JP2014175411A - 固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板200の上方に複数の光電変換部210における各光電変換部に対応した複数のカラーフィルタ層220,310を形成し、当該複数のカラーフィルタ層の上方にハードマスク410を形成する。このハードマスク410は、エッチングマスク610をマスクとしたエッチングにより、各カラーフィルタ層の境界部分の上方領域を開口810するものである。続いて、少なくともハードマスク410をマスクとしたエッチングを行って、各カラーフィルタ層の境界部分に開口を形成し、その後、当該開口を封止する封止層を形成して各カラーフィルタ層の境界部分にエアーギャップを形成する。
【選択図】図8
Description
まず、本発明の第1の実施形態について説明する。
次いで、緑色画素形成領域の光電変換部210の上方に、フォトリソグラフィー法を用いて緑色フィルタ層220を形成する。
次いで、赤色画素形成領域(図1に示す画素行112a及び画素行112cの赤色画素の形成領域)の光電変換部210の上方に、フォトリソグラフィー法を用いて赤色フィルタ層(図2〜図12では不図示)を形成する。ここでは、複数のカラーフィルタ層における各カラーフィルタ層がそれぞれ隣接するように形成され、また、各カラーフィルタ層は例えばアクリル系樹脂などの有機材料で形成されている。
まず、第1段階目の加熱処理では、図5に示すレジストパターン510の軟化点以上の温度を加えることにより、レジストパターン510を熱流動させ、開口520の幅W1よりも小さい幅W2の開口620を形成する(W2<W1)。この熱流動の加熱処理により、図5に示すフォトリソグラフィー法による解像線幅(W1)よりもさらに小さい線幅(W2)を形成することができるため、次工程以降で形成するエアーギャップの幅を小さくすることができる。1画素の寸法に対してエアーギャップの幅が大きい場合、光電変換部210に入射する光が減少し、固体撮像装置100の感度特性を悪化させる要因となるため、エアーギャップの幅を小さくすることは重要である。
次いで、第2段階目の加熱処理では、第1段階目の加熱処理の温度よりも高い温度を加えることにより、レジストの架橋反応を進行させて安定化させる。
本実施形態の場合、上述した不具合を解消するため、図7に示す、エッチングマスク610の端部の傾斜面における接線とハードマスク410の上面(表面)における接線との成す角度(θ1)が、76°以上となるようにエッチングマスク610を形成する。
このマイクロレンズ1210の形成は、まず、例えば図11に示すように、封止層1010の上面上に有機材料からなる有機層1110を形成し、有機層1110の上面上に有機材料からなるレンズ形状部1120を形成する。その後、レンズ形状部1120とともに有機層1110をエッチングすることによって、レンズ形状部1120の凸面にならった凸面を有する図12のマイクロレンズ1210が形成される。
かかる固体撮像装置の製造方法によれば、例えば特許文献1に記載されているような、カラーフィルタ層を形成するために形成したハードマスクを除去する工程、更には、カラーフィルタ層の上面を除去するための全面エッチバックや化学機械研磨(CMP)の工程が不要である。これにより、カラーフィルタ層をパターニングする際の工程数の増加を抑制することができるため、製造コストの低減や生産性を確保することができる。
さらに、かかる固体撮像装置の製造方法によれば、カラーフィルタ層の境界部分以外の部分における上方をハードマスクで覆った状態でエッチングをしてカラーフィルタ層の境界部分にエアーギャップを形成しているため、カラーフィルタ層の損傷を防止しつつ、各カラーフィルタ層の間に好適にエアーギャップを形成することができる。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
次いで、緑色画素形成領域の光電変換部210の上方に、フォトリソグラフィー法を用いて緑色フィルタ層220を形成する。
次いで、青色画素形成領域の光電変換部210の上方に、フォトリソグラフィー法を用いて青色フィルタ層310を形成する。
次いで、赤色画素形成領域(図1に示す画素行112a及び画素行112cの赤色画素の形成領域)の光電変換部210の上方に、フォトリソグラフィー法を用いて赤色フィルタ層(図13〜図20では不図示)を形成する。ここでは、各カラーフィルタ層がそれぞれ隣接するように形成され、また、各カラーフィルタ層は例えばアクリル系樹脂などの有機材料で形成され、また、各カラーフィルタ層の厚み(即ち各カラーフィルタ層の上面高さ)は異なっている。
このように、本実施形態では、半導体基板200の上方に、複数の光電変換部210における各光電変換部に対応した複数のカラーフィルタ層が形成される。
