JP2007194496A - 半導体集積回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】セルアレイの大容量化と信頼性向上に有効なレイアウトを提案する。
【解決手段】本発明の例に関わる半導体集積回路は、セルアレイ11と、セルアレイ11上に配置されるライン&スペースのパターンを有する導電線WL11,・・・WL1nと、導電線WL11,・・・WL1nよりも上に形成される引き出し線L11,・・・L1nと、導電線WL11,・・・WL1nと引き出し線L11,・・・L1nとを接続するコンタクトホールCS11,・・・CS1nとを備え、導電線WL11,・・・WL1nの一端は、導電線WL11,・・・WL1nのうちの一つから他の一つに向かうに従って、順次、セルアレイ11の端部から離れていく。
【選択図】図7
【解決手段】本発明の例に関わる半導体集積回路は、セルアレイ11と、セルアレイ11上に配置されるライン&スペースのパターンを有する導電線WL11,・・・WL1nと、導電線WL11,・・・WL1nよりも上に形成される引き出し線L11,・・・L1nと、導電線WL11,・・・WL1nと引き出し線L11,・・・L1nとを接続するコンタクトホールCS11,・・・CS1nとを備え、導電線WL11,・・・WL1nの一端は、導電線WL11,・・・WL1nのうちの一つから他の一つに向かうに従って、順次、セルアレイ11の端部から離れていく。
【選択図】図7
Description
本発明は、ライン&スペースのパターンを有する導電線のレイアウトに関し、特に、記憶容量の大容量化が要求される半導体メモリに使用される。
近年、主記憶メモリとしてNAND型フラッシュメモリを使用した電子機器が数多く製品化されている。一方、電子機器の多機能化に伴い、NAND型フラッシュメモリの記憶容量の大容量化が課題となっている。
記憶容量の大容量化を図るに当たって、チップレイアウトは非常に重要である。例えば、メモリセルの微細化が顕著に進行しているが、導電線の断線、短絡などの問題を解消し、信頼性の向上を図るためには、導電線やコンタクトホールに関しては、フォトリソグラフィ時の合せずれを考慮してそのサイズやピッチを決定しなければならない(例えば、特許文献1を参照)。
特に、ワード線については、ライン&スペースのパターンにより最小加工寸法(feature size)で形成したとしても、これとワード線ドライバとを接続するためには、例えば、金属から構成される引き出し線が必要となる。従って、ワード線と引き出し線とを接続する引き出しエリアのレイアウトの検討は、チップサイズの縮小、さらには、記憶容量の大容量化にとって必須である。
尚、このような問題は、NAND型フラッシュメモリ以外の記憶容量の大容量化が要求される半導体メモリにも同様に生じる。
特開2002−151601号公報
本発明の例では、ライン&スペースのパターンを有する導電線と引き出し線とのコンタクトに関して、セルアレイの記憶容量の大容量化と信頼性の向上とに貢献できる新規なレイアウトを提案する。
本発明の例に関わる半導体集積回路は、アレイ状の複数の素子から構成されるセルアレイと、セルアレイ上に配置されるライン&スペースのパターンを有する複数の導電線と、複数の導電線よりも上に形成される複数の引き出し線と、複数の導電線と複数の引き出し線とを接続する複数のコンタクトホールとを備え、複数の導電線の一端は、複数の導電線のうちの一つから他の一つに向かうに従って、順次、セルアレイの端部から離れていき、複数のコンタクトホールは、複数の導電線の一端に配置され、複数のコンタクトホールのサイズは、複数の導電線の幅よりも大きい。
本発明の例によれば、ライン&スペースのパターンを有する導電線と引き出し線とのコンタクトに関して、新規なレイアウトを採用することでセルアレイの記憶容量の大容量化と信頼性の向上とを実現できる。
以下、図面を参照しながら、本発明の例を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
1. 概要
本発明の例は、メモリセルアレイ上に配置されるライン&スペースのパターンを有するワード線やビット線などの複数の導電線のレイアウトに関する。具体的には、複数の導電線の一端を、複数の導電線のうちの一つから他の一つに向かうに従って、順次、メモリセルアレイの端部から離れていくようなレイアウトとする。
本発明の例は、メモリセルアレイ上に配置されるライン&スペースのパターンを有するワード線やビット線などの複数の導電線のレイアウトに関する。具体的には、複数の導電線の一端を、複数の導電線のうちの一つから他の一つに向かうに従って、順次、メモリセルアレイの端部から離れていくようなレイアウトとする。
このようなレイアウトは、例えば、メモリセルアレイが複数のブロックから構成される場合にはブロックごとに採用されるため、メモリセルアレイ全体としては、複数の導電線の一端が鋸の刃のようになる。そこで、斜めの部分を刃とみると、この形状は片刃形状ということができるため、以降では、このような複数の導電線のパターンを片刃形状と称する。
