JP2009175713A - シリンジ装着が可能な変位センサー及びそれを備えたディスペンサー - Google Patents

Abstract

【課題】シリンジを変位センサーに、直接挿入して取り付けることができ、シリンジを簡便に交替することができ、特に、シリンジ交替時に発生しうるセンサーとシリンジの吐出口（ノズル）との間の誤差を最小化し、より正確なシリンジ装着が可能にする効果を提供する。
【解決手段】基板との距離を測定する発光部と受光部とを有し、上記受光部と発光部との間にシリンジの下端部を挿入し、固定しうるシリンジ装着部が一体的に構成され、このシリンジ装着部は、シリンジが挿入され固定される時、発光部と受光部とにより形成されるレーザービームスポットとシリンジの吐出口との間の距離が一定に維持されるように、シリンジを固定する装着孔を有する。
【選択図】図５

Description

本発明は、液晶表示装置のガラス基板に液晶やシーラントなどを塗布するディスペンサーに関する。特に、シリンジ(Syringe)を直接挿入して精密に取り付けることができるようにした変位センサー及びそれを備えたディスペンサーに関するものである。

平板表示装置の一つである液晶表示装置（ＬＣＤ）は、一般的に複数のピクセルパターンを形成したガラス基板とカラーフィルター層とを形成したガラス基板とを合着して製造される。これと共に、２枚のガラス基板間に液晶層を形成し、外郭はシーラントで密封される構造を有する。

このような液晶表示装置を製造するためには、ガラス基板上に液晶またはシーラントなどを塗布する塗布工程が要求され、このような塗布工程にディスペンサーが利用される。

ディスペンサーは、一般的に基板が取り付けられるステージと、基板に液晶またはシーラントを塗布するようにノズルが備えられたディスペンサーヘッドと、このディスペンサーヘッドが取り付けられるヘッド支持部材などで構成され、基板とノズルとの相対位置を変化させながら、基板上に液晶またはシーラントなどを塗布できるように構成される。

特に、上記ディスペンサーヘッドには、液晶またはシーラントが保存されたシリンジが備えられ、その終端にノズルが設けられ、基板上に所望のパターンで液晶またはシーラントを塗布できるように構成される。

ここで、ガラス基板に液晶やシーラントを所望の水準で精密に塗布すると共に、塗布工程の効率性及び生産性を高める問題が液晶表示装置の品質向上及び生産性増加に非常に重要な影響を及ぼすので、より優れた性能を有するディスペンサーの開発が多様に行われている。

そこで、本出願人もディスペンサーの性能を改善するために研究開発を持続しており、その成果として、「ペースト塗布装置のシリンジ固定装置」と「シーラントディスペンサー」などを特許出願し、特許文献１、特許文献２として特許権を獲得している。

しかし、本出願人は、上記登録特許技術が、ディスペンサーの性能改善に相当な成果があったにもかかわらず、さらに優れた塗布精密性を有しながら、工程効率を向上させることができるディスペンサー関連技術の開発のために鋭意研究しており、このような研究開発の成果を基にして改善技術を特許出願しようとする。

本発明を説明する前に、本出願人の特許発明を例に挙げ、各発明に対する追加要求事項について説明する。

まず、図１及び図２を参照して、特許文献１（以下、「特許発明１」という）について説明する。

図１は、特許発明１でのシリンジ装着状態を示す斜視図であり、図２は特許発明１でシリンジ固定装置の主要部を示す斜視図である。

特許発明１のシリンジ固定装置は、トグルクランプ２５を備え、レバー２７を操作する簡単な動作だけで、シリンジ１０の固定または解除作業を可能にし、シリンジ１０交替に必要とされる時間と努力を短縮することができると共に、従来、使われた多数の締めボルトなどを省略し、粉塵発生を最小化し、液晶塗布工程中に不純物の流入を最小化するようにした技術である。

