JPS625150A - ガス稀釈装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野丁 本発明はガスの稀釈をおこなうガス稀釈装置に関する。

〔従来の技術〕

第２図（ａｌ　、　（ｂｌにガスの怖釈２分析をおこな
う従来の装置を示す。サンプリング装置１００には低濃
度ガス人口１０１と高濃度ガス人口１０７が設けられて
いる。低濃度ガス人口１０１には、流路１０２１手動操
作バルブ１０３．流路１０４．試料採取口１０５がこの
順で設けられている。試料採取口１０５とガスサンプラ
１１７は流路１０６で接続されている。高濃度ガス入口
１０７には、流路１０８．試料採取口１０９゜流路１１
０１手動操作バルブ１１１．流路１１２．排気ポンプ１
１３がこの順で設けられている。流路１１２からは流路
１１４が分岐しており、この流路１１４にはＴ字型の手
動操作バルブ１１５を介して排気口１１９が接圧されて
いる。この手動操作バルブ１１５とガスサンプラ１１７
とは流ｌｉ！８１１６により接続されている。ガスサン
プラ１１７には所定量のガスを計量する計量管１１８が
設けられている。

ガスクロマトグラフ１２０にはチッ素ガス人口１２１と
、試料注入口１２８とが設けられている。チッ素ガス人
口１２１には、流路１２１．弁１２３．流路１２４、弁
１２５．流路１２６がこの順で設けられており、流路１
２６はガスサンプラ１１７に接続されている。ガスサン
プラ１１７と試料注入口１２８とは流路１２７で接続さ
れている。試料注入口１２８には分離カラム１２９が接
続されており、この分離カラム１２９には電子捕獲型検
出器（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　ＣａｐｔｕｒｅＤｅｔｅｃｔ
ｏｒ　（ＥＣＤ　）　）　１３０が接続されている。こ
の゛電子捕獲型検出器１３０には流路１３１を介して排
気口１３２が設けられている。電子捕獲型検出器１３０
の検出信号は増幅′ａ１３３で増幅され記録計１３４で
記録される。

マグネチックスターチ１５０上（こはガス稀釈のための
稀釈容器１４５が設けられている。何釈容６１４５への
試料の注入および試料の採取は試料採取口１４４でなさ
れる。また、稀釈容器１４５には流路１４６、手動操作
バルブ１４７．流路１４９を介して排気ポンプ１４８が
接続されている。さらに、稀釈容器１４５には活性炭フ
ィルタ１４０．流路１４１２手動操作バルブ１４２．流
路１４３が設けられでいる。

かかる従来の装置でガスのサンプリング、稀釈分析をお
こなう場合には、注射器（図示せず）を用いてオペレー
タがガスの採取、注入をおこなうとともに、手動操作バ
ルブ１０３　、１１１　、１１５　。

１４２　、１４７を手動操作する。例えば、上流側の高
濃度ガスの分析をおこなう場合には次のような手順でお
こなう。まず、手動操作バルブ１４２　、１４７を開き
排気ポンプ１４８で排気して稀釈容器１４５をクリーニ
ングする。次に、手動操作バルブ１１１を開き排気ポン
プ１１３で高濃度ガスを吸引しながら、試料採取口１０
９からガスを所定量（例えば１ｍＪ）注射器で採取する
。採取した高濃度ガスを試料採取口１４４から、手動操
作バルブ１４２　、１４７を閉じて密封された稀釈容器
１４５中に注射器で注入する。

稀釈容ｉ　１４５では１ｍｌの高濃度ガスを、例えば１
０００倍に稀釈する。次に稀釈されたガスを試料採取口
１４４から別の注射器で採取し、試料採取口１０５から
所定量（例えば２０ｍＪ）注入する。これにより、稀釈
されたガスはガスサンプラ１１７の計量管１１８に満た
される。次にガスサンプラ１１７を６０度回転させ、チ
ッ素ガスを流入させることにより、計量管１１８中の試
料ガスをガスクロマトグラフ１２０に導入する。試料ガ
スは分離カラム１２９を経て電子捕獲型検出５１３０で
検出１分析され、その後排気される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の装置では、注射器による試料の採取
、注入０手動操作バルブ１０３　、１１１　。

１１５　、１４２　、１４７やガスサンプラ１１７の操
作は、定められた順番に従ってオペレータがする必要が
ある。しかしながら、これら操作は極めて複雑であり、
熟練したオペレータでも操作ミスをすることがあり、作
業効率が悪いという問題点があった。