また、複数の導電線の一端には、サイズが複数の導電線の幅よりも大きい複数のコンタクトホールが配置される。これら複数のコンタクトホールは、複数の導電線と複数の引き出し線との間に配置され、複数の引き出し線は、複数の導電線を駆動するドライバに接続される。
ここで、コンタクトホールのサイズとは、コンタクトホールの形状を円形と仮定した場合にはその直径である。また、コンタクトホールの形状を正方形と仮定した場合にはその一辺の長さ、長方形と仮定した場合にはその長辺の長さ、楕円形と仮定した場合にはその長軸の長さ、その他の形状に関してはその最大幅と定義する。
このようなレイアウトによれば、メモリセルの微細化に対する相性が良くなるため、チップサイズの縮小、さらには、記憶容量の大容量化が可能になる。
また、フォトリソグラフィ時に合せずれが発生しても、複数のコンタクトホールの中心点を、複数の導電線の中心線に対して、複数の導電線の一端がメモリセルアレイの端部に次第に近づく側にずらすことができるため、複数の導電線の断線、短絡などの問題を防止し、高信頼性の半導体メモリを実現できる。
また、最小加工寸法よりも小さいコンタクトホールを形成する必要がないため、製造プロセスが簡易化される。
2. 実施の形態
次に、NAND型フラッシュメモリを例に実施の形態を説明する。
次に、NAND型フラッシュメモリを例に実施の形態を説明する。
(1) 全体図
図1は、NAND型フラッシュメモリの全体図を示している。
図1は、NAND型フラッシュメモリの全体図を示している。
メモリセルアレイ11は、複数のブロックBK1,BK2,・・・BLjから構成される。複数のブロックBK1,BK2,・・・BLjの各々は、複数のセルユニットを有し、複数のセルユニットの各々は、直列接続された複数のメモリセルからなるNANDストリングと、その両端に1つずつ接続される2つのセレクトゲートトランジスタとから構成される。
データラッチ回路12は、読み出し/書き込み時にデータを一時的にラッチする機能を有し、例えば、フリップフロップ回路から構成される。I/O(input/output)バッファ13は、データのインターフェイス回路として、アドレスバッファ14は、アドレス信号のインターフェイス回路として機能する。
ロウデコーダ15及びカラムデコーダ16は、アドレス信号に基づいてメモリセルアレイ11内のメモリセルを選択する。ワード線ドライバ17は、選択されたブロック内の選択されたワード線を駆動する。
基板電圧制御回路18は、半導体基板の電圧を制御する。具体的には、p型半導体基板内に、n型ウェル領域とp型ウェル領域からなるダブルウェル領域が形成され、メモリセルがp型ウェル領域内に形成される場合、p型ウェル領域の電圧を動作モードに応じて制御する。
例えば、基板電圧制御回路18は、読み出し/書き込み時には、p型ウェル領域を0Vに設定し、消去時には、p型ウェル領域を15V以上40V以下の電圧に設定する。
電圧発生回路19は、選択されたブロック内のワード線に与える電圧を発生する。
例えば、読み出し時には、電圧発生回路19は、読み出し電圧と中間電圧を発生する。読み出し電圧は、選択されたブロック内の選択されたワード線に与え、中間電圧は、選択されたブロック内の非選択のワード線に与える。
また、書き込み時には、電圧発生回路19は、書き込み電圧と中間電圧を発生する。書き込み電圧は、選択されたブロック内の選択されたワード線に与え、中間電圧は、選択されたブロック内の非選択のワード線に与える。
制御回路20は、例えば、基板電圧制御回路18及び電圧発生回路19の動作を制御する。
(2) メモリセルアレイ部のレイアウト
図2は、NAND型フラッシュメモリのメモリセルアレイ部のレイアウトを示している。
図2は、NAND型フラッシュメモリのメモリセルアレイ部のレイアウトを示している。
メモリセルアレイ11内の複数のブロックBK1,BK2,BK3.BK4,・・・は、y方向に配置される。複数のブロックBK1,BK2,BK3.BK4,・・・の各々は、x方向に配置されるセルユニット21を有する。
セルユニット21は、例えば、図3に示すようなレイアウトを有する。即ち、セルユニット21は、y方向に長いアクティブエリアAA内に配置される。複数のメモリセルMCは、y方向に直列接続され、NANDストリングを構成する。NANDストリングの両端には、それぞれセレクトゲートトランジスタSTが接続される。
複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・は、x方向に延び、複数のビット線BL1,BL2,・・・BL(m−1),BLmは、y方向に延びる。
ワード線ドライバ17(DRV1,DRV2,DRV3,DRV4,・・・)は、ブロックBK1,BK2,BK3.BK4,・・・に対応しているが、1つのワード線ドライバを1つのブロックのy方向の幅内に収めることが難しいために、メモリセルアレイ11の両端にそれぞれ均等に配置される。
