JPS623635A - ガス稀釈装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガスのサンプリング、稀釈等の操作を自動的に
おこなうガス稀釈装置ｔこ関する。

〔従来の技術〕

第２図（＆）　、　（ｂ）にガスの稀釈２分析をおこな
う従来の装置を示す。サンプリング装置１００には低濃
度ガス人口１０１と高濃度ガス入口１０７が設けられて
いる。低濃度ガス人口１０１には、流路１０２、手動操
作バルブ１０３．流路１０４．試料採取口１０５がこの
順で設けられている。試料採取口１０５とガスサンプラ
１１７は流路１０６で接続されている。高濃度ガス人口
１０７には、流路１０８．試料採取口１０９．流路１１
０２手動操作バルブ１１１．流路１１２．排気ポンプ１
１３がこの順で設けられている。流路１１２からは流路
１１４が分岐しており、この流路１１４にはＴ字型の手
動操作バルブ１１５を介して排気口１１９が接続されて
いる。この手動操作バルブ１１５とガスサンプラ１１７
とは流路１１６により接続されている。ガスサンプラ１
１７には所定量のガスを計量する計量管１１８が設けら
れている。

ガスクロマトグラフ１２０にはチッ素ガス人口１２１と
、試料注入口１２８とが設けられている。

チッ素ガス人口１２１には、流路１２１．弁１２３゜流
路１２４．弁１２５．流路１２６がこの順で設けられて
おり、流路１２６はガスサンプラ１１７に接続されてい
る。ガスサンプラ１１７と試料注入口１２８とは流路１
２７で接続されている。試料注入口１２８には分離カラ
ム１２９が接続されており、この分離カラム１２９には
電子捕獲型検出器（′Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｃａｐｔｕｒ
ｅ　１）ｅｔｅｃｔｏｒ　（Ｅ　ＣＤ　）　）１３０が
接続されている。この電子捕獲型検出器１３０には流路
１３１を介して排気口１３２が設けられている。電子捕
獲型検出器１３０の検出信号は増幅器１３３で増幅され
記録計１３４で記録される。

マグネチックスターチ１５０上にはガス稀釈のための稀
釈容器１４５が設けられている。稀釈容器１４５への試
料の注入および試料の採取は試料採取口１４４でなされ
る。また、稀釈容器１４５には流路１４６９手動操作バ
ルブ１４７．流路１４９を介して排気ポンプ１４８が接
続されている。さらに、稀釈容器１４５正こは活性炭フ
ィルタ１４０、流路１４１１手動操作バルブ１４２．流
路１４３が設けられている。

かかる従来の装置でガスのサンプリング、稀釈。

分析をおこなう場合には、注射器（図示せず）を用いて
オにレータがガスの採取、注入をおこなうとともに、手
動操作バルブ１０３，１１１，１１５゜１４２．１４７
を手動操作する。例えば、上流側の高濃度ガスの分析を
おこなう場合には次のような手順でおこなう。まず、手
動操作バルブ１４２゜１４７を開き排気ポンプ１４８で
排気して稀釈容器１４５をクリーニングする。次に、手
動操作バルブ１１１を開き排気ポンプ１１３で高濃度ガ
スを吸引しながら、試料採取口１０９からガスを所定量
（例えば１−）注射器で採取する。採取した高濃度ガス
を試料採取口１４４から、手動操作バルブ１４２．１４
７を閉じて密封された稀釈容器１４５中に注射器で注入
する。稀釈容器１４５では１１１Ｌｌの高＃度ガスを、
例えば１０００倍に稀釈する。次に稀釈されたガスを試
料採取口１４４から別の注射器で採取し、試料採取口１
０５から所定量（例えば２０ｒＩＬｔ）注入する。これ
により、稀釈されたガスはガスサンプラ１１７の計量管
１１８に満たされる。次にガスサンプラ１１７を６０度
回転させ、チッ素ガスを流入させることにより、計量管
１１８中の試料ガスをガスクロマトグラフ１２０に導入
する。試料ガスは分離カラム１２９を経て電子捕獲型検
出器１３０で検出９分析され、その後排気される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の装置では、注射器による試料の採取
、注入２手動操作バルブ１０３，１１１゜１１５．１４
２，１４７やガスサンプラ１１７の操作は、定められた
順番に従ってオにレータがする必要がある。しかしなが
ら、これら操作は極めて複雑であり、作業効率が悪いと
いう問題点があった。

