JP2008537334A - 2波長熱流束レーザアニール - Google Patents
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Abstract
第1のレーザソース(40)、例えば、10.6μmで放出するCO2レーザが、ラインビーム(48)としてシリコンウェーハ(20)上に集束され、第2のレーザソース(26)、例えば、808nmで放出するGaAsレーザバーが、該ラインビームを取り囲むより大きなビーム(34)として該ウェーハ上に集束される熱処理装置及び方法。該2つのビームは、該ラインビームの狭い寸法方向に同期して走査され(24、22)、該より大きなビームによって活性化されたときに、該ラインビームから狭い加熱パルスを生じさせる。GaAs放射のエネルギは、シリコンバンドギャップエネルギよりも大きく、自由キャリアを生じさせる。CO2放射のエネルギは、シリコンバンドギャップエネルギよりも小さいため、シリコンは、そうでなければ該放射に対して透過性であるが、長い波長の放射は、自由キャリアによって吸収される。
【選択図】 図5
【選択図】 図5
Description
本発明は、一般的に、半導体基板の熱処理に関する。具体的には、本発明は、ラインビームが、基板全域にわたって走査される、半導体基板のレーザ熱処理に関する。
半導体集積回路の製造は、長い間、シリコンウェーハ又は他の半導体ウェーハを熱処理する多くのステップを必要としてきた。ウェーハは、600℃を優に上回る温度まで上昇させて、プロセスを熱的に活性化させる必要がある。このようなプロセスは、限定するものではないが、特に、化学気相堆積、シリサイド化、酸化又は窒化、注入アニール及びドーパント活性化を含むことができる。これらのプロセスのうちの幾つかは、1000℃、1200℃、あるいは、シリコンの融点1416℃に比較的近い1350℃を上回る温度を必要とする可能性がある。
このような熱処理は、もともとは、固定物内に支持された多数のウェーハを典型的には含有する炉内で行われていた。電力が、炉壁内の抵抗性加熱素子に印加されて、該加熱素子が、所望の処理温度に近い温度まで加熱される。ウェーハは、最終的には、該炉壁の温度と実質的に等しい温度になると推測される。昇温された温度における所望時間の熱処理の後は、抵抗ヒータには電力は印加されず、その結果、該壁は徐々に冷却され、ウェーハも同様に冷却される。加熱速度及び冷却速度は共に比較的遅く、所要の熱処理時間を比較的短くすることができたとしても、約15℃/分である。昇温時の、このような長い期間は、熱処理に必要な熱量をかなり増加させる。進化した集積回路における微細な形状構成及び薄い層は、熱量を低減することを必要とする。
急速加熱処理(RTP)は、冷却速度及び加熱速度を向上させるように開発されてきた。RTPチャンバは、典型的には、単一のウェーハに方向付けられた非常に多くの高輝度ハロゲンランプを含有する。該ランプは、その最高フィラメント温度にすぐに達して、該チャンバ自体はあまり加熱することなく、該ウェーハをすぐに加熱することができる。該ランプが消されると、該ランプの最高温度の部分は、比較的小さな塊を構築し、そこはすぐに冷却することができる。該RTPチャンバの壁は、非常に高い温度まで加熱されない。その結果として、該ウェーハは、適度な高冷却速度で放射冷却することができる。典型的なRTP加熱速度は、約250℃/秒であり、典型的なRTP冷却速度は、約90℃//秒であり、それによって、熱量が劇的に低減される。スパイクアニーリングと呼ばれる技術においては、最高温度において、本質的にソーク時間がない。その代わりに、温度上昇のすぐ後に温度下降が続く。多くの場合において、このランプレートは、最大化すべきである。
しかし、RTP及びスパイクアニーリングの冷却速度及び加熱速度は、共に緻密な熱制御を必要とする、超狭小の形状構成及び浅い階段接合を有する進化したデバイスにとっては、不十分になってきている。炉及びRTPチャンバは共に、ウェーハ全体を、所要の処理温度に加熱する。実際には、ウェーハ表面の上部数ミクロン内の材料のみが、熱処理を必要とする。さらに、RTPの全体的な熱照射パターンは、放射熱伝達及び伝導性熱伝達の両方による、ウェーハ全体のアニーリング温度からの冷却を要する。放射冷却は、該ウェーハが冷却されるにつれて、効果が小さくなる。
パルスレーザ熱処理は、加熱速度及び冷却速度を劇的に向上させるように開発されてきた。短パルス(約20ns)のレーザ放射の焦点は、理想的には、20mm×30mm程度の光学ステッパフィールドと同じサイズの、該ウェーハの縮小されたエリアに合わせられる。該レーザパルスの総エネルギは、該照射エリアの表面を急速に高温まで加熱するのに十分である。その後、浅いレーザパルスによって生成された小容量の熱は、該ウェーハの加熱されていない下方部分へすぐに拡散し、それにより、照射された表面領域の冷却速度を大幅に向上させる。何種類かの高出力レーザは、秒当たり何百パルスという反復速度でパルス化することができる。該レーザは、ウェーハの表面上をステップアンドリピートパターンで移動され、隣接するエリアでパルス化されて、該ウェーハ表面の全体を同様に熱的に処理する。
