JP2008545521A - 水素ベースのプラズマを用いた処理による材料の清浄化 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、材料からの酸素の除去のための清浄化方法に関する。
無定形ホウ素約0.2g(金属に関して99.999%、酸素4.05±0.21質量%、ICP分析により)を、清浄しかつ焼きなまししたアルミナるつぼ中に装入し、次いで石英アンプル中に更なるるつぼと一緒に配置させ、これは酸素ゲッター(例えば、チタン)を含有する。説明された全ての操作を、制御された雰囲気(<0.1ppm H2O、0.1〜0.6ppm O2)を有するアルゴン充填したグローブボックス中で実施した。このアンプルを排気し、所望のガスにより充填して一定の圧力にし、次いで封止した。充填ガスの組成を、清浄化のために最適な組成を見出すべく変動させた。純粋なアルゴン及び窒素プラズマ処理は、酸素含有量を変化させなかった。Ar/H2ベースのプラズマ(H2 5体積%)により、酸素含有量の減少が導かれた。最良の結果は、純粋な水素を充填ガスとして使用する際に達成された。
Claims (15)
- 酸素不純物を含有する材料を水素ベースのプラズマを用いて処理することを特徴とする、材料からの酸素の除去のための清浄化方法。
- 酸素ゲッターの存在下で、酸素を除去することを特徴とする、請求項1記載の方法。
- チタンを酸素ゲッターとして使用する、請求項1記載の方法。
- 精浄化されるべき材料が、温度安定性材料であることを特徴とする、請求項1から3までのいずれか1項記載の方法。
- 材料が、非金属性元素又は金属から選択されることを特徴とする、請求項4記載の方法。
- 酸素が、ホウ素、特に無定形ホウ素から除去されることを特徴とする、請求項1から5までのいずれか1項記載の方法。
- 清浄化されるべき材料が、酸素不純物を、この材料の全質量に対して、酸素≧1質量%、有利には≧4質量%、特に≧10質量%の量で含有することを特徴とする、請求項1から6までのいずれか1項記載の方法。
- 酸素不純物が、酸化物として存在することを特徴とする、請求項1から7までのいずれか1項記載の方法。
- 材料が、この材料の全質量に対して、酸素≦0.5質量%、有利には≦0.1質量%、特に≦0.05質量%の酸素含有量に清浄化されることを特徴とする、請求項1から8までのいずれか1項記載の方法。
- 水素ベースのプラズマが、H2≧5体積%、有利には≧90体積%、特に≧99体積%を含有することを特徴とする、請求項1から9までのいずれか1項記載の方法。
- H2と、場合により、不活性ガス、例えばアルゴン又は窒素とからなる水素ベースのプラズマを使用することを特徴とする、請求項1から10までのいずれか1項記載の方法。
- 水素ベースのプラズマ中の酸素含有量が、O2≦10ppmであることを特徴とする、請求項1から11までのいずれか1項記載の方法。
- 水素ベースのプラズマの水含有量が、≦10ppmであることを特徴とする、請求項1から12までのいずれか1項記載の方法。
- 水素ベースのプラズマを用いた処理を、0.5〜10時間実施することを特徴とする、請求項1から13までのいずれか1項記載の方法。
- マイクロ波誘導プラズマを使用することを特徴とする、請求項1から14までのいずれか1項記載の方法。
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