JP2008300019A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】たとえば、メモリセルMC0に対する“1”書き込み時には、まず、チャネルをプリチャージするために、ロウ制御回路からのVsg電位により、ドレイン側のセレクトゲートトランジスタSGD−Trをオンさせる。これと同時に、ロウ制御回路からのVsg電位により、ソース側のセレクトゲートトランジスタSGS−Trをオンさせて、チャネルの電位をディスチャージさせる。その後、チャネルの電位は、ロウ制御回路からワード線WL1〜WL3にVpass電位が、ワード線WL0にVpgm電位が、それぞれ印加されることにより、ブーストアップされる。
【選択図】 図9
Description
図1は、本発明の第1の実施形態にしたがった不揮発性半導体記憶装置の構成例を示すものである。なお、ここでは、不揮発性半導体記憶装置として、NAND型フラッシュメモリを例に説明する。
図10は、本発明の第2の実施形態にしたがった、不揮発性半導体記憶装置での“1”書き込み時の動作について説明するために示すものである。ここでは、NAND型フラッシュメモリにおいて、メモリセルMC0に対して“1”書き込みを行う場合を例に説明する。なお、ソース側セレクトゲートトランジスタSGS−Trを制御して、チャネルのプリチャージ電圧をディスチャージさせるようにした場合の例である。
図11は、本発明の第3の実施形態にしたがった、不揮発性半導体記憶装置での“1”書き込み時の動作について説明するために示すものである。ここでは、NAND型フラッシュメモリにおいて、メモリセルMC0に対して“1”書き込みを行う場合を例に説明する。なお、ドレイン側セレクトゲートトランジスタSGD−Trを制御して、ブースト電圧(チャネルの初期充電)を制御するようにした場合の例である。
図12は、本発明の第4の実施形態にしたがった、不揮発性半導体記憶装置での“1”書き込み時の動作について説明するために示すものである。ここでは、NAND型フラッシュメモリにおいて、メモリセルMC0に対して“1”書き込みを行う場合を例に説明する。なお、プリチャージ電圧を可変することで、ブースト電圧を最適化するようにした場合の例である。
Claims (5)
- 複数のメモリセルとセレクトゲートトランジスタとから構成されるセルユニットを有するメモリセルアレイと、
前記セレクトゲートトランジスタに隣接するメモリセルへの“1”書き込み時に、チャネルのブースト電圧過多による誤書き込みを防ぐための電圧制御回路と
を具備したことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記セレクトゲートトランジスタは、前記複数のメモリセルの一端に接続されたドレイン側セレクトゲートトランジスタと前記複数のメモリセルの他端に接続されたソース側セレクトゲートトランジスタとを含み、
前記電圧制御回路は、前記ソース側セレクトゲートトランジスタをオンさせることによって、前記チャネルの電圧を0Vに制御するものであることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記セレクトゲートトランジスタは、前記複数のメモリセルの一端に接続されたドレイン側セレクトゲートトランジスタと前記複数のメモリセルの他端に接続されたソース側セレクトゲートトランジスタとを含み、
前記電圧制御回路は、前記ソース側セレクトゲートトランジスタのゲート電圧と電圧印加時間とを可変して、前記チャネルの電圧を制御するものであることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - さらに、前記ソース側セレクトゲートトランジスタにつながるセルソース線の電圧を制御するためのソース線制御回路を備えることを特徴とする請求項3に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記セレクトゲートトランジスタは、前記複数のメモリセルの一端に接続されたドレイン側セレクトゲートトランジスタと前記複数のメモリセルの他端に接続されたソース側セレクトゲートトランジスタとを含み、
前記電圧制御回路は、前記ドレイン側セレクトゲートトランジスタのゲート電圧と電圧印加時間とを可変して、前記チャネルの電圧を制御するものであることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10276242B2 (en) | 2017-01-31 | 2019-04-30 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device |
US10748926B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-08-18 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device |
Families Citing this family (3)
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---|---|---|---|---|
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JP2015026406A (ja) * | 2013-07-24 | 2015-02-05 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
US20150070999A1 (en) * | 2013-09-11 | 2015-03-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10320988A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-04 | Sony Corp | 半導体不揮発性記憶装置、そのデータプログラム方法、およびその製造方法 |
JPH11273367A (ja) * | 1998-03-19 | 1999-10-08 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置 |
JP2003151289A (ja) * | 2001-11-09 | 2003-05-23 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体メモリ及びその書き込み方法 |
JP2006294205A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-10-26 | Hynix Semiconductor Inc | 不揮発性メモリ装置およびそのホットエレクトロンプログラムディスターブ防止方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US7161833B2 (en) * | 2004-02-06 | 2007-01-09 | Sandisk Corporation | Self-boosting system for flash memory cells |
US7259991B2 (en) * | 2005-09-01 | 2007-08-21 | Micron Technology, Inc. | Operation of multiple select gate architecture |
US8189378B2 (en) * | 2006-09-27 | 2012-05-29 | Sandisk Technologies Inc. | Reducing program disturb in non-volatile storage |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10320988A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-04 | Sony Corp | 半導体不揮発性記憶装置、そのデータプログラム方法、およびその製造方法 |
JPH11273367A (ja) * | 1998-03-19 | 1999-10-08 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置 |
JP2003151289A (ja) * | 2001-11-09 | 2003-05-23 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体メモリ及びその書き込み方法 |
JP2006294205A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-10-26 | Hynix Semiconductor Inc | 不揮発性メモリ装置およびそのホットエレクトロンプログラムディスターブ防止方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10276242B2 (en) | 2017-01-31 | 2019-04-30 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device |
US10748926B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-08-18 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device |
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