図面で、符号１８はトグルクランプ２５を支持するための固定ブラケットである。

上記シリンジ１０は、円筒状構造の貯蔵タンク１２と、この貯蔵タンク１２の下部に備えられ、液晶やシーラントなどを吐出するノズルが備えられたノズルホルダー１４とからなる。

また、ヘッドブロック１６には、上記シリンジ１０を支持して固定するための固定ブロック２０が設けられる。即ち、図２に示されるように、固定ブロック２０に挿入孔２２が形成されることによって、この挿入孔に、図１のように、シリンジ１０のノズルホルダー１４が挿入され取り付けられ、この時、上記したトグルクランプ２５がノズルホルダー１４を固定するように構成される。

一方、上記固定ブロック２０の両側には、一般的に発光部と受光部とで構成され、基板とノズルとの間隔を測定する変位センサー（未図示）が設けられる。

しかし、上記特許発明１は、ノズルホルダー１４が固定される固定ブロック２０と、ノズルと基板と間の間隔を測定する変位センサーが互いに分離された状態で、それぞれヘッドブロック１６に設けられるため、ノズルと基板との間隔をより正確に測定することが容易ではなく、これにより、ノズルの位置を自主補正しなければならない問題がある。

即ち、ノズルと変位センサーとが異なる構造物を介して互いに連結されるため、組立部品間に組立誤差が生じるか、緩んだ場合に、これを再び設定しなければならない問題が発生される。

特に、ノズル側が取り付けられる部分（固定ブロック）と変位センサーとが別途に構成されるに加えて、固定ブロック２０に変位センサーのレーザービームスポット位置とノズル吐出口との間が常に一定に維持されるようにする装着構造が確保されていないことから、シリンジ１０を交替する場合に変位センサーのレーザービームスポット位置とノズル吐出口との位置がずれる場合が頻繁に発生し、この時には、手動でシリンジの位置を調整しながら、ノズルとセンサーとの相対位置を再調整しなければならない面倒な問題が発生される。

また、特許発明１は、固定ブロック２０にノズルホルダー１４の下部だけが挿入され固定されるので、上部に貯蔵タンク１２を支持する別途の支持装置（図１参照）が必要とされ、これにより、全体的にシリンジ装着構造が複雑になる問題もある。

次ぎに、図３を参照して、特許文献２（以下、「特許発明２」という）ついて説明する。

図３は、特許発明２の公報に開示された図面であり、シーラントディスペンサーを示す構成図である。

特許発明２のシーラントディスペンサーは、注入器、即ち、シリンジ１０’とノズル１４’とが同軸をなすように構成され、ノズルから吐き出されるシーラントの吐出圧力を低くすると共に、基板とノズルの間隔をより正確に感知し、シリンジ１０’の交替時に、ノズルと変位センサー３０との間の距離が一定になるように、ノズル１４’の位置を補正できるようにし、シーラントをより精密に塗布できるようにした技術である。

このような特許発明２は、シーラントを精密に塗布する相当な効果があるにもかかわらず、上記特許発明１のように、シリンジ１０’と変位センサー３０それぞれが、別に設置または支持されているので、変位センサー３０に対するノズルの位置を一貫して正確に位置させるには限界があった。

即ち、特許発明２のシーラントディスペンサーは、変位センサー３０を構成する発光部３１と受光部３２とが一体で成され、発光部と受光部との間に結合孔３３が形成され、この結合孔３３にシリンジ１０’の下部が結合される構成であるが、図示されるように、ノズル１４’の終端が上記変位センサーの結合孔３３に単純に挿入され、貫通される構成だけであり、実質的には、シリンジ１０’及びこれと結合されたノズル１４’は別途の調整部４０に支持された状態で、調整部４０によってその位置が補正できるように構成される。

従って、特許発明２は、変位センサー３０の結合孔３３にノズル１４’の終端部が単純に通過し、シリンジ１０’が調整部４０によって支持された状態で組み立てられるため、上述した特許発明１と同様に、シリンジ１０’交替時毎に変位センサー３０のレーザービームスポット位置とノズル吐出口との位置とがずれるという問題が発生し、これにより、シリンジ１０’を、調整部４０を介して手動で位置を調整しなければならない面倒であるという問題がある。

