JP2014207273A - 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 簡易的な構造でクロストークを抑制することが可能な固体撮像素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 固体撮像素子1は、入射する光を光電変換して電荷を生成する複数の光電変換部11が形成された基板10と、それぞれの光電変換部11の上方に設けられ所定の色の光を選択的に透過させて下方の光電変換部11に入射させる複数のカラーフィルタ25R,25Gと、基板10とカラーフィルタ25R,25Gとの間に設けられた層であり層内の位置に応じて透過する光の位相を異ならせることでカラーフィルタ25R,25Gの周縁部の下方で光を干渉させて弱める位相シフト層24と、備える。
【選択図】 図3
【解決手段】 固体撮像素子1は、入射する光を光電変換して電荷を生成する複数の光電変換部11が形成された基板10と、それぞれの光電変換部11の上方に設けられ所定の色の光を選択的に透過させて下方の光電変換部11に入射させる複数のカラーフィルタ25R,25Gと、基板10とカラーフィルタ25R,25Gとの間に設けられた層であり層内の位置に応じて透過する光の位相を異ならせることでカラーフィルタ25R,25Gの周縁部の下方で光を干渉させて弱める位相シフト層24と、備える。
【選択図】 図3
Description
本発明は、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサやCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサなどに代表される固体撮像素子と、当該固体撮像素子の製造方法と、に関する。
デジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラに限らず、携帯電話やパソコンなどの様々な電子機器に、固体撮像素子が搭載されている。固体撮像素子は、複数の光電変換部(例えば、フォトダイオード)を備え、入射する光を光電変換することによって電荷を生成し、当該電荷に基づいて画像データを生成する。
近年、固体撮像素子の小型化や高画素化に伴い、固体撮像素子の画素ピッチが小さくなってきている。画素ピッチが小さくなると、隣接画素間における光の漏れ出し(以下、クロストークという)が生じ、色再現性が低下するため、問題となる。
この問題について、図面を参照して具体的に説明する。図11は、従来の固体撮像素子内における光の進行態様と、当該固体撮像素子に入射した光の強度分布と、について示した図である。なお、図11はCCDイメージセンサについて例示したものであり、図11(a)が従来の固体撮像素子の構造と光の進行態様とを併せて示した断面図、図11(b)が図11(a)の固体撮像素子に入射した光の基板付近における強度分布について示したグラフである。また、図12は、図11の固体撮像素子が備える基板上構造の分光特性について示したグラフである。
図11(a)に示すように、固体撮像素子100は、基板110と、ゲート絶縁膜120と、ゲート電極121と、遮光膜122と、第1層間絶縁膜123と、第2層間絶縁膜124と、カラーフィルタ125R,125Gと、コート膜126と、マイクロレンズ127と、を備える。また、基板110には、光電変換部111、転送部112及びチャネルストップ部113の各領域が形成されている。
光電変換部111と、その上方に設けられるカラーフィルタ125R,125G及びマイクロレンズ127とから成る画素は、カラーフィルタ125R,125Gを透過する色に着目すると、ベイヤ配列となるように配置されている。ベイヤ配列とは、赤を透過するカラーフィルタ125Rを備えた画素(以下、「赤画素」という)と、緑を透過するカラーフィルタ125Gを備えた画素(以下、「緑画素」という)と、青を透過するカラーフィルタ(不図示)を備えた画素(以下、「青画素」という)と、をマトリクス状に並べたものである。具体的に、ベイヤ配列とは、[列方向の座標,行方向の座標]として位置を表現する場合、赤画素の位置が[2X,2Y]、青画素の位置が[2X+1,2Y+1]、緑画素の位置が[2X+1,2Y]及び[2X,2Y+1]となる配列である(X及びYは整数)。
図11(b)に示すように、画素ピッチが小さくなると、隣接する画素の境界付近における光の強度が十分に大きくなる。そのため、クロストークが生じ易くなる。なお、図11(a)及び(b)では、赤画素について例示しているが、緑画素及び青画素でも同様である。
このようなクロストークが生じ得る固体撮像素子100では、基板110上の構造(マイクロレンズ127、カラーフィルタ125R,125Gなど)による分光性能が低いものとなる。そのため、図12に示すように、赤及び緑の間の波長の光や、緑及び青の間の波長の光が光電変換部111で検出され易くなるため、色再現性が低下する。
