RU2338231C1 - Двухкоординатный оптический дефлектор - Google Patents

Двухкоординатный оптический дефлектор Download PDF

Info

Publication number
RU2338231C1
RU2338231C1 RU2007119779/28A RU2007119779A RU2338231C1 RU 2338231 C1 RU2338231 C1 RU 2338231C1 RU 2007119779/28 A RU2007119779/28 A RU 2007119779/28A RU 2007119779 A RU2007119779 A RU 2007119779A RU 2338231 C1 RU2338231 C1 RU 2338231C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
mirror
lever
piezoelectric transducers
optical deflector
fixed base
Prior art date
Application number
RU2007119779/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Гаврил Николаевич Востриков (RU)
Гаврил Николаевич Востриков
Лев Маркович Гвирцман (RU)
Лев Маркович Гвирцман
Игорь Леонидович Трейнер (RU)
Игорь Леонидович Трейнер
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Производственное объединение "Уральский оптико-механический завод" имени Э.С. Яламова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Производственное объединение "Уральский оптико-механический завод" имени Э.С. Яламова filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Производственное объединение "Уральский оптико-механический завод" имени Э.С. Яламова
Priority to RU2007119779/28A priority Critical patent/RU2338231C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2338231C1 publication Critical patent/RU2338231C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

