JPS625149A - ガス稀釈装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガスのサンプリング、稀釈等の操作を自動的に
おこなうガス稀釈装置に関する。

〔従来の技術〕

第２図（ａ）　、　（ｂ）にガスの稀釈１分析をおこな
う従来の装置を示す。サンプリング装置１００には低濃
度ガス人口１０１と高濃度ガス人口１０７が設けられて
いる。低濃度ガス人口１０１には、流路１０２、手動操
作バルブ１０３．流路１０４．試料採取口１０５がこの
順で設けられている。試料採取口１０５とガスサンプラ
１１７は流路１０６で接続されている。高濃度ガス人口
１０７には、流路１０８．試料採取口１０９．流路１１
０１手動操作バルブ１１１．流路１１２．排気ポンプ１
１３がこの順で設けられている。流路１１２からは流路
１１４が分岐しており、この流路１１４にはＴ字型の手
動操作バルブ１１５を介して排気口１１９が接続されて
いる。この手動操作バルブ１１５とガスサンプラ１１７
とは流路１１６により接続されている。ガスサンプラ１
１７には所定量のガスを計量する計量管１１８が設けら
れている。

ガスクロマトグラフ１２０にはチッ素ガス人口１２１と
、試料注入口１２８とが設けられている。

チッ素ガス人口１２１には、流路１２１、弁１２３゜流
路１２４．弁１２５．流路１２６がこの順で設けられて
おり、流路１２６はガスサンプラ１１７に接続されてい
る。ガスサンプラ１１７と試料注入口１２８とは流路１
２７で接続されている。試料注入口１２８には分離カラ
ム１２９が接続されており、この分離カラム１２９には
電子捕獲型検出器（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｃａｐｔｕｒｅ
　Ｄｅｔｅｃｔｏｒ　（Ｅ　ＣＤ　）　）１３０が接続
されている。この電子捕獲型検出器１３０には流路１３
１を介して排気口１３２が設けられている。電子捕獲型
検出器１３０の検出信号は増幅器】３３で増幅され記碌
計１３４で記録される。

マグネチックスターチ１５０上にはガス稀釈のための稀
釈容器１４５が設けられている。稀釈容器１４５への試
料の注入および試料の採取は試料採取口１４４でなされ
る。また、稀釈容器１４５には流路１４６１手動操作バ
ルブ１４７．流路１４９を介して排気ポンプ１４８が接
続されている。さらに、稀釈容器１４５には活性炭フィ
ルタ１４０、流路１４１１手動操作バルブ１４２．流路
１４３が設けられている。

かかる従来の装置でガスあサンプリング、稀釈。

分析をおこなう場合には、注射器（図示せず）を用いて
オはレータがガスの採取、注入を七こなうとともに、手
動操作バルブ１０３，１１１．１１５゜１４２．１４７
を手動操作する。例えば、上流側の高濃度ガスの分析を
おこなう場合には次のような手順でおこなう。まず、手
動操作バルブ１４２゜１４７を開き排気ポンプ１４８で
排気して稀釈容器１４５をクリーニングする。次に１手
動操作バルブ１１１を開き排気ポンプ１１３で高濃度ガ
スを吸引しながら、試料採取口１０９からガスを所定量
（例えば１１Ｒ１）注射器で採取する。採取した高濃度
ガスを試料採取口１４４から、手動操作バルブ１４２，
１４７を閉じて密封された稀釈容器１４５中に注射器で
注入する。稀釈容器１４５では１ｄの高濃度ガスを１例
えば１０００倍に稀釈する。次に稀釈されたガスを試料
採取口１４４から別の注射器で採取し、試料採取口１０
５から所定量（例えば２０１）注入する。これにより、
稀釈され九ガスはガステンプラ１１７の計量管１１８に
満たされる。次にガスサンプラ１１７を６０度面回転せ
、チッ素ガスを流入させることにより、計量管１１８中
の試料ガスをガスクロマトグラフ１２０に導入する。試
料ガスは分離カラム１２９を経て電子捕獲型検出器１３
０で検出１分析され、その後排気される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の装置では、注射器による試料の採取
、注入１手動操作バルブ１０３，１１１゜１１５．１４
２．１４７やガスサンプラ１１７の操作は、定められた
順番に従ってオペレータかする必要がある。しかしなが
ら、これら操作は種めて複雑であり、熟練したオはレー
タでも操作ミスをすることがあり、作業効率が悪いとい
う問題点があった。

