JP2009162872A - 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)有機溶剤可溶性染料と(B)光重合開始剤と(C)アミン構造を含む光重合性化合物と(D)有機溶剤とを少なくとも含む染料含有ネガ型硬化性組成物である。光重合性化合物のアミン構造は、3級アミン構造が好ましい。
【選択図】なし
Description
また、この問題に関連する技術として、トリアジン骨格の重合性化合物を、トリアジン骨格を持つ複素脂環式ブロックイソシアネート化合物と組み合わせて含有する光熱重合性組成物が開示されており(例えば、特許文献2参照)、優れた耐溶剤性、耐剥離性が得られるとされている。更には、光重合性化合物として、イソシアヌール酸エチレンオキシド変性トリ(メタ)アクリレートを用いた感光性樹脂組成物に関する開示がある(例えば、特許文献3参照)。
<1> (A)有機溶剤可溶性染料と(B)光重合開始剤と(C)アミン構造を含む光重合性化合物と(D)有機溶剤とを少なくとも含む染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<2> 前記光重合性化合物のアミン構造は、3級アミン構造であることを特徴とする前記<1>に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<3> 前記光重合性化合物は、下記一般式(I)で表される化合物であることを特徴とする前記<1>又は前記<2>に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<5> 前記有機溶剤可溶性染料の含有量が、全固形分に対して40質量%以上であることを特徴とする前記<1>〜前記<4>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<6> 前記光重合開始剤が、オキシム系化合物であることを特徴とする前記<1>〜前記<5>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<8> 前記<1>〜前記<7>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いてなるカラーフィルタである。
<9> 前記<1>〜前記<7>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に塗布後、塗布形成された塗布膜をマスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法である。
<10> 前記<8>に記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子である。
また、本発明によれば、熱ダレによる変形を抑え、パターン形状(特に固体撮像素子の場合はパターンの矩形性)の良好なカラーフィルタ及びその製造方法を提供することができる。
更に、本発明によれば、色再現性に優れた固体撮像素子を提供することができる。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、少なくとも、(A)有機溶剤可溶性染料と、(B)光重合開始剤と、(C)アミン構造を含む光重合性化合物と、(D)有機溶剤とを用いて構成されたものであり、必要に応じて、更にアルカリ可溶性バインダー、架橋剤等の他の成分を含んでいてもよい。
以下、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を構成する各成分について詳述する。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、有機溶剤可溶性染料の少なくとも1種を含有する。有機溶剤可溶性染料は、特に制限なく使用することができ、例えば、従来カラーフィルタ用として公知の染料などの中から選択することができる。
前記公知の染料としては、例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に記載の色素が挙げられる。
酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸、フェノール性水酸基等の酸性基を有する色素であれば、特に限定されないが、有機溶剤や現像時に用いる現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
acid alizarin violet N;
acid black 1,2,24,48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;
acid chrome violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62、63,64、74,75、94、95,107,108,169,173;
acid violet 6B,7,9,17,19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40、42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150、155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;
Direct Orange 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;
Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;
Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
Mordant Orange 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;
Mordant Red 1,2,3,4,9,11,12,14,17,18,19,22,23,24,25,26,30,32,33,36,37,38,39,41,43,45,46,48,53,56,63,71,74,85,86,88,90,94,95;
Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;
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Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;
Food Yellow 3;
及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
acid black 24;
acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;
acid orange 8,51,56,74,63,74;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,134,155,169,172,184,220,228,230,232,243;
