ電極108間に流れる電流量を確保しつつ、スイッチング耐量を向上することができるようになる。しかしながら、こうした構造に限らない。そうした複数のIGBT素子の特性に影響を与えない範囲で、コレクタ層107の端部107aがそうしたIGBT素子の直下よりも活性領域Dd側に位置することとしてもよい。すなわち、上記距離L1よりも大きな距離だけ境界Bから活性領域Dd側に、コレクタ層107の端部107aが位置していることとしてもよい。逆に、そうした複数のIGBT素子のスイッチング耐量を低下させない範囲で、コレクタ層107の端部107aがそうしたIGBT素子の直下よりも耐圧領域Dr側に位置することとしてもよい。すなわち、上記距離L1よりも小さな距離だけ境界Bから活性領域Dd側に、コレクタ層107の端部107aが位置していることとしてもよい。要は、活性領域Ddと耐圧領域Drとの境界Bよりも活性領域Dd側にコレクタ層107の端部107aが位置していればよい。これにより、所期の目的を達成することはできる。
上記実施の形態(変形例を含む)では、図1に示したように、半導体基板101の下表面Sd側の表層には、活性領域Ddであろうと、耐圧領域Drであろうと、N導電型にてフィールドストップ層109が形成されていたが、これに限らない。半導体装置1の体格の小型化を図る必要がないのであれば、こうしたフィールドストップ層109を全て割愛してもよい。他にも、例えば、上記フィールドストップ層109のうち、半導体基板101の耐圧領域Drにおける下表面Sd側の表層に形成された部分のみを割愛する(形成しない)こととしてもよい。あるいは、先の図1に対応する図として図3に半導体装置1aとして示すように、上記フィールドストップ層109のうち、コレクタ層107の端部107aの位置よりも耐圧領域Dr側の部分をさらに割愛する(形成しない)こととしてもよい。この場合にあっては、同一のフォトレジストを用いたイオン注入によって、フィールドストップ層109a及びコレクタ層107を形成することができるようになる。
上記実施の形態(変形例を含む)では、図1に示したように、半導体基板101の下表面Sd側の表層のうち、コレクタ層107の端部107aの位置よりも耐圧領域Dr側には、コレクタ層107が形成されていないが、これに限らない。図1及び図2それぞれに対応する図として図4及び図5に半導体装置2として示すように、半導体基板101の下表面Sd側の表層のうち、コレクタ層107の端部107aの端部の位置よりも耐圧領域Dr側に、当該コレクタ層107よりも濃度の低いP導電型層(第5半導体領域)117が形成された半導体装置2としてもよい。すなわち、半導体基板101の耐圧領域Drの、半導体基板101の下表面Sd側の表層には、P導電型層(第5半導体領域)がさらに形成されており、このP導電型層117は、コレクタ層107よりも低濃度に形成されていることとしてもよい。こうした構造では、コレクタ電極108及びP導電型層117から半導体基板101にホールが注入されることにはなるものの、その量は抑制されているため、上記実施の形態に準じた作用効果を得ることができるようになる。
なお、半導体基板101の下表面Sd側の表層のうち耐圧領域Drに形成される半導体領域の濃度は、コレクタ層107よりも低濃度に限らない。他に例えば、半導体装置3として図6及び図7に示すように、半導体基板101の耐圧領域Drでは、P導電型層127(第6半導体領域)が、半導体基板101の下表面Sd側の表層に、活性領域Ddを取り囲む平面視環状に、高濃度にて形成されていることとしてもよい。すなわち、半導体基板101の耐圧領域Drの、下表面Sd側の表層には、複数のP導電型層(第6半導体領域)127が高濃度にてさらに形成されており、これらP導電型層127は、各々、活性領域Ddを取り囲む平面視環状に形成されていることとしてもよい。
あるいは、半導体装置3aとして図8及び図9に示すように、半導体基板101の耐圧領域Drでは、P導電型層127a(第6半導体領域)が、半導体基板101の下表面Sd側の表層に、平面視矩形状に高濃度にて形成されているとともに、活性領域Ddを取り囲む平面視環状に配置されていることとしてもよい。すなわち、半導体基板101の耐圧領域Drの、下表面Sd側の表層には、複数のP導電型層(第6半導体領域)127aが高濃度にてさらに形成されており、これらP導電型層127aは、各々、平面視矩形状に形成されており、全体として、活性領域Ddを取り囲む平面視環状に配列されていることとしてもよい。
