JP2009020010A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 複数の種類のガスをミキシング室で合成するガス合成部と、前記ガス合成部で合成されたガスを導入して減圧する圧力調整部と、前記圧力調整部からの減圧ガスをガス分析装置に導くように切替えるガス切替弁を備えたガス切替部と、合成されたガスの成分を分析するガス分析装置を備えたガス供給装置であって、
   前記ガス合成部は、複数のガス源から圧力弁を介して前記ミキシング室に通じる複数のガス導入経路と、前記ミキシング室から開閉弁を介して外部に排出する経路と、前記ミキシング室から前記圧力調整部に流量調整弁を介して導く経路とを備え、かつ
   前記圧力調整部は、前記ガス合成部からガスを導入する導入室と、該導入室で前記導入されたガスを0.1Paから0.1MPaまでの範囲内の圧力となるまで減圧するポンプを備えた経路と、該導入室から前記ガス切替部に通じる経路とを備え、かつ
   前記ガス切替部は、前記圧力調整部からのガスを、ガス切替弁を介して分析装置に通ずる経路と、
   減圧されたガスを10 ^−２ Pa以下にあるガス分析装置内に導くように切替えるガス切替弁を備えること、
   を特徴とする分析装置用のガス導入装置。
2. 請求項１に記載されたガス導入装置であって、
   ガス制御部を備え、前記ガス制御部は、前記ガス合成部で合成するガスを調整するように前記ガス合成部の前記圧力弁を制御し、前記圧力調整部で導入ガスを所望の圧力に減圧するように前記圧力調整部の前記ポンプを制御し、前記ガス切替弁を切替えて、所望の種類のガスを分析装置に供給することを特徴とする分析装置用のガス導入装置。
3. 請求項２に記載されたガス導入装置であって、
   前記ガス制御部は、分析装置に供給するガスを切替える際に、前記ガス合成部の前記圧力弁を開放し、前記ガス切替部のポンプを駆動して、前記ミキシング室から前記切替弁までの経路内のガスを排出することを特徴とする分析装置用のガス導入装置。
4. 請求項２又は３に記載されたガス導入装置であって、
   前記ガス切替弁は、複数の経路中の所望の経路からの所望のガスを前記分析装置に導くことを特徴とする分析装置用のガス導入装置。
5. ガス合成部のミキシング室内において複数の種類のガスをミキシングする工程と、
   前記ミキシングされたガスの流量を調整して圧力調整部に導入する工程と、
   前記圧力調整部において、前記導入されたガスをポンプにより0.1Paから0.1MPaまでの範囲内の圧力となるまで減圧する工程と、
   前記の圧力まで減圧されたガスを、ガス切替部におけるガス切替弁を介して10 ^−２ Pa以下にある分析装置内に導く工程と、
   から成ることを特徴とする分析装置用のガス導入方法。
6. 請求項５に記載されたガス導入方法であって、
   前記ガス合成部で合成するガスを調整するように前記ガス合成部に設けられた圧力弁を制御し、前記圧力調整部において導入ガスを前記圧力まで減圧するように前記圧力調整部の前記ポンプを制御し、前記ガス切替弁を切替えて、所望の種類のガスを分析装置に供給すること制御することを特徴とする分析装置用のガス導入方法。
7. 請求項６に記載されたガス導入方法であって、
   分析装置に供給するガスを切替える際に、前記ガス合成部の開閉弁を開放し、前記ガス切替部のポンプを駆動して、前記ミキシング室から前記切替弁までの経路内のガスを排出することを特徴とする分析装置用のガス導入方法。
8. 請求項６又は７に記載されたガス導入方法であって、
   前記ガス切替弁は、複数の経路中の所望の経路からの所望のガスを前記分析装置に導くことを特徴とする分析装置用のガス導入方法。