本発明は、かかる問題点を解決するためになされたもの
で、未熟なオペレータでも簡単に操作でき、作業効率が
良いガス稀釈装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によるガス稀釈装置は、高濃度ガス入口を設け、
この高濃度ガス入口から流入する高濃度ガスをガスサン
プラでサンプリングし、このサンプリングされた高濃度
ガスを稀釈部に流入させて稀釈し、稀釈されたガスを再
びガスサンプラでサンプリングし、このサンプリングし
た稀釈ガスを試料とする手段と、低濃度ガス入口を設け
、この低濃度ガス入口から流入する低濃度ガスをガスサ
ンプラでサンプリングし、このサンプリングした低濃度
ガスを試料とする手段を設けたものである。

〔作用〕

本発明のガス稀釈装置においては、ガスのサンプリング
、稀釈、稀釈ガスのサンプリング等の操作がオ堅レータ
の操作を煩わせることなくすべて自動的におこなわれる
。これにより、操作ミスがなくなるとともに作業効率も
極めて上昇する。

〔実施例〕

第１図に本発明の一実施例によるガス稀釈装置を示す。

活性炭フィルタ上流側からの高！１度ガス人口１２１こ
はエアフィルタ７−１が設けられ、このエアフィルタ７
−１からは流路５０が延びている。流路５０は流路５１
と流路５２に分岐し、流路５１の下流側には圧力調整の
ためのニードルバルブ１０−１が設けられている。ニー
ドルバルブ１０−１の下流側には流路５５を介して電磁
弁９−１が設けられている。電磁弁９−１を開閉するた
めにソレノイド２１−１が設けられている。電磁弁９−
１は吸引ポンプ接続口１５を介して吸引ポンプ（図示せ
ず）に接続されている。

流路５０から分岐した流路５２は自動ガスナンプラ１−
１の入口ａに接続されている。自動ガスサンプラ１−１
は、３つの入口ａ、ｂ、ｃと３つの出口ｄ、ｅ、ｆを有
し、さらに、これら入口ａ。

ｂ、ａと出ロｄ、ｅ、ｆ間を連通させるための流路ｇ、
ｈ、ｉを有している。出口ｄと入口す間には、一定量の
ガスを計量するための計量管２０−１が設けられている
。流路ｇ、ｈ、ｉは一体的に回転可能であり、隣接する
任意の入口と出口間を連通させる。流ｇｇｓｈ＊ｉの回
転は、全体の制御をつかさどるシーケンスコントローラ
（図示せず）からの指示により１図示しない駆動手段に
よりなされる。出口ｅには流路５３が接続され、この流
路５３にはニードルバルブ付の流量計６−１が設けられ
ている。流量計６−１にはさらに流路５４が８＃られ、
ニードルバルブ１０−１と電磁弁９−１間の流路５５に
合流している。

王権空気または圧縮ガスが流入する圧縮空気（または圧
縮ガス）入口１４にはエアフィルタ７−２が設けられ、
このエアフィルタ７−２には流路６０を経て減圧弁１１
が設けられている。さらに、この減圧弁１１には流路６
１を経て活性炭フィルタ８−１が設けられており、この
活性炭フィルタ８−１には流路６１８介して電磁弁９−
３が設けられてｂる。電磁弁９−３はソレノイド２１−
３により開閉される。電磁弁９−３の下流側には流路６
３が設けられ、この流路６３は自動ガスサンプラｌ−１
の第３の入口Ｃに接続されている。

自動ガスナンプラ１−１の第３の出口ｆは流路６４によ
り稀釈容器２の試料注入口３に接続されている。

稀釈容器２の下にはマグネチツクスターラ４が設けられ
ている。マグネチツクスターラ４は、モータ４ａに連結
された磁石４ｂを回転させることにより、稀釈容器２中
の攪拌子２ａを回転させて攪拌し、ガスを均一に稀釈す
る。稀釈容器２ζζは、さらに圧力変換器５が設けられ
る。この圧力変換器５は稀釈容器２内の圧力を検出する
。

稀釈容器２から下流側には流路６５を経て電磁弁９−４
が設けられている。電磁弁９−４はソレノイド２１−４
により開閉される。電磁弁９−′４の下流側には自動ガ
スナンプラ１−２が設けられている。電磁弁９−４と自
動ガスサンプラ１−２の入口ｅが流路６６により接続さ
れている。自動ガスナンプラ１−２は入口（または出口
）　＆　＃　ｂ　＊ｃ、ｄ、ｅ、ｆと流％ｇ、ｈ、ｔを
有している。

