JPS623636A - ガスサンプリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガスのサンプリングを自動的におこなうガスサ
ンプリング装置に関する。

〔従来の技術〕

第２図（１１、（ｂｌにガスの捕型１分析をおこなう従
来の装置を示す、サンプリング装置１００には低濃度ガ
ス人口１０１と高ｍ度ガス入口１０７が設けられている
。低１１度ガス人口１０１には流路１０２１手動操作バ
ルブ１０３．流路１０４．試料採取口１０５がこの順で
設けられている。試料採取口１０５とガスサンプラ１１
７は流ｊ８１０６で接続されている。高ｍ度ガス入口１
０７には、流路１０８．試料採取口１ｏ９゜流路１１０
２手動操作バルブ１１１．流路１１２．排気ポンプ１１
３がこの順で設けられている。流路１１２からは流路１
１４が分岐しており、この流路１１４にはＴ字型の手動
操作バルブ１１５を介して排気口１１９が接続されてい
る。この手動操作バルブ１１５とガスサンプラ１１７と
は流路１１６により接続されている。ガスサンプラ１１
７には所定量のガスを計量する計量管１１８が設けられ
ている。

ガスクロマトグラフ１２０にはチッ素ガス人口１２１と
、試料注入口１２８とが設けられている。チッ素ガス人
口１２１には、流路１２１．弁１２３．流路１２４、弁
１２５．流路１２６がこの順で設けられており、流路１
２６はガスサンプラ１１７に接続されている。ガスサン
プラ１１７と試料注入口１２８とは流路１２７で接続さ
れている。試料注入口１２８には分離カラム１２９が接
続されており、この分離カラム１２９ニは電子捕獲型検
出器（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　ＣａｐｔｕｒｅＤｅｔｅｃｔ
ｏｒ　（ＥＣＤ）　）　　１３０が接続されている。

この電子捕獲型検出器１３０には流路１３１を介して排
気口１３２が設けられている。を子補獲型検出器１３０
の検出信号は増幅器１３３で増幅され記録計１３４で記
録される。

マグネチックスターチ１５０上にはガス稀釈のための稀
釈容器１４５が設けられている。稀釈容器１４５への試
料の注入および試料の採取は試料採取口１４４でなされ
る。また、稀釈容器１４５には流路１４６・２手動操作
バルブ１４７．流路１４９を介して排気ポンプ１４８が
接続されている。さらに、稀釈容器１４５には活性炭フ
ィルタ１４０．流路１４１１手動操作パルプ１４２．流
路１４３が設けられている。

かかる従来の装置でガスのサンプリング、稀釈。

分析をおこなう場合には、注射器（図示せず）を用いて
オペレータがガスの採取、注入をおこなうとともに１手
動操作バルブ１０３　、１１１　、１１５　。

１４２　、１４７を手動操作する６例えば、上流側の高
濃度ガスの分析をおこなう場合には次のような手順でお
こなう、まず１手動操作バルブ１４２　、１４７を開き
排気ポンプ１４８で排気して稀釈容器１４５をクリーニ
ングする６次に１手動操作バルブ１１１を開き排気ポン
プ１１３で高濃度ガスを吸引しながら試料採取口１０９
からガスを所定量（例えば１ｍ１）注射器で採取する。

採取した高濃度ガスを試料採取口１４４から１手動操作
バルブ１４２　、１４７を閉じて密封された稀釈容器１
４５中に注射器で注入する。

稀釈容器１４５では１ｍｌの高濃度ガスを１例えば１０
００倍に稀釈する０次に稀釈されたガスを試料採取口１
４４から別の注射器で採取し、試料採取口１０５から所
定ｆｉａｔ（例えば２０ｍ１）注入する。これにより、
稀釈されたガスはガスサンプラ１１７の計量管１１８に
満たされる０次にガスサンプラ１１７を６０度回転させ
、チッ素ガスを流入させることにより、計量管１１８中
の試料ガスをガスクロマトグラフ１２０に導入する。試
料ガスは分離カラム１２９を経て電子捕獲型検出器１３
０で検出９分析され、そ後排気される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の装置では、注射器による試料の採取
、注入２手動操作バルブ１０３　、１１１　。