そこで、例えば特許文献1では、カラーフィルタと光電変換部との間に光導波路を備えることでクロストークを防止する固体撮像素子が提案されている。
また、例えば特許文献2では、固体撮像素子とレンズモジュールとの間に位相シフトマスクを配置することで、固体撮像素子に入射する光のスポットパターンを変形させて、デフォーカス時におけるクロストークを抑制する撮像装置が提案されている。
しかしながら、特許文献1で提案されている固体撮像素子が備える光導波路とは、一般的に、光電変換部の上方に設けられる高屈折率のコアと、当該コアの周囲に設けられる低屈折率のクラッドと、を備えた複雑な構造となる。このような光導波路を製造するためには、基板上に低屈折率膜を全面的に形成した後に、当該低屈折率膜の光電変換部上となる部分を深く掘り込んで凹部を設けた上で、高屈折率膜を厚く成膜して当該凹部を埋め尽くすといった大掛かりな工程が必要になる。そして、このような深い凹部を成膜によって埋めようとすると、成膜不良が発生する(例えば、凹部内にボイドが発生する)可能性が高くなる。また、高屈折率膜を成す材料として広く用いられている窒化シリコンは膜応力が大きいため、凹部を埋めるために高屈折率膜を厚く成膜すると、ウエハの反りや膜剥がれが生じる可能性が高くなる。このように、複雑な構造である光導波路を固体撮像素子に設けると、製造工程が煩雑化して歩留まりが低下するため、問題となる。
また、特許文献2で提案されている撮像装置は、レンズモジュールが通常のフォーカス状態であればクロストークが発生しない(即ち、固体撮像素子の構造に起因するクロストークが発生しない)ことを前提としたものであり、レンズモジュールがデフォーカスという特殊な状態である場合に発生するクロストークを防止するものである。したがって、この撮像装置が備える位相シフトマスクは、固体撮像素子の前段に配置されるレンズモジュールの状態に起因して発生するクロストークについては防止することができるが、図11に示したような固体撮像素子の構造に起因するクロストークについては防止することができない。
そして、特許文献2で提案されている撮像装置が備える固体撮像素子も、特許文献1で提案されている固体撮像素子と同様に、光導波路を備えることで固体撮像素子に起因するクロストークを防止している。そのため、特許文献1で提案されている固体撮像素子と同様に、特許文献2で提案されている撮像装置が備える固体撮像素子も、製造工程が煩雑化して歩留まりが低下するため、問題となる。
そこで、本発明は、簡易的な構造でクロストークを抑制することが可能な固体撮像素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は、入射する光を光電変換して電荷を生成する複数の光電変換部が形成された基板と、それぞれの前記光電変換部の上方に設けられ、所定の色の光を選択的に透過させて下方の前記光電変換部に入射させる複数のカラーフィルタと、前記基板と前記カラーフィルタとの間に設けられた層であり、層内の位置に応じて透過する光の位相を異ならせることで、前記カラーフィルタの周縁部の下方で光を干渉させて弱める位相シフト層と、を備えることを特徴とする固体撮像素子を提供する。
さらに、上記特徴の固体撮像素子において、前記位相シフト層が、前記カラーフィルタの中央部を透過した光と、前記カラーフィルタの前記周縁部を透過した光と、の位相を異ならせるものであると、好ましい。
さらに、上記特徴の固体撮像素子において、前記位相シフト層が、透明膜と、前記透明膜中の、前記カラーフィルタの前記周縁部の下方となる位置に形成されて、前記透明膜よりも透過率が低い半透明膜と、を備えると、好ましい。
さらに、上記特徴の固体撮像素子において、前記透明膜の透過率が90%以上であり、前記半透明膜の透過率が5%以上20%以下であると、好ましい。
さらに、上記特徴の固体撮像素子において、前記半透明膜が、隣接する前記カラーフィルタの、隣接する前記周縁部の下方にまたがって形成されると、好ましい。
さらに、上記特徴の固体撮像素子において、前記位相シフト層は、前記カラーフィルタの前記中央部を透過した光と、前記カラーフィルタの前記周縁部を透過した光と、の位相を180°異ならせるものであると、好ましい。
また、本発明は、入射する光を光電変換して電荷を生成する複数の光電変換部が形成された基板の上方に、透明膜を形成する透明膜形成ステップと、前記透明膜の上面の所定の位置に複数の凹部を設ける凹部形成ステップと、前記透明膜よりも透過率が低い半透明膜を、前記凹部を埋め尽くすように形成する半透明膜形成ステップと、前記透明膜が露出するまで前記半透明膜を除去する半透明膜除去ステップと、前記透明膜及び前記半透明膜の上方でありそれぞれの前記光電変換部の上方となる位置に、所定の色の光を選択的に透過させて下方の前記光電変換部に入射させる複数のカラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成ステップと、を備え、前記凹部形成ステップは、前記カラーフィルタの周縁部の下方となる位置に前記凹部を形成するものであることを特徴とする固体撮像素子の製造方法を提供する。