結局、特許発明１と特許発明２とは、シリンジを支持する構造物と変位センサーが、それぞれ別途に構成され、ヘッドブロックなどに組み立てられるため、全体的にシリンジ装着構造が複雑になることはもとより、シリンジを交替する時毎に変位センサーとノズルの相対位置を正確に補正しなければならないという問題がある。
韓国特許第１０−６９６９３５号公報 韓国特許第１０−７１０６８３号公報

本発明は、上記した先行技術の問題点を解決するためのものであり、変位センサーにシリンジを直接取り付け固定できるように構成することによって、一回のシリンジ挿入または分離作業だけで、簡便にシリンジを交替することができるようにするシリンジ装着が可能な変位センサー及びそれを備えたディスペンサーを提供することに目的がある。

また、本発明は、変位センサーに、シリンジの下部が正確な位置に精密に取り付けられるように構成することによって、シリンジ交替時に、センサーのレーザービームスポットとノズルの吐出口との間の距離を追加補正することなく、一回の装着作業だけで一貫性のある正確な位置にシリンジを取り付けて使用できるようにするシリンジ装着が可能な変位センサー及びそれを備えたディスペンサーを提供することに目的がある。

また、本発明は、変位センサーに、シリンジに結合されたノズルの上部まで支持できるように構成することによって、追加支持構造物のない状態でも変位センサーだけでシリンジを安定に支持できるようにするシリンジ装着が可能な変位センサー及びそれを備えたディスペンサーを提供することに目的がある。

上記した課題を実現するための本発明に係るシリンジ装着が可能な変位センサーは、基板との距離を測定する発光部と受光部とを有し、上記受光部と発光部との間にシリンジの下端部を挿入し、固定しうるシリンジ装着部が一体的に構成され、このシリンジ装着部は、シリンジが挿入され固定される時、発光部と受光部とによって形成されるレーザービームスポットとシリンジの吐出口との間の距離が一定に維持されるように、シリンジを固定する装着孔が構成されたことを特徴とする。

ここで、上記シリンジが、基板に塗布する物質が保存される貯蔵タンクと、上記貯蔵タンクの下部に結合され、その終端部にシリンジの吐出口をなすノズルが結合されたノズルホルダーと、含んで構成される時、上記シリンジ装着部の装着孔は、上記ノズルホルダーが挿入され固定されるように構成されたことを特徴とする。

この時、上記装着孔は、シリンジを安定的に固定するように、上記ノズルホルダーの下側部分から上側部分まで支持するように構成されることが好ましい。

また、上記装着孔は、上記ノズルホルダーが挿入された状態で、安定した装着状態が保持されるように、ノズルホルダーの外形と同じ構造を有するように形成されたことが好ましい。ここで、上記装着孔は、上記ノズルホルダーと多段結合構造を有するように形成されるが、その一例として、上記ノズルホルダーが下側へ行くほど外径が段階的に小さくなる多段構造で形成される場合、上記装着孔も、その内径が上記ノズルホルダーの外径に沿って段階的に小さくなる構造で形成されていてもよい。

上記装着孔で上記ノズルホルダーが結合される最上端の結合部分は、ノズルホルダーが結合された状態で回転しないように多角構造で形成されることが好ましい。

また、上記装着孔で上記ノズルホルダーが結合される最上端の結合部分は、上記ノズルホルダーの結合状態を確認することができるように、一側面が開放された構造を有するように形成されることが好ましい。

