JP2005159203A - 膜厚計測方法及びその装置、研磨レート算出方法並びにcmp加工方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
CMP加工前、試料表面に凹凸があり、凹凸の大きさが配線パターンの密度、成膜条件によって異なり、研磨レートが変動する試料に対し、ウェハでの条件出しすることなく、高精度に研磨レートを得る。
【解決手段】
本発明は、表面に凹凸があり、かつ、表面が光学的に透明な膜が形成された試料に対して白色光を照射し、該白色光の照射によって前記試料表面からの反射光を検出し、該検出した前記反射光の0次光の検出分光波形を取得する検出分光波形取得ステップと、表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚からなるパラメータを変えて、表面の凹凸を高さの異なる複数の段差部の合成で構成した試料の光学モデルを基にモデル分光波形を算出するモデル分光波形算出ステップと、該モデル分光波形算出ステップで前記パラメータを変えて算出されたモデル分光波形と前記検出分光波形取得ステップで取得された検出分光波形とをフィッティング処理させて最も一致したパラメータに基づいて前記試料の表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚を求めるフィッティング処理ステップとを有することを特徴とする。
【選択図】 図1
CMP加工前、試料表面に凹凸があり、凹凸の大きさが配線パターンの密度、成膜条件によって異なり、研磨レートが変動する試料に対し、ウェハでの条件出しすることなく、高精度に研磨レートを得る。
【解決手段】
本発明は、表面に凹凸があり、かつ、表面が光学的に透明な膜が形成された試料に対して白色光を照射し、該白色光の照射によって前記試料表面からの反射光を検出し、該検出した前記反射光の0次光の検出分光波形を取得する検出分光波形取得ステップと、表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚からなるパラメータを変えて、表面の凹凸を高さの異なる複数の段差部の合成で構成した試料の光学モデルを基にモデル分光波形を算出するモデル分光波形算出ステップと、該モデル分光波形算出ステップで前記パラメータを変えて算出されたモデル分光波形と前記検出分光波形取得ステップで取得された検出分光波形とをフィッティング処理させて最も一致したパラメータに基づいて前記試料の表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚を求めるフィッティング処理ステップとを有することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、光学的に透明な膜の厚さの計測及び膜厚を管理して、半導体デバイスを製造する方法及び装置に関し、特に、半導体デバイスの製造ラインにおける、成膜工程、平坦化処理工程において、ウェハの表面膜厚を計測する方法及びその装置、並びに膜厚を計測することにより成膜工程、平坦化処理工程を制御して、半導体デバイスを製造する方法及び装置に関する。透明膜の例としては、シリコン等の半導体デバイスの他、DVD、TFT、LSIレチクル等の薄膜デバイスの製造工程におけるレジスト膜や絶縁膜等も含まれる。
半導体デバイスは成膜、露光及びエッチング等の各プロセスを経て、素子及び配線パターンがシリコンウェハ上に形成され、製造される。近年、高精度化・高密度化を実現するために、素子及び配線パターンは微細化・多層化の方向に進んでいる。微細なパターンを多層にわたって形成すると、ウェハ表面の凹凸が増大し、微細なパターンを精度良く露光することが難しくなってくる。そのため、配線層を形成した後、成膜工程で保護膜、又は絶縁膜を形成し、平坦化工程において、化学的・機械的作用で研磨するCMP(Chemical Mechanical Polishing)により、ウェハ表面を平坦化する方法が行われている。
層間絶縁膜の場合、成膜後、ウェハ表面は配線パターンに対応して、凹凸を形成し、平坦とはならない。凹凸の状態は、配線パターンの粗密、ウェハ上のチップ位置、成膜条件等によって大きく異なる。一方、表面凹凸のある成膜後のウェハを平坦工程でCMP加工する場合、凹凸部分の研磨レートは一様なパターン部分の研磨レートに比較して大きくなる。又、凹凸部分の研磨レートは配線の粗密、配線の被覆状態、成膜条件によって異なる。
そのため、CMP工程では、新ロット時、ウェハで実際にCMP加工して研磨レートを算出するとともに、以後の研磨レートは毎回更新し、1つ前の試料のCMP加工時に算出した研磨レートを用いて、CMP加工する。しかし、研磨レートは、同一のパターン形状でも、成膜状態によって凹凸の大きさ、面積率が異なり、研磨レートが異なるため、対象とする試料の研磨レートが正確に求まらない限り、CMP加工後の残膜厚が一定にならない。又、凹凸の大きさ、面積率は、ウェハ間、あるいは、チップ内やウェハ面内で異なるため、ウェハ間の膜厚の変動、あるいは、チップ内やウェハ面内で不均一性が生じる。そこで、成膜後、あるいは、CMP加工前、ウェハ表面の凹凸大きさ等、成膜状態を計測し、計測結果を基に、対象ウェハの研磨レートを高精度に算出して、次処理ウェハのCMP加工の条件を最適化し、CMP加工するとともに、成膜工程へ計測結果をフィードバックして成膜条件を最適化するin-line計測技術が必要となる。これまで、表面に凹凸がある膜の膜厚計測技術に必要な段差計測技術として、CMP膜厚計測技術以外で、いくつかの方法が提案されている。