本発明は、かかる問題点を解決するためになされたもの
で、未熟なオスレータでも簡単に操作でき、作業効率が
良いガス稀釈装ｆｌを提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によるガス稀釈装置は、第１のガスサンプラでサ
ンプリングされた高濃度ガスを圧縮気体により稀釈容器
中に高圧封入して稀釈し、稀釈されたガスを稀釈容器内
の気圧により第２のガスサンプラに流入させてサンプリ
ングするようにしている。

〔作用〕

本発明のガス稀釈装置においては、ガスのサンプリング
、稀駅、稀釈ガスのサンプリング等の操作がオにレータ
の操作を煩わせることなくすべて自動的におこなわれる
。これにより、操作ミスがなくなるとともｊこ作業効率
も極めて上昇する。

〔実施例〕

第１図に本発明の一実施例によるガス稀釈装置を示す。

活性炭フィルタ上流側からの高ａ度ガス人口１２にはエ
アフィルタ７−１が設けられ、このエアフィルタ７−１
からは流路５０が延びている。流路５０は流路５１と流
路５２に分岐し、流路５１の下流側には圧力調整のため
のニードルバルブ１０−１が設けられている。ニードル
バルブ１０−１の下流側には流路５５を介して電磁弁９
−１が設けられている。電磁弁９−１を開閉するために
ソレノイド２１−１が設けられている。電磁弁９−１は
吸引ポンプ接続口１５を介して吸引ポンプ（図示せず）
ｌこ接続されている。

流路５０から分岐した流路５２は自動ガスサンプラ１−
１の入口ａに接続されている。自動ガスナンプラ１−１
は、３つの入口ａ、ｂ、ｃと３つの出口ｄ、ｅ、ｆを有
し、さらに、これら人口ａ。

ｂ、ｃと出ロｄ、ｅ、ｆ間を連通させるための流路ｇ、
ｈ、ｉを有している。出口ｄと入口す間には、一定量の
ガスを計量する九めの計量管２０−１が設けられている
。流路ｇ、ｈ、ｔは一体的に回転可能であり、隣接する
任意の入口と出口間を連通させる。流路ｇ、ｈ、ｉの回
転は、全体の制ｎをつかさどるシーケンスコントローラ
（図示せず）からの指示により、図示しない駆動手段に
よりなされる。出口ｅには流路５３が接続され、この流
路５３にはニードルバルブ付の流量計６−１が設けられ
ている。流量計６−１にはさらに流路５４が設けられ、
ニードルバルブ１０−１と電磁弁９−１間の流路５５に
合流している。

圧縮空気または圧縮ガスが流入Ｔる圧縮９気（または圧
縮ガス）入口１４にはエアフィルタ７−２が設けられ、
このエアフィルタ７−２には流路６０を経て減圧弁１１
が設けられている。さらに、この減圧弁１１には流路６
１を経て活性炭フィルタ８−１が設けられており、この
活性炭フィルタ８−１には流路６１を介して電磁弁９−
３が設けられている。電磁弁９−３はソレノイド２１−
３により開閉される。電磁弁９−３の下流側には流路６
３が設けられ、この流路６３は自動ガスナンプラ１−１
の第３の入口Ｃに接続されている。

自動ガスサンプラ１−１の第３の出口ｆは流路６４によ
り稀釈容器２の試料注入口３に接続されている。

稀釈容器２の下にはマグネチツクスターラ４が設けられ
ている。マグネチツクスターラ４・は、モータ４ａに連
結された磁石４ｂを回転させることにより、稀釈容器２
中の攪拌子２ａを回転させて攪拌し、ガスを均一に稀釈
する。稀釈容器２には、さらに圧力変換器５が設けられ
る。この圧力変換器５は稀釈容器２内の圧力を検出する
。

稀釈容器２から下流側には流路６５を経て電磁弁９−４
が設けられている。電磁弁９−４はソレノイド２１−４
により開閉される。電磁弁９−４の下流側には自動ガス
サンプラ１−２が設けられている。電磁弁９−４と自動
ガスサンプラ１−２の入口ｅが流路６６により接読され
ている。自動ｃ、ｄ、ｅ、ｆと流路ｇ、ｈ、ｔを有して
いる。

また、出口すと入口４間には計量管２０−２が設けられ
ている。出口ａには流路６７が接続され、流路６７の下
流側には活性炭フィルタ８−２が設けられている。活性
炭フィルタ８−２には排気口１７が設けられている。