しかし、パルスレーザ熱処理は、パターン化された表面に対する短く、強力な放射パルスからある程度生じる均一性の問題を呈する。走査とパルスは、注意深く位置合わせする必要があり、放射プロファイル及び横方向熱拡散パターンは共に平坦ではない。該放射パルスは短いため、少しの吸収の差が、大きな温度差を生じることになる。構造の一部が溶解する可能性がある一方で、別の部分では、ミクロンアウェイがわずかに加熱される。この問題に対処するため、長い寸法及び短い寸法を有する、連続波(CW)レーザ放射から構成される狭ラインビームが、ウェーハ上で、該短い寸法に沿った方向に、すなわち、該ラインと垂直に走査される、新たな種類のレーザ熱処理機器が開発されている。ライン幅は十分に小さく、走査速度は十分に高速であるため、放射の走査ラインは、表面において、非常に短い熱パルスを発生させ、これは、その後、基板内の垂直方向下方に、及びより低温の表面領域に水平にすぐに拡散する。該プロセスは、熱流束アニーリングと呼んでもよい。
3種類のアニーリングを、熱力学的に区別することができる。RTP及び熱アニーリングは、ウェーハの全ての領域が、所与の時間において、本質的に同じ温度である等温プロセスである。パルスレーザアニーリングは、断熱的である。放射パルスは、熱がかなり拡散し得る前に終了する。熱流束アニーリングは、等温RTPプロセスよりも速いが、断熱的パルスプロセスよりは遅い。熱は、従来の電子材料中で、5〜100μmの熱拡散長、すなわち、集積回路パターニングの規模の何らかの熱的均一化を可能にする長さを有する。
Markleら(以後、Markle)は、米国特許第6,531,681号において、このようなリニア走査熱処理システムの反射光学部品バージョンを開示している。Jenningsら(以後、Jennings)は、米国特許出願公開第2003/0196996号において、反射光学部品バージョンを開示しているが、MarkleとJenningsの間には、他のかなりの違いがある。幾つかの実施形態において、Jenningsの熱装置は、100μm未満のビームライン幅を用いて、106℃/秒のランプレートを実現することができる。
しかし、Markle及びJenningsは共に、レーザ放射を発生させるために、ビームの長手方向に沿って並んだレーザダイオードバーを好ましく用いている。それらのレーザダイオードバーは、典型的には、GaAs又は同様の半導体材料で構成されており、光電子チップの同じ層内に形成された多数のダイオードレーザで構成されている。Markleによって好ましく使用されたGaAsレーザバーは、シリコンに良好に結合する約808nmの波長で、近赤外線放射を放出する。図1のエネルギバンド図に示すように、ほとんどの半導体のような半伝導性シリコンは、Evよりも低いエネルギを伴う電子状態の価電子帯10と、Ecよりも高いエネルギにおける電子状態の伝導帯12とを有する。シリコンはそうではないが、効果はほぼ同じである直接遷移半導体においては、エネルギEgのバンドギャップ14が、価電子帯10と伝導帯12を分離している。アンドープシリコンにおいては、バンドギャップ14には、電子状態は存在しない。シリコンの場合、Eg=1.12eVであり、これは、周知の光子の式
E=hc/λ’
に従って、1110nmの光波長λgに相当し、ここで、hはプランク定数であり、cは光の速度である。シリコン等の間接遷移半導体における絶対零度において、価電子帯10は完全に満たされており、価電子帯12は完全に空である。
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に従って、1110nmの光波長λgに相当し、ここで、hはプランク定数であり、cは光の速度である。シリコン等の間接遷移半導体における絶対零度において、価電子帯10は完全に満たされており、価電子帯12は完全に空である。
このような半導体を通過する光子エネルギEpを有する光は、その光子エネルギが、バンドギャップ
Ep≧Eg
である場合にのみ、電子と相互に作用することになり、その結果、光子は、自由キャリアである価電子帯10内の電子を伝導帯12に励起し得る。該電子が一旦、該伝導帯に入ると、すぐに半導体本体を熱運動化及び加熱する。
Ep≧Eg
である場合にのみ、電子と相互に作用することになり、その結果、光子は、自由キャリアである価電子帯10内の電子を伝導帯12に励起し得る。該電子が一旦、該伝導帯に入ると、すぐに半導体本体を熱運動化及び加熱する。