一方、上記受光部、発光部、シリンジ装着部が別途に構成され、一体型構造で組み立てられて構成されていてもよい。

上記変位センサーには、上記装着孔に挿入されたシリンジを、外力を利用して追加固定できるように、シリンジ固定装置が備えられていてもよい。

このとき、上記シリンジ固定装置は、トグルクランプとこのトグルクランプによって作動しながら、ノズルを固定する固定バーと、を含んで構成されることが好ましい。

また、上記した課題を実現するための本発明に係るシリンジ装着が可能な変位センサーを備えたディスペンサーは、基板が取り付けられるステージと、上記ステージの上部で移動可能に設けられたディスペンサーヘッドと、上記ディスペンサーヘッドに支持される請求項１〜１１のいずれかに記載された変位センサーと、上記変位センサーのシリンジ装着部に取り付けられ、基板に塗布する物質を提供するシリンジと、を含むことを特徴とする。

本発明に係るシリンジ装着が可能な変位センサー及びそれを備えたディスペンサーは、下記の効果を有する。

まず、本発明では、変位センサーに、シリンジを取り付けて固定できるように、シリンジ装着部が構成されるため、一回のシリンジ分離または挿入作業だけで簡便にシリンジを交替することができる効果がある。

特に、本発明では、シリンジが変位センサーに直接取り付けられ固定され、センサーのレーザービームスポットとシリンジの吐出口（ノズル）との間の距離が常に一定に維持されるようにシリンジを固定するシリンジ装着孔が形成されているため、変位センサーに対するノズルの装着位置が常に一貫して取り付けられるので、シリンジ交替時にセンサーとノズルとの間の間隔誤差が発生しなく、一回の装着作業だけで追加補正することなく、一貫性のある正確な位置にシリンジを取り付けて使用することができる効果もある。

また、本発明では、変位センサーのシリンジ装着部をシリンジに結合されたノズルの上部まで支持するように構成されるため、追加支持構造物がなくても変位センサーだけでシリンジを安定するように支持することができ、これにより、シリンジ装着構造が簡単になる効果がある。

また、本発明では、変位センサーのシリンジ装着部とノズルの結合部の一部を多角構造で構成するか、変位センサーにシリンジ固定装置を設けることによって、変位センサーに取り付けられたシリンジが回転するか、垂直方向に流動しなくなり、より安定的に固定できる効果がある。

また、本発明では、変位センサーのシリンジ装着部で最上側装着部を開放するように構成することによって、シリンジの装着状態を容易に把握できる効果もある。

添付された図面を参照して本発明の好ましい実施例を説明する。

図４〜図９は、本発明の一実施例に係る変位センサーを示す図であり、図４は変位センサーを含むディスペンサーヘッドの斜視図であり、図５、図６、図７、図８、図９は、それぞれ変位センサーに、シリンジが取り付けられた状態を示した分解状態の斜視図、結合状態の斜視図、他の方向から見た斜視図、正面図及び断面図である。

まず、図４を参照して、本発明の変位センサーが備えられたディスペンサーについて説明する。

ディスペンサーは、垂直移送機構５０にディスペンサーヘッド５５が結合され、垂直移送機構５０の作動によって、ディスペンサーヘッド５５が上下方向に移動するように構成される。このように、垂直移動機構５０を介してディスペンサーヘッド５５を上下移動することによって、ディスペンサーヘッド５５に取り付けられたノズル７９とステージ（未図示）に載置された基板間の間隔を調節できるように構成される。

ディスペンサーヘッド５５には、上記垂直移送機構５０側に結合され上下移動する垂直板構造のヘッドプレート５７が備えられ、このヘッドプレート５７の前方には基板とノズルとの間の距離を測定する変位センサー６０が設けられる。

また、ディスペンサーヘッド５５は、基板に液晶またはシーラントなどを塗布するためのシリンジ７０が取り付けられるように構成されるが、本発明のシリンジ装着構造は、先行技術のシリンジ装着構造と違って、他の支持構造物無しに、変位センサー６０にシリンジ７０が直接挿入され、精密に取り付けられる構造からなる。

図５〜図９を参照して、本発明のシリンジ装着構造を可能にする変位センサーについて説明する。

まず、変位センサー６０は、基板とノズル７９との間の距離を測定し、ノズルと基板との間隔を一定に維持した状態で、液晶またはシーラントの塗布が遂行されるようにするための構成要素である。このような変位センサー６０は、様々な種類の距離測定センサーを利用して構成できるが、本発明の実施例では、レーザービームを用いたレーザー変位センサーを例示して説明する。