Изобретение относится к системам сканирования и может быть использовано в оптико-механических устройствах для управления оптическим лучом. Технический результат изобретения заключается в обеспечении устройства стабильными рабочими характеристиками, на которые не влияют вибрации и температурные колебания. Двухкоординатный оптический дефлектор содержит зеркало, установленное с возможностью поворота, а также два пьезопреобразователя и два упругих элемента, закрепленных на неподвижном основании. Каждый из пьезопреобразователей связан с зеркалом через соответствующий толкатель, причем каждый из толкателей выполнен в виде рычага, установленного параллельно зеркалу и закрепленного шарнирно и консольно на неподвижном основании так, что он сопряжен с торцом соответствующего пьезопреобразователя. Свободный конец одного рычага контактирует с периферийной зоной зеркала в точке, лежащей на оси поворота рамки карданова подвеса, а свободный конец другого рычага контактирует с рамкой карданова подвеса, в котором установлено зеркало, кроме того, один упругий элемент связан с зеркалом, а другой - с рамкой карданова подвеса. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к системам сканирования, и может быть использовано в средствах оптической локации, а более конкретно в оптико-механических устройствах для управления оптическим лучом.
Широко известны устройства сканирования или отклонения оптических лучей, описанные в патенте US №6956683, G02В 26/08, опубл. 18.10.05, заявке РСТ №85/05464, G02В 26/10 опубл. 05.12.85, а.с. SU №1425577, G02В 26/10 опубл. 23.09.88, патенте RU №2258947, G02В 26/10, опубл. 20.08.05, заявке RU №2005117666, G02В 26/10 опубл. 20.12.06, содержащие зеркало с оправой, установленное на основании с помощью упругого элемента, и пьезокерамические приводы, выполненные в виде биморфных элементов.
Основным недостатком этих устройств является возможность разворота зеркала только вокруг одной оси вращения.
Известны двухкоординатные оптические дефлекторы (см. Патент GB №1559085, G02В 26/10, опубл. 09.08.75, a.c. SU №1674047, G02В 26/10 опубл. 30.08.91, a.c. SU №1569787, G02В 26/10, опубл. 07.06.90), содержащее зеркало с оправой и магнитоэлектрический привод.
Устройства такого типа имеют значительные габаритно-массовые характеристики, что обусловлено конструкцией магнитоэлектрического узла, используемого в двухкоординатном оптическом дефлекторе, и низкое быстродействие из-за малого момента электромагнитного привода.
Наиболее близким к предлагаемому изобретению является двухкоординатный оптический дефлектор, описанный в а.с. SU №1493973, G02В 26/10, опубл. 15.07.89. Указанное устройство содержит корпус (неподвижное основание), зеркало, установленное на шарнире опоры, две стопы биморфных пьезоэлементов (пьезопреобразователей), пластины которых закреплены в шарнирах и соединены между собой и зеркалом посредством толкателей, и два упругих элемента, выполненных в виде пружин. Стопы биморфных пьезоэлементов расположены параллельно по обе стороны от опоры, образуя между точками контакта толкателей с зеркалом и шарниром угол 90°, наиболее удаленные от зеркала пластины и два упругих элемента закреплены в корпусе.
К недостаткам пртотипа следует отнести восприимчивость устройства к вибрациям и внешним температурным воздействиям вследствие использования биморфных пьезоэлементов, а также низкую надежность конструкции из-за выполнения пьезопреобразователя в виде набора из многих пьезоэлементов с целью обеспечения разворота зеркала вокруг каждой из двух осей.
Задачей изобретения является создание оптического дефлектора с широкими функциональными возможностями, обеспечивающего двухкоординатное управление лучом и высокие технические характеристики в условиях воздействия внешних вибраций и перепадов температур.
Технический результат заявляемого изобретения заключается в повышении качества процесса сканирования, обеспечиваемого стабильностью рабочих характеристик оптического дефлектора.
Указанный результат заявляемого технического решения достигается тем, что в известном двухкоординатном оптическом дефлекторе, содержащем зеркало, установленное с возможностью поворота, а также два пьезопреобразователя и два упругих элемента, закрепленных на неподвижном основании, согласно изобретению каждый из пьезопреобразователей связан с зеркалом через соответствующий толкатель, каждый из которых выполнен в виде рычага, установленного параллельно зеркалу и закрепленного шарнирно и консольно на неподвижном основании так, что он сопряжен с торцом соответствующего пьезопреобразователя, причем свободный конец одного рычага контактирует с периферийной зоной зеркала в точке, лежащей на оси поворота рамки карданова подвеса, а свободный конец другого рычага контактирует с рамкой карданова подвеса, в котором установлено зеркало, кроме того, один упругий элемент связан с зеркалом, другой - с рамкой карданова подвеса. Каждый из пьезопреобразователей выполнен в виде керамического линейного актюатора.
Причинно-следственная связь между совокупностью существенных признаков и достигаемым результатом заключается в том, что имеет место:
- малая погрешность пьезопреобразователей, представляющих пьезокерамические линейные актюаторы,
- выполнение толкателей в виде рычагов, точность изготовления и сборка которых не оказывают влияния на погрешность разворота зеркала,
- форма, установка и взаимосвязь элементов, осуществляющих поворот зеркала, обеспечивают создание условий его устойчивого равновесия.
Благодаря совокупности указанных существенных признаков устройства достигается стабильность рабочих характеристик сканирования, синхронность функционирования каналов, надежный возврат зеркала в исходное положение и его устойчивое позиционирование.
Изложенная сущность заявляемого технического решения поясняется чертежами:
на фиг.1 представлена схема двухкоординатного оптического дефлектора,
на фиг.2 дана фронтальная проекция, разрез,
на фиг.3 изображен вид сбоку, разрез.
Двухкоординатный оптический дефлектор содержит зеркало 1 в оправе 2, размещенное в кардановом подвесе 3 с возможностью разворота вокруг двух взаимно перпендикулярных осей, упругие элементы 4 и 4' жестко установлены на базовом (неподвижном) основании 5, два пьезопреобразователя 6, 6', выполненные в виде керамических линейных актюаторов (многослойных элементов), и два рычага 7, 7', закрепленных шарнирно и консольно на основании 5. Рычаги 7, 7' установлены параллельно зеркалу 1 так, что каждый из них сопряжен с торцом соответствующего пьезопреобразователя 6, 6' на расстоянии, максимально приближенном к оси шарнира рычагов 7, 7'. Свободный конец одного из рычагов, например 7, контактирует с периферийной зоной основания 2 зеркала 1, а свободный конец рычага 7' контактирует с рамкой карданова подвеса 3. Упругие элементы 4, 4', в качестве которых используются пружины, работающие на сжатие и прижимающие к пьезопреобразователям 6, 6' через рычаги 7, 7', соответственно, основание зеркала 2 и рамку карданова подвеса 3.
Устройство работает следующим образом.
При подаче управляющего напряжения, например, на пьезокерамический актюатор 6 он удлиняется (т.к. происходит его расширение) и торцом давит в месте их сопряжения на пластину рычага 7, которая, преодолевая усилие пружины 4, через рычаг (шарнирно-рычажный механизм 7, обладающий определенным передаточным отношением) передает усилие зеркалу 1, которое поворачивается вокруг оси X. При снятии напряжения перемещение пьезопреобразователя 6 происходит в противоположную сторону (т.к. происходит его сжатие), и поворот зеркала 1 происходит за счет пружины 4. Отклонение зеркала 1 вызывает соответствующее отклонение направленного на него светового луча. Перемещения зеркала 1 по другой координате Y осуществляются аналогично описанному за счет взаимодействия пьезопреобразователя 6' с рычагом 7'. В результате элементы устройства, работающие независимо и синхронно, поворачивают зеркало 1 вокруг осей Х и Y на заданные углы сканирования.
При реализация изобретения отражающая поверхность зеркала 1 может быть выполнена из стекла, а его несущее основание - из композиционного материала с углеродосодержащей матрицей и углеродным наполнителем. Карданов подвес 3 изготавливается из стали по стандартной технологии и на стандартном оборудовании, шарнирно-рычажной механизм - из стали, а в качестве пьезокерамического линейного актюатора используют покупной элемент АПМ-1.
Таким образом, предлагаемое изобретение позволяет создать надежный оптико-механический прибор со стабильными характеристиками, на которые не влияют ни вибрации, ни температурные изменения, а его конструктивное исполнение обеспечивает его функционирование в обзорно-следящих системах.

