JP2009048697A - Nand型不揮発性半導体メモリ - Google Patents
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Abstract
【課題】プログラム済みセルの閾値変動が生じないプログラム方法を提案する。
【解決手段】本発明の例に係るNAND型不揮発性半導体メモリは、互いに直列接続されるn個のメモリセル(nは3以上の整数)と、n個のメモリセルの一端とソース線との間に接続される第1セレクトゲートトランジスタと、n個のメモリセルの他端とビット線との間に接続される第2セレクトゲートトランジスタと、プログラミング時に、n個のメモリセルのうち、選択された第1メモリセルのコントロールゲート電極に第1電圧を印加し、第1メモリセルに隣接する第2メモリセルのコントロールゲート電極に第1電圧よりも低い第2電圧を印加し、第1及び第2メモリセル以外の第3メモリセルのコントロールゲート電極に第2電圧よりも低い第3電圧を印加するドライバとを備える。第1、第2及び第3電圧は、n個のメモリセルをそれらの閾値によらずオンにする値以上である。
【選択図】 図5
【解決手段】本発明の例に係るNAND型不揮発性半導体メモリは、互いに直列接続されるn個のメモリセル(nは3以上の整数)と、n個のメモリセルの一端とソース線との間に接続される第1セレクトゲートトランジスタと、n個のメモリセルの他端とビット線との間に接続される第2セレクトゲートトランジスタと、プログラミング時に、n個のメモリセルのうち、選択された第1メモリセルのコントロールゲート電極に第1電圧を印加し、第1メモリセルに隣接する第2メモリセルのコントロールゲート電極に第1電圧よりも低い第2電圧を印加し、第1及び第2メモリセル以外の第3メモリセルのコントロールゲート電極に第2電圧よりも低い第3電圧を印加するドライバとを備える。第1、第2及び第3電圧は、n個のメモリセルをそれらの閾値によらずオンにする値以上である。
【選択図】 図5
Description
本発明は、NAND型不揮発性半導体メモリのプログラミング方式に関する。
近年、NAND型不揮発性半導体メモリの用途は拡大し、そのメモリ容量も増大の一途を辿っている。しかし、メモリ容量の増大によりメモリセルが微細化すると、書き込みディスターブの問題が発生する。
例えば、NAND型不揮発性半導体メモリのプログラミング方式として、セルフブースト(SB: Self-boost)方式(例えば、非特許文献1参照)及びローカルセルフブースト方式(LSB: Local Self-Boost)方式(例えば、特許文献1参照)がある。
これらの方式でプログラミングを実行すると、プログラミングの対象となる選択セルのソース側に隣接する隣接セル(非選択セル)が既にプログラミング済みの場合、選択セルのコントロールゲート電極と隣接セルのフローティングゲート電極との間にリーク電流が流れ、隣接セルの閾値が変動する。
この問題は、メモリセルが微細化され、NANDセルユニット内の直列接続された複数のメモリセルの間隔が狭くなるに従い、顕著になる。
また、プログラミング方式には、ランダムプログラムとシーケンシャルプログラムの2種類がある。後者の場合には、NANDセルユニット内の複数のメモリセルのうち、最もソース線側のメモリセルから最もビット線側のメモリセルに向かって1つずつ順次プログラミングを行う。
このため、シーケンシャルプログラムでは、上述の閾値変動の問題が常に発生する。
最近では、メモリ容量の増大に貢献する技術として、1つのメモリセルに3値以上のデータを記憶する多値技術(multi-level technology)が注目されている。
この多値技術が適用されたNAND型不揮発性半導体メモリでは、狭い電圧範囲内に3つ以上の閾値分布を設定しなければならず、これら閾値分布間のマージンが非常に狭く、上述の閾値変動の問題は、さらに深刻となる。
特開平8−279297号公報
K.D.Suh et.al., IEEE Journal of Solid-State Circuits, vol.30, No.11 (1995) pp.1149-1156
本発明は、プログラミング時に、NANDセルユニット内の既にデータがプログラミングされた非選択セルの閾値変動を防止する技術について提案する。
本発明の例に係るNAND型不揮発性半導体メモリは、電荷蓄積層及びコントロールゲート電極を有し、互いに直列接続されるn個のメモリセル(nは3以上の整数)と、n個のメモリセルの一端とソース線との間に接続される第1セレクトゲートトランジスタと、n個のメモリセルの他端とビット線との間に接続される第2セレクトゲートトランジスタと、プログラミング時に、n個のメモリセルのうち、選択された第1メモリセルのコントロールゲート電極に第1電圧を印加し、第1メモリセルに隣接する第2メモリセルのコントロールゲート電極に第1電圧よりも低い第2電圧を印加し、第1及び第2メモリセル以外の第3メモリセルのコントロールゲート電極に第2電圧よりも低い第3電圧を印加するドライバとを備え、第1、第2及び第3電圧は、n個のメモリセルをそれらの閾値によらずオンにする値以上である。
本発明によれば、プログラミング時に、NANDセルユニット内の既にデータがプログラミングされた非選択セルの閾値変動を防止できる。
以下、図面を参照しながら、本発明の例を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
1. 概要
NAND型不揮発性半導体メモリでは、プログラミング時に、選択セルのコントロールゲート電極にプログラム電圧Vpgmを印加し、非選択セルのコントロールゲート電極にプログラム電圧Vpgmよりも低い転送電圧Vpassを印加する。
NAND型不揮発性半導体メモリでは、プログラミング時に、選択セルのコントロールゲート電極にプログラム電圧Vpgmを印加し、非選択セルのコントロールゲート電極にプログラム電圧Vpgmよりも低い転送電圧Vpassを印加する。
本発明では、この転送電圧Vpassを少なくとも2つ用意する。
1つは、選択セルに隣接する隣接セル(非選択セル)のコントロールゲート電極に印加する転送電圧Vpashであり、他の1つは、選択セル及び隣接セル以外の非選択セルのコントロールゲート電極に印加する転送電圧Vpashよりも低い転送電圧Vpassである。
即ち、Vpass<Vpash<Vpgmである。
ここで、これら3つの電圧Vpass, Vpash, Vpgmは、NANDストリング内のメモリセルをその閾値によらずオンにする値以上である。
この場合、隣接セルの電荷蓄積層(例えば、フローティングゲート電極)の電圧は、隣接セルのコントロールゲート電極に転送電圧Vpassを印加する場合のそれよりも大きくなるため、選択セルのコントロールゲート電極と隣接セルのフローティングゲート電極との間の電界は緩和される。
従って、リーク電流による隣接セルの閾値変動が防止される。
例えば、隣接セルが書き込み状態、即ち、電荷蓄積層内に電子が注入されている状態にある場合、その電子が電荷蓄積層から選択セルのコントロールゲート電極に抜き取られることがなく、誤消去(閾値低下)が防止される。
ところで、隣接セル以外の非選択セルについては、コントロールゲート電極に転送電圧Vpassが印加されるため、トンネル電流による誤書き込み(閾値上昇)は発生しない。
本発明では、Vpass<Vpash<Vpgmの範囲内で効果を奏するが、転送電圧Vpashの値は、リークによる閾値変動の防止とトンネル電流による誤書き込みの防止とを両立するため、上述の範囲内で最適値に設定される。
2. 実施の形態
(1) NAND型不揮発性半導体メモリ
まず、NAND型不揮発性半導体メモリの概要について説明する。
(1) NAND型不揮発性半導体メモリ
まず、NAND型不揮発性半導体メモリの概要について説明する。
