JP2009110999A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各蓄積容量Ctd,Ctsには、対応する垂直信号線の信号に応じた信号が蓄積され、当該蓄積された信号が所定の水平信号線へ供給される。蓄積容量Ctd,Ctsは行方向に交互に順次並設される。各蓄積容量Ctd,Ctsは、信号電極をなす電極層21と、固定電位電極をなす上側電極層23及び下側電極層28を有する。各蓄積容量Ctd,Ctsの信号電極は互いに電気的に独立する。各蓄積容量Ctd,Ctsの固定電位電極は互いに電気的に接続され、グランド等に接続される。電極層23,28間を接続するコンタクトホール26a,26bは、互いに隣接する蓄積容量Ctd,Ctsの電極層21同士の間に、それらの対向領域の52%以上に及ぶように、設けられる。
【選択図】図3
Description
4 蓄積容量群
18 垂直信号線
21 電極層(ポリシリコン層)
23 上側電極層(1層目アルミ配線層)
27 電極層(2層目アルミ配線層)
28 下側電極層(N型拡散層)
26a,26b,26c,26d コンタクトホール
Ctd,Cts 蓄積容量
Claims (8)
- 2次元に配置され入射光を光電変換する複数の画素と、
前記複数の画素の各列に対応して設けられ対応する列の前記画素の出力信号が供給される垂直信号線と、
前記各垂直信号線に対応して所定数ずつ設けられた複数の蓄積容量であって、対応する前記垂直信号線の信号に応じた信号が蓄積されるとともに当該蓄積された信号が所定の水平信号線へ供給される複数の蓄積容量と、
を備え、
前記複数の蓄積容量は所定方向に順次並設され、
前記各蓄積容量は、両者の間に容量を形成する第1及び第2の電極部を有し、
前記複数の蓄積容量の前記第1の電極部は、互いに電気的に接続され、
前記複数の蓄積容量の前記第2の電極部は、互いに電気的に独立し、
前記複数の蓄積容量のうち互いに隣接する2つの蓄積容量の前記第2の電極部同士の間に、それらの対向領域の52%以上に及ぶように、前記第1の電極部と電気的に接続された1つ以上の導電体が設けられたことを特徴とする固体撮像素子。 - 前記1つ以上の導電体は、複数群の導電体を含み、
前記複数群の導電体は、各群毎に、前記所定方向と交差する方向に順次間隔をあけて一列に配置され、
前記各群の導電体がなす列は、前記所定方向に順次隣り合い、
前記複数群のうちの少なくとも1つの群の導電体の各導電体の前記交差する方向の位置は、前記複数群のうちの他の少なくとも1つの群の導電体の各導電体の前記交差する方向の位置に対してずれたことを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。 - 前記1つ以上の導電体は、前記所定方向と交差する方向に連続的に延びた導電体を含むことを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像素子。
- 前記1つ以上の導電体は、前記所定方向と交差する方向に順次間隔をあけて一列に配置された一群の導電体と、前記交差する方向に連続的に延びた導電体とを含み、
前記一群の導電体の列と前記連続的に延びた導電体とが、前記所定方向に隣り合うことを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。 - 2次元に配置され入射光を光電変換する複数の画素と、
前記複数の画素の各列に対応して設けられ対応する列の前記画素の出力信号が供給される垂直信号線と、
前記各垂直信号線に対応して所定数ずつ設けられた複数の蓄積容量であって、対応する前記垂直信号線の信号に応じた信号が蓄積されるとともに当該蓄積された信号が所定の水平信号線へ供給される複数の蓄積容量と、
を備え、
前記複数の蓄積容量は所定方向に順次並設され、
前記各蓄積容量は、両者の間に容量を形成する第1及び第2の電極部を有し、
前記複数の蓄積容量の前記第1の電極部は、互いに電気的に接続され、
前記複数の蓄積容量の前記第2の電極部は、互いに電気的に独立し、
前記複数の蓄積容量のうち互いに隣接する2つの蓄積容量の前記第2の電極部同士の間に、前記第1の電極部と電気的に接続された1つ以上の導電体が設けられ、
前記1つ以上の導電体は、複数群の導電体を含み、
前記複数群の導電体は、各群毎に、前記所定方向と交差する方向に順次間隔をあけて一列に配置され、
前記各群の導電体がなす列は、前記所定方向に順次隣り合い、
前記複数群のうちの少なくとも1つの群の導電体の各導電体の前記交差する方向の位置は、前記複数群のうちの他の少なくとも1つの群の導電体の各導電体の前記交差する方向の位置に対してずれたことを特徴とする固体撮像素子。 - 2次元に配置され入射光を光電変換する複数の画素と、
前記複数の画素の各列に対応して設けられ対応する列の前記画素の出力信号が供給される垂直信号線と、
前記各垂直信号線に対応して所定数ずつ設けられた複数の蓄積容量であって、対応する前記垂直信号線の信号に応じた信号が蓄積されるとともに当該蓄積された信号が所定の水平信号線へ供給される複数の蓄積容量と、
を備え、
前記複数の蓄積容量は所定方向に順次並設され、
前記各蓄積容量は、両者の間に容量を形成する第1及び第2の電極部を有し、
前記複数の蓄積容量の前記第1の電極部は、互いに電気的に接続され、
前記複数の蓄積容量の前記第2の電極部は、互いに電気的に独立し、
前記複数の蓄積容量のうち互いに隣接する2つの蓄積容量の前記第2の電極部同士の間に、前記第1の電極部と電気的に接続された1つ以上の導電体が設けられ、
前記1つ以上の導電体は、前記所定方向と交差する方向に順次間隔をあけて一列に配置された一群の導電体と、前記交差する方向に連続的に延びた導電体とを含み、
前記一群の導電体の列と前記連続的に延びた導電体とが、前記所定方向に隣り合うことを特徴とする固体撮像素子。 - 前記複数の蓄積容量は、前記画素で光電変換された光情報を含む光信号を蓄積する光信号蓄積容量と、前記光信号から差し引くべきノイズ成分を含む差分用信号蓄積容量とを含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記第1の電極部は電極層を有し、
前記第2の電極部は、前記第1の電極部の前記電極層に対して上側及び下側の階層にそれぞれ配置された上側電極層及び下側電極層を有し、
前記1つ以上の導電体は、前記上側電極層と前記下側電極層とを接続するためのコンタクトホールに形成されたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の固体撮像素子。
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