JP2009099666A - 薄膜トランジスタアレイ、表示装置及び情報表示システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁基板上に並設された複数のゲート電極と、ゲート絶縁膜を介して前記複数のゲート電極の上層又は下層に並設され、前記複数のゲート電極と平面視で交差する、複数のソース電極と、前記複数のソース電極と同一層の、平面視で前記複数のゲート電極及び前記複数のソース電極で囲われた領域に設けられた、複数のドレイン電極と、前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向して配置され、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間にチャネル領域を形成する半導体層と、を有する薄膜トランジスタアレイであって、前記複数のゲート電極は、直線形状に形成され、前記チャネル領域は、前記直線形状に形成された前記複数のゲート電極に対向して配置されることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
1.薄膜層を有する基板上にフォトレジスト層を塗布する(レジスト塗布)
2.加熱により溶剤を除去する(プリベーク)
3.パターンデータに従ってレーザー或いは電子線を用いて描画されたハードマスクを通して紫外光を照射する(露光)
4.アルカリ溶液で露光部のレジストを除去する(現像)
5.未露光部(パターン部)のレジストを加熱により硬化する(ポストベーク)
6.エッチング液に浸漬又はエッチングガスに暴露し、レジストのない部分の薄膜層を除去する(エッチング)
7.アルカリ溶液又は酸素ラジカルでレジストを除去する(レジスト剥離)
からなる。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る薄膜トランジスタアレイ100を例示する図である。図1(a)は平面図であり、図1(b)は図1(a)のA−A線に沿う断面図である。図1に示す薄膜トランジスタアレイ(TFTアレイ)100は、絶縁基板110と、ゲート電極120と、ゲート絶縁膜140と、ソース電極150と、ドレイン電極160と、半導体層170と、チャネル領域170aと、を有する。又、150aは、ソース電極150の分岐部を示している。又、ソース電極150の長手方向をX方向、ゲート電極120の長手方向をY方向とする。図1に示す薄膜トランジスタアレイ100は、例えば、液晶表示装置等に使用することができる。
図4は、本発明の第2の実施の形態に係る薄膜トランジスタアレイ200を例示する図である。図4(a)は平面図であり、図4(b)は図4(a)のC−C線に沿う断面図である。同図中、図1乃至図3と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。
図6は、本発明の第3の実施の形態に係る薄膜トランジスタアレイ300を例示する図である。図6(a)は平面図であり、図6(b)は図6(a)のE−E線に沿う断面図である。同図中、図1乃至図5と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。
図8は、本発明の第4の実施の形態に係る薄膜トランジスタアレイ400を例示する図である。図8(a)は平面図であり、図8(b)は図8(a)のF−F線に沿う断面図である。同図中、図1乃至図7と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。
図9は、本発明の第5の実施の形態に係る薄膜トランジスタアレイ500を例示する図である。図9(a)は平面図であり、図9(b)は図9(a)のG−G線に沿う断面図である。同図中、図1乃至図8と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。
本発明に係る薄膜トランジスタアレイは、例えば、画像表示素子の表示状態を制御するスイッチング素子(制御素子)として用いることで、表示装置を実現することができる。又、画像表示素子としては、例えば、ポリマー分散型液晶等の液晶、電気泳動、有機EL等の方式を用いることができる。第6の実施の形態では、本発明に係る薄膜トランジスタアレイを利用した表示装置の一例として、電気泳動型の画像表示素子を用いた表示装置について説明する。
12、120、520 ゲート電極
12a ゲート電極12の分岐部
12b ゲート電極12の角部
14、140 ゲート絶縁膜
15、150、450 ソース電極
16、160、460、560 ドレイン電極
17、170 半導体層
17a、170a チャネル領域
18 下部電極
18a 下部電極18の角部
19 絶縁膜
20 上部電極
10、100、200、300、400、500 薄膜トランジスタアレイ
150a ソース電極150の分岐部
150b ソース電極150の角部
230、330、530 コモン電極
230a コモン電極230の切り込み部
330a コモン電極330の角部
420a ゲート電極420の分岐部
450a ソース電極450の分岐部
470 第2の半導体層
520a ゲート電極520の分岐部
530a コモン電極530の角部
560a パターン未形成領域
570a 第2のチャネル領域
600 液晶表示装置
610 液晶層
611 画素領域
620 対向電極
700 表示装置
710 マイクロカプセル
711 酸化チタン粒子