本発明は、かかる問題点を解決するためになされたもの
で、未熟なオペレータでも簡単に操作でき、作業効率が
良いガス稀釈装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によるガス稀釈装置は、ガス入口とガス出口を有
するガス容器に、このガス容器内のガス圧力を検出する
ガス圧検出手段を設け、このガス圧検出手段により検出
されたガス圧力によりガス入口の開閉弁を制御するよう
にしたものである。

〔作用〕

本″発明によるガス稀釈装置においては、ガス入口より
圧縮空気により高濃度ガスをガス容器に封入する場合に
、ガス入口の開閉弁がガス容器の圧力が所定値になった
ときに自動的に閉じられる。

これによりガス封入の操作ミスがなくなるとともに作業
効率がよい。

〔実施例〕

第１図に本発明の一実施例によるガス稀釈装置を示す。

活性炭フィルタ上流側からの高濃度ガス人口１２にはエ
アフィルタフ−１が設けられ、このエアフィルタ７−１
からは流路５０が延びている。

流路５０は流路５１と流路５２に分岐し、流路５１の下
流側には圧力副整のためのニードルバルブ１０−１が設
けられている。ニードルバルブｌ０−１の下流側には流
路５５を介して電磁弁９−１が設けられている。電磁弁
９−１を開閉するためにソレノイド２１−１が設けられ
ている。電磁弁９−１は吸引ポンプ接続口１５を介して
吸引ポンプ（図示せず）に接続されている。

流路５０から分岐した流路５２は自動ガスサンプラ１−
１の入口ａに接続されている。自動ガスサンプラ１−１
は、３つの入口ａ、ｂ、ｃと３つの出口ｄ、ｅ、ｆを有
し、さらに、これら人口ａ　、ｂ。

Ｃと出ロｄ、ｅ、ｆ間を連通させるための流路ｇ。

ｈ、ｉを有している。出口ｄと入口す間には、一定量の
ガスを計量するための計量管２０−１が設けられている
。流路ｇ　＊　ｈｅ　ｉは一体的に回転可能であり、隣
接する任意の入口と出口間を連通させる。流路ｇ　＊　
ｈｅ　’の回転は、全体の制御をつかさどるシーケンス
コントローラ（図示せず）からの指示により、図示しな
い駆動手段によりなされる。出口ｅには流路５３が接続
され、この流路５３にはニードルバルブ付の流量計６−
１が設けられている。流量計６−１にはさらに流路５４
が設けられ、ニードルバルブｌ０−１と電磁弁９−１間
の流路５５に合流している。

圧縮空気または圧縮ガスが流入する圧縮空気（または圧
縮ガス）入口１４にはエアフィルタ７−２が設けられ、
このエアフィルタ７−２には流路（イ）を経て減圧弁１
１が設けられている。さらに、この減圧弁１１には流路
６１を経て活性炭フィルタ８−１が設けられており、こ
の活性炭フィルタ８−１には流路６１を介して電磁弁９
−３が設けられている。電磁弁９−３はソレノイド２１
−３により開閉される。電磁弁９−３の下流側には流路
６３が設けられ、この流路部は自動ガスサンプラ１−１
の第３の入口Ｃに接続されている。自動ガスサンプラ１
−１の第３の出口ｆは流路６４により稀釈容器２の試料
注入口３に接続されている。

稀釈容器２の下にはマグネチツクスターラ４が設けられ
ている。マグネチツクスターラ４は、モータ４ａに直結
された磁石４ｂを回転させることｌこより、稀釈容器２
中の撹拌子２ａを回転させて撹拌し、ガスを均一に稀釈
する。稀釈容器２には、さらに圧力変換器５が設けられ
る。この圧力変換器５は稀釈容器２内の圧力を検出する
。

稀釈容ａ２から下流側には流路６５を経て電磁弁９−４
が設けられている。１１Ｌ＠弁９−４はソレノイド２１
−４により開閉される。電磁弁９−４の下流側には自動
ガスサンプラ１−２が設けられている。電磁弁９−４と
自動ガスサンプラ１−２の入口ｅが流路６６により接続
されている。自動ガスサンプラ１−２は入口（または出
口）ａ、ｂ、ｃ。