ロウデコーダ15(RD1,RD2,RD3,RD4,・・・)は、ロウアドレス信号をデコードし、デコード信号RDECI1,RDECI2,RDECI3,RDECI4,・・・を出力する。
デコード信号RDECI1,RDECI2,RDECI3,RDECI4,・・・は、ワード線ドライバ17(DRV1,DRV2,DRV3,DRV4,・・・)に入力される。
(3) 回路例
図4は、NAND型フラッシュメモリのメモリセルアレイ部の回路例を示している。
図4は、NAND型フラッシュメモリのメモリセルアレイ部の回路例を示している。
同図から明らかなように、ワードドライバDRV1を構成するトランジスタ数は、非常に多くなっている。また、ワード線ドライバDRV1内には、書き込み時の高電圧に耐え得るように、メモリセルよりもサイズの大きい高耐圧トランジスタも必要である。
従って、図2で説明したようなレイアウトを採用することは、メモリセルアレイの周辺回路を効率よく配置し、チップサイズの縮小、さらには、記憶容量の大容量化を図るに当たって有効である。
(4) ワード線レイアウトの第1例
図5は、参考例としてのワード線レイアウトの第1例を示している。
図5は、参考例としてのワード線レイアウトの第1例を示している。
メモリセルアレイ11内の複数のブロックBK1,BK2,BK3.BK4,・・・は、y方向に配置される。複数のブロックBK1,BK2,BK3.BK4,・・・の各々は、x方向に配置されるセルユニットを有する。セルユニットは、例えば、図3に示すようなレイアウトを有し、アクティブエリアAA内に配置される。
複数のアクティブエリアAAのうち、メモリセルアレイ11のx方向の端部に最も近い1つ又はそれ以上のアクティブエリアは、データの記憶のために使用しないダミーアクティブエリアAA(DUMMY)である。
ダミーアクティブエリアAA(DUMMY)にも、セルユニットが形成されるが、このセルユニットは、ダミーである。このようなエリアを設ける理由は、ライン&スペースのパターンについては、そのパターンの端部で最も歪が大きくなり、メモリセルの特性が悪くなるからである。
複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・は、メモリセルアレイ11上をx方向に延び、それらの一端及び他端は、メモリセルアレイ11とワード線ドライバDRV1,・・・との間のワード線引き出しエリア22内に存在する。
ワード線引き出しエリア22内には、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・とワード線ドライバDRV1,・・・とを接続する複数の引き出し線L11,L12,・・・L1(n−1),L1n,・・・が配置される。
複数の引き出し線L11,L12,・・・L1(n−1),L1n,・・・の幅は、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の幅よりも広い。
複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・は、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端に配置される。
複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・のサイズは、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の幅よりも大きい。
このため、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端には、複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・の合せずれを考慮してフリンジが設けられる。
この場合、例えば、図6に示すように、メモリセルMCが微細化され、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の幅を狭くしても、ライン&スペースのパターンを維持する限り、それらのピッチP1は、複数の引き出し線L11,L12,・・・L1(n−1),L1n,・・・のピッチP2に制限され、十分に狭くできない。
複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・のピッチP1(=P2)を無理に狭くすると、複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・又は複数の引き出し線L11,L12,・・・L1(n−1),L1n,・・・に合せずれが発生したときに、断線、短絡などの問題が発生するからである。
従って、このようなワード線レイアウトでは、メモリセルアレイ11のy方向の幅を十分に狭めることができず、チップサイズの縮小、さらには、記憶容量の大容量化を図ることが難しい。
(5) ワード線レイアウトの第2例
図7は、ワード線レイアウトの第2例を示している。