acid Green 25;
などの染料及びこれらの染料の誘導体が好ましい。
また、2種以上の有機溶剤可溶性染料を混合して調色する場合には、最も少量添加する有機溶剤可溶性染料の量は、色相の点で、有機溶剤可溶性染料の全量を100%としたときの少なくとも10%以上であることが好ましい。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、光重合開始剤の少なくとも1種を含有する。光重合開始剤は、後述のアミン構造を含む光重合性化合物及び場合により他の重合性モノマーに作用して組成物を硬化させる。本発明における光重合開始剤としては、少なくとも「アミン構造を含む光重合性化合物」を重合させ得るものであれば、特に制限はなく、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれるのが好ましい。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−エトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンジルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(又はミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール系化合物等、チヌビン1130、同400、等が挙げられる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号及び第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号及び第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアリールイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、アミン構造を含む光重合性化合物の少なくとも1種を含有する。この光重合性化合物は、その構造中にアミン構造を含み、塩基性を呈することで、組成物中に存在する酸性基(例えばカルボン酸基)又はエステル基、例えば有機溶剤可溶性染料(特に酸性染料)の酸性基又はエステル基と相互作用するので、露光・現像を経た硬化パターンには耐熱性が与えられる。これより、熱処理(例えばポストベーク等の高温(例えば200℃以上)での熱処理)が施された場合でも、パターンの熱ダレによる形状変形を抑止でき、熱処理で高度に硬化しつつも、カラーフィルタの画素パターンとして良好な形状のパターン画像を形成することができる。特に固体撮像素子用のカラーフィルタの場合には、熱による順テーパー状変形の少ない矩形に近い良好な断面プロファイルを有するパターン画像を形成することができる。加えて更に、形成されたパターンの基板等への密着性が向上し、剥がれによる画像欠陥の発生も抑えられる。
更には、前記一般式(I)で表される化合物の1分子中のエチレン性不飽和二重結合の数は、前記同様の理由から、1〜10個の範囲が一般に好ましく、2〜8個がより好ましく、特に好ましくは3〜6個である。
他の重合性モノマーの例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの;
特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号の各公報に記載のウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載のポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレート及びこれらの混合物;を挙げることができる。
更に、日本接着協会誌 Vol.20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも挙げることができる。他の重合性モノマーとして、多官能(メタ)アクリル化合物は好適に用いることができる。
[1](A)有機溶剤可溶性染料の少なくとも1種が、酸性染料及び/又はその誘導体であって、(C)アミン構造を含む光重合性化合物が、前記一般式(I)で表される化合物(より好ましくは、A、B、及びCの2つ又は3つがエチレン性不飽和二重結合を含む)である形態。
[2](A)有機溶剤可溶性染料の少なくとも1種が、酸性染料及び/又はその誘導体であって、(B)光重合開始剤がオキシム系化合物であって、(C)アミン構造を含む光重合性化合物が、前記一般式(I)で表される化合物(より好ましくは、A、B、及びCの2つ又は3つがエチレン性不飽和二重結合を含む)である形態。
[3](A)有機溶剤可溶性染料の少なくとも1種が、酸性染料及び/又はその誘導体であって、かつ有機溶剤可溶性染料の含有量が組成物の全固形分に対して40〜90質量%であって、(C)アミン構造を含む光重合性化合物が、前記一般式(I)で表される化合物(より好ましくは、A、B、及びCの2つ又は3つがエチレン性不飽和二重結合を含む)である形態。
[4](A)有機溶剤可溶性染料の少なくとも1種が、酸性染料及び/又はその誘導体であって、かつ有機溶剤可溶性染料の含有量が組成物の全固形分に対して40〜90質量%であって、(B)光重合開始剤がオキシム系化合物であって、(C)アミン構造を含む光重合性化合物が、前記一般式(I)で表される化合物(より好ましくは、A、B、及びCの2つ又は3つがエチレン性不飽和二重結合を含む)である形態。
[5](A)有機溶剤可溶性染料の少なくとも1種が、酸性染料及び/又はその誘導体であって、かつ有機溶剤可溶性染料の含有量が組成物の全固形分に対して40〜90質量%であって、(B)光重合開始剤がオキシム系化合物であって、(C)アミン構造を含む光重合性化合物が、前記一般式(I)で表される化合物(X、Y、及びZの全てがアルキレンオキシカルボニル基であり、A、B及びCの2つ以上がエチレン性不飽和二重結合を含む末端基である)である形態。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、有機溶剤の少なくとも1種を含有する。有機溶剤は、各成分の溶解性や染料含有ネガ型硬化性組成物の塗布性を満足できるものであれば、基本的には特に制限はなく、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、上記の成分に加えて、本発明の効果を損なわない範囲で、さらにアルカリ可溶性バインダー、架橋剤などの他の成分を含んでいてもよい。
アルカリ可溶性バインダーは、アルカリ可溶性を有すること以外は特に限定はなく、好ましくは耐熱性、現像性、入手性等の観点から選択することができる。
本発明においては、補足的に架橋剤を用いて更に高度に硬化させた膜を得ることも可能である。以下、架橋剤について説明する。
架橋剤としては、架橋反応により膜硬化を行なえるものであれば、特に限定はなく、例えば、(a)エポキシ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物又はウレア化合物、(c)メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも、多官能エポキシ樹脂が好ましい。