上記特徴の固体撮像素子によれば、位相シフト層を備えることで、画素の中央部における光の強度を維持しながら、画素の境界付近における光の強度を低減することができる。したがって、簡易的な構造でクロストークを抑制することが可能になる。
以下、本発明の実施形態に係る固体撮像素子として、CCDイメージセンサを例示して説明する。
<固体撮像素子>
最初に、本発明の実施形態に係る固体撮像素子について、図面を参照して説明する。図1は、本発明の実施形態に係る固体撮像素子の構造例について示す断面図である。
最初に、本発明の実施形態に係る固体撮像素子について、図面を参照して説明する。図1は、本発明の実施形態に係る固体撮像素子の構造例について示す断面図である。
図1に示すように、本発明の実施形態に係る固体撮像素子1は、基板10と、ゲート絶縁膜20と、ゲート電極21と、遮光膜22と、層間絶縁膜23と、位相シフト層24と、カラーフィルタ25R,25Gと、コート膜26と、マイクロレンズ27と、を備える。
基板10は、例えばシリコンから成り、光電変換部11、転送部12及びチャネルストップ部13の各領域が、所定の順番で一方向(図中左右方向)に並ぶように、複数形成されている。具体的には、光電変換部11が転送部12とチャネルストップ部13との間に位置するように、それぞれの領域が複数形成されている。
例えば、基板10がp型の半導体から成る(またはp型のウェルを有する)場合、光電変換部11及び転送部12はn型の領域から成り、チャネルストップ部13は基板10(またはウェル)よりもp型不純物の濃度が高いp型の領域から成る。また例えば、基板10がn型の半導体から成る(またはn型のウェルを有する)場合、光電変換部11及び転送部12はp型の領域から成り、チャネルストップ部13は基板10(またはウェル)よりもn型不純物の濃度が高いn型の領域から成る。
ゲート絶縁膜20は、例えば酸化シリコンから成り、転送部12の上方となる基板10の上面に形成される。ゲート電極21は、例えばポリシリコンから成り、ゲート絶縁膜20上に形成される。遮光膜22は、例えばアルミニウムやアルミニウム合金、チタンやタングステンなどの高融点金属から成り、ゲート電極21の上面及び側面と、ゲート絶縁膜20の側面と、光電変換部11の上方を除いた基板10の上面に形成される。層間絶縁膜23は、例えばBPSG(ホウ素リンシリケートガラス)や窒化シリコンから成り、基板10上を埋め尽くすように、遮光膜22の上面及び側面、光電変換部11の上方となる基板10の上面に形成される。
位相シフト層24(詳細は後述)は、層間絶縁膜23の上面に形成される。カラーフィルタ25R,25Gは、例えば顔料を含んだ感光性の樹脂から成り、位相シフト層24の上面に形成される。コート膜26は、例えばアクリル樹脂から成り、カラーフィルタ25R,25Gの上面に形成される。マイクロレンズ27は、例えば感光性の樹脂から成り、コート膜26の上面に形成される。
カラーフィルタ25R,25Gは、それぞれ異なる色(波長)の光を選択的に透過する。具体的に、カラーフィルタ25Rは赤の光を透過し、カラーフィルタ25Gは緑の光を透過する。また、図1では図示していないが、固体撮像素子1は、青の光を透過するカラーフィルタ25Bも備える(図2参照)。そして、光電変換部11と、その上方に設けられるカラーフィルタ25R,25G,25B及びマイクロレンズ27と、から成る画素(赤画素、緑画素及び青画素)は、ベイヤ配列となるように配置されている(なお、ベイヤ配列については、上述した背景技術及び図2参照)。
図1に示す固体撮像素子1では、入射する光がマイクロレンズ27で集光され、コート膜26を透過するとともにカラーフィルタ25R,25Gを透過する。このとき、カラーフィルタ25R,25Gは、所定の色(波長)の光を選択的に透過する。カラーフィルタ25R,25Gを透過した光は、位相シフト層24(詳細は後述)、層間絶縁膜23をそれぞれ透過して、基板10内に入射する。すると、光電変換部11(及び周囲の基板10内の領域)によって、基板10内に入射した光が光電変換され、所定の種類の電荷が光電変換部11に蓄積される。なお、光電変換部11がn型であれば光電変換部11に電子が蓄積され、光電変換部11がp型であれば光電変換部11に正孔が蓄積される。