712 オイルブルーで着色したアイソパー
720 対向基板
730 透明電極
740 PVAバインダー
d 下部電極18と上部電極20との間の絶縁膜19の膜厚の最小値
t ゲート電極120の線幅
Claims (17)
- 絶縁基板上に並設された複数のゲート電極と、ゲート絶縁膜を介して前記複数のゲート電極の上層又は下層に並設され、前記複数のゲート電極と平面視で交差する、複数のソース電極と、前記複数のソース電極と同一層の、平面視で前記複数のゲート電極及び前記複数のソース電極で囲われた領域に設けられた、複数のドレイン電極と、前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向して配置され、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間にチャネル領域を形成する半導体層と、を有する薄膜トランジスタアレイであって、
前記複数のゲート電極は、直線形状に形成され、前記チャネル領域は、前記直線形状に形成された前記複数のゲート電極に対向して配置されることを特徴とする薄膜トランジスタアレイ。 - 更に、前記ゲート電極と同一の層の、前記ゲート絶縁膜を介して前記ドレイン電極と対向する位置に形成されるコモン電極を有することを特徴とする請求項1記載の薄膜トランジスタアレイ。
- 前記コモン電極は平面視で角部を有し、前記ソース電極及び前記ドレイン電極よりも下層に形成されており、前記角部は、平面視で前記ソース電極及び前記ドレイン電極と重複しないように配置されていることを特徴とする請求項2記載の薄膜トランジスタアレイ。
- 前記コモン電極が印刷法で形成されていることを特徴とする請求項2又は3記載の薄膜トランジスタアレイ。
- 前記ソース電極及び前記ドレイン電極には、凹部と凸部とが交互に連続してなるくし歯状のパターンが形成され、それぞれの前記くし歯状のパターンが互いに間挿し合うことを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項記載の薄膜トランジスタアレイ。
- 隣接する前記半導体層が、電気的に分離されていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項記載の薄膜トランジスタアレイ。
- 前記ゲート電極、前記ソース電極及び前記ドレイン電極のうち少なくとも一つが印刷法で形成されていることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項記載の薄膜トランジスタアレイ。
- 絶縁基板上に並設された複数のゲート電極と、ゲート絶縁膜を介して前記複数のゲート電極の上層又は下層に並設され、前記複数のゲート電極と平面視で交差する、複数のソース電極と、前記複数のソース電極と同一層の、平面視で前記複数のゲート電極及び前記複数のソース電極で囲われた領域に設けられた、複数のドレイン電極と、前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向して配置され、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間にチャネル領域を形成する半導体層と、を有する薄膜トランジスタアレイであって、
前記複数のゲート電極は、前記複数のソース電極と略平行な方向に分岐する分岐部を有し、前記チャネル領域は、前記ゲート電極の前記分岐部を除く部分に対向して配置される第1のチャネル領域と、前記分岐部に対向して配置される第2のチャネル領域とを有することを特徴とする薄膜トランジスタアレイ。 - 前記ドレイン電極の、平面視で前記第1のチャネル領域に接する辺と、平面視で前記第2のチャネル領域に接する辺との交点部分に、前記第1のチャネル領域のチャネル幅及び前記第2のチャネル領域のチャネル幅よりも広いパターン未形成領域を設けることを特徴とする請求項8記載の薄膜トランジスタアレイ。
- 更に、前記ゲート電極と同一の層の、前記ゲート絶縁膜を介して前記ドレイン電極と対向する位置に形成されるコモン電極を有することを特徴とする請求項8又は9記載の薄膜トランジスタアレイ。
- 前記コモン電極は平面視で角部を有し、前記ソース電極及び前記ドレイン電極よりも下層に形成されており、前記角部は、平面視で前記ソース電極及び前記ドレイン電極と重複しないように配置されていることを特徴とする請求項10記載の薄膜トランジスタアレイ。
- 前記コモン電極が印刷法で形成されていることを特徴とする請求項10又は11記載の薄膜トランジスタアレイ。
- 前記ソース電極及び前記ドレイン電極には、凹部と凸部とが交互に連続してなるくし歯状のパターンが形成され、それぞれの前記くし歯状のパターンが互いに間挿し合うことを特徴とする請求項8乃至12の何れか一項記載の薄膜トランジスタアレイ。
- 隣接する前記半導体層が、電気的に分離されていることを特徴とする請求項8乃至13の何れか一項記載の薄膜トランジスタアレイ。
- 前記ゲート電極、前記ソース電極及び前記ドレイン電極のうち少なくとも一つが印刷法で形成されていることを特徴とする請求項8乃至14の何れか一項記載の薄膜トランジスタアレイ。
- 請求項1乃至15の何れか一項記載の薄膜トランジスタアレイ、対向基板及び表示素子を有することを特徴とする表示装置。
- 請求項16記載の表示装置を表示媒体とする情報表示システム。
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