JP2009049240A - 電子部品パッケージの製造装置及び製造方法 - Google Patents
電子部品パッケージの製造装置及び製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009049240A JP2009049240A JP2007214901A JP2007214901A JP2009049240A JP 2009049240 A JP2009049240 A JP 2009049240A JP 2007214901 A JP2007214901 A JP 2007214901A JP 2007214901 A JP2007214901 A JP 2007214901A JP 2009049240 A JP2009049240 A JP 2009049240A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- induction heating
- electronic component
- lid member
- temperature
- base member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】
電子部品素子が取り付けられたベース部材と蓋部材とを高周波誘導加熱する加熱用コイルと、該加熱用コイルに高周波電力を供給する高周波電力供給装置とを備える電子部品パッケージの製造装置において、前記高周波電力供給装置は、前記封着部材を前記電子部品素子の発振に異常を生じ始める発振異常発生温度に達しない温度まで急上昇させる高電力誘導加熱機能と、前記封着部材の温度を前記高電力誘導加熱に比べて緩やかに上昇させることができる低電力誘導加熱機能とを備えると共に、前記小電力供給モードと前記大電力モードとの間で切替えを行うシーケンスを有することを特徴とする電子部品パッケージの製造装置。
【選択図】 図1
Description
図1及び図2によって本発明の実施形態1に係る電子部品パッケージの製造方法について説明する。図1(A)は本発明に係る高周波誘導加熱電力供給の一例を説明するための図であり、図1(B)はその高周波誘導加熱電力供給による封着部材近傍の温度上昇の一例を示す図である。図2は本発明に係る高周波誘導加熱による製造方法で封着される一般的な構造のベース部材と蓋部材とを示している。
次に、図2を利用しながら図3によって実施形態2について説明する。図3において、図1で用いた記号と同じ記号は同じ名称を示すものとする。この実施形態2に係る高周波誘導加熱による電子部品パッケージの製造方法は、最初に前述したような高電力誘導加熱H2を行い、次に低電力誘導加熱H1を行うことを特徴としている。高電力誘導加熱H2及び低電力誘導加熱H1は所要時間や電力の大きさが異なっても、働きは実施形態1とほぼ同様であるので、説明は省略する。
次に、図5及び図6によって実施形態1及び実施形態2の電子部品パッケージの製造方法を実現する製造装置の一例について説明する。図5は高周波誘導加熱装置の概略を示す図であり、図6は本発明に係る電子部品パッケージの製造装置の一部分を示す図である。電力高周波発振装置の本体部11は、詳しくは図示しないが、所望の高い周波数の発振電力を発生する高周波発振部、その高周波発振部に直流電力を供給する電源部などからなる。電力高周波発振装置の制御端末部12はコンピュータなどからなり、そのメモリにはベース部材1の導電部1Aの接合面積の大きさ、導電部1Aを形成するのに用いられた金属などに関する諸データ、蓋部材2の接合接面積の大きさ、積層構造、金属材料などに関する諸データ、封着部材3の種類、接合部の面積、厚みなどに関する諸データ、その他のデータを格納している。制御端末部12は低電力誘導加熱H1、高電力誘導加熱H2の切替えなどを行うシーケンスを有すると共に、それらの加熱時間T1、T2、それぞれの電力値の制御などを行う。
H2・・・高電力誘導加熱
Ta・・・電子部品素子の発振異常発生温度
Tm・・・封着部材の融点
1・・・ベース部材(容器)
2・・・蓋部材(キャップ、リッド)
3・・・封着部材(ろう材)
11・・・電力高周波発振装置の本体部
12・・・制御端末部
13・・・加熱コイルヘッド
14・・・冷却水循環ポンプ
15、16・・・冷却用パイプ
21・・・平行型の誘導加熱コイル
21A、21B・・・平行な導体
22・・・押さえ部材
22A・・・押さえ部材22の押圧部
23・・・昇降機構
24・・・トレイ
24A・・・載置凹所
Claims (9)
- 電子部品素子が取り付けられたベース部材と蓋部材とを高周波誘導加熱する加熱用コイルと、該加熱用コイルに高周波電力を供給する高周波電力供給装置と、前記ベース部材と前記蓋部材とを押さえる押さえ部材とを備えて、前記ベース部材と前記蓋部材との間に位置する封着部材を溶融させて前記ベース部材と前記蓋部材とを気密封止する電子部品パッケージの製造装置において、
前記高周波電力供給装置は、前記電子部品素子の発振に異常を生じ始める発振異常発生温度に達しない温度まで前記封着部材を急上昇させることができる大電力モードの高電力誘導加熱時間で前記加熱用コイルに高周波電力を供給する機能と、前記封着部材の温度を前記高電力誘導加熱に比べて緩やかに上昇させることができる小電力供給モードにより前記高電力誘導加熱時間よりも長い低電力誘導加熱時間で前記加熱用コイルに高周波電力を供給する機能とを備えると共に、前記小電力供給モードから前記大電力モードへの切替え、あるいは前記大電力モードから前記小電力供給モードへの切替えを行うシーケンスを有することを特徴とする電子部品パッケージの製造装置。 - 請求項1において、
前記低電力誘導加熱時間は1秒を超える所定時間であり、前記高温誘導加熱時間は1秒以下の所定時間であることを特徴とする電子部品パッケージの製造装置。 - 請求項1又は請求項2において、