そして、所定のタイミングで、ゲート電極21に所定の電圧が印加されると、光電変換部11に蓄積された電荷が転送部12に読み出され、さらに当該電荷の転送(紙面垂直方向への転送)が順次行われる。そして、最終段まで転送された電荷による電位を増幅等することによって、光電変換部11に入射した光の強度に応じた画素データを有するカラーの画像データが生成される。
次に、図1及び図2を参照して、位相シフト層24について説明する。図2は、図1の固体撮像素子におけるカラーフィルタ及び位相シフト層の位置関係について示す上面図である。なお、図2に示す上面図は、マイクロレンズ27側から固体撮像素子1を見た図であるが、図示の便宜上、マイクロレンズ27及びコート膜26については図示を省略し、カラーフィルタ25R,25G,25Bを図示している。また、位相シフト層24の一部であり、カラーフィルタ25R,25G,25Bの下方に位置する半透明膜242を、破線で囲ったドットの領域として図示している。
図1に示すように、位相シフト層24は、透明膜241と、透明膜241中のカラーフィルタ25R,25Gの周縁部の下方となる位置に形成されて透明膜241よりも透過率が低い半透明膜242と、を備える。例えば、透明膜241は、入射する光(例えば、350nm以上の光、以下同じ)に対して90%以上の透過率を有するものであり、半透明膜242は、入射する光に対して5%以上かつ20%以下の透過率を有するものである。
具体的に、透明膜241は、例えば酸化シリコンや窒化シリコンなどの透明な材料から成る。また、半透明膜242は、例えば上記の透過率となるように顔料を含有したアクリル樹脂から成る。
また、図1に示すように、半透明膜242は、隣接するカラーフィルタ25R,25Gの、隣接する周縁部の下方にまたがって形成される。なお、画素は、図1の左右方向だけでなく、紙面垂直方向(電荷の転送方向)にも並んでいる。そのため、半透明膜242は、それぞれの方向に隣接するカラーフィルタの、隣接する周縁部の下方にまたがって形成される。
ここで、半透明膜242が形成される位置について、具体的に図2を参照して説明する。図2に示すように、赤画素R、緑画素G及び青画素Bは、ベイヤ配列となるように配置される。そのため、図2に示すように、カラーフィルタ25R,25G,25Bは、垂直な二方向(図中の上下方向及び左右方向)に対して隣接する。このとき、隣接するカラーフィルタ25R,25G,25Bの、隣接する周縁部の下方にまたがるように半透明膜242を形成すると、半透明膜242は、マトリクス状に配置されたカラーフィルタ25R,25G,25Bの境界に沿った格子状となる。
次に、位相シフト層24を設けたことによる効果について、図面を参照して説明する。図3は、図1の固体撮像素子内における光の進行態様と、当該固体撮像素子に入射した光の強度分布と、について示した図である。なお、図3(a)は、図1の固体撮像素子の構造と光の進行態様とを併せて示した断面図であり、図3(b)及び(c)は、図1の固体撮像素子に入射した光の基板付近における強度分布について示したグラフである。また、図4は、図1の固体撮像素子が備える基板上構造の分光特性について示したグラフである。
図3(a)では、カラーフィルタ25Rの中央部を透過する光を細かい破線、カラーフィルタ25Rの周縁部を透過する光を粗い破線でそれぞれ示している。図3(a)に示すように、カラーフィルタ25Rの中央部を透過する光は、半透明膜242を透過せずに光電変換部11に入射する。一方、カラーフィルタ25Rの周縁部を透過する光は、半透明膜242を透過してから光電変換部11に入射する。半透明膜242を透過する光は、半透明膜242を透過しない光よりも進行が遅れるため、位相がずれる。
図3(b)では、カラーフィルタ25Rの中央部を透過して半透明膜242を透過しない光の強度を細かい破線、カラーフィルタ25Rの周縁部を透過して半透明膜242を透過する光の強度を粗い破線でそれぞれ示している。なお、図3(b)では、半透明膜242を透過しない光の強度(図中の細かい破線)を正で表し、半透明膜242を透過することで半透明膜242を透過しない光に対して位相がずれる光の強度(図中の粗い破線)を負で表している。また、図3(c)では、図3(b)に示した2つの光を合成した光の強度について示している。
図3(b)に示すように、カラーフィルタ25Rの中央部を透過して基板10に至る光は、画素の中央に近いほど強度が大きく、画素の境界に近いほど強度が小さくなる。一方、カラーフィルタ25Rの周縁部を透過して基板10に至る光は、画素の中央に近いほど強度が小さく、画素の境界に近いほど強度が大きくなる。
そのため、図3(b)及び(c)に示すように、画素の境界付近では、位相が異なる光が干渉することで弱め合い、強度が小さくなる。一方、画素の中央部では、このような干渉があまり生じないため、光の強度はあまり変化しない。なお、図3(a)〜(c)では、赤画素について例示しているが、緑画素及び青画素でも同様である。