特開2001−221617号公報(特許文献1)には、光ディスク作成用スタンパの表面における溝の段差測定や、半導体デバイスのSTI(Shallow Trench Isolation)技術、及びトレンチキャパシタにおけるトレンチ段差測定において、プローブ光を凹凸のある試料表面に照射し、試料表面からの分光反射率を測定し、測定した分光反射率と参照波形とのフィッティングを行うことにより試料表面の凹凸の段差を算出する方法が開示されている。
CMP工程における研磨レートは一般に試料に加わる圧力に比例する。従って、試料表面に凹凸があるとき、研磨レートは試料のCMPの研磨パッドに対する接触面積に反比例する。そこで、試料表面の凸部の面積率を求め、それを用いて試料表面凹凸時の研磨レートを算出できる。
特許文献1では、試料表面からの分光反射率と参照波形とのフィッティングにより、試料の凹凸の段差を求めているが、凸部の面積率、及び最表面の膜厚は求めていない。又、凹凸の形状は壁面が垂直の場合のみである。
本発明の目的は、成膜後、あるいはCMP加工前、試料の表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚を高精度に計測し、計測した凹凸の大きさ、面積率及び膜厚を用いてCMP加工の研磨レートを高精度に算出してCMP加工条件を最適化する、あるいは、試料表面の凹凸の大きさ、膜厚を成膜工程へフィードバックして成膜条件を最適化する膜厚計測方法及びその装置、研磨レート算出方法、CMP加工方法及びその装置並びに成膜方法及びその装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は、試料の表面に凹凸がある膜の膜厚を計測する際、試料に白色光を照射し、試料から検出される反射光の0次光の検出分光波形に、表面凹凸の光学モデルから算出されるモデル分光波形をフィッティングして、試料の表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚を算出する。光学モデルは試料の凹凸部を高さの異なる複数の段差部を合成して構成する。又、光学モデルの反射率分光波形はパターン間が干渉する条件から算出する。このように、光学モデルとして試料表面の凹凸を段差部の合成として組み込むため、試料表面の膜厚以外に、凹凸の大きさ及び面積率も計測できる。そのため、凹凸の大きさ及び面積率を用いて、CMP加工における研磨レートを算出できるのみならず、前工程の成膜装置による成膜状態をモニタできる。
また、本発明は、表面に凹凸があり、かつ、表面が光学的に透明な膜が形成された試料に対して白色光を照射し、該白色光の照射によって前記試料表面からの反射光を検出し、該検出した前記反射光の0次光の検出分光波形を取得する検出分光波形取得ステップと、表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚からなるパラメータを変えて、表面の凹凸を高さの異なる複数の段差部の合成で構成した試料の光学モデルを基にモデル分光波形を算出するモデル分光波形算出ステップと、該モデル分光波形算出ステップで前記パラメータを変えて算出されたモデル分光波形と前記検出分光波形取得ステップで取得された検出分光波形とをフィッティング処理させて最も一致したパラメータに基づいて前記試料の表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚を求めるフィッティング処理ステップとを有することを特徴とする膜厚計測方法及びその装置である。
また、本発明は、試料表面の凹凸の光学モデルとして、凹凸を垂直な壁面以外に、近似台形形状、近似正弦波形状、近似三角形形状等、斜辺をもつ断面形状でモデル化するため、成膜条件、配線パターンの粗密の違いによって形成される様々な表面凹凸形状に対して、表面凹凸の大きさ、面積率及び膜厚を計測できる。
また、本発明は、試料表面の凹凸形状が不明な試料に対し、試料表面の凹凸の形状を基本的な形状で仮定し、光学モデルによって形成される分光波形を、検出した0次光の分光波形にフィッティングする際、最適にフィッティングする条件から、その光学モデルの形状を決定する。そのため、表面凹凸形状の不明な試料に対しても、凹凸形状及び凹凸の大きさ、膜厚等を求めることができる。
また、本発明は、試料表面に凹凸がある膜の膜厚を計測する際、試料に白色光を照射し、試料からの反射光の0次光を検出して、凹凸の大きさ、面積率、膜厚を算出するが、検出光の一部をエリアイメージセンサで検出して試料の検出画像を得、画像処理により光学的に透明な試料表面下のパターンからパターンピッチを求め、フィッティングにより求めた表面凹凸の面積率を用いて表面凹凸の平面方向の寸法を算出する。得られた寸法を用いてディスプレイ上に試料の断面形状を表示できる。