ｄ、ｅ、ｆと流路ｇ　＋　ｈｅ　ｉを有している。また
、出口すと入口６間には計量管２０−２が設けられてい
る。出口ａには流路６７が接続され、流路６７の下流側
には活性炭フィルタ８−２が設けられている。

活性炭フィルタ８−２には排気口１７が設けられている
。

活性炭フィルタ下流側よりの低！１度ガスが流入する低
濃度ガス人口１３にはエアフィルタ７−３が設けられ、
このエアフィルタ７−３からは流路７゜が延びている。

流路７０は流路７１と流路７６とに分岐し、流路７１の
下流側には圧力調整のためのニード７Ｌ／バルブｔｏ−
２が設けられている。ニードルバルブ１０−２には流路
７２を介して電磁弁９−２が設けられている。Ｗｔ電磁
弁９２はソレノイド２１−２で開閉される。電磁弁９−
２は吸引ポンプ接続口１６を介して吸引ポンプ（図示せ
ず）に接続されている。

流路７０より分岐した流路７６の下流側には自動ガスサ
ンプラ１−３が設けられている。流路７６は自動ガスサ
ンプラ１−３の入口ａに接続されている。

自動ガスサンプラ１−３は入口（または出口）ａ。

ｂｔＣｔｄｓｅ＊、’と流路ｇ、ｈ、ｉを有し、出口ｄ
と入口す間には計量管２０−３が設けられている。出口
ｅには流路７７が接続され、この流路７７にはニードル
バルブ付の流量計６−２が設けられている。流量計６−
２にはざらに流路７８が設けられ、ニードルバルブ１０
−２と′ｇ磁弁９−２間の流路７２に合流している。

チッ素ガスを流入するチッ素ガス人口１８は流路７３を
経て、自動ガスサンプラ１−２の入口Ｃ４Ｃ接続されて
いる。自動ガスサンプラ１−２の出口ｒと自動ガスサン
プラ１−３の入口Ｃとは流路７４で接続され、自動ガス
サンプラ１−３の出口〔は流路７５．チッ素ガス出口１
９を経てガス分析をおこなうガスクロマトグラフ（図示
せず）に接続されている。

電磁弁９−１．２．３．４のソレノイド２１−１゜２，
３，４．自動ガスサンプラ１−１．２，３゜マグネチツ
クスターラ４のモータ４ａは、図示しナイシーケンスコ
ントローラの制御下におかれ、所定のシーケンスでオン
、オフ制御される。

次に動作を説明する。このガス稀釈装置には囚待期モー
ド、（Ｂ）上流測流モード、（Ｃ）下流測定モード、（
Ｄ）上流／下流交互測定モードＩ、（Ｅｌ上流／下流測
定モードＩ［、（Ｆ）校正モードの６つの運転モードが
ある。以下これら各運転モードについて詳細、１　に説
明する。

（Ａ）待期モード 待期モードは、稀釈容器２のクリーニングをおこない、
他の運転モードに移るのを待っているモードである。

ステップＡ１ 電磁弁９−３と９−４を開き、マグネチックスターラ４
をオンにする。自動ガスサンプラ１−１゜２．３は第１
図の状態にする。これにより、圧縮空気が、圧縮望気入
口１４→エアフィルタ７−２→流路印→減圧弁１１→流
路６１→活性炭フイルタ８−１→流路６２→電磁弁９−
３→流路ω→自動ガスサンプラ１−１（流路ｉ）→流路
飼→試料注入口３の経路により稀釈容器２に流入する。

活性炭フィルタ８−１で清浄にされた圧縮空気により稀
釈容器２がクリーニングされる。クリーニング後の圧縮
空気は、稀釈容器２→流路６５→電磁弁９−４→流路印
→自動ガスサンプラ１−２の波路ｈ→計賃１ｆ２０−２
→自動ガスサンプラ１−２の流路ｇ−＋かＬ路６７→活
性炭フィルタ８−２→排気口１７の経路により排気され
る。この稀釈容器２のクリーニングは約２分間おこなわ
れる。

ステップＡ２ 次に電磁弁９−３を閉じると、稀釈容器２内の圧力が徐
々に減少する。圧力変換器５で稀釈容器２内の圧力を検
出し、内圧がゼロになるのを待つ。

ステップＡ３ 内圧がゼロになったことが検出されると、ｔｉ弁９−４
を閉じるとともにマグネチックスターラ４をオフにする
。これにより稀釈容器２がりＩＪ−ニングされ、他の運
転モードへ移る準備が完了する。

