JP2014175411A5 - - Google Patents
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- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 13
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N Silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- XCCANNJCMHMXBZ-UHFFFAOYSA-N hydroxyiminosilicon Chemical compound ON=[Si] XCCANNJCMHMXBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
Description
本発明の固体撮像装置の製造方法は、半導体基板の上面に複数の光電変換部が設けられた固体撮像装置の製造方法であって、前記半導体基板の上方に、前記複数の光電変換部における各光電変換部に対応し、それぞれが互いに接している複数のカラーフィルタ層を形成する工程と、前記複数のカラーフィルタ層の上に、ハードマスク層を形成する工程と、前記ハードマスク層の上に、第１の開口部を有するレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンに対して加熱処理を行って、前記第１の開口部よりも幅が小さい第２の開口部を有するエッチングマスクを形成する工程と、前記エッチングマスクをマスクとした第１のエッチングを行って、前記ハードマスク層における前記各カラーフィルタ層の境界部分の上方領域に開口を形成して、ハードマスクを形成する工程と、前記ハードマスクをマスクとした第２のエッチングを行って、前記複数のカラーフィルタ層の間に開口を形成する工程とを有する。
Claims (7)
- 半導体基板の上面に複数の光電変換部が設けられた固体撮像装置の製造方法であって、
前記半導体基板の上方に、前記複数の光電変換部における各光電変換部に対応し、それぞれが互いに接している複数のカラーフィルタ層を形成する工程と、
前記複数のカラーフィルタ層の上に、ハードマスク層を形成する工程と、
前記ハードマスク層の上に、第１の開口部を有するレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンに対して加熱処理を行って、前記第１の開口部よりも幅が小さい第２の開口部を有するエッチングマスクを形成する工程と、
前記エッチングマスクをマスクとした第１のエッチングを行って、前記ハードマスク層における前記各カラーフィルタ層の境界部分の上方領域に開口を形成して、ハードマスクを形成する工程と、
前記ハードマスクをマスクとした第２のエッチングを行って、前記複数のカラーフィルタ層の間に開口を形成する工程と
を有することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記複数のカラーフィルタ層の間に開口を形成する工程の後に、前記複数のカラーフィルタ層の間の開口を封止する封止層を形成して、エアーギャップを形成する工程を更に有することを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記第２のエッチングによって、前記複数のカラーフィルタ層の間に開口が形成されるとともに、前記エッチングマスクが除去されることを特徴とする請求項１または２に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記ハードマスクと前記封止層は、同一材料、或いは、同一の屈折率を持つ材料であることを特徴とする請求項２に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記ハードマスクと前記封止層は、シリコン酸化物、シリコン窒化物、或いは、シリコン酸窒化物の材料からなることを特徴とする請求項２または４に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記複数のカラーフィルタ層と前記ハードマスクとの間に、平坦化層を形成する工程を更に有し、
前記第２のエッチングによって、更に、前記平坦化層における前記複数のカラーフィルタ層の間の上方領域に開口が形成されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記エッチングマスクは、前記ハードマスクの上面上に形成されており、
前記エッチングマスクの端部の傾斜面における接線と前記ハードマスクの上面における接線との成す角度が、７６°以上であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の固体撮像装置の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013045677A JP2014175411A (ja) | 2013-03-07 | 2013-03-07 | 固体撮像装置の製造方法 |
| US14/154,883 US9252183B2 (en) | 2013-01-16 | 2014-01-14 | Solid state image pickup apparatus and method for manufacturing the same |
| CN201410020040.2A CN103928480B (zh) | 2013-01-16 | 2014-01-16 | 固态图像拾取设备及其制造方法 |
| US14/983,062 US9806124B2 (en) | 2013-01-16 | 2015-12-29 | Solid state image pickup apparatus and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013045677A JP2014175411A (ja) | 2013-03-07 | 2013-03-07 | 固体撮像装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014175411A JP2014175411A (ja) | 2014-09-22 |
| JP2014175411A5 true JP2014175411A5 (ja) | 2016-02-25 |
Family
ID=51696370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013045677A Pending JP2014175411A (ja) | 2013-01-16 | 2013-03-07 | 固体撮像装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2014175411A (ja) |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09213603A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-15 | Nec Corp | レジストパターン形成方法 |
| JP3077648B2 (ja) * | 1997-11-06 | 2000-08-14 | 日本電気株式会社 | 化学増幅系レジストのパターン形成方法 |
| JP4221788B2 (ja) * | 1997-11-17 | 2009-02-12 | 住友化学株式会社 | 耐熱性に優れたレジストパターンの形成方法及びそれに用いられるポジ型レジスト組成物 |
| JP4057807B2 (ja) * | 2001-12-03 | 2008-03-05 | 東京応化工業株式会社 | 微細レジストパターン形成方法 |
| JP5364989B2 (ja) * | 2007-10-02 | 2013-12-11 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
| JP5164509B2 (ja) * | 2007-10-03 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、可視光用光電変換装置及びそれらを用いた撮像システム |
| JP2009290089A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Panasonic Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
| JP5430387B2 (ja) * | 2009-12-22 | 2014-02-26 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び固体撮像装置の製造方法 |
-
2013
- 2013-03-07 JP JP2013045677A patent/JP2014175411A/ja active Pending
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