以下、前記(b)のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物及びウレア化合物を総じて、(b)に係る化合物(メチロール基含有化合物、アルコキシメチル基含有化合物、又はアシロキシメチル基含有化合物)という。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がメトキシメチル化した化合物又はその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物又はその混合物、などが挙げられる。
これら(b)に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。
前記ナフトール化合物においても、OH基のオルト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
前記(c)に係るアルコキシメチル基含有化合物は、(c)に係るメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。
前記(c)に係るアシロキシメチル基含有化合物は、(c)に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
また、アシロキシメチル基含有化合物として、例えば、前記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部又は全部アシロキシメチル化した化合物等が挙げられる。
これら(c)に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、前記成分のほか、更に熱重合防止剤を加えておくことが好ましい。例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4'−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、必要に応じて、各種添加物、例えば充填剤、前記アルカリ可溶性バインダー以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することができる。
具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、着色パターンが微少サイズで薄膜に形成され、しかも良好な矩形の断面プロファイルが要求される固体撮像素子用のカラーフィルタの形成に特に好適である。具体的には、カラーフィルタを構成する画素パターンサイズ(基板法線方向からみた画素パターンの辺長)が2μm以下である場合(例えば0.5〜2.0μm)は、顔料では粗大粒子の影響で色ムラが発生しやすく、染料では染料量が増大するとフォトリソ性に寄与する成分の相対量が減ってパターニング後のポストベーク等の熱処理で熱ダレを起こし易い。これは、特に画素パターンサイズが1.0〜1.7μm(更に1.2〜1.5μm)の場合に顕著になる。また、厚み1μm以下の薄膜である場合、着色剤を除くフォトリソ性に寄与する成分の膜中の量が相対的に減少し、着色剤量の増大で他成分の量は更に減少して、低感度化し、低露光量領域ではパターンが剥離しやすくなり、前記同様にパターニング後のポストベーク等の熱処理で熱ダレを起こし易い。これは、特に膜厚が0.005μm〜0.9μm(更に0.1μm〜0.7μm)の場合に顕著になる。
このような固体撮像素子用のカラーフィルタを形成する場合において、特に、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いることにより効果的に、熱ダレによる順テーパー化が抑えられ、矩形に近いパターンが得られる。更には、高感度が得られると共に、形成されたパターンの基板等との密着性も向上し、剥がれの発生、ひいては画像欠陥の発生が防止される。
次に、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、既述の本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物が用いられる。本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いることで、パターニング後において耐熱性を具えるので、熱処理時の熱ダレの影響で受ける変形の少ない、形状良好で高解像度の微細なパターンで構成されたカラーフィルタを作製することができる。更には、感度良く硬化パターンの形成が可能であり、支持体等との密着性が向上し、剥がれ(画素欠陥)の発生を抑えたカラーフィルタが得られる。
また、ステッパー露光に用いる露光装置としては、例えば、i線ステッパー(商品名:FPA−3000i5+、キャノン(株)製)等を用いることができる。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合は、一般に、現像後水で洗浄する。
固体撮像素子の構成としては、本発明のカラーフィルタを備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
支持体上に、CCDイメージセンサー(固体撮像素子)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる転送電極を有し、前記フォトダイオード及び前記転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口したタングステン等からなる遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面及びフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、前記デバイス保護膜上に、本発明のカラーフィルタを有する構成である。
さらに、前記デバイス保護層上であってカラーフィルタの下(支持体に近い側)に集光手段(例えばマイクロレンズ等。以下同様。)を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。
1)染料含有ネガ型硬化性組成物の調製
以下に示す組成の各化合物を混合して溶解し、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製した。
〔組成〕
・シクロヘキサノン(有機溶剤) ・・・26g
・樹脂A(アルカリ可溶性バインダー) ・・・2.0g
(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=80/20〔モル比〕))
・下記構造のアミン含有モノマーA(光重合性化合物) ・・・3.0g
・下記オキシムA(光重合開始剤) ・・・1.0g
・Valifast yellow 1101(有機溶剤可溶性染料) ・・・4.0g
レジストCT−2000L溶液(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を、シリコン基板(ウエハ)上に膜厚2μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥させて、硬化膜(下塗り層)を形成した。