また、本発明はCMP加工する際、加工前に試料表面に凹凸がある試料に白色光を照射し、試料から検出される反射光の0次光の分光波形に、試料表面の凹凸光学モデルから得られる分光波形をフィッティングして、試料表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚を算出し、更に、試料の検出画像から画像処理によって試料表面下のパターンのピッチを得、得られた凹凸の大きさ、面積率、パターンピッチからCMP加工の研磨レートを高精度に算出する。CMP工程における研磨レートは一般に試料に加わる圧力に比例し、試料表面に凹凸があれば、研磨レートは試料のCMPの研磨パッドに対する接触面積に反比例する。従って、試料表面の凸部の面積率、パターンピッチが求まれば、計算式、あるいはシミュレーション等により試料表面凹凸時の研磨レートを高精度に算出できる。又、試料の凹凸部分のCMP加工が終了すると試料は平坦になるため、研磨レートは平坦部、即ち一様パターンの研磨レートに等しくなる。従って、算出された凹凸の大きさから、研磨レートが平坦部の研磨レートになる時刻を算出できる。同時に、算出された試料最表面の膜厚から、CMP加工による残膜厚を算出できるため、CMP加工の最適加工時間が求まる。
また、本発明は、CMP加工する際、試料の同一パターン上、複数の検出個所において、試料表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚を算出し、その値の変化から、パターンピッチを求めることなく、研磨レートを求めることが可能となる。
本発明によれば、成膜後、あるいはCMP加工前、試料の表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚を高精度に計測できるため、試料の研磨レートを高精度に算出でき、その結果CMP加工条件を最適化することが可能となる。
また、本発明によれば、試料表面の凹凸の大きさ及び膜厚を成膜工程へフィードバックすることにより成膜条件を最適化することが可能となる。
本発明に係る膜厚計測装置及びその方法並びに研磨方法及び半導体デバイスの製造方法の実施の形態について図面を用いて説明する。
図1には、本発明に係る膜厚計測装置で計測するCMP加工前の実際のデバイスパターンである表面の凹凸が台形形状を有する断面構造を示す。1はSi基板、2は絶縁膜、3は配線を示す。このように配線3が絶縁膜2の中に埋め込まれることにより、絶縁膜2の表面には、凸部4、凹部5及びこれらの間に斜面6が形成されることになる。
図2には、半導体デバイスの製造プロセスの一部を示す。即ち、Si基板1上に絶縁膜が形成され、その上に配線3が形成され、その上に成膜装置61によって絶縁膜2を形成すると図1に示す断面形状のウェハが得られることになる。そこで、CMP加工装置63でのCMP加工条件を最適化するために、膜厚計測装置62によりウェハの表面の凹凸の大きさや膜厚を計測することになる。そして、計測された表面の凹凸の大きさや膜厚がCMP加工装置63に提供されてCMP加工条件が制御されることになる。
次に、図2に示す半導体デバイスの製造プロセスにおいて、成膜装置61で配線3上に絶縁膜2を成膜後、CMP加工装置63で、CMP加工する前のウェハ表面の凹凸の大きさや膜厚を、実際のデバイスパターン上で計測する膜厚計測装置62の第1の実施の形態62aについて図3〜図11を用いて説明する。
本発明に係る膜厚計測装置62の第1の実施の形態62aは、図3に示すように、検出光学系20、膜厚計測処理部40で構成される。検出光学系20は、ウェハ22を載置するXYステージ21、対物レンズ23、ハーフミラー24、結像レンズ28、視野絞り29、リレーレンズ30、空間フィルタ31、分光器32、照明光源27、開口絞り26、集光レンズ25から構成される。照明光源27は、キセノンランプ又はハロゲンランプ等の白色照明光源で、白色照明光を開口絞り26、集光レンズ25、ハーフミラー24、対物レンズ23を介してウェハ22上に照射する。ウェハ22上における検出箇所68は、図4に示すように、配線の繰り返しパターン部分66、又はTEGの繰り返しパターン部分67である。ウェハ22からの反射光は、対物レンズ23、ハーフミラー24、結像レンズ28、視野絞り29、リレーレンズ30、空間フィルタ31を介して分光器32に導かれる。空間フィルタ31は、試料からの反射光のうち、繰り返しパターンによる回折光、試料表面の凹凸による散乱光を除去し、0次光のみを分光器32に導く。分光器32で分光された検出分光波形は、電気信号として膜厚計測処理部40に入力され、凹凸の大きさ、膜厚が算出される。膜厚計測処理部40では、分光波形入力部41で検出反射率分光波形を入力し、膜厚凹凸算出処理部42で光学モデルを用いて被計測対象22の表面凹凸の大きさ、面積率、及び膜厚を算出し、膜厚凹凸出力部43でモニタ44に出力する。
次に、膜厚計測処理部40の膜厚凹凸算出処理部42における膜厚凹凸算出処理S42の概要を図5に示す。まず、分光波形検出処理S421では入力された検出分光波形に対し、照明光源27の分光強度特性を除去し、被計測対象22の検出分光波形を得る。光学モデル作成処理S422では、表面に凹凸のある試料の光学モデルを作成する。フィッティング処理S423では、凹凸の大きさや面積率、膜厚等のパラメータを変化させた光学モデルに基づいて算出されたモデル分光波形を、分光波形検出処理S421で検出された検出分光波形に対してフィッティング処理を行い、二乗誤差が最小になる最もフィッティングしたパラメータ条件を求める。膜厚−凹凸算出処理S424では得られたパラメータ条件から、被計測対象22の表面凹凸の大きさ、面積率、及び膜厚を算出する。