活性炭フィルタ下流側よりの低濃度ガスが流入する低濃
度ガス入口１３にはエアフィルタ７−３が設けられ、こ
のエアフィルタ７−３からは流路７０が延びている。流
路７０は流路７１と流路７６とに分岐し、流路７１の下
流側には圧力調整のたメツニードルバルブ１０−２が設
けられている。

ニードルバルブ１Ｏ−２には流路７２を介して電磁弁９
−２が設けられている。電磁弁９−２はソレノイド２１
−２で開閉される。電磁弁９−２は吸引ポンプ接続口１
６を介して吸引ポンプ（図示せず）に接続されている。

流路７０より分岐した流路７６の下流側には自動ガスサ
ンプラ１−３が設けられている。流路７６いる。自動ガ
スサンプラ１−３は入口（または出口）ａ、ｂ、ｅ、ｄ
、ａ、ｆと流路ｇ　＊　ｈ　＊　ｌを有し、出口ｄと入
口す間には計量管２０−３が設けられている。出口ｅに
は流路７７が接続され、この流路７７にはニードルバル
ブ付の流量計６−２が設けられている。流量計６−２に
はさらに流路７８が設けられ、ニードルバルブ１０−２
と電磁弁９−２間の流路７２に合流している。

チッ素ガスを流入するチッ素ガス入口１８は流路７３を
経て、自動ガスサンプラ１−２の入口Ｃ）に接続されて
いる。自動ガスサンプラ１−２の出口ｆと自動ガスサン
プラ１−３の入口Ｃとは流路７４で接続され、自動ガス
サンプラ１−３の出口ｆは流路７５．チッ素ガス出口１
９を経てガス分析をおこなうガスクロマトグラフ（図示
せず）に接続されている。

電磁弁９−１．２，３．４のソレノイド２１−１．２，
３，４．自動ガスサンプラ１−１．２゜３、マグネチツ
クスターラ４のモータ４ａは、図示シナいシーケンスコ
ントローラの制御下におかれ、所定のシーケンスでオン
、オフ制御される。

次に動作を説明する。このガス稀釈装置には（２）待期
モード、（Ｊ３）上流測定モード、Ｃ）下流測定モード
、０上流／下流交互測定モード！、■上流／下流測定モ
ード■、■校正モードの６つの運転モードがある。以下
これら各運転モードについて詳細に説明する。

囚待期モード 待期モードは、稀釈容器２のクリーニングをおこない、
他の運転モードに移るのを待っているモードである。

電磁弁９−３と９−４を開き、マグネチツクスターラ４
をオンにする。自動ガスサンプラ１−１゜２．３は第１
図の状態にする。これにより、圧縮空気が、圧縮空気人
口１４→エアフイルタ７−２→流路６０→減圧弁１１→
流路６１→活性炭フイルタ８−１→流路６２→電磁弁９
−３→流路６３→自動ガスサンプラ１−１（流路ｌ）→
流路６４→試料注入ロ３の経路により稀釈容器２に流入
する。活性腕フィルタ８−１で清浄にされた圧縮空気に
より稀釈容器２がクリーニングされる。クリーニング後
の圧縮空気は、稀釈容器２→流路６５→電磁弁９−４→
流路６６→自動ガスナンプラ１−２の流路ｈ→計量管２
０−２→自動ガスナンプラ１−２の流路ｇ−４流路６７
→活性炭フィルタ８−２→排気口１７の経路により排気
される。この稀釈容器２のクリーニングは約２分間おこ
なわれる。

次に電磁弁９−３を閉じると、稀釈容器２内の圧力が徐
々に減少する。圧力変換器５で稀釈容器２内の圧力を検
出し、内圧がゼロになるのを待つ。

内圧がゼロになったことが検出されると、電磁弁９−４
を閉じるとともにマグネチツクスターラ４をオフにする
。これにより稀釈容器２がりＩＪ−ユングされ、他の運
転モードへ移る準備が完了する。

田）上流測定モード 上流測定モードは、活性炭フィルタ上流側からの高濃度
ガスを稀釈して繰り返し測定する運転モードである。ス
タートボタンを押すと、高濃度ガスを繰り返し測定し、
ストップボタ、ンを押すとその回の測定を終了するとと
もに停止する。

