JP2009016444A - 半導体メモリ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の例に係る半導体メモリは、メモリセルを有するメモリセルアレイエリアと、メモリセルアレイエリアに隣接するワード線コンタクトエリアと、メモリセルアレイエリア及びワード線コンタクトエリアに跨って配置されるワード線と、ワード線コンタクトエリア内のワード線17,18上に設けられるコンタクトホールCS1(n−1)と、コンタクトホールをCS1(n−1)介してワード線17,18に接続されるワード線ドライバとを備える。また、コンタクトホールCS1(n−1)のサイズは、ワード線17,18の幅よりも大きく、コンタクトホールCS1(n−1)の最も低い部分は、ワード線17,18の上面よりも低く、その下面よりも高い位置に存在する。
【選択図】図5
Description
本発明は、コンタクトホールのサイズがワード線の幅よりも大きい半導体メモリにおいて、コンタクトホールの最も低い部分を、ワード線の上面よりも低く、その下面よりも高い位置に設定したものである。
本発明の実施の形態についてNAND型フラッシュメモリを例に説明する。
図1は、NAND型フラッシュメモリの主要部を示している。
図2は、第1実施の形態のワード線レイアウトを示している。
ワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−2),WL1(n−1),WL1n,・・・の幅は、概ね一定で、最小加工寸法よりも狭い。これに対し、コンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−2),CS1(n−1),CS1n,・・・は、最小加工寸法又はそれよりも大きいサイズとなる。
本発明は、ワード線にフリンジが設けられているか否かにかかわらず、全ての半導体メモリに適用可能である。なぜなら、フリンジが存在していても、フォトリソグラフィの合わせずれによりコンタクトホールの落ち込みが発生する場合があるからである。
ワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−2),WL1(n−1),WL1n,・・・は、側壁加工プロセスにより形成され、その幅は、概ね一定で、最小加工寸法よりも狭い。これに対し、コンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−2),CS1(n−1),CS1n,・・・は、最小加工寸法又はそれよりも大きいサイズとなる。
第3実施の形態は、第1実施の形態の変形例である。
コンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−2),CS1(n−1),CS1n,・・・が配置される部分のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−2),WL1(n−1),WL1n,・・・の幅は、メモリセルアレイエリア1内のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−2),WL1(n−1),WL1n,・・・の幅よりも狭い。
以上、説明したように、上述の実施の形態によれば、ワード線に対する新規なコンタクトホール構造によりNAND型フラッシュメモリの信頼性を向上できる。
図16は、変形例としてのNAND型フラッシュメモリの主要部を示している。
このメモリセルは、いわゆるMONOS型を有している。
本発明の半導体メモリが適用されるシステムの例について説明する。
このシステムは、例えば、メモリカード、USBメモリなどである。
半導体チップ40上には、メモリセルアレイ41A,41Bが配置される。メモリセルアレイ41A,41Bは、それぞれ、y方向に配置されるブロックBK0,BK1,・・・BKn−1を有する。ブロックBK0,BK1,・・・BKn−1の各々は、x方向に配置される複数のセルユニットCUを有する。
本発明によれば、ワード線に対する新規なコンタクトホール構造により半導体メモリの信頼性を向上できる。
Claims (5)
- メモリセルを有するメモリセルアレイエリアと、前記メモリセルアレイエリアに隣接するワード線コンタクトエリアと、前記メモリセルアレイエリア及び前記ワード線コンタクトエリアに跨って配置されるワード線と、前記ワード線コンタクトエリア内の前記ワード線上に設けられるコンタクトホールと、前記コンタクトホールを介して前記ワード線に接続されるワード線ドライバとを具備し、前記コンタクトホールのサイズは、前記ワード線の幅よりも大きく、前記コンタクトホールの最も低い部分は、前記ワード線の上面よりも低く、その下面よりも高い位置に存在することを特徴とする半導体メモリ。
- 前記ワード線は、前記コンタクトホールが配置される部分にフリンジを有せず、前記コンタクトホールの中心点は、前記ワード線の中心線に対してずれていることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ。
- 前記コンタクトホールが配置される部分において、前記ワード線の中心線に対して前記コンタクトホールの中心点がずれる方向には、前記ワード線に隣接する他のワード線が存在しないことを特徴とする請求項2に記載の半導体メモリ。
- 前記コンタクトホールが配置される部分の前記ワード線の幅は、前記メモリセルアレイエリア内の前記ワード線の幅よりも狭いことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体メモリ。
- 前記メモリセルは、電荷蓄積層と、前記電荷蓄積層上に配置されるブロッキング絶縁層と、前記ブロッキング絶縁層上に配置される前記ワード線としての制御ゲート電極とを有し、前記ワード線コンタクトエリア内において、前記ワード線は、素子分離絶縁層上に前記ブロッキング絶縁層を介して配置されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体メモリ。
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