以下の説明に当たっては、簡単のため、2値を前提とする。
メモリセルの閾値が低い状態を消去状態(“1”−状態)とし、高い状態を書き込み状態(“0”−状態)とする。メモリセルの初期状態は、消去状態とする。
プログラミングは、“1”−プログラミング及び“0”−プログラミングの2つとし、前者は、書き込み禁止(消去状態の維持)、後者は、書き込み実行(閾値上昇)を意味するものとする。
図1は、NAND型不揮発性半導体メモリの全体図を示している。
メモリセルアレイ11は、複数のブロックBK1,BK2,・・・BLjを有する。複数のブロックBK1,BK2,・・・BLjの各々は、NANDセルユニットを有する。
データラッチ回路12は、リード/プログラム時にデータを一時的にラッチする機能を有し、例えば、フリップフロップ回路から構成される。I/O(input/output)バッファ13は、データのインターフェイス回路として、アドレスバッファ14は、アドレス信号のインターフェイス回路として機能する。
アドレス信号には、ブロックアドレス信号、ロウアドレス信号及びカラムアドレス信号が含まれる。
ロウデコーダ15は、ブロックアドレス信号に基づいて、複数のブロックBK1,BK2,・・・BLjのうちの1つを選択し、ロウアドレス信号に基づいて、選択されたブロック内の複数のワード線のうちの1つを選択する。ワード線ドライバ17は、選択されたブロック内の複数のワード線を駆動する。
カラムデコーダ16は、カラムアドレス信号に基づいて、複数のビット線のうちの1つを選択する。
基板電圧制御回路18は、半導体基板の電圧を制御する。具体的には、p型半導体基板内に、n型ウェル領域とp型ウェル領域からなるダブルウェル領域が形成され、メモリセルがp型ウェル領域内に形成される場合、p型ウェル領域の電圧を動作モードに応じて制御する。
例えば、基板電圧制御回路18は、リード/プログラム時には、p型ウェル領域を0Vに設定し、消去時には、p型ウェル領域を15V以上40V以下の電圧に設定する。
電圧発生回路19は、ワード線ドライバ17を制御する電圧を発生する。
また、本発明では、電圧発生回路19は、選択されたブロック内の複数のワード線に供給する電圧、即ち、プログラム電圧Vpgm及び2つの転送電圧Vpash, Vpassを発生する。
セレクタ24は、動作モードや、選択されたワード線の位置などの情報に基づいて、選択されたブロック内の複数のワード線供給する電圧の値を選択する。
制御回路20は、基板電圧制御回路18及び電圧発生回路19の動作を制御する。
図2は、メモリセルアレイ及びワード線ドライバの回路例を示している。
メモリセルアレイ11は、カラム方向に配置される複数のブロックBK1,BK2,・・・を有する。複数のブロックBK1,BK2,・・・の各々は、ロウ方向に配置される複数のNANDセルユニットを有する。NANDセルユニットは、直列接続される複数のメモリセルMCからなるNANDストリングと、その両端に1つずつ接続される2つのセレクトゲートトランジスタSTとを有する。
NANDセルユニットは、例えば、図3に示すようなレイアウトを有する。NANDセルユニットのカラム方向の断面構造は、例えば、図4に示すような構造となる。
NANDセルユニットの一端は、ビット線BL1,BL2,・・・BLmに接続され、他端は、ソース線SLに接続される。
メモリセルアレイ11上には、複数のワード線WL1,・・・WLn,・・・と複数のセレクトゲート線SGS1,SGD1,・・・が配置される。
例えば、ブロックBK1内には、n(nは複数)本のワード線WL1,・・・WLnと2本のセレクトゲート線SGS1,SGD1が配置される。ワード線WL1,・・・WLn及びセレクトゲート線SGS1,SGD1は、ロウ方向に延び、それぞれ、ワード線ドライバ17(DRV1)内の転送トランジスタユニット21(BK1)を介して、信号線(コントロールゲート線)CG1,・・・CGn及び信号線SGSV1,SGDV1に接続される。
信号線CG1,・・・CGn,SGSV1,SGDV1は、それぞれロウ方向に交差するカラム方向に延び、セレクタ24に接続される。
転送トランジスタユニット21(BK1)は、電源電圧Vccよりも高い電圧を転送できるように、高耐圧(high voltage)タイプMISFETから構成される。
ワード線ドライバ17(DRV1)内のブースタ22は、ロウデコーダ15から出力されるデコード信号を受ける。ブースタ22は、ブロックBK1が選択されているとき、転送トランジスタユニット21(BK1)をオンにし、ブロックBK1が選択されていないとき、転送トランジスタユニット21(BK1)をオフにする。
(2) プログラミング動作
A. 第1実施の形態
第1実施の形態では、選択セルのソース線側に隣接する隣接セルのコントロールゲート電極にVpashを与える。
A. 第1実施の形態
第1実施の形態では、選択セルのソース線側に隣接する隣接セルのコントロールゲート電極にVpashを与える。
第1実施の形態は、ランダムプログラム及びシーケンシャルプログラムの双方を対象とするが、隣接セルが選択セルのソース線側に隣接することから、特に、後者のシーケンシャルプログラムに有効である。
図5は、プログラミング時のNANDセルユニット内の電圧関係を示している。
まず、同図(a)を参照しつつ、NANDストリング内の中央のメモリセルMCk1,MCk2を選択セルとする場合について説明する。
ワード線WLkには、プログラム電圧Vpgmが印加される。
選択セルMCk1,MCk2のソース線SL側に隣接する隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(k−1)には、転送電圧Vpashが印加される。
残りのワード線WL1,・・・WL(k−2),WL(k+1),・・・WLnには、転送電圧Vpassが印加される。
これら3つの電圧の大小関係は、Vpass<Vpash<Vpgmである。
Vpass, Vpash, Vpgmは、NANDストリング内のメモリセルをその閾値によらずオンにする値以上を有する。
ここで、選択セルMCk1に“0”をプログラミングし、選択セルMCk2に“1”をプログラミングする場合を考える。
選択セルMCk1,MCk2の初期状態は、共に、消去状態(“1”状態)である。
この場合、ビット線BL1は、“0”−プログラミングのための低い電圧Vbl1(例えば、0V)に設定され、ビット線BL2は、“1”−プログラミングのための正の電圧Vbl2(例えば、1.2V - 4.0V)に設定される。
ビット線側セレクトゲート線SGDには、電圧Vsgdが印加される。Vsgdの値は、
Vth_sgd(0)<Vsgd<Vbl2+Vth_sgd(Vbl2)
を満たすものとする。
Vth_sgd(0)<Vsgd<Vbl2+Vth_sgd(Vbl2)
を満たすものとする。
但し、Vth_sgdは、ビット線側セレクトゲートトランジスタST21,ST22の閾値電圧、()内は、ビット線側セレクトゲートトランジスタST21,ST22のソースに印加されるバックバイアス電圧を意味する。
通常、Vsgdは、Vbl2と同じ値に設定される。
また、ソース線側セレクトゲート線SGSには、ソース線側セレクトゲートトランジスタST11,ST12をカットオフさせる電圧Vsgs(例えば0V)を印加する。
ソース線SLは、Vs、例えば、0Vに設定される。
これにより、セレクトゲートトランジスタST21は、オンになり、電圧Vbl1は、ビット線BL1からNANDストリング内の選択セルMCk1のチャネルに転送される。
従って、ワード線WLkにVpgmが印加されると、選択セルMCk1では、チャネルから電荷蓄積層(例えば、フローティングゲート電極)に電子が注入され、書き込み(閾値上昇)が行われる。
