JP2009158749A - 化学機械研磨方法及び化学機械研磨装置 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 97
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims abstract description 77
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 51
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 17
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 8
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/31051—Planarisation of the insulating layers
- H01L21/31053—Planarisation of the insulating layers involving a dielectric removal step
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Abstract
【解決手段】基板に対する面積比Rが互いに異なる凸状パターンを有する複数の基板について、凸状パターンを被覆する層間絶縁膜を形成し、その層間絶縁膜に対して平坦化処理を予め行なう。そして、基板に対する凸状パターンの面積比RをR1、R2、R3、・・・、Rxとし、それらの凸状パターンを被覆して形成された層間絶縁膜を研磨したときに目的の膜厚に到達するまでの研磨時間TをT1、T2、T3、・・・、Txとして面積比Rと時間Tの関係を表す直線近似式R=aT+bを算出する。面積比Rの凸状パターンを被覆して形成された層間絶縁膜に対する研磨時間TをT=(R−b)/aで表す計算式を用いて算出する。
【選択図】図1
Description
このため、凸状パターンを被覆して形成された層間絶縁膜を研磨する際には、予め研磨時間を決定するための先行ウェハを用い、適当な時間で研磨処理を実施した後に層間絶縁膜厚を測定することで所望の研磨時間を決定し、あらためて、母集団のウェハを研磨する必要があった。
そこで、本発明の化学機械研磨方法において、同一層の凸状パターンで厚みが異なる凸状パターンを有している場合、各凸状パターンの厚みをD1、D2、D3、・・・、Dyとし、各凸状パターンの基板に対する面積比rをr1、r2、r3、・・・、ryとし、上記面積比RをR=D1×r1+D2×r2+D3×r3+・・・+Dy×ryで表す計算式を用いて算出するようにしてもよい。ここでyは2以上である。
そこで、本発明の化学機械研磨方法において、同一層の凸状パターンで、パターン幅とパターンスペースに基づいて凸状パターンを領域分けし、各領域の上に形成される層間絶縁膜の膜厚MをM1、M2、M3、・・・、Mzとし、各領域の凸状パターンの基板に対する面積比γをγ1、γ2、γ3、・・・、γzとし、上記面積比RをR=M1×γ1+M2×γ2+M3×γ3+・・・+Mz×γzで表す計算式を用いて算出するようにしてもよい。ここでzは2以上である。
また、本発明の化学機械研磨装置では、上記直線近似式R=aT+bによって得られた定数a,bを記憶する記憶部と、上記記憶部から上記定数a,bを読み込み、面積比Rの凸状パターンを被覆して形成された層間絶縁膜に対する研磨時間TをT=(R−b)/aで表す計算式を用いて算出する演算処理部を備えているようにした。
これにより、本発明の化学機械研磨方法及び化学機械研磨装置によれば、先行ウェハを用いた研磨時間の条件出しを必要とすることなく、狙いの層間絶縁膜厚にするための研磨時間を算出することができる。
図1は、基板に対する面積比Rが互いに異なる凸状パターンを有する複数の基板について、面積比Rと、凸状パターンを被覆して形成された層間絶縁膜を研磨したときに目的の膜厚に到達するまでの研磨時間Tとの関係を表す図である。縦軸は基板に対する凸状パターンの面積比R、横軸は目的の膜厚に到達するまでの研磨時間Tを示す。ここで、面積比Rは、(凸状パターンの面積)/(基板の面積)により求めた。研磨時間Tは、基板に対する面積比Rが互いに異なる凸状パターンを有する複数の基板について実際に研磨処理を実施し、その後の層間絶縁膜厚を測定して狙いの膜厚に到達する研磨時間を求めた。
したがって、図1に示したデータについて直線近似することで、直線近似式R=aT+bを算出しておき、別のレイアウトを有する凸状パターンを被覆している層間絶縁膜に対して研磨処理を実施する場合には、その凸状パターンのチップ全体に対する面積比Rを算出し、これを直線近似式R=aT+bに代入することで、凸状パターンを被覆して形成された層間絶縁膜が狙いの膜厚に到達する研磨時間Tを算出することができる。
化学機械研磨装置11は記憶部13と演算処理部15を備えている。記憶部13は、本願発明の化学機械研磨方法によって得られた面積比Rと時間Tの関係を表す直線近似式R=aT+bの定数a,bを記憶する。演算処理部15は、記憶部3から定数a,bを読み込み、面積比Rの凸状パターンを被覆して形成された層間絶縁膜に対する研磨時間TをT=(R−b)/aで表す計算式を用いて算出する。
これにより、先行ウェハを用いた研磨時間の条件出しを必要とすることなく、狙いの層間絶縁膜厚にするための研磨時間Tを算出することができる。
ここでは凸状パターンのパターン幅のみに基づいて凸状パターンを領域分けしているが、パターン幅とパターンスペースに基づいて凸状パターンを領域分けしてもよい。
3,3a,3b 凸状パターン