レーザー変位センサー６０は、基板に向かってレーザーを発射する発光部６１と、この発光部６１の反対の側に位置し、基板より反射されたレーザーを受光し、基板との距離を測定する受光部６３とからなる。

このようなレーザー変位センサー６０の距離測定の基本原理は公知されているので、これに対する説明は省略する。ただし、本発明に利用されるレーザー変位センサー６０は、ノズル７９を中心にその両方に発光部６１及び受光部６３が位置し、センサーから基板の距離を測定できるように構成される。

特に、本発明のレーザー変位センサー６０には、ノズルホルダー７５が結合されたシリンジ７０を直接挿入して取り付けることができるシリンジ装着部６５が構成される。このシリンジ装着部６５は、発光部６１と受光部６３との間に位置するように構成されることが好ましく、これにより、シリンジ装着部６５を含む発光部６１と受光部６３とが一つの本体で構成され、レーザー変位センサー６０を構成する。

このようなレーザー変位センサー６０の主要構成部分は、一つのケース内に一体的に構成されることが好ましいが、必ずしもこれに限定されなく、各部を構成するブロックが互いに一体的に組み立てられ結合される構成も可能である。これに対する構成は図１２を参照して後記し、ここでは一つの本体で構成された実施例について説明する。

上記発光部６１及び受光部６３は、その内部にレーザー発光及び受光、そして距離測定結果の信号を変換して出力できる手段などが内蔵されて構成される。外側には図４に図示されたヘッドプレート５７などにネジ結合して固定できるネジ孔６２、６４（図５参照）が形成される。

特に、上記シリンジ装着部６５には、シリンジ７０に結合されたノズルホルダー７５が挿入されて取り付けられるように装着孔６５ｈが形成されるが、この装着孔６５ｈはシリンジのノズルホルダー７５が挿入されて固定される時、図８及び図９のように、発光部６１と受光部６３とによって形成されるレーザービームスポットＳとノズル７９終端との間の距離、即ち、間隔が常に一定に維持されるようにシリンジを固定するように構成される。

このような装着孔６５ｈは、シリンジ７０に結合されたノズルホルダー７５を上部から挿入して直接に取り付けることができるように下側へ行くほど内径が段階的に小さくなる複数の弾力構造を有するように構成される。

即ち、図９を参照すれば、上記装着孔６５ｈには上部からノズルホルダー７５の上端部が結合される第１装着部６６が形成され、この第１装着部６６の下方には第１装着部６６より相対的に内径が小さい第２装着部６７が形成され、同様に、第２装着部６７の下方には第２装着部６７より相対的に内径が小さい第３装着部６８が構成される。

もちろん、本実施例では装着孔６５ｈが３個の装着部６６、６７、６８からなる構成を例示したが、実施条件によっては、２個または４個以上の装着部で構成してもよい。

ただし、シリンジ装着部６５に形成される装着孔６５ｈは、ノズルホルダー７５の下側部から上端部まで十分に支持することができるように形成されることが必要である。このような支持構造については後記する。

次に、上記のように構成されたレーザー変位センサー６０のシリンジ装着部６５に直接挿入されて取り付けられるシリンジ７０について説明する。

シリンジ７０は、液晶またはシーラントが保存された筒状構造で形成された貯蔵タンク７１と、この貯蔵タンク７１の下部に結合され、基板に液晶またはシーラントを吐出するノズル７９が備えられたノズルホルダー７５とで構成される。

貯蔵タンク７１の上部には、シリンジ７０の上部を塞ぐキャップ７２が結合される。

ノズルホルダー７５は、上記シリンジ装着部６５に挿入され、安定に結合されることができる構造で形成されるが、図示されるように、シリンジ装着部６５が３段構造の装着部６６、６７、６８で構成された場合に、ノズルホルダー７５の外形も３段構造で構成されることが好ましい。