一方、セレクトゲートトランジスタST22は、例えば、ワード線にVpash及びVpassが印加されると、NANDストリング内のメモリセルのチャネルが容量カップリングにより昇圧されるため、自動的にカットオフする。
また、ワード線WLkにVpgmが印加されると、選択セルMCk2のチャネル電圧は、さらに上昇する。従って、選択セルMCk2では、チャネルから電荷蓄積層に電子が注入されず、書き込みが禁止(消去状態が維持)される。
このようなプログラミング動作において、隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(k−1)には、転送電圧Vpassよりも高い転送電圧Vpashが印加される。
このため、プログラミング時に、隣接セル(非選択セル)MC(k−1)1,MC(k−1)が既にプログラミング済みであっても、選択セルのコントロールゲート電極と隣接セルの電荷蓄積層との間のリークに起因する隣接セルの閾値変動を防止できる。
次に、同図(b)を参照しつつ、NANDストリング内の最もビット線側のメモリセルMCn1,MCn2を選択セルとする場合について説明する。
ワード線WLnには、プログラム電圧Vpgmが印加される。
選択セルMCn1,MCn2のソース線SL側に隣接する隣接セルMC(n−1)1,MC(n−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(n−1)には、転送電圧Vpashが印加される。
残りのワード線WL1,・・・WL(n−2)には、転送電圧Vpassが印加される。
ここで、選択セルMCn1に“0”をプログラミングし、選択セルMCn2に“1”をプログラミングする場合には、上述と同様に、ビット線BL1をVbl1に設定し、ビット線BL2をVbl2に設定する。
選択セルMCn1,MCn2の初期状態は、共に、消去状態(“1”状態)である。
ビット線側セレクトゲート線SGDには、電圧Vsgdを印加する。また、ソース線側セレクトゲート線SGSには、ソース線側セレクトゲートトランジスタST11,ST12をカットオフさせる電圧Vsgsを印加する。
ソース線SLは、Vs、例えば、0Vに設定される。
これにより、セレクトゲートトランジスタST21は、オンになり、電圧Vbl1は、ビット線BL1からNANDストリング内の選択セルMCn1のチャネルに転送される。
従って、ワード線WLnにVpgmが印加されると、選択セルMCn1では、チャネルから電荷蓄積層(例えば、フローティングゲート電極)に電子が注入され、書き込み(閾値上昇)が行われる。
一方、セレクトゲートトランジスタST22は、例えば、ワード線にVpash及びVpassが印加されると、NANDストリング内のメモリセルのチャネルが容量カップリングにより昇圧されるため、自動的にカットオフする。
また、ワード線WLnにVpgmが印加されると、選択セルMCn2のチャネル電圧は、さらに上昇する。従って、選択セルMCn2では、チャネルから電荷蓄積層に電子が注入されず、書き込みが禁止(消去状態が維持)される。
このようなプログラミング動作において、隣接セルMC(n−1)1,MC(n−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(n−1)には、転送電圧Vpassよりも高い転送電圧Vpashが印加される。
このため、プログラミング時に、隣接セル(非選択セル)MC(n−1)1,MC(n−1)が既にプログラミング済みであっても、選択セルのコントロールゲート電極と隣接セルの電荷蓄積層との間のリークに起因する隣接セルの閾値変動を防止できる。
次に、同図(c)を参照しつつ、NANDストリング内の最もソース線側のメモリセルMC11,MC12を選択セルとする場合について説明する。
この場合、選択セルMC11,MC12のソース線SL側に隣接する隣接セルが存在しないため、ワード線WL1には、プログラム電圧Vpgmが印加され、残りの全てのワード線WL2,・・・WLnには、転送電圧Vpassが印加される。
あとは、上述の(a)及び(b)と同様に、プログラミングを実行する。
図9は、選択セルのコントロールゲート電極と隣接セルの電荷蓄積層との間の電圧ΔVとVpashとの関係を示している。
ΔVの値は、選択セルのコントロールゲート電極と隣接セルの電荷蓄積層との間に発生するリーク量に対応する。
Vfgは、隣接セルのフローティングゲート電極の電圧であり、
Vfg = Cpr(Vg-Vth)
Cpr = Cono/(Cono+Cox)
で表される。
Vfg = Cpr(Vg-Vth)
Cpr = Cono/(Cono+Cox)
で表される。
但し、Vgは、隣接セルのコントロールゲート電極の電圧Vpashであり、Vthは、隣接セルの閾値電圧であり、Cprは、カップリング比である。
Conoは、隣接セルのゲート間絶縁膜の容量であり、Coxは、隣接セルのトンネル絶縁膜(ゲート絶縁膜)の容量である。ゲート間絶縁膜とは、フローティングデート電極とコントロールゲート電極との間の絶縁膜のことである。
また、隣接セルの閾値電圧Vthについては、書き込み状態のときVthw(>0)と、消去状態のときVthe(<0)との2通りである。
同図から明らかなように、Vpashの増加に従い、フローティングゲート電圧Vfgが増加し、ΔV(=Vpgm-Vfg)が減少していく。
また、隣接セルの閾値電圧Vthe, Vthwについてみると、書き込み状態(Vthw)のときのΔVは、消去状態(Vthe)のときのΔVよりも大きくなる。
これは、隣接セルが書き込み状態にあるときに、特に、隣接セルの閾値変動(誤消去)が問題になることを意味している。
第1実施の形態によれば、Vpashを大きくすることにより、ΔVの値を小さくすることができるため、特に、隣接セルが書き込み状態にある場合の閾値変動を有効に防止できる。
B. 第2実施の形態
第2実施の形態は、第1実施の形態と同様に、隣接セルが選択セルのソース線側に隣接する場合の例である。
第2実施の形態は、第1実施の形態と同様に、隣接セルが選択セルのソース線側に隣接する場合の例である。
第2の実施の形態の特徴は、第1の実施の形態にローカルセルフブースト(LSB: Local Self-Boost)方式を組み合わせた点にある。
図6は、プログラミング時のNANDセルユニット内の電圧関係を示している。
まず、同図(a)を参照しつつ、NANDストリング内の中央のメモリセルMCk1,MCk2を選択セルとする場合について説明する。
ワード線WLkには、プログラム電圧Vpgmが印加される。
選択セルMCk1,MCk2のソース線SL側に隣接する隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(k−1)には、転送電圧Vpashが印加される。
隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2のさらにソース線SL側に隣接する非選択セルMC(k−2)1,MC(k−2)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(k−2)には、非選択セルMC(k−2)1,MC(k−2)2をカットオフさせるカットオフ電圧Vcutoff(例えば、0V)が印加される。
残りのワード線WL1,・・・WL(k−3),WL(k+1),・・・WLnには、転送電圧Vpassが印加される。
これら4つの電圧の大小関係は、Vcutoff<Vpass<Vpash<Vpgmである。
Vpass, Vpash, Vpgmについては、NANDストリング内のメモリセルをその閾値によらずオンにする値以上を有する。
ここで、選択セルMCk1に“0”をプログラミングし、選択セルMCk2に“1”をプログラミングする場合を考える。
選択セルMCk1,MCk2の初期状態は、共に、消去状態(“1”状態)である。