上記1)で得られた染料含有ネガ型硬化性組成物を、上記2)で得られた下塗り層付シリコン基板の下塗り層の上に膜厚が1μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒間プリベークし、シリコン基板上に着色レジスト層が形成されたサンプルを作製した。
実施例1において、染料含有ネガ型硬化性組成物に含まれる各組成を下記表1に示す組成にそれぞれ変更したこと以外は、実施例1と同様にして、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製し、サンプルを作製した。
実施例1において、染料含有ネガ型硬化性組成物に含まれる各組成を下記表2に示す組成にそれぞれ変更したこと以外は、実施例1と同様にして、比較用の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製し、サンプルを作製した。
各実施例及び比較例において形成したサンプルについて、下記の評価を行なった。評価結果は、下記表1〜表2に示す。
(1)感度
得られた各サンプルの着色レジスト層に対して、i線縮小投影露光装置を使用して365nmの波長にて、縦2μm×横2μmのマスクを通して露光量を変化させて照射した。照射後、現像液(商品名:CD−2000、60%、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間、現像した。次いで、流水で20秒間リンスした後、スプレー乾燥させてパターン画像を形成した。形成されたパターン画像は、光学顕微鏡及びSEM写真観察により通常の方法で確認した。
このとき、縦2μm×横2μmの画素パターンの幅と、該画素パターン間のスペースの幅とが1:1になる露光量を適正露光量とし、その露光量を感度とした。感度は、露光量の値が小さいほど高感度であることを示す。
前記「(1)感度」において適正露光量にて形成されたパターン画像を、走査型電子顕微鏡(SEM)の撮影画像により観察し、パターン断面(シリコン基板の法線方向と平行であってパターンの一辺と平行な平面で切断したときの切断面)の形状を下記の評価基準にしたがって評価した。
<評価基準>
○:断面のパターンプロファイルは図1(A)のように良好な矩形であった。
△:断面のパターンプロファイルは、図1(B)のように基板非接触の角(カド)がやや丸みを帯びたが、実用上許容できる範囲であった。
×:断面のパターンプロファイルは、図1(C)のように基板非接触の角(カド)がとれて丸みができ、ラウンドトップ(頭が丸い)形状であった。
××:断面のパターンプロファイルは、図1(D)のように完全にラウンドトップ形状であった。
前記「(1)感度」における場合と同様にして、露光量を変化させて照射、現像等を行なってパターン画像を得た後、流水でリンス、次いでスプレー乾燥した後のパターン画像に剥がれがみられない最低露光量を密着感度として評価した。密着感度は、露光量の値が小さいほど良好であることを示す。
*アルカリ可溶性樹脂
・樹脂A:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=80/20〔モル比〕)
・オキシムA:2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)
・オキシムB:1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)
また、固体撮像素子を作製する場合には、前記シリコン基板を、フォトダイオード、遮光膜、及びデバイス保護膜などが形成された固体撮像素子用基板に置き換えることで作製することができる。具体的には、例えば、フォトダイオード及び転送電極が形成されたシリコン基板上に、フォトダイオードの受光部のみ開口したタングステンからなる遮光膜を形成し、該遮光膜上に遮光膜全面及びフォトダイオード受光部を覆うようにして窒化シリコンからなるデバイス保護層を形成し、形成されたデバイス保護層上に、実施例1〜17と同様の方法によりカラーフィルタを形成し、形成されたカラーフィルタ上に集光手段であるマイクロレンズを形成することにより、色再現性の良好な固体撮像素子を作製することができる。
Claims (10)
- (A)有機溶剤可溶性染料と(B)光重合開始剤と(C)アミン構造を含む光重合性化合物と(D)有機溶剤とを少なくとも含む染料含有ネガ型硬化性組成物。
- 前記光重合性化合物のアミン構造は、3級アミン構造であることを特徴とする請求項1に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
- 前記有機溶剤可溶性染料が、酸性染料であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
- 前記有機溶剤可溶性染料の含有量が、全固形分に対して40質量%以上であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
- 前記光重合開始剤が、オキシム系化合物であることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
- 固体撮像素子用カラーフィルタの形成に用いられることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
- 請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いてなるカラーフィルタ。
- 請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に塗布後、塗布形成された塗布膜をマスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法。
- 請求項8に記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012177911A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-09-13 | Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd | カラーフィルタ用着色組成物、およびカラーフィルタ |
JP2015068962A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び、表示装置 |
KR101872164B1 (ko) * | 2017-09-20 | 2018-06-27 | 동우 화인켐 주식회사 | 아크릴레이트 화합물 및 이를 포함하는 광경화성 조성물 |