今述べた膜厚凹凸算出処理S42のうち、光学モデル作成処理S422の処理について、図1、図6及び図7を用いて、更に詳細に説明する。表面に凹凸がある膜構造の光学モデルとしては、図6に示すようにSi基板1上に絶縁膜2が形成され配線3により試料表面に段差d0がある構造が考えられる。この場合、凹部8の表面反射率をRc、面積率をac、凸部7の表面反射率をRv、面積率をavとし、凹部8と凸部7での反射光が完全に干渉すると、分光の波長をλ(nm)、空気の屈折率をn0として試料からの反射率Rは(1)式で表されることになる。なお、(1)式は、1ピッチ分の反射率Rである。実際には分光器32で分光するウェハ上の視野に亘って反射率Rを積算して求める必要があるが、積算結果は(1)式と等しくなる。従って、図6に示す光学モデル(段差の側面に斜面が無い。)については、(1)式に基づいて波長λ(nm)と反射率Rとの関係からなるモデル分光波形を算出することが可能となる。
ここで、(1)式における凸部7の表面反射率Rv、凹部8の表面反射率Rcは、空気と絶縁膜2の界面、絶縁膜2と配線3の界面、絶縁膜2とSi基板1の界面の反射率を、それぞれr1、r2、r3とし、凸部7、凹部8の絶縁膜2の膜厚をg、dc0とし、絶縁膜2の屈折率をn1とすれば、反射光が多重反射することにより(2)式、(3)式により表される。
但し、空気と絶縁膜2の界面、絶縁膜2と配線3の界面、絶縁膜2とSi基板1の界面の反射率r1、r2、r3は、配線3の上層、Si基板1の屈折率をそれぞれn2、n3とすると(4)式で表される。
しかしながら、CMP加工する被加工対象は、通常図1に示すように形成される。そのため、表面に凹凸がある膜構造の光学モデル(表面凹凸構造モデル)としては、図6に示す光学モデルに、更に凸部4、凹部5以外に斜面形状の凹凸6を考慮する必要がある。そこで、その斜面形状凹凸部6を図7に示すように複数の段差9、10、76、77の合成で表し、配線上の各段差9、10での段差をdk(k=1,2,…,l)、反射率をRvk(k=1,2,…,l)、面積率をavk(k=1,2,…,l)とし、配線3の無い部分の各段差76、77、…での段差をdk(k=l+1,l+2,…,n)、反射率をRck(k=l+1,l+2,…,n)、面積率をack(k=l+1,l+2,…,n)とし、凹凸部からの反射光が完全に干渉すると、分光の波長をλ(nm)、空気の屈折率をn0として試料からの反射率Rは(5)式で表されることになる。なお、(5)式も、1ピッチ分の反射率Rであり、実際には分光器32で分光するウェハ上の視野に亘って反射率Rを積算して求める必要があるが、積算結果は(5)式に等しくなる。従って、図7に示す光学モデル(段差の側面に斜面を有する表面凹凸構造モデル)については、(5)式に基づいて波長λ(nm)と反射率Rとの関係からなるモデル分光波形を算出することが可能となる。
ここで、配線3上の各段差での表面反射率Rvk(k=1,2,…,l)、配線3の無い部分における各段差での表面反射率Rck(k=l+1,l+2,…,n)は、配線3上と配線3の無い部分における絶縁膜の膜厚をdvk(k=1,2,…,l)、dck(k=l+1,l+2,…,n)とし、反射光が多重反射することにより(6)式、(7)式で表される。なお、Si基板1の表面からの配線3の上面の高さhwは既知とする。なお、凹部5の表面反射率はRcn、凹凸の大きさdはdnである。
次に、フィッティング処理S423において、分光波形検出処理S421において試料22上の分光器32の視野から検出された検出分光波形19に対し、図7に示す光学モデルに基づいて(5)式から算出されるモデル分光波形18をフィッティングさせる方法について、図8及び図9を用いて説明する。フィッティングを行う際の(5)式におけるパラメータとして、図9に示すように凸部4の上辺12の面積率(1t/p)、底辺13の面積率(lb/p)、凸部の大きさ(d)、表面膜厚(t)、配線3の面積率(lw/p)を用いる。このうち、配線3の面積率が既知、あるいは別の方法で計測可能なときは、固定値としてパラメータに含めない。そして、図7に示す光学モデル(段差の側面が傾斜した表面凹凸構造モデル)を使用し、これらパラメータを変化させて(5)式に基づいてモデル分光波形18を算出する。そして、このようにパラメータを変化させて算出されたモデル反射率分光波形18と、分光波形検出処理S421において試料22上の分光器32の視野から検出された検出分光波形19との二乗誤差が最小となる最もフィッティングした上記パラメータ値を求める。
次に、膜厚−凹凸算出処理S424では、フィッティング処理S423よって得られたパラメータ値から、試料表面の凹凸の大きさ(d)、面積率(1b/p,1t/p)、膜厚(t)を算出し、膜厚凹凸出力部43に出力することが可能となる。膜厚凹凸出力部43は、得られた試料表面の凹凸の大きさ、面積率、膜厚等のデータをディスプレイ44に表示する。操作者は、該データを基に、CMP加工装置63におけるCMP研磨レートを見積もることができるとともに、前工程の成膜工程(成膜装置61)における絶縁膜2の成膜状態を把握することができる。