１１５　、１４２　、１４７やガスサンプラ１１７の操
作は。

定められた順番に従ってオペレータがする必要がある。

しかしながら、これら操作は極めて複雑であり、熟練し
たオペレータでも操作ミスをすることがあり１作業効率
が悪いという問題点があった。

本発明は、かかる問題点を解決するためになされたもの
で、未熟なオペレニタでも簡単に操作でき１作業効率が
良いガスサンプリング装置を提供することを目的とする
。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によるガスサンプリング装置は、ガス入口から第
１の流路、調整バルブ、第２の流路、開閉バルブを経て
ガス吸引口に連結されるガス主系統と、このガス主系統
の第１の流路から分岐して。

第３の流路、ガスサンプラの入口、計量管、ガスサンプ
ラの出口、第４の流路、流量計、第５の流路を経てガス
主系統の第２の流路に合流するガスサンプリング系統と
を設けたものである。

〔作用〕

本発明のガス稀釈装置においては、ガスのサンプリング
の操作がオペレータの操作を煩わせることなくすべて自
動的におこなわれる。これ１こより。

操作ミスがなくなるとともに作業効率も極めて上昇する
。

〔実施例〕

第１図に本発明の一実施例によるガスサンプリング装置
を高濃度ガスおよび低濃度ガスのサンプリングに用いた
ガス稀釈装置を示す、活性炭フィルタ上流側からの高濃
度ガス人口１２にはエアフィルタ７−１が設けられ、こ
のエアフィルタ７−１からは流路５０が延びている。流
路５０は流路５１と流路５２ｆこ分岐し、流路５１の下
流側には圧力調整のためのニードルバルブ１０−１が設
けられている。ニードルバルブ１０−１の下流側には流
路５５を介して電磁弁９−１が設けられている。′ｃＬ
磁弁９−１を開閉するためにソレノイド２１−１が設け
られている。ＩＩ電磁弁−１は吸引ポンプ接続口１５を
介して吸引ポンプ（図示せず）に接続されている。この
ように高濃度ガス人口１２から吸引ポンプ接続口１５に
至る高１１度ガス主系統が形成されている。

高濃度ガス主系統の流路５０から分岐した高濃度ガスサ
ンプリング系統の流路５２は自動ガスサンプラ１−１の
入口ａに接続されている。自動ガスサンプラ１−１は、
３つの入口ａ、ｂ、ｃと３つの出口ｄ、ｅ、ｆを有し、
さらＩこ、これら人口ａ・。

ｂ、ｃと出ロｄ、ｅ、ｆ間を連通させるための流路ｇ　
＊　ｈ＊　ｉを有している。出口ｄと入口す間には、一
定量のガスを計量するための計量管２０−１が設けられ
ている。流路ｇ、ｈ、ｉは一体的に回転可能であり、隣
接する任意の入口と出口間を連通させる。流路ｇ　ｇ　
ｈ＊　ｉの回転は、全体の制御をつかさどるシーケンス
コントローラ（図示せず）からの指示により１図示しな
い駆動手段（こよりなされる、出口Ｃには流路５３が接
続され、この流路５３にはニードルバルブ付の流量計６
−１が設けられている。流量計６−１にはさらに流路騙
が設けられ、高濃度ガス主系統のニードルバルブ１０−
１と電磁弁９−１間の流路５５に合流している。