電磁弁９−３と９−４を閉じ、電磁弁９−１と９−２を
開、く。これにより高濃度ガスが、高濃度ガス人口１２
→エアフイルタ７−１→流路５０→流路５１→ニードル
バルブ１０−１→流路５５→電磁弁９−１→吸引ポンプ
接続口１５の経路によりポンプ（図示せず）で吸引され
る。また、流路５０から分岐された高濃度ガスは、流路
５２→自動ガスナンプラス−１の流路ｇ→計量管２０−
１→自勧ガスナンプラ１−１の流路ｈ→流路５３→流量
計６−１→流路５４の経路により流路５５に合流する。

低ａ度ガスは、低濃度ガス人口１３→エアフイルタ７−
３→流路７０→流路７１→ニードルバルブ１０−２→流
路７２→電磁弁９−２→吸引ボンプ接続口１６の経路に
より、ポンプ（図示せず）で吸引される。また、流路７
０から流路７６に分岐された低濃度ガスは、流路７６→
自動ガスサンプラ１−３の流路ｇ→計量管２０−３→自
動ガスナンプラ１−３の流路ｈ→流路７７→流量計６−
２→流路７８の経路により流路７２に合流する。

またチッ素ガスは、チッ素ガス人ロ１８→流路７３→自
動ガスサンプラ１−２の流路ｉ→流路７４→自動ガスサ
ンプラ１−３の流路ｉ−＋滝路７５−Ｐチッ素ガス出口
１９の経路により、ガスクロマトグラフへ送られている
。

なお、ニードルバルブ 動ガスサンプラ１−１と１−３に適切な量（約５０〜１
００ｍ／−程度）の空気が流れるように調節している。

スタートボタンを押すと、電磁弁９−１が閉じる。自動
ガスサンプラ１−１の計量Ｗ２０−１内の空気圧力が，
活性炭フィルタ上流側空気の圧力と等しくなるのを待つ
。かかる均圧化のためには、数秒から１０秒程度の時間
が必要でおる。

次に自動ガスサンプラ１−１を時計方向に６　０’回転
させ，流路ｇが入口Ｃと出口６間を接続し。

流路ｌが入口すと出口１間を接続する。すると、流路６
３→自動ガスサンプラ１−１の流路ｇ→計量管２０−１
→流路ｉ→流路６４の流通経路ができる。続いて電磁弁
９−３を開き，計量管２０−１中の高濃度ガスを、活性
炭フィルタ８−１で清浄にされた圧縮空気で稀釈容器２
へ送入する。

稀釈容器２内の圧力Ｐは圧力変換器５で検出され、この
Ｐが次の（１）式で示された値になると′電磁弁９−３
を閉じる。同時に、自動ガスサンプラ１−１を反時計方
向に６　０’回転させて第１図の状態にもどす。

ただし、Ｐ：稀釈容器２内の圧力　（　Ｖ，／ｉ　Ｇ　
）ｄ：稀釈倍率 Ｖ：計量器２０−１の容積（ゴ） Ｖ：稀釈容器２の容積　　（Ｍ） マグネチツクスターラ４をオンにし、稀釈容器２内の攪
拌子２ａを回転させて、高濃度ガスと清浄空気を３０秒
程度混合する。

電磁弁９−４を開くと、稀釈容器２内の稀釈ガスは，流
路６５→′亀磁弁９−４→流路６６→自動ガスナンプラ
Ｊ−２の流路ｂ→計量管２０−２→自動ガスサンプラ１
−２の流路ｇ→流路６７→活性炭フィルタ８−２→排気
口１７の経路を通って排出される。そして、稀釈容器２
の内圧がゼロになるまで待つ。

ステップＢ６ 圧力変換器５により稀釈容器２内の圧力がゼロになると
、自動ガスサンプラ１−２が時計方向に６０度回転する
、すると、流路ｇが入口Ｃと出口６間を接続し，流路ｉ
が入口すと出口１間を接続する。したがってチッ素ガス
入口１８からのチツ素ガスが，Ｒ路７３→自動ガスナン
プラ１−′２の流路ｇ→計量管２０ー２→流路ｉ→流路
７４→自動ガスナンプラ１−３の流路ｉ→流路７５→チ
ッ素ガス出口１９の経路を流れ、計量管２０−２中の試
Ｒガスをガスクロマトグラフに送り込む。ガスクロマト
グラフでは送り込まれたガスの分析がおこなわれる。