また、CMP加工時、毎回、同一箇所の表面凹凸の大きさ、面積率を本発明に係る膜厚計測装置62で計測すれば、パターン間の配置、ピッチ等、他の条件は毎回同一と考えられるから、凹凸の大きさ、面積率の変動から、CMP加工装置63における研磨レートを予測することができる。
また、膜厚凹凸出力部43は、得られた試料表面のデータを、CMP加工装置63にネットワークや記録媒体等で提供することによって、CMP加工装置63は、提供された試料表面の凹凸のデータを基に、CMP研磨レートを高精度に算出してCMP研磨条件、特に研磨時間を最適に制御することが可能となる。
以上の実施形態では、試料22の表面の凹凸形状を近似台形として、凹凸の大きさ、膜厚等を計測したが、次に、成膜後の試料22の表面が図10に示すように近似正弦波状になる場合について説明する。この場合、光学モデル作成処理S422及びフィッティング処理S423の処理の一部を変えることにより対処できる。光学モデル作成処理ステップS422では、表面の凹凸形状が近似正弦波状となるとき、図11に示すように、近似正弦波状の凹凸部51を複数の段差52、53、54の合成で表し、凹凸部51の各段差52、53、54での段差をdk(k=1,2,3,…)とし、凹凸部からの反射光が完全に干渉すると、近似台形の場合と同様にして、反射率Rを算出することが可能となる。
フィッティング処理ステップS423では、フィッティングを行う際のパラメータを図10に示すように、凸部の大きさ(d)、表面膜厚(t)、配線3の面積率(1w/p)とし、これらのパラメータを変化して上記光学モデルによるモデル反射率分光波形を算出し、分光波形検出処理ステップS421で検出される検出分光波形との二乗誤差が最小となるパラメータ値を求める。
以上説明した実施形態では、試料表面の凹凸の形状を近似台形、近似正弦波としたが、それ以外に近似三角形も対象とすることが可能である。
なお、本実施形態において、試料22の表面の凹凸の形状が、予め分からない場合、試料22の表面形状を近似台形、近似正弦波、近似三角形等の基本的な形状であると仮定して、フィッティング処理を行い、最もフィッティングの良い条件から、試料表面の凹凸の形状を決定できる。同時に、表面凹凸の大きさ、表面膜厚も算出できる。
次に、本発明に係る膜厚計測装置62の第2の実施の形態62bについて図12、図13及び図14を用いて説明する。第2の実施の形態62bは、半導体デバイスの製造ラインにおいて、CMP加工装置63でCMP加工前、ウェハ表面の凹凸の大きさ、膜厚を実際のデバイスパターン上で計測し、その断面構造を断面形状出力部83から出力表示する場合を示す。第2の実施の形態は、検出光学系70、及び膜厚計測処理部80で構成される。第2の実施の形態62bにおいて、第1の実施の形態62aとの相違点は、図12に示すように、ウェハ上の膜厚計測箇所の画像を検出し、パターンのピッチ(p)を算出する画像検出系71〜74及び81を追加したものである。検出光学系70は、第1の実施の形態の検出光学系20に対して、ハーフミラー71、ミラー72、結像レンズ73、ビデオカメラ74を付加したものである。第1の実施の形態と同様に照明光源27は白色照明光を、対物レンズ23を介してウェハ22に照射し、ウェハ22からの反射光を、空間フィルタ31のピンホールを介して反射光の0次光を分光器32に導く。分光器32で分光された分光波形は電気信号として膜厚計測処理部80に入力され、断面寸法算出処理部82において凹凸の大きさ、膜厚等が算出される。
一方、第2の実施の形態で追加した画像検出系では、ウェハ22からの反射光をハーフミラー71で分割し、ミラー72、結像レンズ73を介してビデオカメラ74で膜厚計測箇所の反射光検出画像を得る。ビデオカメラ74で検出された反射光検出画像75は、膜厚計測処理部80の画像入力部81に入力され、断面寸法算出処理部82において配線のパターンピッチpが算出される。
膜厚計測処理部80では、分光波形入力部41で分光波形を入力するとともに、画像入力部81で検出箇所の画像信号を入力し、断面寸法算出処理部82で試料表面の凹凸大きさ、膜厚以外に、表面凹凸の水平方向の寸法を算出し、断面形状出力部83で膜厚計測箇所の断面形状をディスプレイ84に出力する。
次に、膜厚計測処理部80の断面寸法算出処理部82における処理の概要を図13を用いて説明する。図13における膜厚凹凸算出処理ステップS901は第1の実施の形態の図5で示した膜厚凹凸算出処理ステップS42(S421〜S424)を示したもので、断面寸法算出処理部82が、分光波形入力部41で入力された検出反射率分光波形に対し、表面凹凸の大きさ、面積率、及び膜厚をパラメータとしたモデル反射率分光波形についてフィッティングを行い(S422〜S423)、最もフィッティングしたパラメータである表面凹凸の大きさ(d)、面積率(1t/p,1b/p)、及び膜厚(t)を算出するものである。このとき得られる、表面凹凸の面積率は、図14に示されるように試料22の表面形状が台形の場合、上辺(1t)、底辺(1b)、及びパターンピッチ(p)に対してその比(1t/p,1b/p)である。そのため、台形の上辺lt、及び底辺lbを得るためには、パターンピッチpを求める必要がある。