第2例は、第1実施の形態に関わるレイアウトである。
図7は、ワード線レイアウトの第2例を示している。
第2例は、第1実施の形態に関わるレイアウトである。
メモリセルアレイ11内の複数のブロックBK1,BK2,BK3.BK4,・・・は、y方向に配置される。複数のブロックBK1,BK2,BK3.BK4,・・・の各々は、x方向に配置されるセルユニットを有する。セルユニットは、例えば、図3に示すようなレイアウトを有し、アクティブエリアAA内に配置される。
複数のアクティブエリアAAのうち、メモリセルアレイ11のx方向の端部に最も近い1つ又はそれ以上のアクティブエリアは、第1例と同様に、データの記憶のために使用しないダミーアクティブエリアAA(DUMMY)である。
複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・は、メモリセルアレイ11上をx方向に延び、それらの一端及び他端は、メモリセルアレイ11とワード線ドライバDRV1,・・・との間のワード線引き出しエリア22内に存在する。
複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端及び他端は、ワード線引き出しエリア22内において片刃形状を有している。
ワード線引き出しエリア22内には、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・とワード線ドライバDRV1,・・・とを接続する複数の引き出し線L11,L12,・・・L1(n−1),L1n,・・・が配置される。
複数の引き出し線L11,L12,・・・L1(n−1),L1n,・・・の幅は、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の幅よりも広い。
複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・は、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端に配置される。
複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・のサイズは、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の幅よりも大きい。
また、図8に示すように、複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・の中心点は、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の中心線に対して、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端がメモリセルアレイ11の端部に次第に近づく側にずれている。
この複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・がずれる側は、隣接するワード線が存在しない側である。このため、複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・のサイズを大きくできると共に、合せずれに対しても、断線、短絡などの問題が発生し難い構造となる。
このように、第2例では、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端及び他端を片刃形状とすることで、複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・のサイズを大きくしても、フォトリソグラフィ時の合せずれによって、断線、短絡が発生することはない。
尚、第2例によれば、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端のみを片刃形状とすれば、当初の目的を達成できる。しかし、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端及び他端を、共に、片刃形状とすることにより、ライン&スペースのパターンが左右対称となるため、第2例のレイアウトは、寸法変動の防止や設計の容易化などにとって非常に有効である。
また、図9に示すように、片刃形状の複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端に、複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・の合せずれを考慮してフリンジを設けることも可能である。
以上、説明したように、第2例のワード線レイアウトによれば、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・に関して、ライン&スペースのパターンを維持しつつ、複数の引き出し線L11,L12,・・・L1(n−1),L1n,・・・のピッチP2に制限されずに、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・のピッチP1を狭くできる。