状態は、シリコンが、熱エネルギが電子を価電子帯10から伝導帯12へ励起して、価電子帯10のホール(空き電子状態)を離れて、伝導帯12内に電子を残し、そのどちらも自由キャリアである、高温に加熱されたときに変化する。より低いエネルギの光子は、価電子を、価電子帯10内のホールに励起することができ、又は、伝導電子を、伝導帯12内の一般的に空状態に熱的に励起することができる。しかし、この効果は、約800℃を下回り一般的に小さい。別の効果は、半導体が、バンドギャップ内であるが、伝導帯12に近い電子状態を発生させるn型ドーパントによって、又は、価電子帯10に近いホール状態18を発生させるp型ドーパントによってドープされた場合に生じる。これらのドーパント状態は、適度の温度において、電子状態16を伝導帯12に、又はホール状態を価電子帯10に励起する(これは、価電子をホール状態18に励起すると代替的に視覚化することができる)のに十分であるため、半導体の動作にとって重要である。より低いエネルギの光子は、そのように励起されたドーパント状態と相互に作用することができる。例えば、入射放射の吸収を生じるバンド内遷移は、価電子帯10内又は伝導帯12内の2つの自由キャリア状態間で起きる可能性がある。しかし、この効果によって提供される吸収は、約1018cm−3のドーピングレベルを下回り比較的小さく、半導体デバイスにおける平均的ドーピングレベルよりもはるかに高い。どのような場合でも、レーザ吸収は、自由キャリア間のバンド内吸収を伴う状態と同様に、温度、及び照射エリアのドーピングレベルに決定的に依存すべきではない。レーザ加熱の場合、温度及びドーピングレベルが、それに対して深刻な影響を有する自由キャリアを必要とするバンド内吸収に頼るよりも、バンド内遷移に頼ることが好ましい。
そのため、シリコンを急速に加熱するレーザ放射は、GaAsダイオードレーザによって容易に提供される実質的に1110nm未満の波長を有しなくてはならない。しかし、ダイオードレーザには、幾つかの欠点がある。レーザバーは、その出力を、その長さ方向に沿って均一なビームにする際に問題を生じる。レーザバーからの放射は、間にギャップを伴って該バーの長さ方向に沿って離間された多数のダイオードレーザから別々に出力される。すなわち、レーザ源における線形均一性は良好ではなく、ホモジナイザによって改善する必要がある。ホモジナイザのための技術が利用可能であるが、それを高輝度ビームに適用すると、エンジニアリング及び作動上の問題が呈される。さらなる問題は、808nmにおけるレーザバー放射が、シリコンにおいて、例えば、インプラント硬化及びドーパント活性化を必要とする浅いソース及びドレインインプラント等の、アニーリングを必要とするシリコン層の深さよりも大きい可能性のある約800nmの吸収深さを有するということである。
Talwarら(以後、Talwar)の米国特許第6,747,245号は、二酸化炭素(CO2)レーザからの放射を用いて、レーザ熱処理のためのラインビームを発生させることを提案している。CO2レーザは、ダイオードレーザ(40〜50%)よりも低い効率(10〜15%)を有するが、良好に視準が合わされた(非発散性)一般的に円形のビームをより容易に発生させることができる。しかし、本発明者らは、約10.6μmの波長を有するCO2放射は、10.6μmの波長が、1.11μmのシリコンバンドギャップ波長よりもかなり大きいため、レーザ放射の唯一のソースとして効果的でないと考える。その結果として、非ドープ又は低温のシリコンは、CO2放射に対して実質的に透過的であり、CO2放射は、シリコンウェーハに、すなわち、事実上、進化したマイクロプロセッサの処理に所望されるその浅い表面領域内に有効に吸収されない。Markleによって開示されてはいないが、CO2放射の吸収は、シリコンを、非常に高い温度に加熱することにより、又は高濃度ドーピングに頼ることにより、あるいはこれらの組合せによって、高めることができる。しかし、その加熱装置は、レーザ熱処理装置を複雑にし、ドーピングレベルを、半導体製造において自由に制御することができず、また、部分的に現像された集積回路に対して変えることができない。
Boydら(以後、Boyd)は、「Absorption of infrared radiation in silicon」、Journal of Applied Physics,vol.55,no.8(1984年4月15日、3061〜3063頁)において、2波長熱処理技術を開示している。Boydは、10.6μm放射の量子エネルギが、シリコンバンドギャップよりも2桁小さいことを強調している。その結果として、シリコンは、CO2放射に対して、本質的に透過的である。高濃度ドープシリコンの場合でも、吸収係数は、100cm−1未満であり、表面レーザ熱処理にとっては小さすぎる値である。その代わりに、Boydは、シリコンを予め加熱すること、又は、より好ましくは、バンドギャップよりも大きなエネルギを有するCWアルゴンレーザからの500nm放射で該シリコンを照射して、該シリコンにおける自由キャリア密度を増加させ、CO2放射の吸収を促進することを提案している。Boydは、そのビームの空間的広がりに対処しておらず、不十分な空間定義、すなわち、進化したレーザ熱処理にとって重要な問題を認めている。