この場合、ビット線BL1は、“0”−プログラミングのための低い電圧Vbl1(例えば、0V)に設定され、ビット線BL2は、“1”−プログラミングのための正の電圧Vbl2(例えば、1.2V - 4.0V)に設定される。
ビット線側セレクトゲート線SGDには、電圧Vsgdが印加される。Vsgdの値は、第1実施の形態の条件に従う。
ソース線側セレクトゲート線SGSには、ソース線側セレクトゲートトランジスタST11,ST12をカットオフさせる電圧Vsgs(例えば0V)を印加する。
ソース線SLは、Vs、例えば、0Vに設定される。
これにより、セレクトゲートトランジスタST21は、オンになり、電圧Vbl1は、ビット線BL1からNANDストリング内の選択セルMCk1のチャネルに転送される。
従って、ワード線WLkにVpgmが印加されると、選択セルMCk1では、チャネルから電荷蓄積層(例えば、フローティングゲート電極)に電子が注入され、書き込み(閾値上昇)が行われる。
一方、セレクトゲートトランジスタST22は、例えば、ワード線にVpash及びVpassが印加されると、NANDストリング内のメモリセルのチャネルが容量カップリングにより昇圧されるため、自動的にカットオフする。
また、ワード線WLkにVpgmが印加されると、選択セルMCk2のチャネル電圧は、さらに上昇する。従って、選択セルMCk2では、チャネルから電荷蓄積層に電子が注入されず、書き込みが禁止(消去状態が維持)される。
ここで、書き込み禁止に関して、非選択セルMC(k−2)1,MC(k−2)2は、Vcutoffにより、カットオフ状態になっているため、選択セルのチャネルの昇圧効率が向上する。
即ち、NANDストリング内の全てのメモリセルのチャネルを昇圧(ブースト)する場合に比べ、非選択セル(カットオフトランジスタ)MC(k−2)よりもビット線側のメモリセルMC(k−1),・・・MCnのチャネルのみを昇圧した場合のほうが、ブースト比が向上する。
このようなローカルセルフブースト方式が適用されたプログラミング動作において、隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(k−1)には、転送電圧Vpassよりも高い転送電圧Vpashが印加される。
このため、プログラミング時に、隣接セル(非選択セル)MC(k−1)1,MC(k−1)が既にプログラミング済みであっても、選択セルのコントロールゲート電極と隣接セルの電荷蓄積層との間のリークに起因する隣接セルの閾値変動を防止できる。
次に、同図(b)を参照しつつ、NANDストリング内の最もビット線側のメモリセルMCn1,MCn2を選択セルとする場合について説明する。
ワード線WLnには、プログラム電圧Vpgmが印加される。
選択セルMCn1,MCn2のソース線SL側に隣接する隣接セルMC(n−1)1,MC(n−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(n−1)には、転送電圧Vpashが印加される。
隣接セルMC(n−1)1,MC(n−1)2のさらにソース線SL側に隣接する非選択セルMC(n−2)1,MC(n−2)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(n−2)には、非選択セルMC(n−2)1,MC(n−2)2をカットオフさせるカットオフ電圧Vcutoffが印加される。
残りのワード線WL1,・・・WL(n−2)には、転送電圧Vpassが印加される。
ここで、選択セルMCn1に“0”をプログラミングし、選択セルMCn2に“1”をプログラミングする場合には、上述と同様に、ビット線BL1をVbl1に設定し、ビット線BL2をVbl2に設定する。
選択セルMCn1,MCn2の初期状態は、共に、消去状態(“1”状態)である。
ビット線側セレクトゲート線SGDには、電圧Vsgdを印加する。また、ソース線側セレクトゲート線SGSには、ソース線側セレクトゲートトランジスタST11,ST12をカットオフさせる電圧Vsgsを印加する。
ソース線SLは、Vs、例えば、0Vに設定される。
これにより、セレクトゲートトランジスタST21は、オンになり、電圧Vbl1は、ビット線BL1からNANDストリング内の選択セルMCn1のチャネルに転送される。
従って、ワード線WLnにVpgmが印加されると、選択セルMCn1では、チャネルから電荷蓄積層(例えば、フローティングゲート電極)に電子が注入され、書き込み(閾値上昇)が行われる。
一方、セレクトゲートトランジスタST22は、例えば、ワード線にVpash及びVpassが印加されると、NANDストリング内のメモリセルのチャネルが容量カップリングにより昇圧されるため、自動的にカットオフする。
また、ワード線WLnにVpgmが印加されると、選択セルMCn2のチャネル電圧は、さらに上昇する。従って、選択セルMCn2では、チャネルから電荷蓄積層に電子が注入されず、書き込みが禁止(消去状態が維持)される。
ここで、書き込み禁止に関して、非選択セルMC(n−2)1,MC(n−2)2は、Vcutoffにより、カットオフ状態になっているため、選択セルMCn1,MCn2及び隣接セルMC(n−1)1,MC(n−1)2のチャネルのみを昇圧すればよく、選択セルのチャネルの昇圧効率が向上する。
このようなローカルセルフブースト方式が適用されたプログラミング動作において、隣接セルMC(n−1)1,MC(n−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(n−1)には、転送電圧Vpassよりも高い転送電圧Vpashが印加される。
このため、プログラミング時に、隣接セル(非選択セル)MC(n−1)1,MC(n−1)が既にプログラミング済みであっても、選択セルのコントロールゲート電極と隣接セルの電荷蓄積層との間のリークに起因する隣接セルの閾値変動を防止できる。
次に、同図(c)を参照しつつ、NANDストリング内の最もソース線側のメモリセルMC11,MC12を選択セルとする場合について説明する。
この場合、選択セルMC11,MC12のソース線SL側に隣接する隣接セルが存在しないため、ワード線WL1には、プログラム電圧Vpgmが印加され、残りの全てのワード線WL2,・・・WLnには、転送電圧Vpassが印加される。
あとは、上述の(a)及び(b)と同様に、プログラミングを実行する。
第2実施の形態においても、図9に示すような、ΔVとVpashとの関係が得られるため、隣接セルが書き込み状態にある場合の閾値変動を有効に防止できる。
尚、第2実施の形態では、ローカルセルフブーストのためのカットオフトランジスタは、1つのみの例を示したが、2つ以上存在していてもよい。
C. 第3実施の形態
第3実施の形態は、第1実施の形態と同様に、隣接セルが選択セルのソース線側に隣接する場合の例である。
第3実施の形態は、第1実施の形態と同様に、隣接セルが選択セルのソース線側に隣接する場合の例である。
第3の実施の形態は、第1の実施の形態の変形例であり、その特徴は、非選択セル(隣接セルを除く)に与えるVpassの値がそれぞれ異なる点にある。
図7は、プログラミング時のNANDセルユニット内の電圧関係を示している。
まず、同図(a)を参照しつつ、NANDストリング内の中央のメモリセルMCk1,MCk2を選択セルとする場合について説明する。
ワード線WLkには、プログラム電圧Vpgmが印加される。
選択セルMCk1,MCk2のソース線SL側に隣接する隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(k−1)には、転送電圧Vpashが印加される。
残りのワード線WL1,・・・WL(k−2),WL(k+1),・・・WLnには、転送電圧Vpass-1, …Vpass-(k-2), Vpass-(k+1),…Vpass-nが印加される。