圧縮金気または圧縮ガスが流入する圧縮空気（または圧
縮ガス）入口１４にはエアフィルタ７−２が設けられ、
このエアフィルタ７−２ζこは流路（イ）を経て減圧弁
１１が設けられている。さらに、この減圧弁１１には流
路６１を経て活性炭フィルタ８−１が設けられており、
この活性炭フィルタ８−１には流路６１を介して電磁弁
９−３が設けられている。ｔａ弁９−３はソレノイド２
１−３１こより開閉される。１！Ｅ磁弁９−３の下流側
には流路６３が設けられ、この流路６３は自動ガスサン
プラ１−１の第３の入口Ｃに接続されている。自動ガス
サンプラ１−１の第３の出口Ｃは流路６４により稀釈容
器２の試料注入口３に接続されている。

稀釈容器２の下にはマグネチツクスターラ４が設けられ
ている。マグネチツクスターラ４は、モータ４ａに直結
された磁石４ｂを回転させることにより、稀釈容器２中
の撹拌子２ａを回転させて撹拌し、ガスを均一に稀釈す
る。稀釈容器２１こは。

さらに圧力変換器５が設けられる。この圧力変換器５は
稀釈容器２内の圧力を検出する。

稀釈容器２から下流側１こは流路６５を経て電磁弁９−
４が設けられている。電磁弁９−４はソレノイド２１−
４により開閉される。Ｅ磁弁９−４の乍流側には自動ガ
スナンプラ１−２が設けられている。を訊弁９−４と自
動ガスサンプラ１−２の入口ｅが流路６６により接続さ
れている。自動ガスサンプラ１−２は入口（または出口
）ａ、ｂ、ｃ。

ｄ、ｅ、ｆと流路ｇ、ｈ、ｉを有している６オた出口す
と入口４間には計量管２０−２が設けられている。出口
ａには流路６７が接続され、流路６７の下流側ｌこは活
性炭フィルタ８−２が設けられている。

活性炭フィルタ８−２には排気口１７が設けられている
。

活性炭フィルタ下流側よりの低１ｊガスが流入する低濃
度ガス人口１３にはエアフィルタ７−３が設けられ、こ
のエアフィルタ７−３からは流路７０が延びている。流
路７０は流路７１と流路７６とに分岐し、流［７１の下
流側には圧力調整のためのニード／Ｌ／　ハ／Ｌ／　）
ｌＱ　　２が設けられている。ニードルバルブ１０−２
には流路７２を介して電磁弁９−２が設けられている。

−ｔａ弁９−２はソレノイド２１−２で開閉される。電
磁弁９−２は吸引ポンプ接続口［６を介して吸引ポンプ
（図示せず）に凄続されている。このように低濃度ガス
人口１３から吸引ポンプ接続口１６に至る低飛度ガス主
系統が形成されている。

低濃度ガス主系統の流路７０より分岐した低濃度ガスサ
ンプリング系統の流路７６の下流側には自動ガスサンプ
ラ１−３が設けられている。流路７６は自動ガスサンプ
ラ１−３の入口ａに接続されている。自動ガスサンプラ
１−３は入口（または出口）ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆと
流路ｇ　−ｈｅ　’を有し。

出口ｄと入口す間には計量管２０−３が設けられている
。出口ｅには流路７７が接続され、この流路７７にはニ
ードルバルブ付の流量計６−２が設けられている。流量
計６−２にはさらに流路７８が設けられ、低濃度ガス主
系統のニードルバルブ１０−２と電磁弁９−２間の流路
７２に合流している。

チッ素ガスを流入するチッ素ガス入口１８は流路７３を
経て、自動ガスサンプラ１−２の入口Ｃに接続されてい
る。自動ガスサンプラ１−２の出口ｆと自動ガスサンプ
ラ１−３の入口Ｃとは流路７４で接続され、自動ガスサ
ンプラ１−３の出口ｆは流路７５．チッ素ガス出口１９
を経てガス分析をおこなうガスクロマトグラフ（図示せ
ず）に接続されている。

電磁弁９−１．２，３．４のソレノイド２１−１゜２．
３，４．自動ガスサンプラ１−１．２，３゜マグネテツ
クスターラ４のモータ４ａは１図示しないシーケンスコ
ントローラの制御下におかれ。