また、出口すと入口４間には計量管２０−２が設けられ
ている。出口ａには流路６７が接続され、流路６７の下
流側には活性炭フィルタ８−２が設けられている。活性
炭フィルタ８−２には排気口１７が設けられている。

活性炭フィルタ下流側よりの低ａＫガスが流入する低濃
度ガス人口１３にはエアフィルタ７−３が設けられ、こ
のエアフィルタ７−３からは流路７０が延びている。流
路７０は流路７１と流路７６とに分岐し、流路７１の下
流側には圧力調整のたメツニードルバルブ１０−２が設
けられている。

ニードルバルブ１０−２には流路７２を介して電磁弁９
−２が設けられている。電磁弁９−２はソレノイド２１
−２で開閉される。電磁弁９−２は吸引ポンプ接続口１
６を介して吸引ポンプ（図示せず）に接続されている。

流路７０より分岐した流路７６の下流側には自動ガスサ
ンプラ１−３が設けられている。流路７６は自動ガスサ
ンプラ１−３の入口龜に接続されている。自動ガスサン
プラ１−３は入口（または出口）ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、
ｆと流路ｇ、ｈ、１％有し、出口ｄと入口す間ｌこけ計
量管２０−３が設けられている。出口・には流路７７が
接続され、この流路７７にはニードルバルブ付の流量計
６−２が設けられている。流量計６−２にはさらに流路
７８が設けられ、ニードルバルブ１０−２と電磁弁９−
２間の流路７２に合流している。

チッ素ガスを流入するチッ素ガス入口１８は流路７３を
経て、自動ガスサンプラ１−２の入口Ｃに接続されてい
る。自動ガスサンプラ１−２の出口ｆと自動ガスサンプ
ラ１−３の入口Ｃとは流路７４で接続され、自動ガスサ
ンプラ１−３の出口ｆは流路７５．チッ素ガス出口１９
を経てガス分析をおこなうガスクロマトグラフ（図示せ
ず）に接続されている。

電磁弁９−１．２，３．４のソレノイド２１−１．２，
３．４．自動ガスサンプラ１−１．２゜３、マグネチツ
クスターラ４のモータ４＆は、図示しないシーケンスコ
ントローラの制御下におかれ、所定のシーケンスでオン
、オフ制御される。

次に動作を説明する。このガス稀釈装置には（４）待期
モード、（Ｂ）上流測定モード、Ｉｃ）下流測定モード
、（２）上ｉ／下流交互測定モードＩ、■上流／下流測
定モード■、■校正モードの６つの運転上−ドがある。

以下これら各運転モードについて詳細に説明する。

囚待期モード 待期モードは、稀釈容器２のクリーニングをおこない、
他の運転モードに移すのを待っているモードである。

電磁弁９−３と９−４を開き、マグネチツクスターラ４
をオンにする。自動ガスサンプラ１−１゜２．３は第１
図の状態にする。これにより、圧縮空気が、圧縮空気人
口１４→エアフイルタ７−２→流路６０→減圧弁１１→
流路６１→活性炭フイルタ８−１→流路６２→電磁弁９
−３→流路６３→自動ガスサンプラ１−１（流路ｉ）→
流路６４→試料注入ロ３の経路により稀釈容器２に流入
する。活性炭フィルタ８−１で清浄にされた圧縮空気に
二り稀釈容器２がクリーニングされる。クリーニング後
の圧縮空気は、稀釈容器２→ｆｉＷ＆６５→電磁弁９−
４→流路６６→自動ガスナンプラ１−２の流路ｈ→計量
管２０−２→自動ガスナンプラ１−２の流路ｇ→流路６
７→活性炭フィルタ８−２→排気口１７の経路により排
気される。この稀釈容器２のりＩＪ　＋　ニングは約２
分間おこなわれステップＡ２ 次に電磁弁９−３を閉じると、稀釈容器２内の圧力が徐
々に減少する。圧力変換器５で稀釈容器２内の圧力を検
出し、内圧がゼロになるのを待つ。

ステップＡ３ 内圧がゼロになったことが検出されると、電磁弁９−４
を閉じるとともにマグネチツクスターラ４をオフにする
。これにより稀釈容器２がりＩＪ−ニングされ、他の運
転モードへ移る準備が完了する。