これら電圧の大小関係は、Vpass-1, …Vpass-(k-2), Vpass-(k+1),…Vpass-n < Vpash < Vpgmである。
Vpass-1, …Vpass-(k-2), Vpass-(k+1),…Vpass-nについては、少なくとも1つが他と異なればよい。
即ち、転送電圧Vpass (Vpashを除く)の種類は、Vpgmを与えたときの電圧ストレスに関するNANDストリング内のメモリセルの位置依存性に基づき、必要最小限の数(2種類以上)だけ用意する。
もちろん、Vpass-1, …Vpass-(k-2), Vpass-(k+1),…Vpass-nの全ての値を異ならせることもできる。
ここで、選択セルMCk1に“0”をプログラミングし、選択セルMCk2に“1”をプログラミングする場合を考える。
選択セルMCk1,MCk2の初期状態は、共に、消去状態(“1”状態)である。
この場合、ビット線BL1は、“0”−プログラミングのための低い電圧Vbl1(例えば、0V)に設定され、ビット線BL2は、“1”−プログラミングのための正の電圧Vbl2(例えば、1.2V - 4.0V)に設定される。
ビット線側セレクトゲート線SGDには、電圧Vsgdが印加される。
ソース線側セレクトゲート線SGSには、ソース線側セレクトゲートトランジスタST11,ST12をカットオフさせる電圧Vsgsを印加する。
ソース線SLは、Vs、例えば、0Vに設定される。
これにより、セレクトゲートトランジスタST21は、オンになり、電圧Vbl1は、ビット線BL1からNANDストリング内の選択セルMCk1のチャネルに転送される。
従って、ワード線WLkにVpgmが印加されると、選択セルMCk1では、チャネルから電荷蓄積層(例えば、フローティングゲート電極)に電子が注入され、書き込み(閾値上昇)が行われる。
一方、セレクトゲートトランジスタST22は、例えば、ワード線にVpash及びVpass-1, …Vpass-(k-2), Vpass-(k+1),…Vpass-nが印加されると、NANDストリング内のメモリセルのチャネルが容量カップリングにより昇圧されるため、自動的にカットオフする。
また、ワード線WLkにVpgmが印加されると、選択セルMCk2のチャネル電圧は、さらに上昇する。従って、選択セルMCk2では、チャネルから電荷蓄積層に電子が注入されず、書き込みが禁止(消去状態が維持)される。
このようなプログラミング動作において、隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(k−1)には、転送電圧Vpass-1, …Vpass-(k-2), Vpass-(k+1),…Vpass-nよりも高い転送電圧Vpashが印加される。
このため、プログラミング時に、隣接セル(非選択セル)MC(k−1)1,MC(k−1)が既にプログラミング済みであっても、選択セルのコントロールゲート電極と隣接セルの電荷蓄積層との間のリークに起因する隣接セルの閾値変動を防止できる。
次に、同図(b)を参照しつつ、NANDストリング内の最もビット線側のメモリセルMCn1,MCn2を選択セルとする場合について説明する。
ワード線WLnには、プログラム電圧Vpgmが印加される。
選択セルMCn1,MCn2のソース線SL側に隣接する隣接セルMC(n−1)1,MC(n−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(n−1)には、転送電圧Vpashが印加される。
残りのワード線WL1,・・・WL(n−2)には、転送電圧Vpass-1, …Vpass-(n-2)が印加される。
ここで、選択セルMCn1に“0”をプログラミングし、選択セルMCn2に“1”をプログラミングする場合には、上述と同様に、ビット線BL1をVbl1に設定し、ビット線BL2をVbl2に設定する。
選択セルMCn1,MCn2の初期状態は、共に、消去状態(“1”状態)である。
ビット線側セレクトゲート線SGDには、電圧Vsgdを印加する。また、ソース線側セレクトゲート線SGSには、ソース線側セレクトゲートトランジスタST11,ST12をカットオフさせる電圧Vsgsを印加する。
ソース線SLは、Vs、例えば、0Vに設定される。
これにより、セレクトゲートトランジスタST21は、オンになり、電圧Vbl1は、ビット線BL1からNANDストリング内の選択セルMCn1のチャネルに転送される。
従って、ワード線WLnにVpgmが印加されると、選択セルMCn1では、チャネルから電荷蓄積層(例えば、フローティングゲート電極)に電子が注入され、書き込み(閾値上昇)が行われる。
一方、セレクトゲートトランジスタST22は、例えば、ワード線にVpash及びVpass-1, …Vpass-(n-2)が印加されると、NANDストリング内のメモリセルのチャネルが容量カップリングにより昇圧されるため、自動的にカットオフする。
また、ワード線WLnにVpgmが印加されると、選択セルMCn2のチャネル電圧は、さらに上昇する。従って、選択セルMCn2では、チャネルから電荷蓄積層に電子が注入されず、書き込みが禁止(消去状態が維持)される。
このようなプログラミング動作において、隣接セルMC(n−1)1,MC(n−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(n−1)には、転送電圧Vpass-1, …Vpass-(n-2)よりも高い転送電圧Vpashが印加される。
このため、プログラミング時に、隣接セル(非選択セル)MC(n−1)1,MC(n−1)が既にプログラミング済みであっても、選択セルのコントロールゲート電極と隣接セルの電荷蓄積層との間のリークに起因する隣接セルの閾値変動を防止できる。
次に、同図(c)を参照しつつ、NANDストリング内の最もソース線側のメモリセルMC11,MC12を選択セルとする場合について説明する。
この場合、選択セルMC11,MC12のソース線SL側に隣接する隣接セルが存在しないため、ワード線WL1には、プログラム電圧Vpgmが印加され、残りの全てのワード線WL2,・・・WLnには、転送電圧Vpass-2, …Vpass-nが印加される。
あとは、上述の(a)及び(b)と同様に、プログラミングを実行する。
第3実施の形態においても、図9に示すような、ΔVとVpashとの関係が得られるため、隣接セルが書き込み状態にある場合の閾値変動を有効に防止できる。
D. 第4実施の形態
第4実施の形態では、選択セルのソース線側に隣接する隣接セル及びビット線側に隣接する隣接セルのうちの少なくとも1つにVpashを与える。
第4実施の形態では、選択セルのソース線側に隣接する隣接セル及びビット線側に隣接する隣接セルのうちの少なくとも1つにVpashを与える。
第4実施の形態は、ランダムプログラム及びシーケンシャルプログラムの双方に有効である。
図8は、プログラミング時のNANDセルユニット内の電圧関係を示している。
同図(a)では、選択セルMCk1,MCk2のソース線SL側及びビット線BL1,BL2側にそれぞれ隣接する隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2,MC(k+1)1,MC(k+1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(k−1),WL(k+1)に転送電圧Vpashが印加される。
ワード線WLkには、プログラム電圧Vpgmが印加される。
残りのワード線WL1,・・・WL(k−2),WL(k+2),・・・WLnには、転送電圧Vpassが印加される。
これら3つの電圧の大小関係は、Vpass<Vpash<Vpgmである。
Vpass, Vpash, Vpgmは、NANDストリング内のメモリセルをその閾値によらずオンにする値以上を有する。