以上より、本発明の実施形態に係る固体撮像素子1では、位相シフト層24を備えることで、画素の中央部における光の強度を維持しながら、画素の境界付近における光の強度を低減することができる。したがって、簡易的な構造でクロストークを抑制することが可能になる。
そして、この固体撮像素子1では、基板10上の構造(マイクロレンズ27、カラーフィルタ25R,25G,25B、位相シフト層24など)による分光性能が高いものとなる。そのため、図4に示すように、赤及び緑の間の波長の光や、緑及び青の間の波長の光を光電変換部11で検出され難くすることができるため、色再現性を向上することが可能になる。
なお、カラーフィルタ25Rの中央部を透過して半透明膜242を透過しない光に対して、カラーフィルタ25Rの周縁部及び半透明膜242を透過する光の位相が180°ずれるように、透明膜241及び半透明膜242の透過率や膜厚等を設定すると、画素の境界付近において光が効率良く弱め合い、画素の境界付近における光の強度を効果的に低減することができるため、好ましい。
<固体撮像素子の製造方法>
次に、上述した固体撮像素子1の製造方法の一例について、図面を参照して説明する。図5〜10は、図1の固体撮像素子の製造方法の一例について示す断面図である。
次に、上述した固体撮像素子1の製造方法の一例について、図面を参照して説明する。図5〜10は、図1の固体撮像素子の製造方法の一例について示す断面図である。
最初に、図5に示すように、光電変換部11、転送部12及びチャネルストップ部13を、基板10内にそれぞれ形成する。また、ゲート絶縁膜20、ゲート電極21、遮光膜22及び層間絶縁膜23を、基板10上にそれぞれ形成する。
例えば、まず、基板10の上面側(図中上側)から、p型不純物(例えば、ホウ素)やn型不純物(例えば、リンやヒ素)を順次イオン注入することで、光電変換部11、転送部12及びチャネルストップ部13を、基板10中にそれぞれ形成する。
次に、熱酸化により、酸化シリコン膜を基板10の上面に形成する。さらに、熱CVD(Chemical Vapor Deposition)により、ポリシリコン膜を酸化シリコン膜上に形成する。そして、この酸化シリコン膜及びポリシリコン膜に対して、フォトリソグラフィ及びエッチングを行うことで、転送部12の直上に形成された部分を残し、他の部分を除去する。これにより、ゲート絶縁膜20及びゲート電極21が形成される。
次に、スパッタにより、例えばアルミニウムから成る膜を、基板10上に対して全面的に形成する。そして、この膜に対して、フォトリソグラフィ及びエッチングを行うことで、光電変換部11の上方に形成された部分を除去する。これにより、遮光膜22が形成される。
次に、プラズマCVDにより、例えばBPSGから成る膜を、基板10上を埋め尽くすように形成する。そして、この膜を形成した後に、加熱よるリフローやCMP(Chemical Mechanical Polishing)等の平坦化処理を行う。これにより、層間絶縁膜23が形成される。以上の工程により、図5に示す構造が得られる。
次に、図6に示すように、スピンコートにより、酸化シリコンや窒化シリコンを溶剤に溶かして成るSOG(Spin On Glass)を、層間絶縁膜23の上面に対して全面的に形成する。これにより、透明膜2411が形成される。
次に、図7に示すように、フォトリソグラフィによって、透明膜2411の上面に対してフォトレジストPを形成する。具体的に例えば、まず、スピンコートにより、透明膜2411の上面に対して全面的にポジ型のフォトレジストを形成する。次に、半透明膜242を形成する予定の位置(図1及び図2参照)に対して紫外光を照射して、フォトレジストを感光させる。そして、フォトレジストを現像液に浸すことにより感光部分を除去する。これにより、フォトレジストPが形成される。
次に、図8に示すように、フォトレジストPを用いたドライエッチングにより、半透明膜242を形成する予定の位置(図1及び図2参照)を掘り込み、フォトレジストPを除去する。これにより、当該位置が凹部Dとなった透明膜241が形成される。
次に、図9に示すように、スピンコートにより、例えば顔料を含有したアクリル樹脂などから成る半透明膜2421を、透明膜241の上面に対して全面的に形成する。そして、図10に示すように、ドライエッチングによるエッチバック(またはCMP)により、透明膜241が露出するまで半透明膜2421を全体的に除去する。これにより、透明膜241の上部に半透明膜242が埋め込まれた位相シフト層24が形成される。このとき、上述のように、透明膜241が無機材料から成り、半透明膜242が有機材料から成っていると、それぞれの材料の特性の差を利用することで、容易に透明膜241が露出した時点で平坦化処理を終了させることができるため、好ましい。