KR20190078178A (ko) * | 2017-12-26 | 2019-07-04 | 동우 화인켐 주식회사 | 광경화성 조성물 및 이로부터 형성된 광경화 막 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10501562B2 (en) | 2015-03-18 | 2019-12-10 | University Of Kansas | Co-initiator and co-monomer for use in preparing polymer related compositions, methods of manufacture, and methods of use |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004002631A (ja) * | 2002-03-28 | 2004-01-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 染料含有硬化性組成物、並びに、これを使用したカラーフィルターおよびその製造方法 |
JP2006243173A (ja) * | 2005-03-01 | 2006-09-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 |
Family Cites Families (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2367661A (en) | 1941-12-31 | 1945-01-23 | Du Pont | Process of photopolymerization |
BE465271A (ja) | 1941-12-31 | 1900-01-01 | ||
US2367670A (en) | 1941-12-31 | 1945-01-23 | Du Pont | Cementing process |
US2448828A (en) | 1946-09-04 | 1948-09-07 | Du Pont | Photopolymerization |
US2722512A (en) | 1952-10-23 | 1955-11-01 | Du Pont | Photopolymerization process |
NL227834A (ja) | 1957-05-17 | |||
US3046127A (en) | 1957-10-07 | 1962-07-24 | Du Pont | Photopolymerizable compositions, elements and processes |
US3549367A (en) | 1968-05-24 | 1970-12-22 | Du Pont | Photopolymerizable compositions containing triarylimidazolyl dimers and p-aminophenyl ketones |
DE2033769B2 (de) | 1969-07-11 | 1980-02-21 | Ppg Industries, Inc., Pittsburgh, Pa. (V.St.A.) | Bis-<2-acryloxyäthyl)hexahydrophthalat enthaltende Gemische und Herstellungsverfahren |
JPS4841708B1 (ja) | 1970-01-13 | 1973-12-07 | ||
JPS506034B1 (ja) | 1970-08-11 | 1975-03-10 | ||
US3864133A (en) | 1970-08-11 | 1975-02-04 | Dainippon Ink & Chemicals | Photo-polymerizable compositions |
DE2064080C3 (de) | 1970-12-28 | 1983-11-03 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Lichtempfindliches Gemisch |
US3987037A (en) | 1971-09-03 | 1976-10-19 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Chromophore-substituted vinyl-halomethyl-s-triazines |
JPS5324989B2 (ja) | 1971-12-09 | 1978-07-24 | ||
JPS5230490B2 (ja) | 1972-03-21 | 1977-08-09 | ||
JPS5148516B2 (ja) | 1973-02-07 | 1976-12-21 | ||
DE2363806B2 (de) | 1973-12-21 | 1979-05-17 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Lichtempfindliches Gemisch |
JPS5311314B2 (ja) | 1974-09-25 | 1978-04-20 | ||
ZA757984B (en) | 1974-10-04 | 1976-12-29 | Dynachem Corp | Polymers for aqueous processed photoresists |
JPS51113924A (en) | 1975-03-28 | 1976-10-07 | Toyota Motor Corp | Tracting and jointing mechanism for vehicles |
DE2718259C2 (de) | 1977-04-25 | 1982-11-25 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Strahlungsempfindliches Gemisch |
JPS5944615A (ja) | 1982-09-07 | 1984-03-13 | Furuno Electric Co Ltd | ジヤイロ装置 |
JPS5953836A (ja) | 1982-09-21 | 1984-03-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性平版印刷版 |
JPS5971048A (ja) | 1982-10-18 | 1984-04-21 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | 光重合系感光性組成物 |
US4808501A (en) | 1985-10-15 | 1989-02-28 | Polaroid Corporation, Patent Dept. | Method for manufacturing an optical filter |
JPS6490403A (en) | 1987-09-30 | 1989-04-06 | Konishiroku Photo Ind | Color mosaic filter |
JPS6491102A (en) | 1987-10-01 | 1989-04-10 | Konishiroku Photo Ind | Color mosaic filter |
JPH0194301A (ja) | 1987-10-06 | 1989-04-13 | Konica Corp | カラーモザイクフィルター |