ここで、選択セルMCk1に“0”をプログラミングし、選択セルMCk2に“1”をプログラミングする場合を考える。
選択セルMCk1,MCk2の初期状態は、共に、消去状態(“1”状態)である。
この場合、ビット線BL1は、“0”−プログラミングのための低い電圧Vbl1に設定され、ビット線BL2は、“1”−プログラミングのための正の電圧Vbl2に設定される。
ビット線側セレクトゲート線SGDには、電圧Vsgdが印加される。
ソース線側セレクトゲート線SGSには、ソース線側セレクトゲートトランジスタST11,ST12をカットオフさせる電圧Vsgsを印加する。
ソース線SLは、Vs、例えば、0Vに設定される。
この場合、2本のワード線WL(k−1),WL(k+1)に転送電圧Vpassよりも高い転送電圧Vpashが印加されるため、選択セルMCkに隣接する隣接セル(非選択セル)MC(k−1)1,MC(k−1)2,MC(k+1)1,MC(k+1)2が既にプログラミング済みであっても、その閾値変動を防止できる。
同図(b)では、選択セルMCk1,MCk2のビット線BL1,BL2側に隣接する隣接セルMC(k+1)1,MC(k+1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(k+1)に転送電圧Vpashが印加される。
ワード線WLkには、プログラム電圧Vpgmが印加される。
残りのワード線WL1,・・・WL(k−1),WL(k+2),・・・WLnには、転送電圧Vpassが印加される。
これら3つの電圧の大小関係は、Vpass<Vpash<Vpgmである。
Vpass, Vpash, Vpgmは、NANDストリング内のメモリセルをその閾値によらずオンにする値以上を有する。
ここで、選択セルMCk1に“0”をプログラミングし、選択セルMCk2に“1”をプログラミングする場合を考える。
選択セルMCk1,MCk2の初期状態は、共に、消去状態(“1”状態)である。
この場合、ビット線BL1は、“0”−プログラミングのための低い電圧Vbl1に設定され、ビット線BL2は、“1”−プログラミングのための正の電圧Vbl2に設定される。
ビット線側セレクトゲート線SGDには、電圧Vsgdが印加される。
ソース線側セレクトゲート線SGSには、ソース線側セレクトゲートトランジスタST11,ST12をカットオフさせる電圧Vsgsを印加する。
ソース線SLは、Vs、例えば、0Vに設定される。
この場合、ワード線WL(k+1)に転送電圧Vpassよりも高い転送電圧Vpashが印加されるため、選択セルMCkのビット線側に隣接する隣接セル(非選択セル)MC(k+1)1,MC(k+1)2が既にプログラミング済みであっても、その閾値変動を防止できる。
同図(c)は、選択セルMCk1,MCk2のソース線SL側に隣接する隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(k−1)に転送電圧Vpashが印加される場合であり、第1実施の形態と同じである。
尚、第4実施の形態において、第2実施の形態のローカルセルフブースト方式、及び、第3実施の形態の異なる転送電圧Vpass-1,…Vpass-nのうちの少なくとも1つを適用して新たな実施の形態とすることも可能である。
(5) 比較例
図10及び図11は、比較例としてのプログラミング動作を示している。
図10及び図11は、比較例としてのプログラミング動作を示している。
ここでは、セルフブースト方式とローカルセルフブースト方式を、本発明の方式との相違点を含めて説明する。
まず、プログラミング前に、NANDセルユニット内の全てのメモリセルのデータを一括消去する。例えば、全てのワード線WL1,・・・WLnを低い電圧Vss(例えば、0V)にし、半導体基板(例えば、p型ウェル領域)に高い正電圧Vera(例えば、20V)を与えて、フローティングゲート電極内の電子をチャネルに放出する。
プログラミングは、選択されたワード線に接続される複数のメモリセルに対して一括して行われる。通常、1本のワード線に接続される複数のメモリセルのグループを1ページと定義するが、近年では、これらの複数のメモリセルに複数のページを割り当てることもある。
・ セルフブースト方式(図10)
ワード線にプログラム電圧Vpgmを印加する前に、ビット線BL1,BL2にはプログラムデータ”0”/”1”に応じて、Vbl1/Vbl2を与える。Vbl1は、0Vとし、Vbl2は、1.2〜4.0Vの範囲内の値とする。
ワード線にプログラム電圧Vpgmを印加する前に、ビット線BL1,BL2にはプログラムデータ”0”/”1”に応じて、Vbl1/Vbl2を与える。Vbl1は、0Vとし、Vbl2は、1.2〜4.0Vの範囲内の値とする。
ソース側セレクトゲートトランジスタST11,ST12のセレクトゲート線SGSには、Vsgs(例えば、0V)を与え、ビット線セレクトゲートトランジスタST21,ST22のセレクトゲート線SGDには、Vsgdを与える。
この後、選択セルMCk1、MCk2に接続されるワード線WLkには、プログラム電圧Vpgm(例えば、20V)を与え、それ以外のワード線WL1,・・・WL(k−1),・・・WL(k+1),・・・WLnには、転送電圧Vpass(例えば、10V)を与える。
”0”-プログラミングのNANDセルユニット内では、チャネル電圧がVbl1に固定されるため、選択セルMCk1のゲート絶縁膜に大きな電界が掛かり、そのフローティングゲート電極内に電子が注入され、選択セルMCk1の閾値が上昇する。
一方、”1”-プログラミングのNANDセルユニット内では、図10(b)に示すように、NANDセルユニット内の全てのメモリセルのチャネルは、互いに直列接続されると共に、ソース線SL及びビット線BL1,BL2から電気的に分離され、フローティング状態になる。
これにより、”1”-プログラミングのNANDセルユニット内のチャネル電圧は、容量カップリングにより昇圧されるため、選択セルMCk2のゲート絶縁膜に掛かる電界が低減され、そのフローティングゲート電極内への電子の注入が抑えられる。
この方式では、転送電圧Vpassは、1種類しか存在しないため、既にプログラミング済みの非選択セルの閾値変動を防止するのが難しい。
例えば、メモリセルが微細化されてくると、選択セルMCk1,MCk2に隣接する隣接セル(非選択セル)MC(k−1)1,MC(k−1)2に関しては、ゲート絶縁膜(トンネル絶縁膜)に流れるトンネル電流による閾値変動に加え、選択セルのコントロールゲート電極との間に発生するリーク電流も考慮しなければならなくなる。
この場合、Vpassの値が大きすぎると、前者のトンネル電流が多くなり、逆に、Vpassの値が小さすぎると、後者のリーク電流が大きくなるため、Vpassの値を最適値に設定するのが非常に困難である。
・ ローカルセルフブースト方式(図11)
この方式は、セルフブースト方式と比べると、選択セルMCk1,MCk2のソース線SL側に隣接する隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(k−1)に、隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2をカットオフにするカットオフ電圧Vcutoff(例えば、0V)を与えている点が異なり、その他については、同じである。
この方式は、セルフブースト方式と比べると、選択セルMCk1,MCk2のソース線SL側に隣接する隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(k−1)に、隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2をカットオフにするカットオフ電圧Vcutoff(例えば、0V)を与えている点が異なり、その他については、同じである。