ウェーハ上に形成された半導体集積回路の熱処理に特に有用な熱処理装置は、例えば、1.0μm未満の短い波長で放出する第1のレーザソースと、例えば、1.2μmより多い、好ましくは、5μmより多い、最も好ましくは、10.6μmに近い波長のCO2レーザ放射の長い波長で放出する第2のレーザソースとを含む。該第2のソースからの加熱ビームは、例えば、わずか0.1mmの幅と、少なくとも1mmの長さを有する比較的に狭いラインビームでウェーハ上に投影される。該第1の活性化ビームは、該第2のソースからのラインビームを取り囲む比較的に大きなビームでウェーハ上に投影される。これら2つのビームは、該ウェーハのムーブメント又は該光学部品のムーブメントのいずれかによって、同期して、該ラインビームの狭い寸法の方向に走査される。
本発明の別の態様は、光ビームの不均一性又はスペックルを除去するのに、又は、物理的走査方向と垂直に狭ビームを走査して、ラインパターンの放射を生じさせるのに用いることができる音響光学変調器を含む。
加熱ビームは、約40°のオフノーマルでサンプルを有効に放射することができる。
本発明の別の態様は、均質のラインビームを形成するのに用いられる光学部品を含む。1軸ライトパイプをこの目的のために用いることができる。
CCDアレイは、照射される付近を熱的に撮像することができる。
活性化光の波長は、基板を加熱する深さを制御するように選択することができる。
本発明の一実施形態の単純化した描写が、図2の立面図に概略的に図示されている。ウェーハ20又は他の基板は、システムコントローラ24の制御下で、1又は2方向にモータ駆動されるステージ22上に保持される。GaAsレーザバー等の短波長レーザ26は、約1.11μmのシリコンバンドギャップ波長よりも短い波長で、可視又は近可視連続波(CW)ビーム28を放出する。GaAsレーザ26の場合、放出波長は、典型的には、約810nmであり、これは、赤外線であると特徴付けることができる。第1の光学部品30は、ビーム28を集束し、及び該ビーム28を成形し、リフレクタ32は、ビーム28をウェーハ20の方へ方向を変え、図3の平面図にも図示されている比較的幅広の活性化ビーム34にする。活性化ビーム34は、ウェーハの法線に対して、小さい角度、例えば、15°傾斜させて、GaAsレーザ26へ戻る反射を防ぐことができる。このような反射する放射は、ダイオードレーザの寿命を短くする可能性がある。長波長レーザ40、好ましくは、CO2レーザは、1.11μmのシリコンバンドギャップ波長よりも長い波長で、赤外線CWビーム42を放出する。好ましいCO2レーザの場合、放出波長は、約10.6μmである。第2の光学部品44は、CO2ビーム42を集束し、好ましくは、該ビームを成形し、第2のリフレクタ46は、CO2ビーム42を比較的狭い加熱ビーム48にして反射する。好ましくは、CO2加熱ビーム48は、加熱ビーム48とウェーハ20の結合を最大化するために、ウェーハの法線に対して、シリコンの場合、約72°であるブルースター角で傾斜される。ブルースター角での入射は、ウェーハ20内の屈折ビームと、何らかの反射ビームとの間には、90°の角度があるということから生じる反射放射がないため、p偏光放射、すなわち、ウェーハ20の表面に沿って偏光した放射の場合、最も有効である。そのため、s偏光は、有利には、CO2ビーム18中のp偏光より抑制される。しかし、実験では、ウェーハの法線から40°(±10°)に中心がある20°円錐状放射が、ブルースター角に中心がある円錐によって実現される2.0%にほぼ近い多数のパターンに対して約3.5%の吸収変動性をもたらすことを示している。
図3に示すように、長波長(CO2)加熱ビーム48は、より大きな、短波長(可視)活性化ビーム34内に位置され、好ましくは、該活性化ビーム上に中心がある。ビーム34、48は共に、ステージ22が、レーザ26、40と、光学要素30、32、44、46を備える光源50に対して、ウェーハ20を移動させる際に、ウェーハ20を横切って同期走査される。この同期は、活性化ビーム34が、加熱ビーム48内にある限り、正確である必要はないことは理解されよう。アクチュエータ52が、コントローラ24からの信号に従って、ウェーハ10の表面に平行な1方向又は2方向に、光源50の全て又は一部を動かす間、ウェーハ10が静止保持されることが、代替的に可能である。
ウェーハ20上でのビーム形状は、赤外線加熱ビーム48及び可視活性化ビーム34の両方の場合に、実質的に矩形又は少なくとも扁平な楕円形である。図示されているビーム形状は、概略的であり、また、該ビームは、実際には、図示された形状を超えて伸びる限定された尾部を有するため、中心強度のある一部の割合を示すことは理解されよう。さらに、赤外線ビーム48は、ビーム34、48が共に、ウェーハ20に対して同時に動かされるため、好ましくは、ほぼ、より大きな可視ビーム34上に中心がある。
