RU2403953C2 - Очистка материалов обработкой плазмой на основе водорода - Google Patents
Очистка материалов обработкой плазмой на основе водорода Download PDFInfo
- Publication number
- RU2403953C2 RU2403953C2 RU2007146762/05A RU2007146762A RU2403953C2 RU 2403953 C2 RU2403953 C2 RU 2403953C2 RU 2007146762/05 A RU2007146762/05 A RU 2007146762/05A RU 2007146762 A RU2007146762 A RU 2007146762A RU 2403953 C2 RU2403953 C2 RU 2403953C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- oxygen
- plasma
- hydrogen
- boron
- amorphous
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/32—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by electrical effects other than those provided for in group B01D61/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B35/00—Boron; Compounds thereof
- C01B35/02—Boron; Borides
- C01B35/023—Boron
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2251/00—Reactants
- B01D2251/20—Reductants
- B01D2251/202—Hydrogen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/10—Single element gases other than halogens
- B01D2257/104—Oxygen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2259/00—Type of treatment
- B01D2259/80—Employing electric, magnetic, electromagnetic or wave energy, or particle radiation
- B01D2259/818—Employing electrical discharges or the generation of a plasma
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
- Catalysts (AREA)
Abstract
Изобретение может быть использовано в химической промышленности. Очистку аморфного бора от кислорода осуществляют обработкой плазмой на основе водорода при температуре до 1500°С в течение 0,5-10 часов. Технический результат - снижение уровня кислорода в аморфном боре до <0,1 мас.% без перехода бора в кристаллическую фазу. 11 з.п. ф-лы.
Description
Изобретение относится к способу очистки, предназначенному для удаления из материалов кислорода.
Кислородные загрязнения создают проблемы для использования в науке и промышленности широкого спектра сырьевых материалов. Удаление или снижение количества кислородных загрязнений часто представляет проблему или является труднопреодолимой или требующей значительных усилий задачей. Эти сложности часто усиливаются присущими кислородным примесям особенностями, которые вызываются абсорбцией и/или взаимодействием сырьевых материалов с исходно не содержащимся в их структуре О2. Из-за наличия кислорода в воздухе его примеси распространены фактически повсюду. Помимо этого, удаление примесей кислорода часто осложнено образованием высокоустойчивых оксидов.
Кроме того, обычные способы очистки, основанные, например, на восстановлении соответствующих оксидов, часто приводят к загрязнению материала применяемыми для этих целей восстановителями и/или к принципиальным изменениям микроструктуры.
С другой стороны, такое загрязнение сырья часто препятствует возможности использования материала в предназначенных целях.
Поэтому задача изобретения состояла в том, чтобы предложить способ очистки для удаления кислорода, в частности способ, позволяющий отказаться от термообработки или такой обработки, при которой в материале остается восстановитель.
Согласно настоящему изобретению эта задача была решена с помощью удаляющего кислород из материала способа очистки, в котором содержащий примеси кислорода материал подвергается обработке плазмой на основе водорода.
Способ согласно настоящему изобретению, заключающийся в обработке водородной плазмой, в целом может применяться для удаления кислородсодержащих примесей из любых материалов. Предпочтительно использование термостойкого материала, в частности материала, определенно не испаряющегося при температурах ≤600°С, более предпочтительно - при температурах ≤750°С и наиболее предпочтительно - при температурах ≤950°С и не подверженных каким-либо другим процессам разложения.
Предпочтительно используемые материалы являются химическими элементами, в частности металлами химическими или элементами-неметаллами. Однако с помощью настоящего изобретения возможна также очистка и соединений, состоящих из более чем одного элемента.
Особенно предпочтительно применение способа очистки согласно изобретению для удаления кислорода из бора, в частности из аморфного бора. Удаление кислородных загрязнений из аморфного бора особенно трудно и представляет серьезную проблему. Способы промышленного производства аморфного бора обычно включают восстановление В2О3 подходящим восстановителем. При такой обработке получающийся материал аморфного бора обычно содержит до 4 мас.% кислорода. Это ограничивает применимость такого материала, например, для химических препаративных целей, так как во многих областях применения необходимо, чтобы используемый аморфный бор был свободен от кислорода или, по крайней мере, содержал его в минимально возможных количествах.