自動ガスサンプラ１−２の計量管２０−２中の試料ガス
がガスクロマトグラフに送り込まれた後、自動ガスサン
プラ１−２を反時計方向に６０度回転して第１図の状態
にもどす。次に電磁弁９−３を開くと，ステップＡ１と
同じ状態になり、稀釈容器２が清浄な圧縮空気でクリー
ニングされる。

ステップＢ８ 分析所要時間（例えば２分間）を設定したタイマ（図示
せず）がタイムアツプすると、電磁弁９−３を閉じ（ス
テップＡＩ）、稀釈容器２中の内圧がゼロになるのを待
って電磁弁９−４を閉じる（ステップＡ２）。

ステップＢ９ ストップボタンが押されていればそのまま停止する。ス
トップボタンが押されていなければ再びステップＢ１か
らステップＢ８を繰り返し、高濃度ガスを測定する。

Ｃ）下流測定モード 下流測定モードは、活性炭フィルタ下流側からの低濃度
ガスを繰り返し測定する運転モードである。スタートボ
タンを押すと低濃度ガスを繰り返し測定し、ストップボ
タンを押すとその回の測定を終らするとともに停止する
。

ステップＣ１ 電磁弁９−３と９−４を閉じ、電磁弁９−１と９−２を
開く。これによりステップＢ１と同じ状態になる。

スタートボタンを押すと電磁弁９−２が閉じる。

自動ガスサンプラ１−３の計量管２０−３内の空気圧力
が、活性炭フィルタ下流側空気の圧力と等しくなるのを
待つ。かかる均圧化の念めには、数秒からｌＯ秒程度の
時間が必要である。

次に自動ガスサンプラ１−３を時計方向に６０度回転さ
せ、ｆＬ路ｇが入口ｅと出口４間を接続し。

流路１が入口すと出口１間を接続する。すると、流路７
４→自動ガスナンプラ１−３の流路ｇ→計量管２０−３
→流路ｉ−＋流路７５の流通経路ができる。したがって
チッ素ガス入口１８からのチッ素ガスが、計量管２０−
３内の低濃度ガスをガスクロマトグラフに送り込む。ガ
スクロマトグラフでは送り込まれたガスの分析がおこな
われる。自動ガスサンプラ１−３の計量管２０−３中の
試料ガスがガスクロマトグラフに送り込まれた後、自動
ガスサンプラ１−３を反時計方向に６０度回転して第１
図の状態にもどす。

ストップボタンが押されていればそのまま停止する。ス
トップボタンが押されていなければ再びステップＣ１か
らステップＣ３を繰り返し、低濃度ガスを測定する。

■）上流／下流交互測定モード■ 上流／下流交互測定モードＩは、上流側からの高濃度ガ
スの測定と下流側からの低濃度ガスの測定を交互におこ
なう運転モードである。ステップＢ１からステップＢ８
により高濃度ガスの採取。

稀釈測定をした後、ステップＣ１からステップＣ３によ
り低」度ガスの採取、測定をおこない、これを繰り返す
。

面上流／下流交互測定モード■ 上流／下流交互測定モードＩと同様、上流側からの高濃
度ガスの測定と下流側からの低濃度ガスの測定を交互に
おこなう運転モードである。しかしこの運転モードでは
、ステップＢ１からステップＢ４により高濃度ガスの採
取、稀釈をおこなっている間に、ステップＣ１からステ
ップＣ３を実行して低濃度ガスの採取、測定をおこなう
。低濃度ガスの測定後、ステップＢ５からステップＢ８
を実行して高濃度ガスの測定をおこなう。この運転モー
ドは、先の上流／下流交互測定モードＩより高速で測定
できる。

［Ｆ］校正モード 校正モードは、比較的高濃度の標準ガスサンプル、また
は液体サンプルを稀釈して測定する運転モードである。

ステップＦ１ ｗＩ単サンプルを注射器で稀釈容器２の試料注入口３か
ら注入する。なお、液体サンプルの場合、試料注入口３
を外側からヒータで加熱しておけば、液体サンプルは気
化されてガスになり稀釈容器２中に注入可能となる。

スタートボタンを押すと、標準サンプルは清浄な圧縮空
気で稀釈容器２中に送り込まれる。その後はステップＢ
３からステップＢ８により、標準サンプルの稀釈、採取
、　？１１１１定をおこなう。