従って、メモリセルアレイ11のy方向の幅を十分に狭めることができ、チップサイズの縮小、さらには、記憶容量の大容量化を図ることができる。
また、これとは逆に、引き出し線L11,L12,・・・L1(n−1),L1n,・・・のピッチP2については、ワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・のピッチP1の2倍程度まで広げることができるため、引き出し線L11,L12,・・・L1(n−1),L1n,・・・の加工の容易化に貢献できる。
(6) ワード線レイアウトの第3例
図10は、ワード線レイアウトの第3例を示している。
第3例は、第2実施の形態に関わるレイアウトである。第3例のレイアウトは、第2例のレイアウトと比べると、ダミーワード線23がさらに追加された点を除き、第2例のレイアウトと同じである。
図10は、ワード線レイアウトの第3例を示している。
第3例は、第2実施の形態に関わるレイアウトである。第3例のレイアウトは、第2例のレイアウトと比べると、ダミーワード線23がさらに追加された点を除き、第2例のレイアウトと同じである。
複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端及び他端は、第2例と同様に、ワード線引き出しエリア22内で片刃形状を有する。
複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端及び他端から先には、さらに、これら複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・から分離され、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・と同じ幅の複数のダミーワード線23が配置される。
ダミーワード線23は、ワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・上に配置される層間絶縁層の表面の平坦化を実現するために設けられる。
具体的には、ダミーワード線23を設けないと、その部分に凹部が形成され、層間絶縁層の表面に段差が発生し、例えば、層間絶縁層上に配置される複数の引き出し線L11,L12,・・・L1(n−1),L1n,・・・の形状のばらつきや、最悪の場合には、断線、短絡などの問題が発生する。
ダミーワード線23を設ければ、このような問題が発生することはない。
特に、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端及び他端を片刃形状とした場合には、このようなダミーワード線23を設けることは、上記問題を解決するに当たって非常に有効な手段となる。
尚、片刃形状のワード線とダミーワード線とを組み合わせた場合、チップレイアウトとしては、メモリセルアレイ11の端部から最も近いダミーワード線23までの距離X1は、ダミーワード線23が形成されるエリアのピッチX2よりも短くなる。
図11は、図10のXI−XI線に沿う断面、図12は、図10のXII−XII線に沿う断面、図13は、図10のXIII−XIII線に沿う断面を、それぞれ示している。
複数のワード線WL21,WL22,・・・WL2(n−1),WL2n,・・・は、ライン&スペースのパターンで規則的に配置される。同様に、ダミーワード線WL21(DUMMY),WL22(DUMMY),・・・も、ワード線WL21,WL22,・・・WL2(n−1),WL2n,・・・と同じ幅及び同じピッチで規則的に配置される。
このようなワード線レイアウトによれば、ダミーワード線23を設けることにより、ワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・より上に形成される導電線の信頼性を向上できる。
また、第2例と同様に、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・に関して、ライン&スペースのパターンを維持しつつ、そのピッチP1を狭くできるため、メモリセルアレイ11のy方向の幅を十分に狭めることができ、チップサイズの縮小、さらには、記憶容量の大容量化を図ることができる。
(7) ワード線レイアウトの第4例
図14及び図15は、ワード線レイアウトの第4例を示している。
第4例は、第3実施の形態に関わるレイアウトである。第4例のレイアウトは、第3例のレイアウトと比べると、ワード線の引き出し線が接続されない側の端、即ち、ワード線の他端のレイアウトが異なる点を除き、第3例のレイアウトと同じである。
図14及び図15は、ワード線レイアウトの第4例を示している。
第4例は、第3実施の形態に関わるレイアウトである。第4例のレイアウトは、第3例のレイアウトと比べると、ワード線の引き出し線が接続されない側の端、即ち、ワード線の他端のレイアウトが異なる点を除き、第3例のレイアウトと同じである。