所定のシーケンスでオン、オフ制御される。

次に動作を説明する。このガス稀釈装置には囚時期モー
ド、（Ｂ）上流測定モード、（Ｃ）下流測定モード、（
Ｄ）上流／下流交互測定モードＩ　、　（Ｅ）上流／下
流測定モード１１．（Ｆ）校正モードの６つの運転モー
ドがある。以下これら各運転モードについて砕細に説明
する。

（Ｎ時期モード 時期モードは、稀釈容器２のクリーニングをおこない、
他の運転モードに移るのを待っているモードである。

ステップ人ｌ 電磁弁９−３と９−４を開き、マグネチツクスターラ４
をオンにする。自動ガスサンプラ１−１゜２．３は第１
図の状態にする。これにより、圧縮空気が、圧縮空気人
口１４→エアフイルタ７−２→流路６０→減圧弁１１→
流路６１→活性炭フイルタ８−１→流路６２→１磁弁９
−３→流路６３→自動ガスサンプラ１−１（Ｒ路ｉ）→
流路６４→試料注入ロ３の経路により稀釈容器２に流入
する。活性炭フィルタ８−１で清浄にされた圧縮空気に
より稀釈容器２がクリーニングされる。クリーニング後
の圧縮空気は、稀釈容器２→流路６５→電磁弁９−４→
流路６６→自動ガスサンプラ１−２の流路ｈ→計量管２
０−２→自動ガスサンプラ１−２の流路ｇ→流路６７→
活性炭フィルタ８−２→排気口１７の経路により排気さ
れる。この稀釈容器２のクリーニングは約２分間おこな
われる。

ステップＡ２ 次に電磁弁９−３を閉じると、稀釈容器２内の圧力が徐
々に減少する。圧力変換器５で稀釈容器２内の圧力を検
出し、内圧がゼロになるのを待つ。

ステップＡ３ 内圧がゼロになったことが検出されると、電磁弁９−４
を閉じるとともにマグネチツクスターラ４をオフにする
。これにより稀釈容器２がりＩＪ−ニングされ、他の運
転モードへ移る準備が完了する。

（Ｂ）上流測定モード 上流測定モードは、活性炭フィルタ上流側からの高濃度
ガスを稀釈して繰り返し測定する運転モードである。ス
タートボタン手押すと、高濃度ガスを繰り返し測定し、
ストップボタンを押すとその回の測定を終了するととも
に停止する。

ステップＢ１ 電磁弁９−３と９−４を閉じ、電磁弁９−１と９−２を
開く、これにより高！１度ガスが、高濃度ガス人口１２
→エアフイルタ７−１→流路５０→流路５１→ニードル
バルブ１０−１→流路５５→電磁弁９−１→吸引ポンプ
接続口１５の経路によりポンプ（図示せず）で吸引され
る。また、流路５０から分岐された高濃度ガスは、流路
５２→自動ガスサンプラ１−１の流路ｇ→計量管２０−
１→自動ガスサンプラ１−１の流路ｈ→流路８→流量計
６−１→流路舛の経路により流路５５に合流する。

低濃度ガスは、低濃度ガス人口１３→エアフイルタ７−
３→流路７０→流路７１→ニードルバルフ１〇−２→流
路７２→を磁弁９−２→吸引ポンプ接続口１６の経路に
より、ポンプ（図示せず）で吸引される。

また、流路７０から流路７６に分岐された低！Ｎ度ガス
は、流路７６→自動ガスサンプラ１−３の流路ｇ→計量
管２０−３→自動ガスサンプラ１−３の流路ｈ→流路７
７→流量計６−２→流路７８の経路により流路７２に合
流する。

またチッ素ガスは、チッ素ガス人ロ１８→流路７３→自
動ガスサンプラ１−２の流路ｉ→流路７４→自動ガスサ
ンプラ１−３の流路ｉ−＋流路７５→チッ素ガス出口１
９の経路により、ガスクロマトグラフへ送られている。