このような構造について、図５及び図９を参照して説明すると、ノズルホルダー７５は、その中央部に液晶またはシーラントなどの塗布物質が通過できるように貫通孔（未図示）が形成され、終端にシリンジ７０の吐出口をなすノズル７９が取り付けられる。

上記ノズルホルダー７５は、変位センサー６０のシリンジ装着部６５に取り付けられるように上部から第１結合部７６、第２結合部７７、第３結合部７８が連続して形成され、第１結合部７６から第３結合部７８へ行くほど外径が次第に小さくなるように形成される。

ここで、第１結合部７６は、上記貯蔵タンク７１と結合される部分であり、内部にナットが形成され、貯蔵タンク７１とネジ結合方式で結合するように形成されることが好ましい。そして、第３結合部７８は、その終端に液晶またはシーラントが吐き出されるノズル７９がそとに露出するように取り付けられる。

また、上記ノズルホルダー７５は、一つの本体で形成されてもよいが、第１結合部または、第１結合部７６と第２結合部７７とがノズルホルダーを構成し、第３結合部７８がノズル管体を構成しながら、第１結合部７６または第２結合部７７に挿入され固定された構造で構成されていてもよい。

上記のような構成は有する変位センサー６０のシリンジ装着部６５とノズルホルダー７５との結合部について、互いに対応される構造を中心にして説明する。

本発明で、シリンジ装着部６５は、基本的にシリンジ７０が別途の装着（支持）装置がなくても、シリンジ７０をシリンジ装着部６５に挿入して取り付けさえすれば、シリンジ７０が取り付けられながら、ノズルの位置が決定されるように構成されたものであり、ノズルホルダー７５が変位センサー６０に対して正確な位置に取り付けられながら安定した装着状態が保持されるように多段構造を有するように形成されるものである。

特に、シリンジ装着部６５の第１装着部６６は、ノズルホルダー７５の上端部である第１結合部７６を支持するように構成されるが、これは、ノズルホルダー７５が結合されたシリンジ７０全体をより安定的に支持するためである。

このような第１装着部６６と第１結合部７６とを互いに合わせた結合構造は、多様に形成して構成できるが、本実施例の図面では、シリンジ７０が取り付けられた状態でシリンジ７０の回転が防止されるように略四角形状の結合構造を例示した。

即ち、ノズルホルダー７５の第１結合部７６が、平面から見た時、外観が略四角構造で形成され、このような形状の第１結合部７６が取り付けられる変位センサー６０の第１装着部６６も前方が開放された四角溝の構造で形成される。

ここで、第１装着部６６の開放部６６ａは、図７を参照すれば、ノズルホルダー７５の装着位置を正確に確認することができる機能を遂行する。即ち、ノズルホルダー７５が装着孔６５ｈに揺れることなく安定に取り付けられるためには、強制挿入に近接するようにノズルホルダー７５の外径と装着孔６５ｈの内径とがほぼ一致するように形成しなければならない。従って、第１装着部６６が開放されない溝構造で形成される場合に、ノズルホルダー７５が完全に挿入されたのか確認することが難しくなるが、図８に示されるように、ノズルホルダー７５の第１結合部７６の底面と第１装着部６６の底面とが完全に密着された状態にある時、ノズルホルダー７５が正確な位置まで挿入されたものであり、これは、第１装着部６６の全面に形成された開放部６６ａを介して簡便に確認することができるものである。

このような第１装着部６６と第１結合部７６との結合構造とは違って、第２装着部６７及び第２結合部７７と、第３装着部６８及び第３結合部７８は、円筒状の構造で形成されていることが好ましい。もちろん、円筒状の構造ではない傾斜したテーププレーヤー型構造で形成することも可能であり、また第１装着部６６及び第１結合部７６の構造と共に四角体形構造で形成することも可能である。