さらにこの後、位相シフト層24の上方に、カラーフィルタ25R,25G,25B、コート膜26及びマイクロレンズ27を形成することで、図1に示した固体撮像素子1が得られる。
例えば、カラーフィルタ25R,25G,25Bは、位相シフト層24の上面に対して、1種類(1色)ずつ順番に形成される。具体的には、スピンコートによる顔料を含んだネガ型の感光性材料の形成、カラーフィルタを形成すべき部分に対する露光、現像液による非感光部分の除去、という一連の工程を3回繰り返す。これにより、3種類(3色)のカラーフィルタ25R,25G,25Bが形成される。
次に、スピンコートにより、例えばアクリル樹脂などの透明な有機材料を、カラーフィルタ25R,25G,25Bの上面に対して全面的に形成する。これにより、コート膜26が形成される。
次に、スピンコートにより、透明でポジ型の感光性材料をコート膜26の上面に形成し、カラーフィルタ25R,25G,25Bの境界の上方となる部分を感光させた上で、現像液に浸すことで感光部分を除去する。そして、ホットプレートを用いて、例えば130℃以上200℃以下の温度で数分間の熱処理を行うことにより、残った感光性材料を軟化させて半球型に変形させる。これにより、マイクロレンズ27が形成される。
以上より、本発明の実施形態に係る固体撮像素子1の製造方法では、透明膜241に凹部Dを形成し、当該凹部Dに半透明膜242を埋め込むだけで、位相シフト層24が形成される。そのため、従来の固体撮像素子100(図11参照)の製造方法に対して簡易な工程をいくつか追加するだけで、クロストークを抑制した固体撮像素子1を製造することが可能になる。
<変形等>
[1] 上述の実施形態では、ベイヤ配列となる原色系のカラーフィルタ25R,25G,25Bを備える固体撮像素子1について例示しているが、これ以外のカラーフィルタを備える固体撮像素子にも本発明は適用可能である。例えば、ハニカム配列のカラーフィルタや、補色系のカラーフィルタ(シアン、マゼンタ、黄、緑のそれぞれを選択的に透過するカラーフィルタ)などを備えた固体撮像素子も、上述したベイヤ配列となる原色系のカラーフィルタ25R,25G,25Bを備えた固体撮像素子1と同様にクロストークが生じ得る。そのため、これらの固体撮像素子にも本発明を適用して、クロストークを抑制することが可能である。
[1] 上述の実施形態では、ベイヤ配列となる原色系のカラーフィルタ25R,25G,25Bを備える固体撮像素子1について例示しているが、これ以外のカラーフィルタを備える固体撮像素子にも本発明は適用可能である。例えば、ハニカム配列のカラーフィルタや、補色系のカラーフィルタ(シアン、マゼンタ、黄、緑のそれぞれを選択的に透過するカラーフィルタ)などを備えた固体撮像素子も、上述したベイヤ配列となる原色系のカラーフィルタ25R,25G,25Bを備えた固体撮像素子1と同様にクロストークが生じ得る。そのため、これらの固体撮像素子にも本発明を適用して、クロストークを抑制することが可能である。
[2] 上述の実施形態では、カラーフィルタ25R,25G,25Bの周縁部の下方となる位置に半透明膜242が形成された構造の位相シフト層24について例示しているが、層内の位置に応じて透過する光の位相を異ならせることでカラーフィルタ25R,25G,25Bの周縁部の下方で光を干渉させて弱める構造であれば、これ以外の構造であってもよい。
例えば、位相シフト層が、隣接する2つの画素の一方(例えば、赤画素及び青画素)を透過する光と、他方(例えば、緑画素)を透過する光と、の位相を異ならせる構造であってもよい。具体的に例えば、位相シフト層が、一方の画素と他方の画素とで膜厚が異なる構造や、一方(または双方)の画素に半透明膜などの位相をシフトさせる膜を設けた構造などであってもよい。この場合、隣接する2つの画素内を進行するそれぞれの光の位相が異なるため、当該画素の境界付近(カラーフィルタ25R,25G,25Bの周縁部の下方)で光を干渉させて弱めることができる。
ただし、上記の構造では、画素毎に位相シフト層の構造(透過率)が異なることによって、光電変換部11に到達する光の強度が画素毎(色毎)に異なる場合がある。この場合、画像データの生成時に、画素毎(色毎)に輝度等の補正が必要になり得る。
この点、上述した実施形態のように、位相シフト層24が、カラーフィルタ25R,25G,25Bの中央部を透過する光と、カラーフィルタ25R,25G,25Bの周縁部を透過する光と、の位相を異ならせるものであると、画素毎の位相シフト層24の構造(透過率)を同じものとすることができる。そのため、光電変換部11に到達する光の強度が画素毎(色毎)に異なることを、抑制することができる。
[3] 固体撮像素子1として、CCDイメージセンサを例示して説明したが、CMOSイメージセンサなどの他の固体撮像素子にも、本発明は適用可能である。
<まとめ>