5 層間絶縁膜
7,7a,7b,7c,7d 層間絶縁膜表面の凸部
11 化学機械研磨装置
13 記憶部
15 演算処理部
Claims (4)
- 基板上の凸状パターンを被覆して形成された層間絶縁膜に対して平坦化処理を行なうための化学機械研磨方法において、
基板に対する面積比Rが互いに異なる凸状パターンを有する複数の基板について、凸状パターンを被覆する層間絶縁膜を形成し、その層間絶縁膜に対して平坦化処理を予め行ない、
基板に対する凸状パターンの面積比RをR1、R2、R3、・・・、Rxとし、それらの凸状パターンを被覆して形成された層間絶縁膜を研磨したときに目的の膜厚に到達するまでの研磨時間TをT1、T2、T3、・・・、Txとして面積比Rと時間Tの関係を表す直線近似式R=aT+bを算出し、
面積比Rの凸状パターンを被覆して形成された層間絶縁膜に対する研磨時間TをT=(R−b)/aで表す計算式を用いて算出することを特徴とする化学機械研磨方法。 - 同一層の凸状パターンで厚みが異なる凸状パターンを有している場合、各凸状パターンの厚みをD1、D2、D3、・・・、Dyとし、各凸状パターンの基板に対する面積比rをr1、r2、r3、・・・、ryとし、
前記面積比RをR=D1×r1+D2×r2+D3×r3+・・・+Dy×ryで表す計算式を用いて算出する請求項1に記載の化学機械研磨方法。 - 同一層の凸状パターンで、パターン幅とパターンスペースに基づいて凸状パターンを領域分けし、各領域の上に形成される層間絶縁膜の膜厚MをM1、M2、M3、・・・、Mzとし、各領域の凸状パターンの基板に対する面積比γをγ1、γ2、γ3、・・・、γzとし、
前記面積比RをR=M1×γ1+M2×γ2+M3×γ3+・・・+Mz×γzで表す計算式を用いて算出する請求項1に記載の化学機械研磨方法。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の化学機械研磨方法を実現するための化学機械研磨装置であって、
前記直線近似式R=aT+bによって得られた定数a,bを記憶する記憶部と、
前記記憶部から前記定数a,bを読み込み、面積比Rの凸状パターンを被覆して形成された層間絶縁膜に対する研磨時間TをT=(R−b)/aで表す計算式を用いて算出する演算処理部を備えた化学機械研磨装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007335772A JP2009158749A (ja) | 2007-12-27 | 2007-12-27 | 化学機械研磨方法及び化学機械研磨装置 |
EP08254069A EP2079106A3 (en) | 2007-12-27 | 2008-12-19 | Chemical mechanical polishing method and chemical mechanical polishing device |
US12/340,208 US8116894B2 (en) | 2007-12-27 | 2008-12-19 | Chemical mechanical polishing method and chemical mechanical polishing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007335772A JP2009158749A (ja) | 2007-12-27 | 2007-12-27 | 化学機械研磨方法及び化学機械研磨装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009158749A true JP2009158749A (ja) | 2009-07-16 |
Family
ID=40674183
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007335772A Pending JP2009158749A (ja) | 2007-12-27 | 2007-12-27 | 化学機械研磨方法及び化学機械研磨装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8116894B2 (ja) |
EP (1) | EP2079106A3 (ja) |
JP (1) | JP2009158749A (ja) |
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-
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- 2007-12-27 JP JP2007335772A patent/JP2009158749A/ja active Pending
-
2008
- 2008-12-19 EP EP08254069A patent/EP2079106A3/en not_active Withdrawn
- 2008-12-19 US US12/340,208 patent/US8116894B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
US20090170323A1 (en) | 2009-07-02 |
EP2079106A3 (en) | 2012-03-07 |
US8116894B2 (en) | 2012-02-14 |
EP2079106A2 (en) | 2009-07-15 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
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