一方、上記したような本発明の実施例では、シリンジ装着部６５とノズルホルダー７５との結合構造を段階的に縮小される結合構造について説明したが、上記装着孔６５ｈの内径とノズルホルダー７５の外形が、精密合わせができるように同じ構造を有するように形成された構造であれば、実施条件によってはシリンジ装着部６５とノズルホルダー７５とを下へ行くほど内径及び外径が次第に小さくなるテーププレーヤー型構造で形成して結合させる構成も可能である。

また、上記装着孔６５ｈとノズルホルダー７５との結合部に互いに合わせ結合される突起または溝部を多数形成し、複数の支点で互いに結合するように構成することも可能である。

以下、上記したような本発明に係る変位センサーの種々変形実施例を説明する。

まず、図１０と図１１とを参照して、変位センサーにシリンジ固定装置が構成される実施例について説明する。

図１０は、本発明に係る変位センサーにシリンジ固定装置が設けられた状態を示す斜視図であり、図１１は図１０の縦方向断面図である。

上記図１０及び１１に示されるように、変位センサー６０に設けられ、シリンジ７０を固定するシリンジ固定装置８０は、特許文献１に開示されたようなトグルクランプを利用して構成することが好ましい。

即ち、シリンジ固定装置８０は、トグルクランプのレバー８１を押すと、変位センサー６０の内側に貫通された固定バー８３がスプリング８５の弾性力に耐え、内側に移動しながら、ノズルホルダー７５に密着されてシリンジを固定するように構成される。この時、固定バー８３は、ノズルの第２結合部７７に密着されるように構成される。

これと反対に、レバー８１を引くと、固定バー８３がノズルから離脱しながら、ノズルホルダー７５の固定状態が解除されるように構成される。

其の他の構成及び作動説明は、特許文献１に詳細に開示されているので、ここでは省略する。

一方、シリンジ固定装置は、上記のような構成に限定されなく、公知のディテント(detent)構造を利用して構成することも可能である。

即ち、シリンジ装着部６５の装着孔内側にスプリングによって突出されるディテントボール（またはディテントピン）を構成し、ノズルホルダー７５の外面にディテントボールが結合される半球状の溝部を形成し、ディテントボールがノズルの溝部に結合されることによって、シリンジがより確実に固定できるように構成することも可能である。

次に、図１２を参照して、変位センサーの一体組立構成に対して説明する。

図１２は、本発明に係る変位センサーの他の構造を示す実施例の斜視図である。

上述した本発明の実施例では、変位センサーが単一本体で構成された構造について説明したが、必要に応じて、変位センサー６０Ａを構成する発光部６１Ａ、受光部６３Ａ、シリンジ装着部６５Ａを、それぞれ、独立的なブロック構造で構成し、図１２に示されるように、一体的に組み立てられ、一つのセットをなすように構成することも可能である。

もちろん、上記シリンジ装着部６５Ａには、図５〜図９を参照して詳細に説明したシリンジ装着孔６５ｈが構成されていてもよい。

其の他の構成は、図５〜図９を参照して説明した実施例の構成と同様であるので、それに対する詳細な説明は省略する。

先行技術のシリンジ装着状態を示す斜視図である。 先行技術のシリンジ固定装置の主要部を示す斜視図である。 韓国登録特許１０−７１０６８３に開示された図面であり、シーラントディスペンサーを示す構成図である。 本発明に係る変位センサーが備えられたディスペンサーヘッドの斜視図である。 本発明に係る変位センサーにシリンジが取り付けられる状態を示す分解状態の斜視図である。 本発明に係る変位センサーにシリンジが取り付けられた状態を示す結合状態の斜視図である。 本発明に係る変位センサーにシリンジが取り付けられた状態を他の方向から示す斜視図である。 本発明に係る変位センサーにシリンジが取り付けられた状態を示す結合状態の正面図である。 本発明に係る変位センサーにシリンジが取り付けられた状態を示す断面図である。 本発明に係る変位センサーにシリンジ固定装置が設けられた状態を示す斜視図。 図１０の縦方向断面図である。 本発明に係る別の実施例の変位センサー構造を示す実施例の斜視図である。