Для такой цели часто применяется аморфный бор, так как он демонстрирует значительно более высокую химическую реакционную способность по сравнению с кристаллическим бором. Однако попытки очистки аморфного бора какими-либо методами термообработки, сводящейся к испарению оксида бора, приводят к кристаллизация бора и тем самым к переходу аморфного бора в нежелательную кристаллическую форму.
Отличные от оксида бора B2O3 металлы по большей части можно очищать от их оксидов в печах с водородной атмосферой. Однако в случае тонких и реакционноспособных порошков, которые, как правило, содержат оксидные загрязнения в наибольших количествах, эти обычные способы очистки ведут к спеканию таких порошков. С другой стороны, в микроволновой плазменной печи даже самые тонкие металлические порошки могут быть за несколько минут полностью очищены от их оксидов без каких-либо изменений размеров частиц. Регулирование температуры обеспечивается использованием плазмы с импульсами достаточно малой длительности. Мощность микроволновой печи всегда подбирается в соответствии со свойствами оксидов и размерами зерен металла.
Согласно изобретению возможно удаление кислорода из материалов, которые предпочтительно полностью сохраняют свою первоначальную структуру либо сохраняют ее не менее чем в 90 мас.%, более предпочтительно - в более чем в 95 мас.% материала. Согласно изобретению возможна очистка от кислорода аморфного бора, и получающийся продукт является бескислородным бором или бором с пониженным содержанием кислорода, при этом бор все еще является аморфным.
По существу любые содержащие примеси кислорода материалы могут быть очищены с помощью способа согласно изобретению. Обычно в качестве материалов используются исходные материалы с содержанием кислорода ≥1 мас.%, в частности ≥4 мас.%, и предпочтительно ≥10 мас.% от общей массы материала. Примеси кислорода могут присутствовать в виде распределенного кислорода или также в связанной форме, особенно в форме оксидов.
В способе согласно изобретению возможно значительное снижение количества кислорода, особенно до содержания ≤0,5 мас.%, более предпочтительно - до содержания ≤0,1% мас.%, предпочтительно до ≤0,05 мас.% и еще предпочтительнее - до ≤0,01 мас.% кислорода от общей массы материала. Фактическое достигаемое содержание кислорода зависит от соответствующих условий обработки и может регулироваться квалифицированным персоналом в зависимости от желаемой конечной величины.
Как показано в примерах, способом согласно изобретению возможно, в частности, снизить уровень кислорода в аморфном боре до <0,1 мас.%, который недостижим при использовании известных к настоящему времени способов.
Согласно изобретению обработка исходного материала осуществляется плазмой на основе водорода. Предпочтительно такая плазма содержит ≥5 мас.%, в частности ≥20 мас.%, предпочтительно ≥50 мас.%, в частности ≥90 мас.%, предпочтительно ≥99 мас.% и более предпочтительно ≥99,5 мас.% водорода, однако может также состоять из водорода полностью. Для формирования плазмы обеспечивается газовая атмосфера, содержащая водород и, при необходимости, один или несколько инертных газов под требуемым давлением. Предпочтительно давление от 0,1 до 100, особенно от 1 до 20 бар. Особенно предпочтительна чистая плазма на основе водорода или плазма, основанная на смеси водорода и, по меньшей мере, одного инертного газа, выбираемого из числа аргона и азота. Содержание кислорода в плазме составляет, предпочтительно, ≤10 млн-1, особенно ≤5 млн-1, более предпочтительно ≤1 млн-1 и наиболее предпочтительно ≤0,6 млн-1. Предпочтительно, чтобы содержание кислорода в плазме было установлено на уровне 0,1-0,5 млн-1. Кроме того, предпочтительно, чтобы содержание в плазме воды было ≤10 млн-1, особенно ≤5 млн-1, более предпочтительно ≤1 млн-1 и наиболее предпочтительно ≤0,1 млн-1.
Обработку плазмой на основе водорода можно осуществлять в зависимости от желаемой степени очистки от кислорода в течение различного времени, как правило, в течение от 0,5 до 10 час, главным образом от 2 до 5 час, часто наиболее подходящим оказывается время обработки от 3 до 3,5 час.