０３）上流測定モード 上流測定モードは、活性炭フィルタ上流側からの高濃度
ガスを稀釈して繰り返し測定する運転モードである。ス
タートボタンを押すと、高濃度ガスを繰り返し測定し、
ストップボタンを押すとその回の測定を終了するととも
に停止する。

電磁弁９−３と９−４を閉じ、電磁弁９−１と９−２を
開く。これにより高濃度ガスが、高濃度ガス入口１２→
エアフイルタ７−１→流路５０→流路５１→ニードルバ
ルブ１０−１→流路５５→電磁弁９−１→吸引ポンプ接
続口１５の経路によりポンプ（図示せず）で吸引される
。また、流路５０から分岐された高濃度ガスは、流路５
２→自動ガスナンプラ１−１の流路ｇ→計量管２０−１
→自動ガスナンプラ１−１の流路ｈ−４流路５３→流量
計６−１→流路５４の経路により流路５５に合流する。

低濃度ガスは、低濃度ガス人口１３→エアフイ１１／’
）７−３→＋５ｆＥ路７０→流路７１→ニードルバルブ
１０−２→流路７２→電磁弁９−２→吸引ポンプ接続口
１６の経路により、ポンプ（図示せず）で吸引される。

また、流路７ｏから流路７６に分岐された低濃度ガスは
、流路７６→自動ガスナンプラ１−３の流路ｇ→計量管
２０−３→自動ガスサンプラ１−３の流路ｈ−＋流路７
７→流量計６−２→流路７８の経路により流路７２に合
流する。

またチッ素ガスは、チッ素ガス入ロ１８→流路７３→自
動ガスナンプラ１−２の流路１→流路７４→自動ガスサ
ンプラ１−３の流路１→流路７５→チッ素ガス出口１９
の経路により、ガスクロマトグラフへ送られている。

なお、ニードルバルブ 動ガスナンプラ１−１と１−３に適切な量（約５０〜１
００７ｄ／−程度）の空気が流れるように調節している
。

スタートボタンを押すと，電磁弁９−１が閉じる。自動
ガスサンプラ１−１の計量管２０−１内の空気圧力が，
活性炭フィルタ上流側空気の圧力と等しくなるのを待つ
。かかる均圧化のためには、数秒から１０秒程度の時間
が必要である。

ステップＢ３ 次に自動ガスサンプラ１−１を時計方向に６　０”回転
させ，流路ｇが入口Ｃと出口４間を接続し、流路１が入
口すと出口１間を接続する。すると、流路６３→自動ガ
スサンプラ１−１の流路ｇ→計量管２０−１→流路１→
流路６４の流通経路ができる。続いて電磁弁９−３を開
き、計量管２０−１中の高濃度ガスを、活性炭フィルタ
８−１で清浄にされた圧縮空気で稀釈容器２へ送入する
。

稀釈容器２内の圧力Ｐは圧力変換器５で検出され、この
Ｐが次の（１）式で示された値になると電磁弁９−３を
閉じる。同時に，自動ガスサンプラｌ−１を反時計方向
に６０°回転させて第１図の状態番こもどす。

■ 九だし，Ｐ：稀釈容器２内の圧力　（Ｖｇ／ｃｒｄＧ）
ｄ：稀釈倍率 Ｖ：計量器２０−１の容積　（―） Ｖ：稀釈容器２の容積　　（Ｒ１） ステップＢ４ マグネチツクスターラ４をオンし、稀釈容器２内の攪拌
子２ａを回転させて，高＃に．度ガスと清浄空気を３０
秒１度混合する。

電磁弁９−４を開くと，稀釈容器２内の稀釈ガスは、流
路６５→電磁弁９−４→流路６６→自動ガスナンプラ１
−２の流路ｈ→計量管２０−２→自動ガスナンプラ１−
２の流路ｇ→流路６７→活性炭フィルタ８−２→排気口
１７の経路を通って排出される。そして、稀釈容器２の
内圧がゼロになるまで待つ。

圧力変換器５により稀釈容器２内の圧力がゼロになると
、自動ガスサンプラ１−２が時計方向に６０度何回転る
。すると、流路ｇが入口Ｃと出口４間を接続し、流路五
が入口すと出口ｆＭＪｅ接続する。したがってチッ素ガ
ス入口１８からのチッ素ガスが、流路７３→自動ガスナ
ンプラ１−２の流路ｇ→計量管２０ー２→流路ｉ→流路
７４→自動ガスナンプラ１−３の流路ｉー＋Ｒ路７５→
チッ素ガス出口１９の経路を流れ，計量管２ｏ−２中の
試料ガスをガスクロマトグラフに送り込む。ガスクロマ
トグラフでは送り込まれたガスの分析がおこなわれる。