上述の第2例及び第3例では、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端及び他端が、共に、片刃形状を有する。
このようなレイアウトとする理由は、既に述べたように、ワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・のパターンを左右対称にすることで、ライン&スペースの周期性が乱れることによる寸法変動を防止できるからである。
また、このようなレイアウトとすれば、引き出し線L11,L12,・・・L1(n−1),L1n,・・・のレイアウトを変えずに、ワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端及び他端のどちらからでもこれを引き出せるため、設計の自由度が増加する。
これに対し、図14のレイアウトでは、ワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端は、片刃形状を有するが、他端は、メモリセルアレイ11の端部からの距離が等しい。
このようなレイアウトでも、ワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端が片刃形状となっているため、上述の第2及び第3例と同様の効果を得ることができる。
また、図15のレイアウトでは、ワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端及び他端が、共に、片刃形状となっているが、その片刃の向きが逆になっている。
このようなレイアウトにすると、ワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の長さが等しくなるため、寄生容量による信号遅延量も等しくなり、動作特性が向上する。
(8) ワード線レイアウトの第5例
図16は、ワード線レイアウトの第5例を示している。
第5例は、第4実施の形態に関わるレイアウトである。
図16は、ワード線レイアウトの第5例を示している。
第5例は、第4実施の形態に関わるレイアウトである。
上述の第2乃至第3例では、1ブロックごとに、ワード線の引き出し方向、即ち、ワード線と引き出し線とのコンタクト部を左右入れ替えたが、ワード線の引き出し方向は、複数のブロックごとに左右入れ替えてもよい。
第5例では、メモリセルアレイ11内の2ブロックごとに、ワード線の引き出し方向を左右入れ替える例について説明する。
メモリセルアレイ11内の複数のブロックBK1,BK2,BK3.BK4,・・・は、y方向に配置される。複数のブロックBK1,BK2,BK3.BK4,・・・の各々は、x方向に配置されるセルユニットを有する。セルユニットは、例えば、図3に示すようなレイアウトを有し、アクティブエリアAA内に配置される。
複数のアクティブエリアAAのうち、メモリセルアレイ11のx方向の端部に最も近い1つ又はそれ以上のアクティブエリアは、第1例と同様に、データの記憶のために使用しないダミーアクティブエリアAA(DUMMY)である。
複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・は、メモリセルアレイ11上をx方向に延び、それらの一端及び他端は、メモリセルアレイ11とワード線ドライバDRV1,・・・との間のワード線引き出しエリア22内に存在する。
複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端及び他端は、ワード線引き出しエリア22内において片刃形状を有している。
尚、図17に示すように、隣接する2つのブロックで片刃の向きを上下逆向きにし、メモリセルアレイ11全体として、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端及び他端が、両刃形状となるようにしてもよい。
ワード線引き出しエリア22内には、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・とワード線ドライバDRV1,・・・とを接続する複数の引き出し線L11,L12,・・・L1(n−1),L1n,・・・が配置される。
複数の引き出し線L11,L12,・・・L1(n−1),L1n,・・・の幅は、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の幅よりも広い。
複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・は、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端に配置される。
複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・のサイズは、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の幅よりも大きい。