なお、ニードルバルブ スサンプラ１−１と１−３に適切な量（約５０〜１００
　ｍｌ／１１ｉＲ程度）の空気が流れるように調節して
いる。

ステップＢ２ スタートボタンを押すと，電磁弁９−１が閉じる．自動
ガスサンプラ１−１の計量管２０−１内の空気圧力が．
活性炭フィルタ上流側空気の圧力と等しくなるのを待つ
．かかる均圧化のためには。

数秒から１０秒程度の時間が必要である。

ステップＢ３ 次に自動ガスサンプラ１−１を時計方向に６０’回転さ
せ．流路ｇが入口Ｃと出口６間を接続し。

流路ｉが入口すと出口１間を接続する．すると。

流路６３→自動ガスサンプラ１−１の流路ｇ→計量管２
０−１→流路ｉ→流路６４の流通経路ができる。

続いて電磁弁９−３を開き．計量管２０−１中の高濃度
ガスを．活性炭フィルタ８−１で清浄にされた圧縮空気
で稀釈容器２へ送入する。

稀釈容器２内の圧力Ｐは圧力変換器５で検出され．この
Ｐが次の（１）式で示された値になるとｔｉ弁９−３を
閉じる．同時に．自動ガスサンプラ１−１を反時計方向
に６０°回転させて第１図の状態にもどす。

ただし、Ｐ：稀釈容器２内の圧力（ｖｇ／α２Ｇ）ｄ：
稀釈倍率 Ｖ：計量器２０−１の容積（　ｍｅ　）■＝稀釈容器２
の容積（ｍｌ） ステップＢ４ マグネチツクスターラ４をオンし．稀釈容器２内の撹拌
子２ａを回転させて．高濃度ガスと清浄空気を３０秒′
８度混合する。

ステップＢ５ 電磁弁９−４を開くと，稀釈容器２内の稀釈ガスは，流
路６５→戒凪弁９−４→流路６６→自動ガスサンプラ１
−２の流路ｈ→計ｉ！Ｌｆ２０−２→自動ガスサンプラ
１−２の流路ｇ→流路６７→活性炭フィルタ８−２→排
気口１７の経路を通って排出される。

そして、稀釈容器２の内圧がゼロになるまで待つ。

ステップＢ６ 圧力変換器５により桁釈容器２内の圧力がゼロになると
．自動ガスサンプラ１−２が時計方向に６０矩回転する
．すると、流路ｇが入口Ｃと出口６間を接続し．流路１
が入口すと出口１間を接続する．したがってチッ素ガス
人口１８からのチツ累ガスが．流路７３→自動ガスサン
プラ１−２の流路ｇ→計量管２０ー２→流路ｉ→流路７
４→自動ガスサンプラ１−３の流路ｉ→流路７５→チッ
素ガス出口１９の経路を流れ，計量管２０−２中の試料
ガスをガスクロマトグラフに送り込む．ガスクロマトグ
ラフでは送り込まれたガスの分析がおこなわれる。

ステップＢ７ 自動ガスサンプラ１−２の計量管２０−２中の試料ガス
がガスクロマトグラフに送り込まれた後。

自動ガスサンプラ１−２を反時計方向に６０度回転して
第１図の状態にもどす．次に１１ｔ磁弁９−３を開くと
．ステップＡ１と同じ状態になり．稀釈容器２が清浄な
圧縮空気でクリーニングされる。

ステップＢ８ 分析所要時間（例えば２分間）を設定したタイマ（図示
せず）がタイムアツプすると．を磁弁９−３を閉じ（ス
テップＡＩ　）、ｍ釈容器２中の内圧がゼロｌどなるの
を待って電磁弁９−４を閉じる（ステップＡ２）。

ステップＢ９ スタートボタンが押されていればそのまま停止する．ス
トップボタンが押されていなければ再びステップＢ１か
らステップＢ８を繰り返し、高濃度ガスを測定する。