ｉＢ）上流測定モード 上流測定モードは、活性炭フィルタ上流側からの高濃度
ガスを稀釈して繰り返し測定する運転モードである。ス
タートボタンを押すと、高ａ匿ガスを繰り返し測定し、
ストップボタンを押すとその回の測定を終了するととも
に停止する。

ステップＢ１ 電磁弁９−３と９−４を閉じ、’４１ｉ弁９−１と９−
２を開く。これにより高一度ガスが、高譲匿ガス人口１
２→エアフィルタ７−１→流路５０→流路５１→ニード
ルバルブ１Ｏ−１→流路５５→屯磁弁９−１→吸引ポン
プ接続口１５の経路によりポンプ（図示せず）で吸引さ
れる。また、流路５０から分岐された高濃度ガスは、流
路５２→自動ガスサンプラ１−１の流路ｇ→計童管２０
−１→目動ガスサンプラ１−１の流路ｈ→流路５３→流
量計６−１→流路５４の経路により流路５５に合流する
。

低ｇＵガスは、低濃度ガス人口１３→エアフィルタ７−
３→流路７０→流路７１→ニードルバルブ１０−２→流
路７２→電磁弁９−２→吸引ポンプ接続口１６の経路に
より、ポンプ（図示せず）で吸引される。

また、流路７０から流路７６に分岐された低濃度ガスは
、流路７６→自動ガスサンプラ１−３の流路ｇ→計量管
２０−３→自動ガスサンプラ１−３の流路ｈ→流路７７
→流童計６−２→流路７８の経路により流路７２に合流
する。

またチッ素ガスは、チッ素ガス入ロ１８→流路７３→自
動ガスサンプラ１−２の流路ｉ→流路７４→自動ガスサ
ンプラ１−３の流路ｉ→流路７５→チッ素ガス出口１９
の経路により、ガスクロマトグラフへ送られている。

ナオ、ニードルバルブ スサンプラ１−１と１−３に適切なｆ（約５０〜１００
　ｍｌ／ｍ程度）の空気が流れるように調節している。

スタートボタンを押すと、電磁弁９−１が閉じる。自動
ガスサンプラ１−１の計を管２０−１内の空気圧力が、
活性炭フィルタ上流側空気の圧力と等しくなるのを待つ
。かかる均圧化のためには、数秒から１０秒程度の時間
が必要である。

ステップＢ３ 次に自動ガスサンプラ１−１を時計方向に６０゜回転さ
せ、流路ｇが入口Ｃと出口４間を接続し、流路ｉが入口
すと出口１間を接続する。すると、流路６３→自動ガス
サンプラ１−１の流路ｇ→計量管２０−１→流路ｉ→流
路６４の流通経路ができる。

続いて電磁弁９−３を開き、計量管２０−１中の高濃度
ガスを、活性炭フィルタ８−１で清浄にされた圧縮空気
で稀釈容ｉＳ２へ送入する。

稀釈容５２内の圧力Ｐは圧力変換ｇＳ５で検出され、こ
のＰが次の（１１式で示された値になると電磁弁９−３
を閉じる。同時に、自動ガスサンプラ１−１を反時計方
向に６０°回転させて第１図の状態にもどす。

ただし、Ｐ：稀釈容器２内の圧力（Ｖｇ／ｃｒＩＬ”　
Ｇ　）ｄ：稀釈倍率 Ｖ二計量器２０−１の容積（ｍｌ） ■＝稀釈容器２の容積（ｍｌ） ステップＢ４ マグネチツクスターラ４をオンし、稀釈容器２内の撹拌
子２ａを回転させて、高濃度ガスと清浄空気を□□□秒
程度混合する。

ステップＢ５ 電磁弁９−４を開くと、稀釈容器２内の稀釈ガスは、流
路６５→電磁弁９−４→流路６６→自動ガスサンプラ１
−２の流路ｈ→計量管２０−２→自動ガスサンプラ１−
２の流路ｇ→流路６７→活性炭フィルタ８−２→排気口
１７の経路を通って排出される。