一般的効果は、シリコン内で急激に減衰する大きい方の可視ビーム34が、該ウェーハ表面に一般的に近い、やや大きな領域内に自由キャリアを生成するということである。そうでなければ照射されないシリコンによって吸収されない小さい方の赤外線ビーム48は、可視ビーム34によって生成された自由キャリアと相互に作用し、その長波長放射は、有効に吸収されて熱に変換され、それによって、赤外線ビーム48のエリア内の温度をすぐに上昇させる。
温度のランプレート及び走査速度は、主として、小さな赤外線ビーム48のサイズによって決まり、一方、大きい方の可視ビーム34は、小さい赤外線ビーム48を包囲しなければならない。走査方向における小さい加熱ビーム48の幅は、該温度ランプレートをある程度決め、ほとんどの用途において、最小化される。走査方向に垂直な、小さい加熱ビーム48の長さは、該ウェーハのかなりの割合を超えて伸びるように、及びそれによって1回の通過で、かなりの割合をアニールするように十分に大きくなければならない。典型的には、該ラインビームの長さは、少なくとも、その幅の10倍である。最適には、該長さは、該ウェーハの直径に等しいか、又は、該直径をわずかに超える。しかし、工業的に実現可能な用途の場合、該長さは、ミリメータ程度とすることができる。該ウェーハ上の小さい加熱ビーム48の例示的サイズは、0.1mm×1mmであるが、他のサイズを用いてもよい。より小さな幅、例えば、500μm未満又は175μm未満が、一般的により望ましい。大きい方の活性化ビーム34は、寸法の例示的なセットにおいて、走査方向に約1mm、及び垂直方向に数ミリメートル伸びるように、例えば、1mmだけ加熱ビーム48よりも大きくすることができる。
これらの2波長は、可視放射が吸収される表面領域に、より多くの赤外線吸収が集中するという結果を発生させる。該表面領域の深さは、CO2放射単独の吸収長よりもかなり小さい。シリコン中の可視放射の室温減衰深さは、可視スペクトルにおいて、波長が低下するのにつれて急激に低下し、例えば、800nmの場合、約10μm、600nmの場合、3μm、及び500nmの場合、約1μmになる。従って、該ウェーハ表面に非常に近い部分のみに自由キャリアを生成して、加熱を該表面近くに限定するのには、より短い活性化波長が有利である。そのため、幾つかの用途の場合、緑色として特徴付けることができる周波数逓倍Nd:YAGレーザからの532nm放射等のより短い活性化波長が望ましい。
より短い波長を有する単一のビーム照射のためのMarkle又はJenningsの装置を部分的に変更することが可能であるが、それらのより短い波長を用いて、特にダイオードレーザから高出力を得ることは難しい。対照的に、2重ビームの場合、短波長放射は、自由キャリアを生成し、それによって長波長放射の吸収を活性化することのみに用いられ、それによって高出力化する必要がない。
赤外線吸収は、より短い波長のレーザによって該ウェーハの表面に生成されている自由キャリアによって支配されることが好ましい。このことは、10.6ミクロン放射に、より短い波長のレーザと同じ吸収長を有効に与える。また、より短い波長の放射は、光学干渉効果が、該ウェーハ内への該より短い波長の透過を低減する場合でも、赤外線吸収が飽和するように、相当な数の自由キャリアを生じさせる。光学干渉効果は、今日、半導体産業において用いられている特定の膜積層体の場合、該ウェーハに許容される出力を80%も低減することができる。このことは、より短い波長のレーザの出力の20%のみが、該ウェーハ内を実際に伝播した場合に、赤外線自由キャリア吸収効果が飽和することを必要とする。より短い波長のレーザの出力密度は、この飽和値の少なくとも5倍でなければならないが、基板の直接加熱にはっきり寄与するほど高くすべきでもない。本発明の場合、より短い波長の放射の出力密度は、飽和した赤外線吸収を確実にするのに十分すぎるのにもかかわらず、CO2レーザの出力密度よりもかなり小さくすることが可能である。そのため、該より短い波長は、ウェーハの加熱に寄与せず、その後、加熱の均一性を低下させない。この効果は、より短い波長に対して、許容出力の大きな変動性があるため、有利である。
様々な作動パラメータを用いることができるが、次の例示的な値は事例的である。CO2レーザは、100Wの総光出力を有することができ、該レーザは、焦点調節及びビーム成形の後、約150kW/cm2の光出力密度でウェーハを照射する。対照的に、可視光レーザは、1〜2Wの光出力を有すると効果的である。ウェーハに当たるCO2ビームは、50μmの幅と、100μm〜1mmの長さとを有することができる。これらの短いライン幅の場合、該CO2ビームは、蛇行パターンで走査して、ウェーハ全体をカバーする必要がある。