Предпочтительно проводить плазменную обработку при температуре от 700 до 1500°С, в частности, от 800 до 1100°С.
Согласно изобретению предпочтительно, чтобы используемая водородная плазма была плазмой, созданной микроволновым излучением. В качестве источника микроволнового излучения могут использоваться, например, источники энергии мощностью 100-2000 Вт, особенно 500-1000 Вт, с частотой 1-10 ГГц, особенно 2-3 ГГц. Генерируемые в плазме, в частности в плазме, созданной микроволновым излучением, радикалы Н. и ионы Н+ очень активны, поэтому с помощью способа согласно изобретению в принципе возможна очистка материалов любого типа. В частности, радикалы Н. и ионы Н+ достаточно активны для того, чтобы удалять кислород из аморфного бора, очистка которого с сохранением аморфной структуры невозможна существующими в настоящее время способами.
В особенно предпочтительном воплощении кислород удаляется в присутствии кислородного газопоглотителя. Использование кислородного газопоглотителя значительно повышает эффективность очистки. Хотя возможно применение любого поглощающего кислород материала, особенно хорошие результаты были получены при использовании титана.
Не претендуя на широту охвата, предполагается, что успешное удаление кислорода согласно изобретению обеспечивается применением неравновесного процесса.
Способ согласно изобретению позволяет выполнять очистку от примесей кислорода без загрязнения материала каким-либо другим реагентом. В частности, не требуются восстановители, способные сохраняться в материале. Кроме того, не происходит никаких изменений микроструктуры, что означает, что микроструктура обработанного материала остается такой же, как и структура исходного материала. Это позволяет, например, сохранять бор в аморфной форме и только удалять примеси кислорода без преобразования аморфной микроструктуры в кристаллическую.
Далее настоящее изобретение поясняется следующим примером.
Около 0,2 г аморфного бора (чистота по металлам 99,999%, содержание кислорода по данным ICP анализа 4,05±0,21 мас.%) было помещено в чистый и прокаленный тигель из оксида алюминия, установленный затем в кварцевой ампуле вместе с дополнительньм тиглем, содержащим кислородный газопоглотитель (например, титан). Все описанные операции выполнялись в заполненной аргоном стерильной камере с перчатками в контролируемой атмосфере (<0,1 ч./млн H2O, 0,1-0,6 ч./млн О2). Ампула была откачана, заполнена необходимым газом до определенного давления и затем закупорена. Состав используемого для наполнения газа варьировался в целях определения наиболее подходящего для очистки. Обработка плазмой на основе чистого аргона и азота не изменяла содержание кислорода. Плазма на основе смеси Ar/H2 (5 об.% Н2) позволила снизить содержание кислорода. Наилучшие результаты были достигнуты при использовании в качестве заполняющего газа чистого водорода.
Также проведены эксперименты без использования кислородного газопоглотителя. Показано, что применение кислородного газопоглотителя значительно улучшает очистку.
В качестве источника микроволнового излучения использовалась микроволновая печь Samsung M1719N (800 Вт, 2,45 ГГц).
По завершении обработки ампулы вскрывались и затем в стерильной камере с перчатками отбирались пробы для химического анализа.
Наилучший результат (0,09±0,05 мас.% кислорода после обработки) достигнут с использованием плазмы Н2, Ti в качестве газопоглотителя и времени проведения реакции около 3-3,5 часов.
Рентгеноструктурный анализ порошка показал, что как исходный материал, так и продукт обработки плазмой не дали острых дифракционных пиков и показали лишь широкий всплеск интенсивности при малых углах дифракции. Это подтверждает аморфное состояние материала. Рассмотрение с помощью сканирующего электронного микроскопа показало, что в обработанных плазмой продуктах исходные частицы спечены в более крупные конгломераты.
Claims (12)
1. Способ очистки для удаления кислорода из материала, в котором кислород удаляют из аморфного бора, характеризующийся тем, что содержащий примеси кислорода материал подвергают обработке плазмой на основе водорода, причем плазменную обработку выполняют при температуре до 1500°С.