他にも、半導体装置3bとして図10及び図11に示すように、半導体基板101の耐圧領域Drでは、P導電型層127b(第6半導体領域)が、半導体基板101の下表面Sd側の表層に、平面視円形状に高濃度にて形成されるとともに、活性領域Ddを取り囲む平面視環状に配置されていることとしてもよい。すなわち、半導体基板101の耐圧領域Drの、下表面Sd側の表層には、複数のP導電型層127bが高濃度にてさらに形成されており、これらP導電型層127bは、各々、平面視円形状に形成されており、全体として、活性領域Ddを取り囲む平面視環状に配列されていることとしてもよい。
また他にも、半導体装置3cとして図12に示すように、半導体基板101の耐圧領域Drでは、P導電型層127c(第6半導体領域)が、半導体基板101の下表面Sd側の表層に、平面視矩形状に高濃度にて形成されているとともに、その短辺が活性領域Ddに対向するように活性領域Ddを取り囲む平面視環状に配置されていることとしてもよい。
要は、半導体基板101の下表面Sd側の表層のうち、耐圧領域Dr全域にわたって形成されないのであれば、P導電型層127〜127cの不純物濃度及び平面視形状は任意である。これにより、コレクタ電極108及びこれらP導電型層127〜127cによって半導体基板101に注入されるホールの量を必要とされる量に容易に調整することができるようになる。
また、先の図4に対応する図として図13に半導体装置4として示すように、半導体基板101の耐圧領域Drには、P導電型層117とコレクタ電極108との間に絶縁膜111をさらに備えることが望ましい。これにより、半導体基板101の活性領域Ddに形成されたIGBT素子のオン時に、P導電型層117から多量のホールが半導体基板101内に注入することを確実に抑制することができるようになる。こうした変形例は、先の図1、図3、図6、図8、図10及び図12に示した実施の形態にも同様に適用することができる。
上記実施の形態(変形例を含む)では、半導体基板101の活性領域Ddに形成されるIGBT素子として、ゲートトレンチ型のIGBT素子を採用するとともに、半導体基板101の耐圧領域Drに形成される耐圧構造として、ガードリング110を採用していたが、これに限らない。他に例えば、IGBT素子としては、いわゆるプレーナゲート型のIGBT素子を採用してもよく、耐圧構造としては、いわゆるリサーフ構造を採用することとしてもよい。要は、半導体基板101の下表面Sdの表層に、IGBT素子を構成するコレクタ領域として機能する不純物領域が形成され、不純物領域の端部は、活性領域Ddと耐圧領域Drとの境界Bよりも活性領域Dd側に位置していればよい。
本発明の一実施の形態に係る半導体装置について、その側面構造の一例を示す側面断面図。 同実施の形態の半導体装置について、その平面構造の一例を示す平面図。 図1に示した実施の形態の変形例について、その側面構造の一例を示す側面断面図。 図1及び図3に示した実施の形態の他の変形例について、その側面構造の一例を示す側面断面図。 図4に示した変形例について、その平面構造の一例を示す平面図。 図1及び図3に示した実施の形態の他の変形例について、その側面構造の一例を示す側面断面図。 図6に示した変形例について、その平面構造の一例を示す平面図。 図1及び図3に示した実施の形態の他の変形例について、その側面構造の一例を示す側面断面図。 図8に示した変形例について、その平面構造の一例を示す平面図。 図1及び図3に示した実施の形態の他の変形例について、その側面構造の一例を示す側面断面図。 図10に示した変形例について、その平面構造の一例を示す平面図。 図1及び図3に示した実施の形態の他の変形例について、その平面構造の一例を示す平面図。 図1〜図12に示した実施の形態の変形例について、その側面構造の一例を示す側面断面図。
符号の説明
1、1a、2、3、3a〜3c、4…半導体装置、101…半導体基板、102、102a…ベース領域(第1半導体領域)、103…トレンチ、104…ゲート電極、105…エミッタ領域(第2半導体領域)、106…エミッタ電極、107…P導電型層(不純物領域、第3半導体領域)、108…コレクタ電極、110…ガードリング(第4半導体領域)、111…絶縁膜、117…P導電型層(第5半導体領域)、127、127a〜127c…P導電型層(第6半導体領域)、Dd…活性領域、Dr…耐圧領域。

Claims (9)