本発明は、そのように限定されるものではないが、赤色活性化ビームは、図4の断面図に図示された表面付近に構造を有するある種の進化した集積回路を処理するのに、緑色よりも好ましい。アニールを要する薄い表面注入層62を有するシリコンウェーハ60は、約50nmの厚さを有する非晶質シリコン層64で被覆されている。上面に入射する、例えば、Nd:YAGレーザからの緑色活性化放射66は、非晶質シリコン層64によって吸収されるが、生成された自由キャリアは、該非晶質材料における無秩序状態のため、すぐに再結合する。この高速の再結合は、自由キャリアの濃度、ならびに該自由キャリアによる10.6μm放射の吸収を大幅に低下させる。その結果として、それらの領域は、10.6μm光に対して非常に長い吸収長を明白に示し、基板は、それらの領域においては、有効に加熱されない。その結果として、直接加熱は非晶質層64に集中し、有効ではない。対照的に、例えば、GaAsレーザバーからの赤色活性化放射66は、非晶質層64に部分的に吸収されるだけであり、残りの大部分は、シリコン60の上部数ミクロンに吸収され、この場合、自由キャリアの寿命は長く、それによって、10.6μmCO2放射の強力な吸収を確実にする。従って、ウェーハ内での熱処理の深さを、該活性化光の波長を選択することによって制御することができることが正しく認識されよう。より短い波長は、該表面付近で吸収され、そのため、そこをアニーリングするのを促進し、一方で、より長い波長は、より深く吸収され、該深さに対する熱アニーリングを伸ばす。浅い加熱領域は、進化したデバイスに用いられる超浅ドーパントインプラントをアニールするのに特に重要である。
図2に図示した光学部品は非常に単純化されている。光学部品の、より完全なセットを図5に図示するが、他の幾つかの光学要素は、別に説明する。ビームエリアの拡大を図6に示す。GaAsレーザ26から発する活性化ビームの光学部品は、比較的単純である。2つのレンズ70、72を含むリレー光学部品は、該レーザバーの異なるGaAsダイオードレーザからのサブビームの望ましいオーバーラップを発生させる。自由キャリアが飽和している場合には、完全な均質化は必要ない。追加的な自由キャリアは、赤外線吸収を100%より多くには増加させることができない。傾斜干渉ミラー74は、赤色GaAsレーザ26の810nm放射を偏向させて、略垂直にウェーハ20に当てる。しかし、干渉ミラー74は、特に、逆方向において、ウェーハ温度を示すより長い赤外線放射を高温計76へ通過させ、該高温計は、単一の検出器又はCCD(電荷結合素子)アレイとすることができる。後者の場合、放射ライン付近の熱イメージが利用可能である。対物レンズ78は、赤色ビーム28を活性化ビーム34としてウェーハ20上に集束させる。図示するように、集束した活性化ビーム34は、該GaAsレーザバーにおけるダイオードレーザの線形アレイから生じる一般的に矩形形状を有する。同じ対物レンズ78は、走査されるウェーハ20のエリアからの、大きい角度、例えば、15°の円錐半角を超えて放出されたより長い波長の光を平衡にする。リフレクタ74は、該より長い波長において比較的透過性であり、該平衡にされた赤外ビームを通過させる。別の対物レンズ80は、該赤外ビームを高温計76に集束させ、それによって、ウェーハ20での最大温度のリアルタイムモニタリングを可能にする。高温計76の波長は、1.55μmの好ましい波長を有する、0.96〜2.5μmの波長から選択することができる。それらの波長においてレンズを作成するのに用いられるガラスは、典型的には、10.6μmの放射を吸収し、それによって、該波長の放射を有効に除去する。10.6μmにおけるどのようなCO2放射も、高温計76内に散乱する必要はなくなる。散乱は、波長に逆比例するため、高温計76は、CO2放射に対して敏感ではない。
CO2レーザ40の出力は、後により詳細に説明する、速軸に沿って位置合わせされ、及びビーム軸に沿って、かつ遅軸に沿って横断方向に伸びる小さなギャップによって分離されている2つの平行リフレクタ84、86を含む1軸ライトパイプ82を含む光学部品を通過する。該速軸は、該ラインが、それに沿ってすぐに走査される、該ウェーハに対する加熱ビームの軸、すなわち、該ラインビームの短い方の寸法を指す。該遅軸は、該ビームが、それに沿って、蛇行走査のステップ間の別個の移動で指標付けられる主軸、すなわち、該ラインビームの長手方向の寸法を指す。該光路内に導入されるどのようなリフレクタも、それに応じて該速軸及び遅軸を再設定させる。ライトパイプ82は、コヒーレンススペックルを200倍広げることにより、ビーム均一性を同様に改善することにより、及び該軸に沿ってビーム形状を平らにすることにより、該ビームを該遅軸(長軸)に沿って均一化させる。アナモフィック光学部品88、すなわち、該速軸及び遅軸に沿って異なる焦点距離を有するレンズ系は、速軸に沿った回折が限定された焦点調節を可能にするが、該遅軸に沿ってラインビーム長を限定はしない。リフレクタ90は、該ビームが、p直線偏光、すなわち、ウェーハ20の平面内でのビーム偏光方向に垂直なビーム偏光を有する場合に、CO2ビーム48のウェーハ20内への結合を最大化するため、シリコンの場合、法線から約72°であるブルースター角でウェーハ20に当たるようにCO2ビーム48を方向付けるために正しい位置に配向される。