この方式では、隣接セル(カットオフトランジスタ)MC(k−1)1,MC(k−1)2よりもビット線BL1,BL2側に存在するメモリセルのチャネル(昇圧領域)のみを部分的に昇圧すればよいため、昇圧効率が向上する。
ローカルセルフブースト方式では、選択セルMCk1,MCk2のビット線BL1,BL2側に隣接する隣接セルMC(k+1)1,MC(k+1)2のコントロールゲート電極、即ち、ワード線WL(k+1)には、転送電圧Vpassが印加される。
また、転送電圧Vpassは、プログラム電圧Vpgmよりも低く、かつ、選択セルMCk1,MCk2のソース線SL側に隣接する隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2に与えるカットオフ電圧Vcutoffは、転送電圧Vpassよりも低い。
しかし、このカットオフ電圧Vcutoffは、その名の通り、隣接セルMC(k−1)1,MC(k−1)2をカットオフさせる値を有する。
本発明の方式における転送電圧Vpashは、隣接セル(非選択セル)を、その閾値によらずオンにする値以上を有するため、ローカルセルフブースト方式とは完全に区別される。
(6) まとめ
以上、説明したように、第1乃至第5実施の形態によれば、プログラミング時に、NANDセルユニット内の既にデータがプログラミングされた非選択セルの閾値変動を防止できる。
以上、説明したように、第1乃至第5実施の形態によれば、プログラミング時に、NANDセルユニット内の既にデータがプログラミングされた非選択セルの閾値変動を防止できる。
3. 転送電圧の最適化について
本発明では、少なくとも2つの転送電圧Vpass, Vpashを利用することで転送電圧の最適化が容易になる。
本発明では、少なくとも2つの転送電圧Vpass, Vpashを利用することで転送電圧の最適化が容易になる。
図12は、プログラミング時のリーク電流による誤消去とトンネル電流による誤書き込みとの関係を示している。
トンネル電流による誤書き込みの問題は、NANDセルユニット内の全てのメモリセルに発生するが、本発明の課題となるリーク電流による誤消去は、選択セルに隣接する隣接セルのみにおいて発生する。
転送電圧Vpassが1種類しか存在しない場合、従来では、トンネル電流による誤書き込みのみを考慮していたため、転送電圧Vpassの値は、比較的低い値に設定されていた。この場合、メモリセルが微細化されてくると、リーク電流による隣接セルの誤消去の問題が発生する。
転送電圧Vpassが1種類しか存在しなくても、その値を最適範囲に設定することは可能であるが、マージンを考慮すると、転送電圧Vpassの値を一律に上昇させることは、トンネル電流による誤書き込みにとって好ましいことではない。
そこで、本発明のように、トンネル電流による誤書き込みを防止するために、転送電圧Vpassとしては、従来と同じ値を採用し、リーク電流による隣接セルの誤消去の問題を解決するために、転送電圧Vpassよりも高い転送電圧Vpashを隣接セルに与えることは、非常に有効である。
4. 変形例
本発明の変形例のいくつかについて説明する。
本発明の変形例のいくつかについて説明する。
(1) 多値NAND型不揮発性半導体メモリ
本発明は、1つのメモリセルに記憶させる値の数に制限されない。
本発明は、1つのメモリセルに記憶させる値の数に制限されない。
上述の実施の形態では、2値を前提としたが、本発明のNAND型不揮発性半導体メモリは、1つのメモリセルに3値以上を記憶させる多値メモリであってもよい。
既に説明したように、多値技術が適用されたNAND型不揮発性半導体メモリでは、狭い電圧範囲内に3つ以上の閾値分布を設定しなければならず、本発明による閾値変動の防止は、狭い閾値分布を実現するに当って非常に有効である。
(2) プログラミング順序
上述の実施の形態では、特に、プログラミング順序については限定していないが、NANDセルユニット内の複数のメモリセルのうち、最もソース線側のメモリセルから最もビット線側のメモリセルに向かって1つずつ順次プログラミングを実行するシーケンシャルプログラム方式では、常に、選択セルのソース線側に隣接する隣接セルは、プログラミング済みであるため、本発明は、その隣接セルの閾値変動の防止に有効である。
上述の実施の形態では、特に、プログラミング順序については限定していないが、NANDセルユニット内の複数のメモリセルのうち、最もソース線側のメモリセルから最もビット線側のメモリセルに向かって1つずつ順次プログラミングを実行するシーケンシャルプログラム方式では、常に、選択セルのソース線側に隣接する隣接セルは、プログラミング済みであるため、本発明は、その隣接セルの閾値変動の防止に有効である。
また、ランダムプログラム方式でも、選択セルに隣接する隣接セルがプログラミング済みである場合もあるので、本発明は、ランダムプログラム方式が適用されたNAND型不揮発性半導体メモリにも有効である。
(3) センス方式
メモリセルのデータを読み出すためのセンス方式として、全ビット線を偶数ビット線と奇数ビット線とに分けて読み出しを行うシールドビット線センス方式と、全てのビット線のデータを同時に読み出すABL(All Bit Line)センス方式とがある。
メモリセルのデータを読み出すためのセンス方式として、全ビット線を偶数ビット線と奇数ビット線とに分けて読み出しを行うシールドビット線センス方式と、全てのビット線のデータを同時に読み出すABL(All Bit Line)センス方式とがある。
本発明のプログラミング方式は、これらの双方にそれぞれ組み合わせて、NAND型不揮発性半導体メモリを実現することが可能である。
(4) ページ設定
本発明のプログラミング方式は、1つのワード線に接続される複数のメモリセルに対して一括してプログラミングを実行するときの隣接セルに与える転送電圧に関するものであるが、この1つのワード線に接続される複数のメモリセルからなるグループは、通常、1ページと定義される。
本発明のプログラミング方式は、1つのワード線に接続される複数のメモリセルに対して一括してプログラミングを実行するときの隣接セルに与える転送電圧に関するものであるが、この1つのワード線に接続される複数のメモリセルからなるグループは、通常、1ページと定義される。
しかし、近年では、1つのワード線に接続される複数のメモリセルからなるグループに複数のページを割り当てる場合もある。本発明のプログラミング方式は、このような場合においても、何ら変更なく、適用することができる。
(5) チャネル昇圧方式
本発明は、選択セルの閾値を変化させるときは、選択セルのチャネルを固定電位(例えば、0V)に固定し、選択セルの閾値を変化させないときは、選択セルのチャネルを固定電位よりも高い電位にブーストする。
本発明は、選択セルの閾値を変化させるときは、選択セルのチャネルを固定電位(例えば、0V)に固定し、選択セルの閾値を変化させないときは、選択セルのチャネルを固定電位よりも高い電位にブーストする。
このような方式としては、セルフブースト方式、ローカルセルフブースト方式、消去エリアセルフブースト(ESB: Erased area Self-Boost)方式、又は、それらの変形方式などが知られているが、本発明は、そのような方式にも、もちろん適用可能である。
(6) ステップアップ書き込み
プログラミング時に、選択セルの閾値を上昇させる書き込みを行う場合、プログラム電圧は、複数のステップを経て最大値になるように設定してもよい。この場合、隣接セルに与える転送電圧の値は、プログラム電圧の最大値よりも低ければよい。
プログラミング時に、選択セルの閾値を上昇させる書き込みを行う場合、プログラム電圧は、複数のステップを経て最大値になるように設定してもよい。この場合、隣接セルに与える転送電圧の値は、プログラム電圧の最大値よりも低ければよい。