自動ガスサンプラ１−２の計量管２０−２中の試料ガス
がガスクロマトグラフに送り込まれた後、自動ガスサン
プラ１−２８反時計方向に６０度何回転て第１図の状態
にもどす。次に電磁弁９−３を開くと、ステップＡ１と
同じ状態になり，稀釈容器２が清浄な圧縮空気でクリー
ニングされる。

分析所要時間（例えば２分間）を設定したタイマ（図示
せず）がタイムアツプすると、電磁弁９−３を閉じ（ス
テップＡＩ）、稀釈容器２中の内圧がゼロＩこなるのを
待って電磁弁９−４を閉じる（ステップＡ２）。

ステップＢ９ ストップボタンが押されていればそのまま停止する。ス
トップボタンが押されていなければ再びステップＢ１か
らステップＢ８を繰り返し、高濃度ガスを測定する。

Ｃ）下流測定モード 下流測定モードは、活性炭フィルタ下流側からの低濃度
ガスを繰り返し測定する運転モードである。スタートボ
タンを押すと低濃度ガスを繰り返し測定し、ストップボ
タンを押すとその回の測定を終らするとともに停止する
。

電磁弁９−３と９−４を閉じ、電磁弁９−１と９−２を
開く。これによりステップＢ１と同じ状態になる。

スタートボタンを押すと電磁弁９−２が閉じる。

自動ガスサンプラ１−３の計量管２０−３内の空気圧力
が、活性炭フィルタ下流側空気の圧力と等しくなるのを
待つ。かかる均圧化のためには、数秒から１０秒１度の
時間が必要である。

次に自動ガスサンプラ１−３を時計方向に６０度回転さ
せ、流路ｇが入口・と出口４間を接続し、流路１が入口
すと出口ｆ間を接続する。すると、流路７４→自動ガス
サンプラ１−３の流路ｇ→計量管２０−３→流路１→流
路７５の流通経路ができる。したがってチッ素ガス入口
１８からのチッ素ガスが、計量管２０−３内の低濃度ガ
スをガスクロマトグラフに送り込む。ガスクロマトグラ
フでは送り込まれたガスの分析がおこなわれる。自動カ
スサンプラ１−３の計量管２０−３中の試料ガスがガス
クロマトグラフに送り込まれ九後、自動ガスサンプラ１
−３を反時計方向に６０度回転して第１図の状態にもど
す。

ストップボタンが押されていればそのまま停止する。ス
トップボタンが押されていなければ再びステップＣ１か
らステップＣ３を繰り返し、低濃度ガスを測定する。

■）上流／下流交互測定モード！ 上流／下流交互測定モードＩは、上流側からの高濃度ガ
スの測定と下流側からの低濃度ガスの測定を交互におこ
なう運転モードである。ステップＢ１からステップＢ８
により高濃度ガスの採取。

稀釈測定をした後、ステップＣ１からステップＣ３によ
り低濃度ガスの採取、測定をおこない、これを繰り返す
。

■上流／下流交互測定モード■ 上流／下流交互測定モードＩと同様、上流側からの高濃
度ガスの測定と下流側からの低濃度ガスの測定を交互に
おこなう運転モードである。しかしこの運転モードでは
、ステップＢｌからステップＢ４により高濃度ガスの採
取、稀釈をおこなっている間に、ステップＣ１からステ
ップＣ３を実行して低濃度ガスの採取、測定をおこなう
。低濃度ガスの測定後、ステップＢ５からステップＢ８
を実行して高濃度ガスの測定をおこなう。この運転モー
ドは、先の上流／下流交互測定モードＩより高速で測定
できる。

町校正モード 校正モードは、比較的高濃度の標準ガスサンプル、また
は液体サンプルを稀釈して測定する運転モードである。

ステップＦ１ 標準サンプルを注射器で稀釈容器２の試料注入口３から
注入する。なお、液体サンプルの場合、試料注入口３を
外側からヒータで加熱しておけば、液体サンプルは気化
されてガスになり稀釈容器２中に注入可能となる。

スタートボタンを押すと、標準サンプルは清浄な圧縮空
気で稀釈容器２中に送り込まれる。その後はステップＢ
３からステップＢ８）こより、標準サンプルの稀釈、採
取、測定をおこなう。