また、複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・の中心点は、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の中心線に対して、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端がメモリセルアレイ11の端部に次第に近づく側にずれている。
このように、複数のワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・の一端及び他端を片刃形状又は両刃形状とすることで、複数のコンタクトホールCS11,CS12,・・・CS1(n−1),CS1n,・・・の直径を大きくしても、フォトリソグラフィ時の合せずれによって、断線、短絡が発生することはない。
また、メモリセルアレイ11内の2ブロックごとに、ワード線WL11,WL12,・・・WL1(n−1),WL1n,・・・のの引き出し方向を左右入れ替えるため、その2ブロックの間でトランジスタの共有化や、配線レイアウトの簡略化などを実現でき、周辺回路としてのワード線ドライバの面積縮小に貢献できる。
(9) コンタクト部の断面形状
図18は、ワード線と引き出し線とのコンタクト部の断面形状を示している。
図18は、ワード線と引き出し線とのコンタクト部の断面形状を示している。
半導体基板31内には、STI(shallow trench isolation)構造の素子分離絶縁層32が形成される。素子分離絶縁層32は、例えば、酸化シリコンから構成され、その厚さは、0.1〜0.5μmの範囲内の値に設定される。
素子分離絶縁層32上には、いわゆるIPD(inter polysilicon dielectric)層33を介してワード線WL1(n−1)、WL1nが形成される。ワード線WL1(n−1)、WL1nは、紙面に垂直な方向(x方向)に延び、メモリセルのコントロールゲート電極となり、例えば、不純物を含んだ導電性ポリシリコンから構成される。
ワード線WL1(n−1)、WL1nの間には、例えば、酸化シリコンなどの絶縁層34が満たされる。
素子分離絶縁層32上及びワード線WL1(n−1)、WL1n上には、エッチングストッパ層35が形成される。エッチングストッパ層35上には、例えば、酸化シリコンなどの絶縁層36,37が形成される。
絶縁層36,37には、コンタクトホールCS1nが形成され、このコンタクトホールCS1n内には、引き出し線L1nを構成する導電層が満たされる。
エッチングストッパ層35は、例えば、厚さ30nm以下のSiN、SiONなどの絶縁層から構成される。エッチングストッパ層35は、絶縁層36,37をエッチングしてコンタクトホールCS1nを形成するときのエッチングストッパとして機能する。
このエッチングストッパ層35があることにより、コンタクトホールCS1nを形成するときに、下地となる素子分離絶縁層32が大きく削り取られ、半導体基板31まで突き抜けることを防止できる。
ここで、図18の断面では、コンタクトホールCS1nとワード線WL1nとの合せずれがないことを前提としている。
仮に、コンタクトホールCS1nが、ワード線WL1(n−1)側とは反対側にずれた場合には、図19の断面に示すようになるが、その反対側には別のワード線が存在しないため、ワード線WL1nと引き出し線L1nとのコンタクトが確保できる限り、大きな問題は生じない。
また、コンタクトホールCS1nが、ワード線WL1(n−1)側にずれた場合には、図20の断面に示すようになるが、元々、コンタクトホールCS1nの中心点は、ワード線WL1(n−1)の中心線に対してワード線WL1(n−1)側とは反対側にずれているため、引き出し線L1nがワード線WL1(n−1)に接触することはない。
ところで、コンタクトホールCS1nを形成するときのフォトリソグラフィの露光量変動や加工変換差変動などによって、コンタクトホールCS1nのサイズがΔdだけ変動したとしても、コンタクトホールCS1nの中心点を、ワード線WL1(n−1)の中心線に対してワード線WL1(n−1)側とは反対側にずらすことにより、この変動量Δdを相殺できる。
同様に、例えば、ワード線WL1nのフォトリソグラフィの露光量変動や加工変換差変動などによって、ワード線WL1nの幅がΔdだけ変動したとしても、コンタクトホールCS1nの中心点を、ワード線WL1(n−1)の中心線に対してワード線WL1(n−1)側とは反対側にずらすことにより、この変動量Δdを相殺できる。
また、本発明の例では、ワード線WL1nの一端にあえてフリンジを設ける必要がないため、単純なライン&スペースのパターンで複数のワード線をパターニングできる。従って、フォトリソグラフィのコントラストの向上により、ワード線WL1nの幅の変動を抑えることができる。