そのため、画像入力部81は、画像入力処理ステップS902においてビデオカメラ74で検出された反射光検出画像を入力することによって2次元検出画像データを得る。そして、断面寸法算出処理部82は、ピッチ検出処理ステップS903において図14に示すように、試料表面の絶縁膜2が透明であることから、画像入力部81で入力された試料表面2次元画像データから画像処理によって配線パターン3のエッジ部分を検出し、得られたエッジ部分から図14に示すパターンピッチpを算出する。断面寸法算出処理部82は、寸法算出処理ステップS904において、上記フィティング処理によって得られた凹凸の面積率(1t/p,1b/p)に対してパターンピッチ(p)を乗算することによって、凹凸の平面方向の寸法である凹凸の台形の上辺1t、底辺1bを算出することが可能となる。そして、断面形状出力部83からは膜厚計測箇所の断面形状がディスプレイ84に出力される(S905)。
以上説明したように第2の実施の形態によれば、試料22の表面形状において、表面凹凸の大きさ(d)及び膜厚(t)以外に凹凸の平面方向の寸法(1t,1b)が求まるため、CMP研磨レートをより、高精度に見積もることができる。又、前工程の成膜工程の成膜状態をより正確に把握することができる。
次に、本発明に係る膜厚計測装置62をCMP加工装置63に組み込んだ第3の実施の形態について、図15、図16及び図17を用いて説明する。第3の実施の形態の膜厚計測装置62は、半導体デバイスの製造ラインにおけるCMP工程において、CMP加工前、ウェハ表面の膜厚、凹凸の大きさをデバイスパターン上でin-line計測する方式である。図15に示すように、第3の実施の形態では、成膜装置61で成膜されたウェハは、CMP加工前、CMP加工装置111に組み込まれた膜厚計測装置62で、凹凸の大きさ(d)、凹凸の面積率(1t/p,1b/p)、パターンピッチ(p)、膜厚(t)等を計測し、得られた凹凸の大きさ、面積率、パターンピッチ、膜厚等からCMP加工部63での研磨レートを算出し、CMP制御部114に研磨時間を設定することにより、CMP加工の最適化を図るものである。
第3の実施の形態62cについて図16を用いて説明する。第3の実施の形態62cは、第2の実施の形態62bに対し、膜厚計測箇所の断面形状を出力するディスプレイ84の代わりに、断面寸法のウェハ上の分布を出力するディスプレイ124と、試料22の表面凹凸の大きさ、面積率、パターンピッチ、膜厚から算出される研磨時間を、CMPに設定するCMP制御部114を追加したものである。第3の実施の形態62cは、検出光学系70、膜厚計測処理部120で構成される。なお、図16において、図12に示した第2の実施の形態と同一の構成要素あるいは処理部には、同一の符号を付してある。膜厚計測処理部120は、分光波形入力部41と、画像入力部81と、研磨レート算出処理部121と、形状分布出力部123と、研磨レート出力部122とから構成される。研磨レート算出処理部121は、算出される試料22の表面凹凸の大きさ、面積率、パターンピッチ、膜厚等を基に、研磨レートを算出し、研磨時間を求める。形状分布出力部123は、ウェハ上の形状寸法分布をデイスプレイ124上に出力する。また、研磨レート出力部122は、算出された研磨時間をCMP制御部114に対して設定する。
次に、研磨レート算出処理部121における処理の概要を図17を用いて説明する。研磨レート算出処理ステップS13は、断面寸法算出処理ステップS90(S901〜S905)と、研磨レート算出処理ステップS131、形状分布出力処理ステップS132,研磨レート設定処理ステップS133とによって構成される。研磨レート算出処理ステップS131は、ステップS90で算出された凹凸の大きさ、平面方向の寸法等から、シミュレーション等で予め、凹凸の寸法ごとに算出してある研磨レート対応表133から試料表面に凹凸があるときの研磨レートを求める。形状分布出力処理ステップS132では、試料表面の凹凸の大きさ、平面寸法、膜厚等の、ウェハ上での分布をディスプレイ124に出力する。研磨レート設定処理ステップS133は、得られた研磨レート、あるいは研磨レートから得られる研磨時間をCMP制御部114に設定処理する。
研磨レート算出処理ステップS131の処理について、図18及び図19を用いて詳細に説明する。層間絶縁膜の場合、成膜後、ウェハ表面は配線パターンに対応して、凹凸を形成する。凹凸の状態は、図18に示すように、配線パターンの粗密によって、異なる。配線が粗のパターン142と密のパターン141を比較すると、粗のパターン142によって形成される絶縁膜2の凸部の面積率は、密のパターン141によって形成される凸部の面積率より小さく、粗のパターン142による凹凸の大きさ144は、密のパターン141による凹凸の大きさ143より大きい。そのため、CMP加工前の膜厚145が同一でも、粗のパターン142での研磨レートが大きくなり、同一研磨時間後の膜厚は粗のパターン142の方が密のパターン141より段差146だけ小さくなって、絶縁膜2は平坦化されない。このように粗のパターン142上の研磨レートが密のパターン141上の研磨レートより大きくなるのは、研磨レートは一般に試料に加わる圧力に比例し、試料表面に凹凸があるとき、試料に加わる圧力は試料のCMPの研磨パッドに対する接触面積に反比例するためである。又、凹凸の大きさが大きい場合、凹凸部分が消滅して一様パターンウェハの研磨レートに移行する時間が長くなる。そこで、試料表面に凹凸がある場合、算出された試料表面の凹凸の面積率、パターンピッチを用いて、予めシミュレーション等によって得られた研磨レート対応表133により、図19に示すように、試料表面凹凸部分の研磨レート(Rs=δh/δt)151を算出する。例えば、図22に示す研磨レート対応表181により、ピッチ(p)、面積率(1t/p,1b/p)、凹凸の大きさ(d)より、Rを求め、これに研磨パッドの種類、及び試料ホルダの圧力等による補正係数をかけて研磨レート(Rs)を算出する。