次いで、緑色フィルタ層220、青色フィルタ層310及び赤色フィルタ層(図13〜図20では不図示)を含む各カラーフィルタ層の上面上に、平坦化層1310を形成する。この平坦化層1310は、各カラーフィルタ層の厚み(即ち各カラーフィルタ層の上面高さ)が異なり、各カラーフィルタ層間に段差がある場合に有効である。即ち、各カラーフィルタ層間の段差が平坦化されていない場合、次工程で形成されるハードマスクが平坦に形成されずに、その後工程で形成されるエッチングマスク等が正常に形成されない恐れがあるため、平坦化層1310を設けることは有効である。この平坦化層1310は、透過率が高い材料が望ましく、例えば、アクリル系樹脂、ノボラック系樹脂、スチレン系樹脂などの有機材料からなる。
まず、第1段階目の加熱処理では、図15に示すレジストパターン510の軟化点以上の温度を加えることにより、レジストパターン510を熱流動させ、開口520の幅W1よりも小さい幅W2の開口620を形成する(W2<W1)。この熱流動の加熱処理により、図15に示すフォトリソグラフィー法による解像線幅(W1)よりもさらに小さい線幅(W2)を形成することができるため、次工程以降で形成するエアーギャップの幅を小さくすることができる。1画素の寸法に対してエアーギャップの幅が大きい場合、光電変換部210に入射する光が減少し、固体撮像装置100の感度特性を悪化させる要因となるため、エアーギャップの幅を小さくすることは重要である。
次いで、第2段階目の加熱処理では、第1段階目の加熱処理の温度よりも高い温度を加えることにより、レジストの架橋反応を進行させて安定化させる。
このマイクロレンズ1210の形成は、まず、例えば図11に示すように、封止層1010の上面上に有機材料からなる有機層1110を形成し、有機層1110の上面上に有機材料からなるレンズ形状部1120を形成する。その後、レンズ形状部1120とともに有機層1110をエッチングすることによって、レンズ形状部1120の凸面にならった凸面を有する図20のマイクロレンズ1210が形成される。
Claims (6)
- 半導体基板の上面に複数の光電変換部が設けられた固体撮像装置の製造方法であって、
前記半導体基板の上方に、前記複数の光電変換部における各光電変換部に対応した複数のカラーフィルタ層を形成する工程と、
前記複数のカラーフィルタ層の上方に、ハードマスクを形成する工程と、
前記ハードマスクの上方に、前記複数のカラーフィルタ層における各カラーフィルタ層の境界部分の上方領域を開口する第1の開口部を有するレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンに対して加熱処理を行って、前記第1の開口部よりも幅が小さい第2の開口部を有するエッチングマスクを形成する工程と、
前記エッチングマスクをマスクとした第1のエッチングを行って、前記ハードマスクにおける前記各カラーフィルタ層の境界部分の上方領域を開口する工程と、
少なくとも前記ハードマスクをマスクとした第2のエッチングを行って、前記各カラーフィルタ層の境界部分に開口を形成する工程と、
前記各カラーフィルタ層の境界部分に形成された開口を封止する封止層を形成して、前記各カラーフィルタ層の境界部分にエアーギャップを形成する工程と
を有することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2のエッチングによって、前記各カラーフィルタ層の境界部分に開口が形成されるとともに、前記エッチングマスクが除去されることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記ハードマスクと前記封止層は、同一材料、或いは、同一の屈折率を持つ材料であることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記ハードマスクと前記封止層は、シリコン酸化物、シリコン窒化物、或いは、シリコン酸窒化物の材料からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記複数のカラーフィルタ層と前記ハードマスクとの間に、平坦化層を形成する工程を更に有し、
前記第2のエッチングによって、前記平坦化層における前記各カラーフィルタ層の境界部分の上方領域が開口されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記エッチングマスクは、前記ハードマスクの上面上に形成されており、
前記エッチングマスクの端部の傾斜面における接線と前記ハードマスクの上面における接線との成す角度が、76°以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。
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