そして、稀釈容器２の内圧がゼロになるまで待つ。

ステップＢ６ 圧力変換器５により稀釈容器２内の圧力がゼロになると
、自動ガスサンプラ１−２が時計方向にω度回転する。

すると、流路ｇが入口Ｃと出口４間を接続し、流路ｉが
入口すと出口１間を接続する。したがってチッ素ガス入
口１８からのチツ累ガスが、流路７３→自動ガスサンプ
ラ１−２の流路ｇ→計量管２０−２→流路ｉ→流路７４
→自動ガスサンプラ１−３の流路ｉ→流路７５→チッ素
ガス出口１９の経路を流れ、計量管２０−２中の試料ガ
スをガスクロマトグラフに送り込む。ガスクロマトグラ
フでは送り込まれたガスの分析がおこなわれる。

ステップＢ７ 自動ガスサンプラ１−２の計量管２０−２中の試料ガス
がガスクロマトグラフに送り込まれた後、自動ガスサン
プラ１−２を反時計方向に６０度回転して第１図の状態
にもどす。次にｔａ弁９−３を開くと、ステップＡＩと
同じ状態になり、稀釈容器２が清浄な圧縮空気でクリー
ニングされる。

ステップＢ８ 分析所要時間（例えば２分間）を設定したタイマ（図示
せず）がタイムアツプすると、電磁弁９−３を閉じ（ス
テップＡｌ）、稀釈容器２中の内圧がゼロになるのを待
って電磁弁９−４を閉じる（ステップＡ２）。

ストップボタンが押されていればそのまま停止する。ス
トップボタンが押されていなければ再びステップＢ１か
らステップＢ８を繰り返し、高濃度ガスを測定する。

（Ｃ）下流測定モード 下流測定モードは、活性炭フィルタ下流側からの低濃度
ガスを繰り返し測定する運転モードである。スタートボ
タンを押すと低濃度ガスを繰り返し測定し、ストップボ
タンを押すとその回の測定を終了するとともに停止する
。

ステップＣ１ 電磁弁９−３と９−４を閉じ、電磁弁９−１と９−２を
開く。これによりステップＢ１と同じ状態になる。

ステップＣ２ スタートボタンを押すと電磁弁９−２が閉じる。

自動ガスサンプラ１−３の計量管２０−３内の空気圧力
が、活性炭フィルタ下流側空気の圧力と等しくなるのを
待つ。かかる均圧化のためには、数秒からｌＯ秒程度の
時間が必要である。

ステップＣ３ 次に自動ガスサンプラ１−３を時計方向に６０度回転さ
せ、流路ｇが入口Ｃと出口６間を接続し、流路ｉが入口
すと出口Ｃ間を接続する。すると、流路７４→自動ガス
サンプラ１−３の流路ｇ→計量管２０−３→流路ｉ→流
路７５の流通経路ができる。

したがってチッ素ガス入口１８からのチッ素ガスが、計
量管２０−３内の低濃度ガスをガスクロマトグラフに送
り込む。ガスクロマトグラフでは送り込まれたガスの分
析がおこなわれる。自動ガスサンプラ１−３の計量管２
０−３中の試料ガスがガスクロマトグラフに送り込まれ
た後、自動ガスサンプラにｉを反時計方向に６０度回転
して第１図の状態にもどす。

ステップＣ４ ストップボタンが押されていればそのまま停止する。ス
トップボタンが押されていなければ再びステップＣ１か
らステップＣ３を繰り返し、低濃度ガスを測定する。

（１））上流／下流交互測定モードＩ 上流／下流交互測定モード■は、上流側からの高ａ変ガ
スの測定と下流側からの低濃度ガスの測定を交互におこ
なう運転モードである。ステップＢ１からステップＢ８
により高ａ度ガスの採取。

稀釈測定をした後、ステップＣ１からステップＣ３によ
り低濃度ガスの採取、測定をおこない、これを繰り返す
。

ｆＥ）上流／下流交互測定モード■ 上流／下流交互測定モード■と同様、上流側からの誦濃
度ガスの測定と下流側からの低濃度ガスの測定を交互に
おこなう運転モードである。しかしこの運転モードでは
、ステップＢ１からステップＢ４により高濃度ガスの採
取、稀釈をおこなっている間に、ステップＣ１からステ
ップＣ３を実行して低濃度ガスの採取、測定をおこなう
。低濃度ガスの測定後、ステップＢ５からステップＢ８
を実行して高濃度ガスの測定をおこなう。この運転モー
ドは、先の上流／下流交互測定モードＩより高速で測定
できる。

