JP2008504579A5 - - Google Patents

Claims (39)

1. 光学素子を調節するための装置であって、
   前記光学素子は、オブジェクティブストラクチャー内の外部ホルダ、または、近接され、且つ、反対に配置されたホルダに対する光学軸を有し、
   前記光学素子は、調節デバイスによって供給される複数の中間部を介して外部ホルダに接続され、
   各調節デバイス（２１）は、第１可動中間部（２６，３１）をＺ軸に垂直な軸周りに回動可能とする方法で、外部ホルダ（２２）上で、且つ、調節エレメント（２７，３２）に配置及び接続された可動中間部上に配置された脚部２３を備え、
   前記調節エレメント（２７，３２）は、第２可動中間部を介して直接または中央部（２４）を介して光学素子（２０）に接続されており、
   前記調節エレメント（２７，３２）が固定された場合に、前記光学素子（２０）または中央部（２４）と、前記調節エレメント（２７，３２）との間に配置された前記第２可動中間部（３０，３３）は、前記光学素子（８）が、Ｚ軸に垂直な軸周りに前記脚部（２３）に対して回動可能とする装置。
2. 前記Ｚ軸が、前記頭部（２５）、前記中央部（２４）及び前記脚部（２３）と、を結ぶ線上に位置する請求項１に記載の装置。
3. 前記第２中間部（３０，３３）が、前記Ｚ軸に対して角度αで配置される請求項１に記載の装置。
4. 前記調節エレメント（２７，３２）は、前記中央部（２４）に対して前記第２可動中間部（３０，３３）を介して接続され、前記中央部（２４）は、内部ホルダまたは前記光学素子（８）に配置された頭部２５に接続され、また、前記中央部（２４）は、前記頭部（２５）が前記中央部（２４）に対して前記Ｚ軸に垂直な方向に移動可能であり、且つ、前記中央部（２４）に対して前記Ｚ軸に垂直な軸周り、及び、前記Ｚ軸周りに回動可能となるような態様で前記Ｚ軸の面上に位置する少なくとも１つの第３可動中間部（３６）を有する請求項１に記載の装置。
5. 前記Ｚ軸は前記光学軸である請求項１に記載の装置。
6. 前記第１及び第２中間部（２６，３１及び３０，３３）は、弾力性がある請求項１に記載の装置。
7. 前記第１及び第２中間部（２６，３１及び３０，３３）は、第１及び第２ソリッドヒンジジョイントにて形成された請求項６に記載の装置。
8. 前記外部ホルダ（２２）には、前記オブジェクトストラクチャー（１０）、または、その近傍に配置されたホルダに対して位置決めされる外部ホルダ（２２）を用いて、基準面（２２ａ，２２ｂ，２２ｃ）が設けられた請求項１に記載の装置。
9. 前記ソリッドヒンジジョイントが、板ばね状の接続部またはカプラーにて形成された請求項８に記載の装置。
10. 前記各調節デバイス（２１）は、調節エレメント（２７，３２）として２つの調節レバーを有し、
    前記調節エレメント（２７，３２）は、互いのなす角度が、前記第２中間部（３０，３３）と前記Ｚ軸との間の角度の２倍となるように配置された請求項３に記載の装置。
11. 間の角度が２αである前記２つの調節レバー（２７，３２）は、前記Ｚ軸に対して対称に配置された請求項１０に記載の装置。
12. 前記調節エレメント（２７，３２）と前記中央部（２４）との間に配置された第２弾性中間部（３０，３３）は、前記第２弾性中間部（３０，３３）の中央軸の延長が、前記中央部（２４）の前記第３弾性中間部（３６）の中心点（４０）で交差するような方法で、角度２αで配置された請求項１０に記載の装置。
13. 前記Ｚ軸（光学軸）に対する各角度をαとした前記配置は、前記角度が９０度より大きい配置である請求項１１に記載の装置。
14. 前記第３弾性中間部（３６）は、前記頭部（２５）と共に、前記脚部（２３）に対して、前記Ｚ軸に垂直な方向にオフセットして配置された請求項４に記載の装置。
15. 前記Ｚ軸に対して垂直な軸は、前記Ｘ軸であると共に前記第３弾性中間部（３６）の面に垂直に配置された請求項４に記載の装置。
16. 前記頭部（２５）の前記中央部（２４）に対するＹ回動軸を表す、前記中央部（２４）の前記第３弾性中間部（３６）の弾性たわみ軸と、
    前記頭部（２５）の前記中央部（２４）に対するＺ回動軸を表す、前記第３弾性中間部（３６）のねじれ軸と、
    が、前記第３弾性中間部（３６）の中心点（４０）を貫通する請求項４に記載の装置。
17. 前記第３弾性中間部（３６）は板ばねにて形成された請求項４に記載の装置。
18. 前記中央部（２４）の前記第３弾性中間部（３６）は、前記Ｙ軸に平行な軸周りに夫々傾いた２つの板ばねジョイント（３６ａ，３６ｂ）にて形成された請求項４に記載の装置。
19. 前記２つの板ばねジョイント（３６ａ，３６ｂ）は、センターピース（３６ｃ）によって、互いに分離された請求項１８に記載の装置。
20. 前記センターピース（３６ｃ）は、前記Ｚ方向に沿って形成され、且つ、互いに所定の間隔をあけて配置された多数の切れ目またはスロット（４３）を有する２つの板ばねジョイント（３６ａ，３６ｂ）の間に提供された請求項１９に記載の装置。
21. 前記板ばねジョイント（３６ａ，３６ｂ）には、前記Ｘ方向沿って形成され、互いに所定の間隔をあけて配置された多数の切れ目が設けられた請求項１９に記載の装置。