2. Способ по п.1, в котором кислород удаляют в присутствии кислородного газопоглотителя.
3. Способ по п.1, в котором используют титан в качестве кислородного газопоглотителя.
4. Способ по п.1, в котором предназначенный для очистки материал содержит примеси кислорода в количестве ≥1 мас.% от общей массы материала.
5. Способ по п.1, в котором примеси кислорода присутствуют в виде оксидов.
6. Способ по п.1, в котором материал очищают до содержания кислорода ≤0,5 мас.% от общей массы материала.
7. Способ по п.1, в котором плазма на основе водорода содержит ≥5 об.% Н2.
8. Способ по п.1, в котором используют плазму на основе водорода, состоящую из Н2 и, необязательно, инертного газа, такого как аргон или азот.
9. Способ по п.1, характеризующийся тем, что содержание кислорода в плазме на основе водорода составляет ≤10 млн-1.
10. Способ по п.1, характеризующийся тем, что содержание воды в плазме на основе водорода составляет ≤10 млн-1.
11. Способ по п.1, в котором обработка плазмой на основе водорода осуществляется в течение 0,5-10 ч.
12. Способ по п.1, характеризующийся тем, что используют плазму, созданную микроволновым излучением.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP05010689 | 2005-05-17 | ||
EP05010689.7 | 2005-05-17 | ||
EP05010789 | 2005-05-18 | ||
EP05010789.5 | 2005-05-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2007146762A RU2007146762A (ru) | 2009-06-27 |
RU2403953C2 true RU2403953C2 (ru) | 2010-11-20 |
Family
ID=37057354
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2007146762/05A RU2403953C2 (ru) | 2005-05-17 | 2006-05-17 | Очистка материалов обработкой плазмой на основе водорода |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7611686B2 (ru) |
EP (1) | EP1893320B8 (ru) |
JP (1) | JP4914438B2 (ru) |
CN (1) | CN101222968B (ru) |
AT (1) | ATE451165T1 (ru) |
DE (1) | DE602006011007D1 (ru) |
RU (1) | RU2403953C2 (ru) |
WO (1) | WO2006122794A2 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2536980C1 (ru) * | 2013-09-10 | 2014-12-27 | Открытое акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (ОАО "Российские космические системы") | Способ очистки, активации и осветления серебряных покрытий в газоразрядной плазме |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080277092A1 (en) * | 2005-04-19 | 2008-11-13 | Layman Frederick P | Water cooling system and heat transfer system |
US8507401B1 (en) | 2007-10-15 | 2013-08-13 | SDCmaterials, Inc. | Method and system for forming plug and play metal catalysts |
US8803025B2 (en) | 2009-12-15 | 2014-08-12 | SDCmaterials, Inc. | Non-plugging D.C. plasma gun |
US8470112B1 (en) | 2009-12-15 | 2013-06-25 | SDCmaterials, Inc. | Workflow for novel composite materials |
US9149797B2 (en) | 2009-12-15 | 2015-10-06 | SDCmaterials, Inc. | Catalyst production method and system |
US8652992B2 (en) | 2009-12-15 | 2014-02-18 | SDCmaterials, Inc. | Pinning and affixing nano-active material |
US8545652B1 (en) | 2009-12-15 | 2013-10-01 | SDCmaterials, Inc. | Impact resistant material |
US9126191B2 (en) | 2009-12-15 | 2015-09-08 | SDCmaterials, Inc. | Advanced catalysts for automotive applications |
US8557727B2 (en) | 2009-12-15 | 2013-10-15 | SDCmaterials, Inc. | Method of forming a catalyst with inhibited mobility of nano-active material |
US9039916B1 (en) | 2009-12-15 | 2015-05-26 | SDCmaterials, Inc. | In situ oxide removal, dispersal and drying for copper copper-oxide |
US8669202B2 (en) | 2011-02-23 | 2014-03-11 | SDCmaterials, Inc. | Wet chemical and plasma methods of forming stable PtPd catalysts |