また、プログラム電圧は、最大値に達する前に、転送電圧の値と同じ値を有する期間があってもよい。
(7) メモリセル構造
上述の実施の形態では、メモリセルは、フローティングゲート電極及びコントロールゲート電極を有するスタックゲート構造を前提としたが、メモリセル構造は、これに限られない。
上述の実施の形態では、メモリセルは、フローティングゲート電極及びコントロールゲート電極を有するスタックゲート構造を前提としたが、メモリセル構造は、これに限られない。
図13は、MONOS型メモリセルを示している。
MONOS型とは、電荷蓄積層が絶縁膜から構成される不揮発性半導体メモリセルをいうものとする。
MONOS型とは、電荷蓄積層が絶縁膜から構成される不揮発性半導体メモリセルをいうものとする。
半導体基板(アクティブエリア)25内には、ソース/ドレイン拡散層26が配置される。ソース/ドレイン拡散層26間のチャネル領域上には、ゲート絶縁膜(トンネル絶縁膜)27、電荷蓄積層28、ブロック絶縁膜29及びコントロールゲート電極(ワード線)30が配置される。
ブロック絶縁膜29は、例えば、ONO(oxide/nitride/oxide)膜、高誘電率(high-k)材料などから構成される。
5. 適用例
本発明のNAND型不揮発性半導体メモリが適用されるシステムの例を説明する。
本発明のNAND型不揮発性半導体メモリが適用されるシステムの例を説明する。
図14は、メモリシステムの一例を示している。
このシステムは、例えば、メモリカード、USBメモリなどである。
このシステムは、例えば、メモリカード、USBメモリなどである。
パッケージ31内には、回路基板32、複数の半導体チップ33,34,35が配置される。回路基板32と半導体チップ33,34,35とは、ボンディングワイヤ36により電気的に接続される。半導体チップ33,34,35のうちの1つが、本発明に係わるNAND型不揮発性半導体メモリである。
図15は、チップレイアウトを示している。
半導体チップ40上には、メモリセルアレイ41A,41Bが配置される。メモリセルアレイ41A,41Bは、それぞれ、第2方向に配置されるブロックBK0,BK1,・・・BKn−1を有する。ブロックBK0,BK1,・・・BKn−1の各々は、第1方向に配置される複数のセルユニットCUを有する。
半導体チップ40上には、メモリセルアレイ41A,41Bが配置される。メモリセルアレイ41A,41Bは、それぞれ、第2方向に配置されるブロックBK0,BK1,・・・BKn−1を有する。ブロックBK0,BK1,・・・BKn−1の各々は、第1方向に配置される複数のセルユニットCUを有する。
セルユニットCUは、図16に示すように、第2方向に直列接続される複数のメモリセルMCと、その両端に1つずつ接続される2つのセレクトゲートトランジスタSTとから構成されるNANDストリングである。
メモリセルアレイ41A,41B上には、それぞれ、第2方向に延びるビット線BLが配置される。メモリセルアレイ41A,41Bの第2方向の両端には、ページバッファ(PB)43が配置される。ページバッファ43は、読み出し/書き込み時に、読み出しデータ/書き込みデータを一時的に記憶する機能を有する。また、ページバッファ43は、読み出し時、又は、書き込み/消去動作のベリファイ時に、センスアンプ(S/A)として機能する。
メモリセルアレイ41A,41Bの第1方向の一端(半導体チップ40の縁側の端部とは反対側の端部)には、ロウデコーダ(RDC)44が配置される。また、メモリセルアレイ41A,41Bの第2方向の一端側には、半導体チップ40の縁に沿ってパッドエリア42が配置される。ページバッファ43とパッドエリア42との間には、周辺回路45が配置される。
6. むすび
本発明によれば、プログラミング時に、NANDセルユニット内の既にデータがプログラミングされた非選択セルの閾値変動を防止できる。
本発明によれば、プログラミング時に、NANDセルユニット内の既にデータがプログラミングされた非選択セルの閾値変動を防止できる。
本発明の例は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、各構成要素を変形して具体化できる。また、上述の実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を構成できる。例えば、上述の実施の形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよいし、異なる実施の形態の構成要素を適宜組み合わせてもよい。
11: メモリセルアレイ、 12: データラッチ回路、 13: I/Oバッファ、 14: アドレスバッファ、 15: ロウデコーダ、 16: カラムデコーダ、 17: ワード線ドライバ、 18: 基板電圧制御回路、 19: 電圧発生回路、 20: 制御回路、 21: 転送トランジスタユニット、 22: ブースタ、 24: セレクタ、 25: 半導体基板、 26: ソース/ドレイン拡散層、 27: ゲート絶縁膜、 28: 電荷蓄積層、 29: ブロック絶縁膜、 30: コントロールゲート電極、 31: パッケージ、 32: 回路基板、 33,34,35,40: 半導体チップ、 36: ボンディングワイヤ、 41A,41B: メモリセルアレイ、 42: パッドエリア、 43: ページバッファ、 44: ロウデコーダ、 45: 周辺回路。
Claims (5)
- 電荷蓄積層及びコントロールゲート電極を有し、互いに直列接続されるn個のメモリセル(nは3以上の整数)と、前記n個のメモリセルの一端とソース線との間に接続される第1セレクトゲートトランジスタと、前記n個のメモリセルの他端とビット線との間に接続される第2セレクトゲートトランジスタと、プログラミング時に、前記n個のメモリセルのうち、選択された第1メモリセルのコントロールゲート電極に第1電圧を印加し、前記第1メモリセルに隣接する第2メモリセルのコントロールゲート電極に前記第1電圧よりも低い第2電圧を印加し、前記第1及び第2メモリセル以外の第3メモリセルのコントロールゲート電極に前記第2電圧よりも低い第3電圧を印加するドライバとを具備し、前記第1、第2及び第3電圧は、前記n個のメモリセルをそれらの閾値によらずオンにする値以上であることを特徴とするNAND型不揮発性半導体メモリ。
- 前記第2メモリセルは、前記第1メモリセルの前記ソース線側に隣接し、前記プログラミングは、前記n個のメモリセルのうち、最も前記ソース線側のメモリセルから最も前記ビット線側のメモリセルに向かって1つずつ順次行われることを特徴とする請求項1に記載のNAND型不揮発性半導体メモリ。
- 前記プログラミング時に、前記第1及び第2メモリセル以外の(n−2)個のメモリセル(nは4以上の整数)のコントロールゲート電極には、互いに異なる電圧が印加されることを特徴とする請求項1又は2に記載のNAND型不揮発性半導体メモリ。
- 前記第1メモリセルの閾値を変化させるときは、前記第1メモリセルのチャネル領域を固定電位に固定し、前記第1メモリセルの閾値を変化させないときは、前記第1メモリセルのチャネル領域を前記固定電位よりも高い電位にブーストすることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のNAND型不揮発性半導体メモリ。
- 前記プログラミング時に、前記第1電圧は、複数のステップを経て最大値になり、前記第2及び第3電圧は、前記最大値よりも低いことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のNAND型不揮発性半導体メモリ。
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