関連する実施形態を図7に図示する。音響光学偏向器(AOD)94は、CO2レーザ42から光出力ビーム48を受光する。AOD94は、例えば、一端部に固着された超音波トランスデューサと、アブソーバとを有するゲルマニウム結晶を含む。RF信号は、20MHz±5MHzの振動信号で該トランスデューサを電気的に駆動し、該ゲルマニウムの密度を変調させ、該駆動周波数に依存して入射方向から例えば約5°だけ、入射光の約80%を回折する干渉格子を設定する。該駆動周波数はさらに、回折角度を変化させて、約1°の範囲を超えて遅軸に沿って該ビームを偏向し、ディザするために、すなわち、該ビームを角度的又は空間的に走査するために、10MHz帯域にわたって1MHzで変化される。該AODの走査は、該レーザビームにおけるコヒーレンススペックル及び干渉縞を約200倍に広げ、さらに該遅軸に沿って該ビームを均一化する。
別の変形例においては、幾つかの用途において、小さな単一ビームをAOD94に入力して、AOD94を用いて該小ビームを、該遅軸に沿って加熱ビーム48の全長にわたって走査することが可能である。
第1の45°位相遅延ミラー98は、該ビームを反射して、直線偏光から円偏光に変換する。第2の45°位相遅延ミラー100は、該ビームを反射して、2つのミラー98、100間の最終的な回転が90°の状態で、円偏光から直線偏光に変換する。円柱レンズ102は、後方の円柱レンズと共にビーム拡大器として機能する。
その後、CO2ビームは、遅軸に沿って分離され、かつビーム軸に沿って伸びる2つの平行リフレクタ84、86を有する1軸ライトパイプ82に入る。音響光学偏向器94は、該ビームを該ライトパイプのギャップを横切る方向に、すなわち、約20mrad(約1°)の角度範囲で、2つのリフレクタ84、86の右から左へ走査する。その後、走査されたビームは、アナモフィック光学部品88に入り、該光学部品の第1のレンズは円筒形であり、該ビーム拡大器の一部として機能する。2つの反射鏡90、92は、該ビームを反射して、よりコンパクトな全体的デザインを発生させる。最終的なアナモフィック結像レンズ94、96は、よく制御された長さ及び狭い幅を有する最終ラインビームを発生させる。
本実施形態において、高温計76のためのレンズ78、80は、ウェーハの法線に近づけて位置合わせされ、GaAsダイオードレーザソース26からの活性化ビーム34と分離された熱モニタリングビームを生じさせ、該活性化ビームは、少しの斜角、例えば、30°オフノーマルで設定されている。結像レンズ108は、GaAsビームの適正に大きな活性化ビームへの最終的な集束を実行する。
上記の実施形態は、約10.6μmでのCO2放射を利用したが、加熱放射のために他の波長を用いてもよい。それらの波長は、シリコンバンドギャップエネルギよりも小さい光子エネルギ、すなわち、約1.2μmより大きい波長を有しなければならない。典型的には、加熱波長は、約5μmより大きい。活性化放射に対しては、2つの特定の波長について論じてきた。半導体ダイオードレーザにおいては、他の波長も容易に使用可能であり、熱処理の深さを制御するように選択することができる。しかし、一般的に、該活性化放射の光子エネルギは、シリコンバンドギャップエネルギより大きい、すなわち、約1.0μm未満の波長である必要がある。
本発明の説明は、基板がシリコンウェーハであることを想定しているが、本発明は、そのように限定されるものではない。本発明は、有利には、SOI(シリコン・オン・インシュレータ)ウェーハ、又は、薄いシリコン層が絶縁層又は基板上に形成された他の基板に適用される。半導体バンドギャップに対する活性化波長及び加熱波長のための適切な修飾を用いて、本発明を他の半導体材料にも適用することができる。すなわち加熱波長は、半導体バンドギャップ波長よりも大きく、活性化波長は、半導体バンドギャップ波長よりも小さい。
20…ウェーハ、26…GaAs赤色レーザ、28…CWビーム、34…活性化ビーム、40…CO2レーザ、48…加熱ビーム、76…高温計、82…ライトパイプ。
Claims (23)
- 基板を上部に受け容れて熱的に処理するように構成されたステージと、
少なくとも1.2μmの波長を有する赤外線放射の第1のビームの第1のソースと、
前記基板に入射する、前記赤外線放射の細長い第1のビームを形成するように、前記第1のビームを方向付ける第1の光学部品であって、前記細長い第1のビームが、第1の軸に沿って伸びる第1の寸法と、前記第1の軸に直角な第2の軸に沿って伸びる、前記第1の寸法よりも大きい第2の寸法とを有する、前記第1の光学部品と、
1μmより小さい波長を有するより低い波長の放射の第2のビームの第2のソースと、
前記細長い第1のビームを取り囲み、包囲し、前記より低い波長の放射の入射第2のビームを前記基板上に形成するように、前記第2のビームを集束させる第2の光学部品と、
前記入射第2のビームが、前記細長い第1のビームを包囲し続けるように、各々が、前記ステージに対して前記第1の軸に沿った状態で、前記細長い第1のビーム及び前記入射第2のビームを走査する変換機構と、