このような本実施例によれば、高濃度ガスの稀釈は稀釈
容器内で加圧状態で行なっているので。

混合、稀釈後は稀釈容器の出口側の電磁弁を開くと稀釈
サンプルは内圧によって出てくる。したがつて、稀釈後
のサンプルを吸引するための真空ポンプや注射器を必要
としない。

また、ガスの稀釈倍率は（１）式で決定されるので、計
量器の容積Ｖと稀釈容器の容積Ｖを変えなくとも、稀釈
容器日の圧力Ｐを変化させるだけで、稀釈倍ｉｄを容易
に変更することができる。

したがって、稀釈圧力を検出する圧力変換器から信号を
ディジタルメータリレーを用いて数値変換をおこなえば
、稀釈倍率を直読することができる。

また、モード選択スイッチにより選択するだけで、高濃
度ガス測定、低濃度ガス測定、高濃に／低濃度ガス交互
測定等の運転モードを容易に変更することができる。

さらに、操作はシーケンスコントローラにより自動的に
おこなわれるので、オにレータによる操作ミスが発生せ
ず、高精度の測定をおこなうことができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されず種々の変更が可
能である。

〔発明の効果〕 本発明は以上説明したとおり、ガスのサンプリング、稀
釈、測定等の操作をすべて自動的におこなうようにした
ので、操作ミスがなくなるとともに作業効軍が極めて良
くなるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるガス稀釈装置の構成図
、第２図（ａ）　、　（ｂ）は従来のガス稀釈分析装置
の構成図である。 図において、１−１〜３・・・自動ガスサンプラ、２・
・・稀釈容器、２ａ・・・攪拌子、３・・・試料注入口
、４・・・マグネチツクスターラ、４＆・・・モータ、
４ｂ・・・磁石、５・・・圧力変換器、６−１．２・・
・ニードルバルブ付の流量計、７−１〜３・・・エアフ
ィルタ、８−１．２・・・活性炭フィルタ、９−１〜４
・・・電磁弁、１０−１．２・・・ニードルバルブ、１
１・・・減圧弁、１２・・・高濃度ガス入口、１３・・
・低濃度ガス入口、１４・・・圧縮空気（または圧縮ガ
ス）入口、１５゜１６・・・吸引ポンプ接続口、１７・
・・排気口、１８・・・チッ素ガス入口、１９・・・チ
ッ素ガス出口、２０−１〜３・・・計量管、２１−１〜
４・・・ソレノイド、１０１・・・低濃度ガス入口、１
０３，１１１．１１５・・・手動操作バルブ、１０５，
１０９・−・試料採取口。 １０７・・・高濃度ガス入口、１１３・・・排気ポンプ
。 １１７・・・ガスサンプラ、１１Ｂ・・・計量管、１２
１・・・チッ素ガス入口、１２３．１２５・・・弁、１
２８・・・試料注入口、１２９・・・分離カラム、１３
０・・・電子捕獲型検出器、１３１・・・排気口、】３
３・・・増幅器、１３４・・・記録計、１４０・・・活
性炭フィルタ、１４２．１４７・・・手動操作バルブ、
１４４・・・試料採取口、１４５・・・稀釈容器、１４
８・・・排気ポンプ、１５０・・・マグネチツクスター
ラである。 （Ｎ　　　　Ｐ− （Ｑ　　　（’Ｑ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 高濃度ガスが流入する高濃度ガス入口と、この高濃度ガ
   ス入口から流入する高濃度ガスを一定量サンプリングす
   る第１のガスサンプラと、この第１のガスサンプラによ
   りサンプリングされた一定量の高濃度ガスを取り出す第
   １のガス取出部と、この第１のガス取出部により取り出
   された一定量の高濃度ガスを稀釈する稀釈部と、この稀
   釈部で稀釈された稀釈ガスを一定量サンプリングする第
   ２のガスサンプラと、低濃度ガスが流入する低濃度ガス
   入口と、この低濃度ガス入口から流入する低濃度ガスを
   一定量サンプリングする第３のガスサンプラと、前記第
   ２のガスサンプラまたは前記第３のガスサンプラにより
   サンプリングされた一定量のガスを取り出す第２のガス
   取出部と、この第２のガス取出部により取り出された一
   定量のガスを流出させる試料ガス出口とを備えたことを
   特徴とするガス稀釈装置。