  1. 半導体基板の第1主面に形成されたエミッタ電極及びゲート電極と、前記半導体基板の第1主面と対向する第2主面に形成されたコレクタ電極とを有し、これらエミッタ電極及びコレクタ電極間を前記半導体基板を介して電流が流れるように構成されたIGBT素子が前記半導体基板の活性領域に形成されており、前記エミッタ電極及びコレクタ電極間に所定の電圧を印加するための耐圧構造が前記活性領域を取り囲む耐圧領域に形成された半導体装置であって、
    前記半導体基板の第2主面側の表層には、前記IGBT素子を構成するコレクタ領域として機能する不純物領域が形成され、
    前記不純物領域の端部は、前記活性領域と前記耐圧領域との境界よりも活性領域側に位置することを特徴とする半導体装置。
  2. 第1主面及びこの第1主面に対向する第2主面を有する第1導電型の半導体基板を備える半導体装置であって、
    前記半導体基板の活性領域には、
    前記半導体基板の第1主面側の表層に選択的に形成され、ベース領域となる第2導電型の第1半導体領域と、
    前記半導体基板の第1主面から第2主面に向かって第1半導体領域を貫通するように形成されたゲートトレンチに絶縁膜を介して埋設されるゲート電極と、
    第1半導体領域内の第1主面側の表層に前記ゲートトレンチの側面に隣接するように選択的に形成され、エミッタ領域となる第1導電型の第2半導体領域と、
    第2半導体領域に電気的に接続されるエミッタ電極と、
    前記半導体基板の第2主面側の表層に形成され、コレクタ領域となる第2導電型の第3半導体領域と、
    第3半導体領域に電気的に接続されるコレクタ電極とを有するIGBT素子が形成されており、
    前記半導体基板の前記活性領域を取り囲む耐圧領域には、前記半導体基板の第1主面側の表層に選択的に形成され、ガードリングとして機能する第2導電型の第4半導体領域が形成されており、
    第3半導体領域の端部は、前記活性領域と前記耐圧領域との境界よりも前記活性領域側に位置することを特徴とする半導体装置。
  3. 前記半導体基板の前記活性領域には、複数のIGBT素子が形成されており、
    第3半導体領域の端部は、前記複数のIGBT素子のうち最外周に位置するIGBT素子の直下よりも前記耐圧領域側に位置することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  4. 前記半導体基板の前記活性領域には、複数のIGBT素子が形成されており、
    第3半導体領域の端部は、前記複数のIGBT素子のうち最外周に位置するIGBT素子の直下に位置することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  5. 前記半導体基板の前記耐圧領域の、前記半導体基板の第2主面側の表層には、第2導電型の第5半導体領域がさらに形成されており、
    第5半導体領域は、第3半導体領域よりも低濃度に形成されていることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
  6. 前記半導体基板の前記耐圧領域の、前記半導体基板の第2主面側の表層には、第2導電型の複数の第6半導体領域がさらに形成されており、
    前記複数の第6半導体領域は、各々、前記活性領域を取り囲む平面視環状に形成されていることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
  7. 前記半導体基板の前記耐圧領域の、前記半導体基板の第2主面側の表層には、第2導電型の複数の第6半導体領域がさらに形成されており、
    前記複数の第6半導体領域は、各々、平面視円形状に形成されており、全体として、前記活性領域を取り囲む平面視環状に配列されていることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
  8. 前記半導体基板の前記耐圧領域の、前記半導体基板の第2主面側の表層には、第2導電型の複数の第6半導体領域がさらに形成されており、
    前記複数の第6半導体領域は、各々、平面視矩形状に形成されており、全体として、前記活性領域を取り囲む平面視環状に配列されていることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
  9. 前記半導体基板の前記耐圧領域には、第5半導体領域もしくは第6半導体領域と前記コレクタ電極との間に絶縁膜をさらに備えることを特徴とする請求項5〜8のいずれか一項に記載の半導体装置。
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