本発明の実施形態に係る固体撮像素子1及び当該固体撮像素子1の製造方法は、例えば以下のように把握され得る。
本発明の実施形態に係る固体撮像素子1及び当該固体撮像素子1の製造方法は、例えば以下のように把握され得る。
本発明の実施形態に固体撮像素子1は、入射する光を光電変換して電荷を生成する複数の光電変換部11が形成された基板10と、それぞれの前記光電変換部11の上方に設けられ、所定の色の光を選択的に透過させて下方の前記光電変換部11に入射させる複数のカラーフィルタ25R,25G,25Bと、前記基板10と前記カラーフィルタ25R,25G,25Bとの間に設けられた層であり、層内の位置に応じて透過する光の位相を異ならせることで、前記カラーフィルタ25R,25G,25Bの周縁部の下方で光を干渉させて弱める位相シフト層24と、を備える。
この固体撮像素子1では、位相シフト層24を備えることで、画素の中央部における光の強度を維持しながら、画素の境界付近における光の強度を低減することができる。
さらに、上記の固体撮像素子1において、前記位相シフト層24が、前記カラーフィルタ25R,25G,25Bの中央部を透過した光と、前記カラーフィルタ25R,25G,25Bの前記周縁部を透過した光と、の位相を異ならせるものである。
特に、上記の固体撮像素子1において、前記位相シフト層24が、透明膜241と、前記透明膜241中の、前記カラーフィルタ25R,25G,25Bの前記周縁部の下方となる位置に形成されて、前記透明膜241よりも透過率が低い半透明膜242と、を備える。
この固体撮像素子1では、画素毎の位相シフト層24の構造が同様となる。そのため、光電変換部11に到達する光の強度が画素毎に異なることを、抑制することができる。
さらに、上記の固体撮像素子1において、前記透明膜241の透過率が90%以上であり、前記半透明膜242の透過率が5%以上20%以下である。
この固体撮像素子1では、カラーフィルタ25R,25G,25Bの中央部を透過した光と、カラーフィルタ25R,25G,25Bの周縁部を透過した光と、の位相を効果的に異ならせることが可能となる。
さらに、上記の固体撮像素子1において、前記半透明膜241が、隣接する前記カラーフィルタ25R,25G,25Bの、隣接する前記周縁部の下方にまたがって形成される。
この固体撮像素子1では、画素の境界付近の全体に半透明膜241が形成されるため、画素の境界付近における光の強度を効果的に低減することが可能となる。
さらに、上記の固体撮像素子1において、前記位相シフト層24は、前記カラーフィルタ25R,25G,25Bの前記中央部を透過した光と、前記カラーフィルタ25R,25G,25Bの前記周縁部を透過した光と、の位相を180°異ならせるものである。
この固体撮像素子1では、画素の境界付近において光が効率良く弱め合うため、画素の境界付近における光の強度を効果的に低減することができる。
また、本発明の実施形態に係る固体撮像素子1の製造方法は、入射する光を光電変換して電荷を生成する複数の光電変換部11が形成された基板10の上方に、透明膜2411を形成する透明膜形成ステップと、前記透明膜2411の上面の所定の位置に複数の凹部Dを設ける凹部形成ステップと、前記透明膜241よりも透過率が低い半透明膜2421を、前記凹部Dを埋め尽くすように形成する半透明膜形成ステップと、前記透明膜241が露出するまで前記半透明膜2421を除去する半透明膜除去ステップと、前記透明膜241及び前記半透明膜242の上方でありそれぞれの前記光電変換部11の上方となる位置に、所定の色の光を選択的に透過させて下方の前記光電変換部11に入射させる複数のカラーフィルタ25R,25G,25Bを形成するカラーフィルタ形成ステップと、を備え、前記凹部形成ステップは、前記カラーフィルタ25R,25G,25Bの周縁部の下方となる位置に前記凹部を形成するものである。
この固体撮像素子1の製造方法では、透明膜241に凹部Dを形成し、当該凹部Dに半透明膜242を埋め込むことによって、位相シフト層24が形成される。そのため、従来の固体撮像素子100の製造方法に対して、簡易な工程をいくつか追加するだけで、クロストークを抑制した固体撮像素子1を製造することが可能になる。
本発明は、CCDイメージセンサやCMOSイメージセンサなどの固体撮像素子に、好適に利用され得る。
1 : 固体撮像素子
10 : 基板
11 : 光電変換部
12 : 転送部
13 : チャネルストップ部
20 : ゲート絶縁膜
21 : ゲート電極
22 : 遮光膜
23 : 層間絶縁膜
24 : 位相シフト層
241,2411 : 透明膜
242,2421 : 半透明膜
25R,25G,25B : カラーフィルタ
26 : コート膜
27 : マイクロレンズ
D : 凹部
10 : 基板
11 : 光電変換部
12 : 転送部
13 : チャネルストップ部