前記加熱用コイルは、前記蓋部材の幅よりも大きな所定の間隔で互いが平行になるように折り返された導体からなる平行型のコイルであって、前記ベース部材と前記蓋部材の供給方向に対して直角方向に延びていることを特徴とする電子部品パッケージの製造装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかにおいて、
前記押さえ部材は、前記加熱用コイルの前記導体間の前記所定の間隔に配置され、前記蓋部材の上面と同等以上の面積を有し、前記ベース部材と蓋部材とが前記加熱用コイルの前記導体間に位置するとき、前記蓋部材の全面を均一に抑えることができる押さえ面を備えることを特徴とする電子部品パッケージの製造装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかにおいて、
前記ベース部材と蓋部材とは、前記加熱用コイルに対して所定の間隔で順次搬送され、
その所定の間隔は、前記気密封止時に前記加熱用コイルの高周波磁力によって次の前記蓋部材が動かない距離以上であることを特徴とする電子部品パッケージの製造装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかにおいて、
前記ベース部材と蓋部材とはトレイに載置されて搬送部材によって順次搬送され、前記ベース部材と蓋部材とが前記加熱用コイルの互いに平行な前記導体間で停止するとき、前記押さえ部材が下降、又は前記トレイが上昇して、前記押さえ部材が前記蓋部材を押さえつけ、それと同期して前記高周波電力供給装置が前記加熱用コイルに高周波電力を供給することを特徴とする電子部品パッケージの製造装置。 - 請求項1ないし請求項6のいずれかにおいて、
前記押さえ部材は、耐熱性の非磁性材料からなることを特徴とする電子部品パッケージの製造装置。 - 加熱用コイルに高周波電力を給電して電子部品素子が取り付けられたベース部材と蓋部材とを高周波誘導加熱し、前記ベース部材と前記蓋部材との間に位置する封着部材を溶融させて前記ベース部材と前記蓋部材とを接合することにより気密封止される電子部品パッケージ製造方法において、
前記封着部材の温度を急な傾斜で上昇させることができる大電力を供給する高電力誘導加熱工程と、該高電力誘導加熱工程の前又は後で、前記封着部材の温度を前記高電力誘導加熱工程に比べて緩やかに上昇させる低電力誘導加熱工程とを行い、
先に前記低電力誘導加熱工程で前記封着部材の温度の温度を上昇させた場合は前記低電力誘導加熱工程から前記高電力誘導加熱工程に切り替えて、又は先に前記高電力誘導加熱工程で前記封着部材の温度の温度を上昇させた場合は前記高電力誘導加熱工程から前記低電力誘導加熱工程に切り替えて、それぞれ前記封着部材を前記電子部品素子の発振に異常を生じ始める発振異常発生温度に満たない温度内でさらに上昇させ、
前記低電力誘導加熱工程を前記高温誘導加熱工程よりも長い時間施して、前記封着部材がろう付けされる前記ベース部材又は前記蓋部材の導電部に対する濡れ性を向上させることを特徴とする電子部品パッケージの製造方法。 - 請求項8において、
前記低電力誘導加熱工程は1秒を超える所定時間行い、前記高温誘導加熱工程は1秒以下の所定時間行うことを特徴とする電子部品パッケージの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007214901A JP4995003B2 (ja) | 2007-08-21 | 2007-08-21 | 電子部品パッケージの製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007214901A JP4995003B2 (ja) | 2007-08-21 | 2007-08-21 | 電子部品パッケージの製造装置及び製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009049240A true JP2009049240A (ja) | 2009-03-05 |
JP4995003B2 JP4995003B2 (ja) | 2012-08-08 |
Family
ID=40501182
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007214901A Expired - Fee Related JP4995003B2 (ja) | 2007-08-21 | 2007-08-21 | 電子部品パッケージの製造装置及び製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4995003B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03154364A (ja) * | 1989-10-31 | 1991-07-02 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | カプセル封止方法および装置 |
JP2000190070A (ja) * | 1998-12-21 | 2000-07-11 | Senju Metal Ind Co Ltd | はんだ付け方法およびその装置 |
JP2002176116A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-21 | Daishinku Corp | 電子部品用パッケージの気密封止方法 |
JP2006339307A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電部品の封止方法 |