US5059500A (en) | 1990-10-10 | 1991-10-22 | Polaroid Corporation | Process for forming a color filter |
US5166125A (en) | 1992-02-19 | 1992-11-24 | Eastman Kodak Company | Method of forming color filter array element with patternable overcoat layer |
JPH05333207A (ja) | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Nippon Kayaku Co Ltd | カラーフィルター |
JPH0635183A (ja) | 1992-07-20 | 1994-02-10 | Sumitomo Chem Co Ltd | ポジ型レジスト組成物並びにそれを用いるカラーフィルターの製造方法 |
JP3476208B2 (ja) | 1992-07-31 | 2003-12-10 | 住友化学工業株式会社 | カラーフィルター用色素 |
JPH06194828A (ja) | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Sumitomo Chem Co Ltd | カラーフィルター用レジスト組成物 |
JPH0862841A (ja) | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Nippon Kayaku Co Ltd | 感光性樹脂組成物、これを用いたカラーフィルター及び該カラーフィルターの製造法 |
US5667920A (en) | 1996-03-11 | 1997-09-16 | Polaroid Corporation | Process for preparing a color filter |
JP2000321763A (ja) | 1999-03-10 | 2000-11-24 | Hitachi Chem Co Ltd | 着色樹脂組成物、感光性着色樹脂組成物、着色画像形成用感光液、感光性エレメント、着色画像の製造法及びカラーフィルターの製造法 |
US6929675B1 (en) * | 2003-04-24 | 2005-08-16 | Sandia Corporation | Synthesis metal nanoparticle |
JP2005232306A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光重合性組成物及びそれを用いた記録材料 |
JP2006078602A (ja) | 2004-09-07 | 2006-03-23 | Fuji Photo Film Co Ltd | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 |
JP2006119441A (ja) | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Fujifilm Electronic Materials Co Ltd | 光熱重合性組成物、並びに樹脂被膜及びカラーフィルタ |
CN100437160C (zh) * | 2005-07-22 | 2008-11-26 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 彩色光阻的制造方法 |
JP4652197B2 (ja) | 2005-09-29 | 2011-03-16 | 富士フイルム株式会社 | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 |
TWI403840B (zh) * | 2006-04-26 | 2013-08-01 | Fujifilm Corp | 含染料之負型硬化性組成物、彩色濾光片及其製法 |
JP4837603B2 (ja) * | 2007-03-14 | 2011-12-14 | 富士フイルム株式会社 | ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 |
CN102448386B (zh) | 2010-03-03 | 2015-03-25 | 奥林巴斯医疗株式会社 | 处置器械 |
-
2007
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-
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004002631A (ja) * | 2002-03-28 | 2004-01-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 染料含有硬化性組成物、並びに、これを使用したカラーフィルターおよびその製造方法 |
JP2006243173A (ja) * | 2005-03-01 | 2006-09-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012177911A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-09-13 | Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd | カラーフィルタ用着色組成物、およびカラーフィルタ |
JP2012177912A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-09-13 | Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd | カラーフィルタ用着色組成物、およびカラーフィルタ |
JP2015068962A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び、表示装置 |
KR101872164B1 (ko) * | 2017-09-20 | 2018-06-27 | 동우 화인켐 주식회사 | 아크릴레이트 화합물 및 이를 포함하는 광경화성 조성물 |
KR20190078178A (ko) * | 2017-12-26 | 2019-07-04 | 동우 화인켐 주식회사 | 광경화성 조성물 및 이로부터 형성된 광경화 막 |
JP2019116612A (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-18 | 東友ファインケム株式会社Dongwoo Fine−Chem Co., Ltd. | 光硬化性組成物及びそれから形成された光硬化膜 |
KR102311851B1 (ko) * | 2017-12-26 | 2021-10-12 | 동우 화인켐 주식회사 | 광경화성 조성물 및 이로부터 형성된 광경화 막 |
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