（Ｆ）校正モード 校正モードは、比較的高濃度の標準ガスサンプル、また
は液体サンプルを稀釈して測定する運転モードである。

ステップＦ１ 標準サンプルを注射器で稀釈容器２の試料注入口３から
注入する。なお、液体サンプルの場合、試料注入口３を
外側からヒータで加熱しておけば、液体サンプルは気化
されてガスになり稀釈容器２中に注入可能となる。

ステップＦ２ ＼、　　スタートボタンを押すと、標準サンプルは清浄
！ な圧縮空気で稀釈容器２中に送り込まれる。その後はス
テップＢ３からステップＢ８により、標準サンプルの稀
釈、採取、測定をおこなう。

このような本実施例によれば、高一度ガスの稀釈は稀釈
容器内で加圧状態で行なっているので、混合、稀釈後は
稀釈容器の出口側の賦磁弁を開くと稀釈サンプルは内圧
に・よって出てくる。したがって、稀釈後のサンプルを
吸引するための真空ポンプや注射器を必要としない。

また、ガスの稀釈倍率は（１）式で決定されるので、計
量器の容積Ｖと稀釈容器の容積Ｖを変えなくとも、稀釈
容器内の圧力Ｐを変化させるだけで、稀釈倍率ｄを容易
に変更することができる。

したがって、稀釈圧力を検出する圧力変換器から信号を
ディジタルメータリレーを用いて数値変換をおこなえば
、稀釈倍率を直読することができる。

また、モード選択スイッチにより選択するだけで、高濃
度ガス測定、低濃度ガス測定、高濃度／低濃度ガス交互
測定等の運転モードを容易に変更することができる。

さらに、操作はシーケンスコントローラにより自動的に
おこなわれるので、オペレータによる操作ミスが発生せ
ず、高精度の測定をおこなうことができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されず種々の変更が可
能である。

〔発明の効果〕

本発明は以上説明したとおり、ガスの稀釈の操作をすべ
て自動的におこなうようにしたので、操作ミスがなくな
るとともに作業能率が極めて良くなるという優れた効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるガス稀釈装置の構成図
、第２図（ａ）　、　（ｂｌは従来のガス稀釈分析装置
の構成図である。 図において、１−１〜３・・・自動ガスサンプラ、２・
・・稀釈容器、２ａ・・・撹拌子、３・・・試料注入口
、４・・・マグネチツクスターラ、４ａ・・・モータ、
４ｂ・・・磁石、５・・・圧力変換ａ、６−１．２・・
・ニードルバルブ付の流量計、７−１〜３・・・エアフ
ィルタ、８−１．２・・・活性炭フィルタ、９−１〜４
・・・電磁弁ｔｏ−１，２・・・ニードルバルブ、１１
・・・減圧弁、１２・・・高濃度ガス入口、１３・・・
低濃度ガス入口、１４・・・圧縮空気（または圧縮ガス
）入口、１５　、１６・・・吸引ポンプ接続口、１７・
・・排気口、１８・・・チッ素ガス入口、１９・・・チ
ッ素ガス出口、２０−１〜３・・・計量管、２１−１〜
４・・・ソレノイド、１０１・・・低濃度ガス入口、１
０３　、１１１　、１１５・・・手動操作バルブ、１０
５　、１０９・・・試料採取口、１０７・・・高濃度ガ
ス入口、１１３・・・排気ポンプ、１１７・・・ガスサ
ンプラ、１１８・・・計量管、１２１・・・チッ素ガス
入口、１２３　、１２５・・・弁、１２８・・・試料注
入口、１２９・・・分離カラム、１３０・・・電子捕獲
型検出器、１３１・・・排気口、１３３・・・増幅器、
１３４・・・記録計、１４０・・・活性炭フィルタ、１
４２　、１４７・・・手動操作バルブ、１４４・・・試
料採取口、１４５・・・稀釈容器、１４８・・・排気ポ
ンプ、１５０・・・マグネテイツクスターラである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 開閉弁を有し稀釈されるガスが流入するガス入口と、こ
   のガス入口より流入したガスを封入するガス容器と、こ
   のガス容器内のガスを撹拌して稀釈する稀釈手段と、開
   閉弁を有し、前記ガス容器からの流出させる出口とを備
   えたガス稀釈装置において、前記ガス容器内のガス圧力
   を検出するガス圧検出手段と、このガス圧検出手段によ
   り検出されたガス圧力に基づき、前記ガス入口を開閉制
   御する制御手段とを備えたことを特徴とするガス稀釈装
   置。