このような本実施例によれば、高濃度ガスの稀釈は稀釈
容器内で加圧状態で行なっているので、混合、稀釈後は
稀釈容器の出口側の電磁弁を開くと稀釈サンプルは内圧
によって出てくる。し比がって、稀釈後のサンプルを吸
引するための真空ポンプや注射器を必要としない。

また、ガスの稀釈倍率は（１）式で決定されるので、計
量器の容積Ｖと稀釈容器の容積Ｖを変えなくとも、稀釈
容器内の圧力Ｐを変化させるだけで、稀釈倍ｉｄを容易
ｌこ変更することができる。

したがって、稀釈圧力を検出する圧力変換器から信号を
ディジタルメータリレーを用いて数値変換をおこなえば
、稀釈倍率を直読することができる。

また、モード選択スイッチにより選択するだけで、高濃
度ガス測定、低濃度ガス測定、高濃度／低濃度ガス交互
測定等の運転モードを容易に変更することができる。

さらに、操作はシーケンスコントローラにより自動的に
おこなわれるので、オペレータによる操作ミスが発生せ
ず、高精度の測定をおこなうことができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されず種々の変更が可
能である。

〔発明の効果〕

本発明は以上説明したとおり、ガスのサンプリング、稀
釈、測定等の操作をすべて自動的におこなうようにし友
ので、操作ミスがなくなるとともに作業効率が極めて良
くなるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるガス稀釈装置の構成図
、第２図［ａ）　、　（ｂ）は従来のガス稀釈分析装置
の構成図である。 図において、１−１〜３・・・自動ガスサンプラ。 ２・・・稀釈容器、２ａ・・・攪拌子、３・・・試料注
入口。 ４・・・マグネチツクスターラ、４ａ・・・モータ、４
ｂ・・・磁石、５・・・圧力変換器、６−１．２・・・
二−ドルハルフ付の流量計、７−１〜３・・・エアフィ
ルタ。 ８−１．２・・・活性炭フィルタ、９−１〜４・・・電
磁弁、１０−１．２・・・ニードルバルブ、１１・・・
Ｍ圧押、１２・・・高濃度ガス測定、１３・・・低濃度
ガス入口、１４・・・圧縮空気（または圧縮ガス）入口
、１５．１６・・・吸引ポンプ接続口、１７・・・排気
口、１８・・・チッ素ガス入口、１９・・・チッ素ガス
出０．２０−１〜３・・・計量管、２１−１〜４・・・
ソレノイド。 １０１・・・低濃度ガス入口、Ｊ０３．１１１．１１５
・・・手動操作バルブ、１０５．１０９・・・試料採取
口、１０７・・・高濃度ガス入口、１１３・・・排気ポ
ンプ。 １１７・・・ガスサンプラ、１１８・・・計量管、１２
１・・・チッ素ガス入口、１２３．１２５・・・弁、１
２８・・・試料注入口、１２９・・・分離カラム、１３
０・・・電子捕獲型検出器、１３１・・・排気口、１３
３・・・増幅器、１３４・・・記録計、１４０・・・活
性炭フィルタ。 １４２．１４７・・・手動操作バルブ、１４４・・・Ｅ
Ｒ採取口、１４５・・・稀釈容器、１４８・・・排気ポ
ンプ。 １５０・・・マグネチックスターラである。 特許出願人　　進和チック株式会社 代理　人　島　１）　　登・・

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 圧縮気体が流入する圧縮気体入口と、この圧縮気体入口
   に接続された開閉バルブと、ガス入口およびガス出口を
   有し、これらガス入口およびガス出口を高濃度ガスが充
   満した第１のガス計量管の両端口へ連結する第１のガス
   サンプラと、前記開閉バルブと前記第１のガスサンプラ
   のガス入口とを接続する第１の流路と、ガス入口および
   ガス出口を有し、ガスを均一に稀釈する稀釈容器と、前
   記第１のガスサンプラのガス出口と前記稀釈容器のガス
   入口とを接続する第２の流路と、前記稀釈容器のガス出
   口に接続された第３の流路と、この第３の流路に接続さ
   れた開閉弁と、ガス入口およびガス出口を有し、これら
   ガス入口およびガス出口を稀釈ガスを計量する第２のガ
   ス計量管の両端口へ連結する第２のガスサンプラと、前
   記開閉弁と前記第２のガスサンプラのガス入口とを接続
   する第４の流路と、前記第２のガスサンプラのガス出口
   に接続された排気口とを備えたことを特徴とするガス稀
   釈装置。