20 : ゲート絶縁膜
21 : ゲート電極
22 : 遮光膜
23 : 層間絶縁膜
24 : 位相シフト層
241,2411 : 透明膜
242,2421 : 半透明膜
25R,25G,25B : カラーフィルタ
26 : コート膜
27 : マイクロレンズ
D : 凹部
Claims (5)
- 入射する光を光電変換して電荷を生成する複数の光電変換部が形成された基板と、
それぞれの前記光電変換部の上方に設けられ、所定の色の光を選択的に透過させて下方の前記光電変換部に入射させる複数のカラーフィルタと、
前記基板と前記カラーフィルタとの間に設けられた層であり、層内の位置に応じて透過する光の位相を異ならせることで、前記カラーフィルタの周縁部の下方で光を干渉させて弱める位相シフト層と、
を備えることを特徴とする固体撮像素子。 - 前記位相シフト層が、前記カラーフィルタの中央部を透過した光と、前記カラーフィルタの前記周縁部を透過した光と、の位相を異ならせるものであることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記位相シフト層が、
透明膜と、
前記透明膜中の、前記カラーフィルタの前記周縁部の下方となる位置に形成されて、前記透明膜よりも透過率が低い半透明膜と、
を備えることを特徴とする請求項2に記載の固体撮像素子。 - 前記透明膜の透過率が90%以上であり、前記半透明膜の透過率が5%以上20%以下であることを特徴とする請求項3に記載の固体撮像素子。
- 入射する光を光電変換して電荷を生成する複数の光電変換部が形成された基板の上方に、透明膜を形成する透明膜形成ステップと、
前記透明膜の上面の所定の位置に複数の凹部を設ける凹部形成ステップと、
前記透明膜よりも透過率が低い半透明膜を、前記凹部を埋め尽くすように形成する半透明膜形成ステップと、
前記透明膜が露出するまで前記半透明膜を除去する半透明膜除去ステップと、
前記透明膜及び前記半透明膜の上方でありそれぞれの前記光電変換部の上方となる位置に、所定の色の光を選択的に透過させて下方の前記光電変換部に入射させる複数のカラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成ステップと、を備え、
前記凹部形成ステップは、前記カラーフィルタの周縁部の下方となる位置に前記凹部を形成するものであることを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
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---|---|---|---|
JP2013082801A JP2014207273A (ja) | 2013-04-11 | 2013-04-11 | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 |
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JP2013082801A Pending JP2014207273A (ja) | 2013-04-11 | 2013-04-11 | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN110010634A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-07-12 | 德淮半导体有限公司 | 隔离结构及其形成方法,图像传感器及其制造方法 |
WO2022126042A1 (en) * | 2020-12-11 | 2022-06-16 | Qualcomm Incorporated | Spectral image capturing using infrared light and color light filtering |
-
2013
- 2013-04-11 JP JP2013082801A patent/JP2014207273A/ja active Pending
Cited By (3)
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CN110010634A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-07-12 | 德淮半导体有限公司 | 隔离结构及其形成方法,图像传感器及其制造方法 |
CN110010634B (zh) * | 2019-02-27 | 2021-07-06 | 德淮半导体有限公司 | 隔离结构及其形成方法,图像传感器及其制造方法 |
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