（Ｃ）下流測定モード 下流測定モードは、活性炭フィルタ下流側からの低濃度
ガスを繰り返し測定する運転モードである。スタートボ
タンを押すと低濃度ガスを繰り返し測定し、ストップボ
タンを押すとその回の測定を終了するとともに停止する
。

電磁弁９−３と９−４を閉じ、電磁弁９−１と９−２を
開く、これによりステップＢ１と同じ状態になる。

ステップＣ２ スタートボタンを押すと電磁弁９−２が閉じる。

自動ガスサンプラ１−３の計ｆＩｋ管２０−３内の空気
圧力が、活性炭フィルタ下流側空気の圧力と等しくなる
のを待つ、かかる均圧化のためには、数秒から１０秒程
度の時間が必要である。

ステップＣ３ 次に自動ガスサンプラ１−３を時計方向に６０屁回転さ
せ、流路ｇが入口Ｃと出口６間を接続し。

流路ｉが入口すと出口１間を接続する。すると。

流路７４→自動ガスサンプラ１−３の流路ｇ→計量ｌＷ
２Ｏ−３→流路ｉ→流路７５の流通経路ができる。

したがってチッ素ガス人口１８からのチッ素ガスが。

計量管２０−３内の低濃度ガスをガスクロマトグラフに
送り込む、ガスクロマトグラフでは送り込まれたガスの
分析がおこなわれる。自動ガスサンプラ１−３の計量管
２０−３中の試料ガスがガスクロマトグラフに送り込ま
れた後、自動ガスサンプラ１−３を反時計方向に印度回
転して第１図の状態にもどす。

ステップＣ４ ストップボタンが押されていればそのまま停止する。ス
トップボタンが押されていなければ再びステップＣ１か
らステップＣ３を繰り返し、低濃度ガスを測定する。

（Ｄ）上流／下流交互測定モードＩ 上流／下流交互測定モード■は、上流側からの高濃度ガ
スの測定と下流側からの低濃度ガスの測定を交互におこ
なう運転モードである。ステップＢ１からステップＢ８
により高濃度ガスの採取。

稀釈測定をした後、ステップＣ１からステップＣ３によ
り低濃度ガスの採取、測定をおこない、これを繰り返す
。

（Ｅ）上流／下流交互測定モード■ 上流／下流交互測定モード■と同様、上流側からの高濃
度ガスの測定と下流側からの低濃度ガスの測定を交互に
おこなう運転モードである。しかしこの運転モードでは
、ステップＢ１からステップＢ４により高濃度ガスの採
取、稀釈をおこなっている間に、ステップＣ１からステ
ップＣ３を実行して低濃度ガスの採取、測定をおこなう
、低濃度ガスの測定後、ステップＢ５からステップＢ８
を実行して高濃度ガスの測定をおこなう、この運転モー
ドは、先の上流／下流交互測定モード■より高速で測定
できる。

（Ｆ）校正モード 校正モードは、比較的高濃度の標準ガスサンプル、また
は液体サンプルを稀釈して測定する運転モードである。

ステップＦ１ 標準サンプルを注射器で稀釈容器２の試料注入口３から
注入する。なお、液体サンプルの場合。

試料注入口３を外側からヒータで加熱しておけば。

液体サンプルは気化されてガスになり稀釈容器２中に注
入可能となる。

ステップＦ２ スタートボタンを押すと、標準サンプルは清浄な圧縮空
気で稀釈容器２中に送り込まれる。その後はステップＢ
３からステップＢ８により、標準サンプルの稀釈、採取
、測定をおこなう。

このような本実施例ｔこよれば、高濃度ガスの稀釈は稀
釈容器内で加圧状態で行なっているので。

混合、稀釈後は稀釈容器の出口側の電磁弁を開くと稀釈
サンプルは内圧によって出てくる。したがって、稀釈後
のサンプルを吸引するための真空ポンプや注射器を必要
としない。