また、図19に示すように、得られた研磨レート(Rs)151と凹凸の大きさ(d)144から、研磨レートが凹凸部から平坦部、即ち一様パターンの研磨レート153に等しくなる時刻(tc)155を算出できる。
また、凹凸部の研磨レート151と平坦部の研磨レート153とから凹凸部の研磨量152と平坦部の研磨量154とが求まり、試料表面の膜厚(t)145を用いて、CMP加工による残膜厚が算出できるため、CMP加工の最適時間を算出することができる。
次に、本実施の形態において、ウェハ上異なる位置を計測した例を図20を用いて説明する。図20は、ウェハ22上、異なる位置におけるチップa161、チップb162に対し、計測した場合を示す。即ち、計測箇所は、中心にあるチップa161と、周辺にあるチップb162の同一パターン上で、パターンピッチは同一であるが、成膜条件の違いにより、凹凸の面積率(1t/p,1b/p)、及び膜厚(t)が異なり、膜厚差163が生じる場合である。この場合、表面凹凸の寸法(1t/p,1b/p)、大きさ(d)から研磨レート(Rs=δh/δt)を算出し、残膜厚を算出すると残膜厚差164は初期の膜厚差163より大きくなることが分かる。そこで、CMP加工時、中心部付近を周辺より大きく加圧する等の調整を行うことにより、ウェハ22上のCMP加工の均一性を保つことができる。
次に、形状分布出力処理ステップS132における計測結果をディスプレイ124に表示する場合の表示例を図21に示す。表示171はウェハ22上、予め作業者が計測箇所を指定したチップを示し、各チップで同一箇所が計測される。表示172は、表示171で示したチップ上で計測した結果を基に、表面凹凸における凸部上辺寸法の分布を、ウェハ全面に亘って3次元的に示したものである。表示173は、表面凹凸における凸部の上辺、底辺寸法を、原点を通るX軸上で2次元的に示している。これ以外に、表面凹凸の大きさ、表面膜厚、及び算出した研磨レートに基づく残膜厚予測値等のウェハ上における分布も出力可能である。
従って、例えば、残膜厚予測値のウェハ上の分布を検討することによって、中心付近より周辺が、研磨量が多い等の情報を得ることができ、CMPの加工条件を調整することが可能となる。従って、より高精度にCMP加工条件の設定を行うことが可能である。
以上説明した本実施の形態によれば、成膜後、あるいはCMP加工前、試料表面に凹凸があり、凹凸の形状、大きさが配線パターンの密度、配線の被覆状態、成膜条件によって異なり、CMP加工の研磨レートが変動する試料に対して、その光学モデルとして、凹凸を複数の段差部を合成し、光学モデルの分光波形を検出分光波形にフィッティングすることにより、試料表面の凹凸の大きさ、水平寸法、表面膜厚を高精度に算出し、得られた凹凸の大きさ、水平寸法、表面膜厚から、表面に凹凸がある試料の研磨レートを高精度に算出できるため、CMP加工時、ウェハでの条件出しや、ひとつ前の試料の研磨レートを用いることなく、CMP加工条件を最適化することが可能となる。又、試料表面の凹凸の大きさ、膜厚を成膜工程へフィードバックすることにより成膜条件を最適化することが可能となる。
1…Si基板、2…絶縁膜、3…配線、4…凸部、5…凹部、6…凹凸、9〜11…段差、12…上辺、18…モデル分光波形、19…検出分光波形、20…検出光学系、21…XYステージ、22…被計測対象(試料、ウェハ)、23…対物レンズ、24…ハーフミラー、25…集光レンズ、26…開口絞り、27…照明光源、28…結像レンズ、29…視野絞り、30…リレーレンズ、31…空間フィルタ、32…分光器、40…膜厚計測処理部、41…分光波形入力部、42…膜厚凹凸算出処理部、43…膜厚凹凸出力部、44…モニタ、51…凹凸部、52〜54…段差、61…成膜装置、62、62a、62b…膜厚計測装置、63…CMP加工装置、70…検出光学系、71…ハーフミラー、72…ミラー、73…結像レンズ、74…ビデオカメラ、76、77…段差、80…膜厚計測処理部、81…画像入力部、82…断面寸法算出処理部、83…断面形状出力部、84…ディスプレイ、111…CMP加工装置、114…CMP制御部、120…膜厚計測処理部、121…研磨レート算出処理部、122…研磨レート出力部、123…形状分布出力部、124…ディスプレイ。
Claims (14)
- 表面に凹凸があり、かつ、表面が光学的に透明な膜が形成された試料に対して白色光を照射し、該白色光の照射によって前記試料表面からの反射光を検出し、該検出した前記反射光の0次光の検出分光波形を取得する検出分光波形取得ステップと、