符号の説明

５０ 垂直移送機構
５５ ディスペンサーヘッド
５７ ヘッドプレート
６０ 変位センサー
６１ 発光部
６３ 受光部
６５ シリンジ装着部
６５ｈ 装着孔
６６、６７、６８ 第１、２、３装着部
７０ シリンジ
７１ 貯蔵タンク
７２ キャップ
７５ ノズルホルダー
７６、７７、７８ 第１、２、３結合部
７９ 吐出口
８０ シリンジ固定装置
８１ レバー
８３ 固定バー
８５ スプリング

Claims (12)

1. 基板との距離を測定する発光部と受光部とを有し、
   上記受光部と発光部との間にシリンジの下端部を挿入し、固定しうるシリンジ装着部が一体的に構成され、
   このシリンジ装着部は、シリンジが挿入され固定される時、発光部と受光部とによって形成されるレーザービームスポットとシリンジの吐出口との間の距離が一定に維持されるように、シリンジを固定する装着孔を有することを特徴とするシリンジ装着が可能な変位センサー。
2. 上記シリンジが、基板に塗布する物質が保存される貯蔵タンクと、上記貯蔵タンクの下部に結合され、その終端部にシリンジの吐出口をなすノズルが結合されたノズルホルダーと、含んで構成される時、
   上記シリンジ装着部の装着孔は、上記ノズルホルダーが挿入され固定されるように構成されたことを特徴とする請求項１に記載のシリンジ装着が可能な変位センサー。
3. 上記装着孔は、シリンジを安定的に固定するように、上記ノズルホルダーの下側部分から上側部分まで支持するように構成されたことを特徴とする請求項２に記載のシリンジ装着が可能な変位センサー。
4. 上記装着孔は、上記ノズルホルダーが挿入された状態で、安定した装着状態が保持されるように、ノズルホルダーの外形と同じ構造を有するように形成されたことを特徴とする請求項２に記載のシリンジ装着が可能な変位センサー。
5. 上記装着孔は、上記ノズルホルダーと多段結合構造を有するように形成されたことを特徴とする請求項４に記載のシリンジ装着が可能な変位センサー。
6. 上記ノズルホルダーが下側へ行くほど外径が段階的に小さくなる多段構造で形成される場合、
   上記装着孔も、その内径が上記ノズルホルダーの外径に沿って段階的に小さくなる構造で形成されたことを特徴とする請求項５に記載のシリンジ装着が可能な変位センサー。
7. 上記装着孔で上記ノズルホルダーが結合される最上端の結合部分は、ノズルホルダーが結合された状態で回転しないように多角構造で形成されたことを特徴とする請求項２に記載のシリンジ装着が可能な変位センサー。
8. 上記装着孔で上記ノズルホルダーが結合される最上端の結合部分は、上記ノズルホルダーの結合状態を確認することができるように、一側面が開放された構造を有することを特徴とする請求項２に記載のシリンジ装着が可能な変位センサー。
9. 上記受光部、発光部、シリンジ装着部が別途に構成され、一体型構造で組み立てられて構成されたことを特徴とする請求項１に記載のシリンジ装着が可能な変位センサー。
10. 上記変位センサーには、上記装着孔に挿入されたシリンジを、外力を利用して追加固定できるように、シリンジ固定装置が備えられたことを特徴とする請求項１に記載のシリンジ装着が可能な変位センサー。
11. 上記シリンジ固定装置は、トグルクランプと、このトグルクランプによって作動しながら、ノズルを固定する固定バーと、を含んで構成されたことを特徴とする請求項１０に記載のシリンジ装着が可能な変位センサー。
12. 基板が取り付けられるステージと、
    上記ステージの上部で移動可能に設けられたディスペンサーヘッドと、
    上記ディスペンサーヘッドに支持される請求項１〜１１のいずれかに記載された変位センサーと、
    上記変位センサーのシリンジ装着部に取り付けられ、基板に塗布する物質を提供するシリンジと、
    を含むことを特徴とするシリンジ装着が可能な変位センサーを備えたディスペンサー。

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