22. 前記脚部（２３）と前記調節エレメント（２７，３２）との間に配置された前記第１弾性中間部（２６，３１）は、夫々、チルティングジョイント（２６ａ，３１ａ）にて形成された請求項１に記載の装置。
23. 前記調節エレメント（２７，３２）と前記中央部（２４）との間に配置された前記第２可動中間部（３０，３３）は、夫々、下方及び上方チルティングジョイント（３０ａ，３０ｂ及び３３ａ，３３ｂ）にて形成された請求項１に記載の装置。
24. 前記２つの下方及び上方チルティングジョイント（３０ａ，３０ｂ及び３３ａ，３３ｂ）は、少なくとも１つの接続部（３０ｃ及び３３ｃ）によって夫々接続された請求項２３に記載の装置。
25. 前記２つの板ばねジョイント（３６ａ，３６ｂ）の１つの前記板ばねジョイントは、前記中央部（２４）と前記頭部（２５）との間の前記上方板ばねジョイント（３６ｂ）として配置され、他の１つの前記板ばねジョイントは、前記中央部（２４）と前記脚部（２３）との間に前記下方板ばねジョイント（３６ａ）として配置され、両方の板ばねジョイント（３６ａ，３６ｂ）が傾きうる請求項１８に記載の装置。
26. 前記調節デバイス（２１）のローカルＺ軸は、前記光学素子（８）のグローバルＺｏ軸（光学軸）と平行に位置する請求項２５に記載の装置。
27. 前記下方板ばねジョイント（３６ａ）は、何れの場合においても、前記下方及び上方チルティングジョイント（３０ａ，３３ｂ及び３０ｂ，３３ａ）に配置された請求項２３又は２５に記載の装置。
28. 前記２つの下方及び上方チルティングジョイント（３０ａ，３３ｂ及び３０ｂ，３３ａ）は、夫々、２つの接続部（３０ｃ，３０ｄ及び３３ｃ，３３ｄ）を用いて接続されており、２つの接続部の１つ（３０ｃ及び３３ｃ）は、前記下方チルティングジョイント（３０ａ，３３ｂ）と前記板ばねジョイント（３６ａ）との間に配置され、また、他方の接続部（３０ｄ及び３３ｄ）は、前記下方板ばねジョイント（３６ａ）と前記上方チルティングジョイント（３０ｂ，３３ａ）との間に配置された請求項２４又は２７に記載の装置。
29. ３つの調節デバイス（２１）は、円周周りに分散して配置された請求項１に記載の装置。
30. 前記３つの調節デバイス（２１）は、前記光学素子（８）の前記光学軸に対して傾斜された請求項２９に記載の装置。
31. 各調節デバイス（２１）は、円周方向において互いに所定の間隔をあけて配置された２つの調節エレメント（２７，３２）を有する請求項１に記載の装置。
32. 前記調節エレメント（２７，３２）には、互いに個別に操作しうる操作部が設けられた請求項３１に記載の装置。
33. 前記操作部は、調節ねじ（２８，２９，３４，３５）を有する請求項３２に記載の装置。
34. 前記操作部は、電磁気、ピエゾアクチュエータ、空気、磁気歪み、または、水力の駆動部を有する請求項３３に記載の装置。
35. 前記調節デバイス（２１）は、複数の部分を有する請求項１に記載の装置。
36. マイクロリソグラフィーのためのプロジェクションオブジェクティブを備えた投影露光装置であって、
    前記プロジェクションオブジェクティブには、請求項１〜３５の何れかに記載の光学素子（８）を調節するための装置が少なくとも１つ設けられた投影露光装置。
37. マイクロリソグラフィーのための投影露光装置における光学素子のための位置決めユニットであって、
    前記光学素子（８）に接続するための第１接続領域Ａと、
    前記光学素子（８）の近傍でオブジェクトに接続するための第２接続領域Ｂと、
    夫々の荷重アームが、ヒンジジョイントに作用する中間エレメントＣを介して、前記ヒンジジョイントによって前記第１接続領域Ａに接続された少なくとも２つのレバー（２７，３２）と、
    を備え、
    調節器またはアクチュエータ（２８，２９，３４，３５）は、前記レバー（２７，３２）の夫々の力アーム（２７ａ，３２ａ）上に配置され、
    少なくとも１つの接続領域Ａ，Ｂまたは前記中間エレメントＣに関連してコンタクトベアリング上に配置されたカーブパスに沿って、前記中間エレメントが偏向しつつ、少なくとも１つのレバーベアリング及び／または荷重アームの１つのヒンジジョイントが回動動作を実行するように、
    夫々のレバーベアリング（４５ａ，４５ｂ）が、前記第２接続領域Ｂに接続された位置決めユニット。
38. マイクロリソグラフィーのための投影露光装置における光学素子のための位置決めユニットであって、
    光学素子（８）に接続するための第１接続領域Ａと、
    光学素子（８）の近傍でオブジェクトに接続するための第２接続領域Ｂと、
    夫々の荷重アーム（２７ｂ，３２ｂ）が、ヒンジジョイントに作用する中間エレメントＣを介して、ヒンジジョイントによって前記第１接続領域Ａに接続された、少なくとも２つのレバー（２７，３２）と、
    前記中間エレメントＣは、２つのレバー（２７，３２）の間に、自身を補強するためのヒンジジョイント接続部Ｃ１を有し、剛性を調節可能であり、
    さらに、
    調節器またはアクチュエータ（２８，３９，３４，３５）が、レバー（２７，３２）の夫々の力アーム（２７ａ，３２ａ）上に配置されており、
    夫々のレバーベアリングは、前記第２接続領域に接続された位置決めユニット。
39. 剛性を調節するために、電気的に駆動可能なピエゾ素子が、前記２つのレバー（２７，３２）の間に配置された請求項３８に記載の位置決めユニット。