WO2013028575A1 (en) | 2011-08-19 | 2013-02-28 | Sdc Materials Inc. | Coated substrates for use in catalysis and catalytic converters and methods of coating substrates with washcoat compositions |
US8409537B2 (en) * | 2011-08-29 | 2013-04-02 | General Electric Company | Method for removing contaminants from boron powder |
US20130101488A1 (en) * | 2011-10-19 | 2013-04-25 | General Electric Company | Optimized boron powder for neutron detection applications |
US20130189633A1 (en) * | 2012-01-19 | 2013-07-25 | General Electric Company | Method for removing organic contaminants from boron containing powders by high temperature processing |
US9156025B2 (en) | 2012-11-21 | 2015-10-13 | SDCmaterials, Inc. | Three-way catalytic converter using nanoparticles |
US9511352B2 (en) | 2012-11-21 | 2016-12-06 | SDCmaterials, Inc. | Three-way catalytic converter using nanoparticles |
US9586179B2 (en) | 2013-07-25 | 2017-03-07 | SDCmaterials, Inc. | Washcoats and coated substrates for catalytic converters and methods of making and using same |
CA2926133A1 (en) | 2013-10-22 | 2015-04-30 | SDCmaterials, Inc. | Catalyst design for heavy-duty diesel combustion engines |
KR20160074574A (ko) | 2013-10-22 | 2016-06-28 | 에스디씨머티리얼스, 인코포레이티드 | 희박 NOx 트랩의 조성물 |
US9687811B2 (en) | 2014-03-21 | 2017-06-27 | SDCmaterials, Inc. | Compositions for passive NOx adsorption (PNA) systems and methods of making and using same |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1238450B (de) | 1964-06-04 | 1967-04-13 | Consortium Elektrochem Ind | Verfahren zum Herstellen von spannungsfreien und rissefreien Staeben aus hochreinem Bor aus der Schmelze |
GB1194415A (en) * | 1967-07-03 | 1970-06-10 | United States Borax Chem | High Temperature Chemical Reaction and Apparatus therefor |
US3601888A (en) * | 1969-04-25 | 1971-08-31 | Gen Electric | Semiconductor fabrication technique and devices formed thereby utilizing a doped metal conductor |
US3723290A (en) | 1970-01-07 | 1973-03-27 | United States Borax Chem | High temperature chemical reaction apparatus |
GB1390351A (en) | 1971-02-16 | 1975-04-09 | Tetronics Research Dev Co Ltd | High temperature treatment of materials |
US3992200A (en) * | 1975-04-07 | 1976-11-16 | Crucible Inc. | Method of hot pressing using a getter |
FR2501529B1 (fr) * | 1981-03-12 | 1987-03-06 | Borax Francais | Procede pour effectuer une reaction chimique fortement exothermique et appareil pour mettre en oeuvre ce procede |
US4548688A (en) * | 1983-05-23 | 1985-10-22 | Fusion Semiconductor Systems | Hardening of photoresist |
US4503133A (en) * | 1983-12-22 | 1985-03-05 | Union Carbide Corporation | Leak resistant galvanic cell and process for the production thereof |
US4849164A (en) * | 1988-02-29 | 1989-07-18 | General Motors Corporation | Method of producing iron powder article |
JP2960652B2 (ja) * | 1994-09-21 | 1999-10-12 | 実 一色 | 高純度金属の精製方法およびその精製装置 |
JPH10258262A (ja) * | 1997-03-19 | 1998-09-29 | Toshiba Corp | 焼却灰処理装置 |
JP2000038622A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Minoru Isshiki | 遷移金属の純化精製方法 |
JP2000226607A (ja) * | 1999-02-03 | 2000-08-15 | Showa Kyabotto Super Metal Kk | タンタル又はニオブ粉末とその製造方法 |
JP2002150922A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-05-24 | Sony Corp | 電子放出装置、冷陰極電界電子放出素子及びその製造方法、並びに、冷陰極電界電子放出表示装置及びその製造方法 |
US7144753B2 (en) * | 2003-11-25 | 2006-12-05 | Board Of Trustees Of Michigan State University | Boron-doped nanocrystalline diamond |
EP2140483A1 (en) * | 2007-04-04 | 2010-01-06 | Innovalight, Inc. | Methods for optimizing thin film formation with reactive gases |