このように、本発明の例によれば、隣接するワード線同士の短絡が発生し難く、安定した形状のワード線を得ることができる。また、フォトリソグラフィの照明に、例えば、ダイポール(dipole)照明を用いて、最小ピッチのライン&スペースのパターンを形成した場合、直交パターンの解像度が低くてもパターニングが可能になる。
また、コンタクトホールのサイズをワード線の幅よりも大きくできるため、このコンタクトホールを、周辺回路におけるコンタクトホールと同時に形成することができ、工程数の削減も図れる。
3. その他
本発明の例により、フォトリソグラフィ工程や加工工程の難易度が低減され、メモリセルのワード線、ワード線上のコンタクトホール、さらには、引き出し線のサイズのばらつきに伴うコンタクト不良やセル特性のばらつきなどの問題を解消できる。その結果、LSIの微細化や工程の簡略化が図れる。
本発明の例により、フォトリソグラフィ工程や加工工程の難易度が低減され、メモリセルのワード線、ワード線上のコンタクトホール、さらには、引き出し線のサイズのばらつきに伴うコンタクト不良やセル特性のばらつきなどの問題を解消できる。その結果、LSIの微細化や工程の簡略化が図れる。
尚、ワード線及び引き出し線は、Al, Cu, W などの金属又は合金から構成することができる。また、ワード線及び引き出し線は、多結晶構造を有していてもよい。さらに、実施の形態では、ワード線について説明したが、ライン&スペースのパターンを有するビット線にも適用可能である。
また、半導体メモリとしては、NAND型フラッシュメモリの他、DRAM(dynamic random access memory)、MRAM(magnetic random access memory)などにも適用可能である。
本発明の例は、半導体メモリ以外の半導体集積回路、例えば、アレイ状の複数の素子から構成されるセルアレイと、セルアレイ上に配置されるライン&スペースのパターンを有する導電線とを有する半導体集積回路にも適用可能である。
本発明の例は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、各構成要素を変形して具体化できる。また、上述の実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を構成できる。例えば、上述の実施の形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよいし、異なる実施の形態の構成要素を適宜組み合わせてもよい。
11: メモリセルアレイ、 12: データラッチ回路、 13: I/Oバッファ、 14: アドレスバッファ、 15: ロウデコーダ、 16: カラムデコーダ、 17: ワード線ドライバ、 18: 基板電圧制御回路、 19: 電圧発生回路、 20: 制御回路、 21: セルユニット、 22: 引き出しエリア、 23: ダミーワード線、 31: 半導体基板、 32: 素子分離絶縁層、 33: IPD層、 34,36,37: 絶縁層、 35: エッチングストッパ層。
Claims (5)
- アレイ状の複数の素子から構成されるセルアレイと、前記セルアレイ上に配置されるライン&スペースのパターンを有する複数の導電線と、前記複数の導電線よりも上に形成される複数の引き出し線と、前記複数の導電線と前記複数の引き出し線とを接続する複数のコンタクトホールとを具備し、前記複数の導電線の一端は、前記複数の導電線のうちの一つから他の一つに向かうに従って、順次、前記セルアレイの端部から離れていき、前記複数のコンタクトホールは、前記複数の導電線の一端に配置され、前記複数のコンタクトホールのサイズは、前記複数の導電線の幅よりも大きいことを特徴とする半導体集積回路。
- 前記複数のコンタクトホールの中心点は、前記複数の導電線の中心線に対して前記複数の導電線の一端が前記セルアレイの端部に次第に近づく側にずれていることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
- 前記セルアレイは、複数のブロックから構成されるメモリセルアレイであり、各ブロック内において前記複数の導電線の一端が前記複数の導電線のうちの一つから他の一つに向かうに従って前記セルアレイの端部から順次離れていくことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体集積回路。
- 前記複数のブロックのうち1つ以上のブロックを単位として、前記複数の導電線の一端が互いに逆方向となり、前記セルアレイの2つの端部に前記複数の導電線を駆動するドライバが配置されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体集積回路。
- 前記複数の導電線の一端から先に、前記複数の導電線から分離され、前記複数の導電線と同じ幅の複数のダミー導電線が配置されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体集積回路。
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