また、ガスの稀釈倍率は（１）式で決定されるので。

計量器の容積Ｖと稀釈容器の容積Ｖを変えなくとも、稀
釈容器内の圧力Ｐを変化させるだけで、稀釈倍率ｄを容
易に変更することができる。

したがって、稀釈圧力を検出する圧力変換器から信号を
ディジタルメータリレーを用いて数値変換をおこなえば
、稀釈倍率を直読することができる。

また、モード選択スイッチにより選択するだけで、高濃
度ガス測定、低′ａ度ガス測定、高！ｉ１度／低濃度ガ
ス交互測定等の運転モードを容易に変更することができ
る。

サラに、操作はシーケンスコントローラにより自動的に
おこなわれるので、オペレータによる操作ミスが発生せ
ず、高精度の測定をおこなうことができる。

なお１本発明は上記実施例に限定されず種々の変更が可
能である。

〔発明の効果〕

本発明は以上説明したとおり、ガスのサンプリング操作
をすべて自動的におこなうようにしたので、操作ミスが
なくなるとともに作業効率が極めて良くなるという優れ
た効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるガスサンプリング装置
を用いたガス稀釈装置の構成図、第２図（ａ）　、　（
ｂｌは従来のガス稀釈分析装置の構成図である。 図において、１−１〜３・・・自動ガスサンプラ。 ２・・・稀釈容器、２ａ・・・撹拌子、３・・・試料注
入口。 ４・・・マグネチツクスターラ、４ａ・・・モータ、４
ｂ・・・磁石、５・・・圧力変換器、６−１．２・・・
ニードルバルブ付の流量計、７−１〜３・・・エアフィ
ルタ。 ８−１．２・・・活性炭フィルタ、９−１〜４・・・電
磁弁、ｔｏ−１，２・・・ニードルバルブ、１１・・・
減圧弁。 １２・・・高ＩＩｋ度ガス入口、１３・・・低濃度ガス
入０．１４・・・圧縮空気（または圧縮ガス）入口、　
１５　、１６・・・吸引ポンプ接続口、１７・・・排気
口、１８・・・チッ素ガス入口。 １９・・・チッ素ガス出０．２０−１〜３・・・計量管
、２１−１〜４・・・ソレノイド、１０１・・・低濃度
ガス入口。 １０３　、１１１　、１１５・・・手動操作バルブ、　
１０５　、１０９・・・試料採取０．１０７・・・高濃
度ガス入０．１１３・・・排気ポンプ、　　１１７・・
・ガスサンプラ、１１８・・・計量管。 １２１・・・チッ素ガス入口、　１２３　、１２５・・
・弁、１２８・・・試料注入０．１２９・・・分離カラ
ム、１３０・・・電子捕獲型検出器、１３１・・・排気
口−　１３３・・・増幅器、１３４・・・記録針、１４
０・・・活性炭フィルタ、　　１４２　、１４７・・・
手動操作バルブ、１４４・・・試料採取０．１４５・・
・稀釈容器、１４８・・・排気ポンプ、１５０・・・マ
グネテイツクスターラである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. サンプリングすべきガスが流入するガス入口と、このガ
   ス入口に接続された第１の流路と、この第１の流路に接
   続されて前記第１の流路に流れるガス流量を調整する調
   整バルブと、この調整バルブに接続された第２の流路と
   、この第２の流路に接続された開閉バルブと、この開閉
   バルブに接続されてガスを吸引するガス吸引口とを有す
   るガス主系統と、一定量のガスを計量するガス計量管と
   、ガス入口およびガス出口を有し、これらガス入口およ
   びガス出口を前記ガス計量管の両端口へ連結するガスサ
   ンプラと、前記ガス主系統の前記第１の流路から分岐し
   て前記ガスサンプラのガス入口に接続された第３の流路
   と、前記ガスサンプラのガス出口に接続された第４の流
   路と、この第４の流路に接続されたガス流量計と、この
   ガス流量計に接続され前記ガス主系統の前記第２の流路
   に合流する第５の流路とを有するガスサンプリング系統
   とを備えたことを特徴とするガスサンプリング装置。