-
2006
- 2006-05-17 CN CN2006800260708A patent/CN101222968B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-05-17 WO PCT/EP2006/004692 patent/WO2006122794A2/en active Application Filing
- 2006-05-17 JP JP2008511631A patent/JP4914438B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-05-17 AT AT06753692T patent/ATE451165T1/de not_active IP Right Cessation
- 2006-05-17 US US11/914,593 patent/US7611686B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-05-17 DE DE602006011007T patent/DE602006011007D1/de active Active
- 2006-05-17 EP EP06753692A patent/EP1893320B8/en not_active Not-in-force
- 2006-05-17 RU RU2007146762/05A patent/RU2403953C2/ru not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2536980C1 (ru) * | 2013-09-10 | 2014-12-27 | Открытое акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (ОАО "Российские космические системы") | Способ очистки, активации и осветления серебряных покрытий в газоразрядной плазме |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006122794A2 (en) | 2006-11-23 |
CN101222968B (zh) | 2012-08-22 |
CN101222968A (zh) | 2008-07-16 |
DE602006011007D1 (de) | 2010-01-21 |
US20080311018A1 (en) | 2008-12-18 |
EP1893320A2 (en) | 2008-03-05 |
JP2008545521A (ja) | 2008-12-18 |
RU2007146762A (ru) | 2009-06-27 |
JP4914438B2 (ja) | 2012-04-11 |
EP1893320B1 (en) | 2009-12-09 |
WO2006122794A3 (en) | 2007-02-01 |
ATE451165T1 (de) | 2009-12-15 |
US7611686B2 (en) | 2009-11-03 |
EP1893320B8 (en) | 2010-03-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2403953C2 (ru) | Очистка материалов обработкой плазмой на основе водорода | |
Safeen et al. | Low temperature growth study of nano-crystalline TiO2 thin films deposited by RF sputtering | |
KR101231015B1 (ko) | 다결정 실리콘 정제 방법 | |
Pa et al. | Removal of iron in rice husk via oxalic acid leaching process | |
Yang et al. | Fine Al 2 O 3 powder produced by radio-frequency plasma from aluminum dross | |
JP4686666B2 (ja) | シリコン製造方法 | |
JP2021088744A (ja) | 高純度マンガンの製造方法および高純度マンガン | |
AU2014300498B2 (en) | Process for the extraction, from bauxite, from red mud resulting from the processing of bauxite, and from chemically similar materials, of products of industrial interest, separated from each other | |
Nikonova et al. | X-ray diffraction and UV/Vis spectroscopic study on thermal stability of fullerenes/fullerites | |
US9908782B2 (en) | Method for synthesis of boron suboxide | |
Fang et al. | Structure and morphology of copper oxide composite materials synthesized by the arc discharge method | |
JP2007126352A (ja) | 材料の高温処理において汚染物を抑制する方法 | |
Shandrikov et al. | Red shift of absorption spectra of metal-doped TiO2 coatings | |
JPS61190943A (ja) | 反応・処理装置内の清浄化および反応・処理用気相物質の純化方法、および反応・処理装置 | |
KR20220151416A (ko) | 슬러지의 처리 공정 | |
Yang et al. | Porous Desiccant Wheel Produced Using Inductively Coupled Plasma Technique | |
JP4997421B2 (ja) | 可視光応答型光触媒の製造方法 | |
Huang et al. | The oxidation properties of MgF2 particles in hydrofluorocarbon/air atmosphere at high temperatures | |
Szente et al. | “Laboratory of Integrated Quartz Cycle | |
KR20230001332A (ko) | 유동 혼합체의 처리 공정 | |
JP2008007373A (ja) | メタロセン内包フラーレン類及び強磁性金属内包フラーレン類、並びに、それらの製造方法 | |
Mochalov et al. | A Method for Deep Purification of Iodine for Semiconductor Applications | |
Chou et al. | Thermal treatment of MSWI fly ash with different additives by microwave heating | |
KR20230001328A (ko) | 유동 혼합체의 처리 공정 | |
JPH01145376A (ja) | アウトガスの少ない炭素材料の製造方法及びその製法で得られた炭素材料を使用した炭素構造材料 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20160518 |