JP2007281166A (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 接合方法および接合装置ならびに接合基板 |
-
2007
- 2007-08-21 JP JP2007214901A patent/JP4995003B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03154364A (ja) * | 1989-10-31 | 1991-07-02 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | カプセル封止方法および装置 |
JP2000190070A (ja) * | 1998-12-21 | 2000-07-11 | Senju Metal Ind Co Ltd | はんだ付け方法およびその装置 |
JP2002176116A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-21 | Daishinku Corp | 電子部品用パッケージの気密封止方法 |
JP2006339307A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電部品の封止方法 |
JP2007281166A (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 接合方法および接合装置ならびに接合基板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4995003B2 (ja) | 2012-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4308161B2 (ja) | ダイ取付け方法 | |
JP5800197B2 (ja) | 配線接続方法と機能デバイス | |
EP2477223B1 (en) | Method of manufacturing a semiconductor apparatus | |
JP3284811B2 (ja) | 半田接合方法および半導体製造治具と半導体装置の製造方法 | |
JP4995003B2 (ja) | 電子部品パッケージの製造装置及び製造方法 | |
JP4085563B2 (ja) | パワー半導体モジュールの製造方法 | |
US20060175939A1 (en) | Piezoelectric device and method of producing the same | |
KR20140098797A (ko) | 전자 부품 및 그 제조 방법 | |
JP2002261570A (ja) | 水晶振動子用パッケージベースおよびそれを用いた水晶振動子パッケージ構造体の製造方法 | |
JP4483514B2 (ja) | 金属ケース付き電子部品の製造方法および製造装置 | |
JP2004119696A (ja) | ボンディング方法、ボンディングステージ、及び電子部品実装装置 | |
KR101768669B1 (ko) | 자기유도를 이용한 열전소자용 전극 제조방법 및 이를 통해 제조된 열전소자용 전극 | |
JP2004303750A (ja) | 熱電装置用パッケージおよびその製造方法 | |
JP6034054B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
JP2008186917A (ja) | 電子部品収納用パッケージ、電子装置、およびその製造方法 | |
JP5331022B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2012049182A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2000022013A (ja) | 電子部品の製造方法 | |
JP2006114649A (ja) | 半導体装置の製造方法およびその製造装置 | |
US20210249362A1 (en) | Trench Insulated Gate Bipolar Transistor Packaging Structure and Method for Manufacturing the Trench Insulated Gate Bipolar Transistor | |
JPH0389485A (ja) | 電子装置の製造工程におけるフープ状リードフレームの連続加熱装置 | |
JP6100999B2 (ja) | 電力供給装置の製造方法 | |
JP2002176116A (ja) | 電子部品用パッケージの気密封止方法 | |
JP2004134557A (ja) | ハーメチックシール用キャップ | |
JP2014086581A (ja) | 半導体素子収納用パッケージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090724 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090928 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100405 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120508 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120509 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150518 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |