JP2009088450A - 光電変換装置、可視光用光電変換装置及びそれらを用いた撮像システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の光電変換素子と、光電変換素子の上部に各光電変換素子に対応して導光部が配される。そして、隣接する導光部の間隔は可視光の波長範囲の最短波長の半分以下であり、導光部の高さは可視光の波長範囲の最長波長の2倍以上である。
【選択図】 図1
Description
図1は、第1の実施形態の光電変換装置の断面図である。複数の光電変換素子の上部に各光電変換素子に対応して導光部が配されており、導光部同士の間隔と導光部の高さとが所定の値となっている。
本実施形態の光電変換装置は、第1の実施形態の構成に加え、レンズアレイとカラーフィルタを有する。本実施形態の光電変換装置の断面図を図5に示し、上面図を図6に示す。図1と同様の構成には同じ符号を付し、説明を省略する。
本実施形態は、導光部の上部に光学部材であるローパスフィルタを配したことが特徴である。本実施形態の光電変換装置の断面図を図8に示す。第1の実施形態と同様の構成には同じ符号を付与し、説明を省略する。
図9は、本発明の第1乃至第3の実施形態にて説明した光電変換装置を撮像システムの一例であるデジタルカメラへ適用した場合のブロック図である。
102 光電変換素子
103 受光面
104 絶縁膜
105 配線層
106 導光部
107 境界部
108 導光部の上面
Claims (11)
- 複数の光電変換素子を有する光電変換装置において、
前記光電変換素子の上部に各前記光電変換素子に対応して導光部が配され、
隣接する前記導光部の間隔は可視光の波長範囲における最短波長の半分以下であり、
前記導光部の高さは可視光の波長範囲における最長波長の2倍以上であることを特徴とする光電変換装置。 - 前記隣接する導光部と導光部との間の物質は、前記導光部を形成する物質に比べて低い屈折率を有することを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記光電変換素子の上部に絶縁膜が配され、前記絶縁膜と前記導光部との間にレンズが配されたことを特徴とする請求項1あるいは2に記載の光電変換装置。
- 前記レンズは窒化シリコンからなり、前記導光部は酸化シリコンからなることを特徴とする請求項3に記載の光電変換装置。
- 前記導光部の上面は平坦であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記導光部の上部に、ローパスフィルタもしくはレンズが配されたことを特徴とする請求項5に記載の光電変換装置。
- 前記導光部の上部に、カラーフィルタが配されたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記導光部がカラーフィルタを含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記カラーフィルタは原色のカラーフィルタであり、
前記可視光の波長範囲における最短波長は青のカラーフィルタの分光透過率に応じた波長であり、前記可視光の波長範囲における最長波長は赤のカラーフィルタの分光透過率に応じた波長であることを特徴とする請求項7あるいは8に記載の光電変換装置。 - 複数の光電変換素子と、
前記光電変換素子の上部に、各前記光電変換素子に対応して導光部が配され、
隣接する前記導光部の間隔は0.2μm以下であり、
前記導光部の高さは1.5μm以上であることを特徴とする可視光用光電変換装置。 - 請求項1乃至10のいずれか1項に記載の前記導光部を有する光電変換装置と、
前記光電変換装置から出力された撮像信号を処理する信号処理回路とを有することを特徴とする撮像システム。
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