表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚からなるパラメータを変えて、表面の凹凸を高さの異なる複数の段差部の合成で構成した試料の光学モデルを基にモデル分光波形を算出するモデル分光波形算出ステップと、
該モデル分光波形算出ステップで前記パラメータを変えて算出されたモデル分光波形と前記検出分光波形取得ステップで取得された検出分光波形とをフィッティング処理させて最も一致したパラメータに基づいて前記試料の表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚を求めるフィッティング処理ステップとを有することを特徴とする膜厚計測方法。 - 前記モデル分光波形算出ステップにおいて、前記試料の光学モデルとして、表面の凹凸を近似台形形状、近似正弦波形状又は近似三角形形状とすることを特徴とする請求項1記載の膜厚計測方法。
- 前記モデル分光波形算出ステップにおいて、前記試料の光学モデルとしての表面の凹凸形状を、前記検出分光波形取得ステップで取得された検出分光波形とフィッティング処理することによって決定することを特徴とする請求項1又は2記載の膜厚計測方法。
- 更に、前記試料から得られる検出画像を元に前記試料の表面の凹凸パターンのピッチを算出するピッチ算出ステップを有し、
前記フィッティング処理ステップにおいて、前記求められた表面の凹凸の面積率と前記ピッチ算出ステップで算出された表面の凹凸パターンのピッチとを用いて表面の凹凸の平面方向の寸法を求めることを特徴とする請求項1又は2記載の膜厚計測方法。 - 請求項4記載の膜厚計測方法によって求められた少なくとも試料の表面の凹凸の大きさ、面積率、膜厚及び平面方向の寸法に関する情報に基づいて試料の研磨レートを算出することを特徴とする研磨レート算出方法。
- 請求項1乃至3の何れか一つに記載の膜厚計測方法によって前記試料上の同一パターン形状の複数箇所で求められた少なくとも試料の表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚の変動に関する情報に基づいて試料の研磨レートを算出することを特徴とする研磨レート算出方法。
- 請求項4記載の膜厚計測方法によって求められた少なくとも試料の表面の凹凸の大きさ、面積率、膜厚及び平面方向の寸法に関する情報に基づいて試料の研磨レートを算出する研磨レート算出ステップを有し、
該研磨レート算出ステップにおいて算出された研磨レートに基づいて前記試料の表面をCMP加工することを特徴とするCMP加工方法。 - 請求項1乃至3の何れか一つに記載の膜厚計測方法によって求められた少なくとも試料の表面の凹凸の大きさ及び膜厚に関する情報に基づいて成膜条件を制御して試料の表面に成膜することを特徴とする成膜方法。
- 表面に凹凸があり、かつ、表面が光学的に透明な膜が形成された試料に対して白色光を照射し、該白色光の照射によって前記試料表面からの反射光を検出し、該検出した前記反射光の0次光の検出分光波形を取得する検出分光波形取得手段と、
表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚からなるパラメータを変えて、表面の凹凸を高さの異なる複数の段差部の合成で構成した試料の光学モデルを基にモデル分光波形を算出するモデル分光波形算出手段と、
該モデル分光波形算出手段で前記パラメータを変えて算出されたモデル分光波形と前記検出分光波形取得手段で取得された検出分光波形とをフィッティング処理させて最も一致したパラメータに基づいて前記試料の表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚を求めるフィッティング処理手段とを備えたことを特徴とする膜厚計測装置。 - 前記モデル分光波形算出手段は、前記試料の光学モデルとしての表面の凹凸形状を、前記検出分光波形取得手段で取得された検出分光波形とフィッティング処理することによって決定することを特徴とする請求項9記載の膜厚計測装置。
- 更に、前記試料から得られる検出画像を元に前記試料の表面の凹凸パターンのピッチを算出するピッチ算出手段を備え、
前記フィッティング処理手段は、前記求められた表面の凹凸の面積率と前記ピッチ算出手段で算出された表面の凹凸パターンのピッチとを用いて表面の凹凸の平面方向の寸法を求めるように構成したことを特徴とする請求項9記載の膜厚計測装置。 - 請求項11記載の膜厚計測装置によって求められた少なくとも試料の表面の凹凸の大きさ、面積率、膜厚及び平面方向の寸法に関する情報に基づいて前記試料の研磨レートを算出する研磨レート算出手段を備えたことを特徴とするCMP加工装置。
- 請求項9記載の膜厚計測装置によって前記試料上の同一パターン形状の複数箇所で求められた少なくとも試料の表面の凹凸の大きさ、面積率及び膜厚の変動に関する情報に基づいて前記試料の研磨レートを算出する研磨レート算出手段を備えたことを特徴とするCMP加工装置。
- 試料表面に光学的に透明な膜を形成する成膜手段と、
請求項9又は10記載の膜厚計測装置によって求められた少なくとも試料の表面の凹凸の大きさ及び膜厚に関する情報に基づいて前記成膜手段の成膜条件を設定する成膜条件設定手段とを備えたことを特徴とする成膜装置。
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