を備える熱処理システム。 - 前記第1のソース及び第2のソースがレーザを備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のソースがCO2レーザを備える、請求項2に記載のシステム。
- 前記第2のソースが、少なくとも1つのダイオードレーザを備える、請求項3に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つのダイオードレーザが、少なくとも1つのGaAsダイオードレーザを備える、請求項4に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つのGaAsダイオードレーザが、多数のダイオードレーザを含むレーザバーを備える、請求項4に記載のシステム。
- 前記第1の光学部品が、前記第1のビームを、前記基板上に入射する際に、前記第2の軸に沿って繰り返し走査する、電気的に制御される光学偏向器を備える、請求項1〜6のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記光学偏向器が音響光学変調器を備える、請求項6に記載のシステム。
- 前記第1の光学部品が、前記第1のビームの対向側に沿って伸びる2つの平行リフレクタを備える、請求項1〜6のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記第1の光学部品が、前記第1のビームを、前記基板上に入射する際に前記第2の軸に沿って繰り返し走査する、前記第1のソースと前記平行リフレクタとの間に配置された電気的に制御される光学偏向器を備える、請求項9に記載のシステム。
- 前記光学偏向器が、音響光学変調器を備える、請求項10に記載のシステム。
- 基板を上部に受け容れて熱的に処理するように構成されたステージと、
第1の波長を有する光学放射の第1のビームの第1のソースと、
前記基板の表面に入射する第1の入射ビームを形成するように、前記第1のビームを方向付ける第1の光学部品と、
前記第1の波長よりも小さい第2の波長を有する光学放射の第2のビームの第2のソースと、
前記第1のビームを取り囲む、前記入射第2のビームを前記基板の前記表面に入射形成するように、前記第2のビームを集束させる第2の光学部品と、
前記第1の入射ビームが、前記第2の入射ビームによって取り囲まれたままになるように、前記基板の前記表面を動き回って前記第1及び第2の入射ビームを走査する変換機構と、
を備える熱処理システム。 - 処理される半導体材料のバンドギャップ波長が、前記第1の波長と第2の波長との間にある、請求項12に記載のシステム。
- 前記第1のソースがCO2レーザを備える、請求項12に記載のシステム。
- 前記第1の入射ビームが、第1の軸に沿ったより短い寸法を有する細長いビームを備え、前記変換機構が、前記第1及び第2の入射ビームを前記第1の軸に沿って走査する、請求項12〜14のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記変換機構が、2次元パターンで前記ステージを移動させる、請求項12〜14のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記変換機構が、前記第1及び第2の光学部品の少なくとも一部を動かす、請求項12〜14のいずれか一項に記載のシステム。
- バンドギャップエネルギを有する半導体を備える基板を熱的に処理する方法であって、
前記バンドギャップエネルギより大きい第1の光子エネルギを有する電磁放射の第1のソースの出力を、直交する第2の軸に沿った第2の寸法よりかなり小さい第1の軸に沿った第1の寸法を有する細長い第1のビームとして、前記基板上に方向付けるステップと、
前記バンドギャップエネルギよりも小さい第2の光子エネルギを有する電磁放射の第2のソースの出力を、前記第1のビームを取り囲む第2のビームとして、前記基板上に方向付けるステップと、
前記第2のビームが前記第1のビームを包囲し続けるように、前記第1及び第2のビームを前記第1の軸に沿って一緒に走査するステップと、
を備える方法。 - 前記第1の寸法が0.5mm以下であり、前記第2の寸法が少なくとも1mmである、請求項18に記載の方法。
- 前記第1のソースがCO2レーザであり、前記第2のソースが1つ以上のダイオードレーザである、請求項18に記載の方法。
- 前記第2の波長が、前記基板中の加熱の深さを制御するように選択される、請求項18〜20のいずれか一項に記載の方法。
- 前記基板がシリコン基板を備える、請求項18〜20のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2のビームの光出力密度が、前記第2の光子エネルギの放射が、前記基板の吸収を飽和させるのに十分に高い、請求項18〜20のいずれか一項に記載の方法。
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