Claims (2)

1. Двухкоординатный оптический дефлектор, содержащий зеркало, установленное с возможностью поворота, а также два пьезопреобразователя и два упругих элемента, закрепленных на неподвижном основании, при этом каждый из пьезопреобразователей связан с зеркалом через соответствующий толкатель, отличающийся тем, что каждый из толкателей выполнен в виде рычага, установленного параллельно зеркалу и закрепленного шарнирно и консольно на неподвижном основании так, что он сопряжен с торцом соответствующего пьезопреобразователя, причем свободный конец одного рычага контактирует с периферийной зоной зеркала в точке, лежащей на оси поворота рамки карданова подвеса, а свободный конец другого рычага контактирует с рамкой карданова подвеса, в котором установлено зеркало, кроме того, один упругий элемент связан с зеркалом, а другой - с рамкой карданова подвеса.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что каждый из пьезопреобразователей выполнен в виде керамического линейного актюатора.
RU2007119779/28A 2007-05-29 2007-05-29 Двухкоординатный оптический дефлектор RU2338231C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007119779/28A RU2338231C1 (ru) 2007-05-29 2007-05-29 Двухкоординатный оптический дефлектор

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007119779/28A RU2338231C1 (ru) 2007-05-29 2007-05-29 Двухкоординатный оптический дефлектор

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2338231C1 true RU2338231C1 (ru) 2008-11-10

Family

ID=40230440

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007119779/28A RU2338231C1 (ru) 2007-05-29 2007-05-29 Двухкоординатный оптический дефлектор

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2338231C1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2530788C1 (ru) * 2013-07-05 2014-10-10 Павел Николаевич Манташьян Механизм компенсатора наклонов волнового фронта
RU181166U1 (ru) * 2017-12-08 2018-07-05 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук (ИОА СО РАН) Двухкоординатный пьзокерамический корректор углов наклона волнового фронта
RU2695281C1 (ru) * 2018-06-13 2019-07-22 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук Устройство управления двухкоординатным пьезокерамическим оптическим дефлектором

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2530788C1 (ru) * 2013-07-05 2014-10-10 Павел Николаевич Манташьян Механизм компенсатора наклонов волнового фронта
RU181166U1 (ru) * 2017-12-08 2018-07-05 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук (ИОА СО РАН) Двухкоординатный пьзокерамический корректор углов наклона волнового фронта
RU181166U9 (ru) * 2017-12-08 2018-09-03 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук (ИОА СО РАН) Двухкоординатный пьезокерамический корректор углов наклона волнового фронта
RU2695281C1 (ru) * 2018-06-13 2019-07-22 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук Устройство управления двухкоординатным пьезокерамическим оптическим дефлектором

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100808619B1 (ko) 미세가공 투영 시스템에서 변형가능한 미러를 형상화하기위한 공압식 조절 시스템 및 방법
JP5086309B2 (ja) 支持すべき部材を固定及び調節する装置
JP2008504579A5 (ru)
JP4406549B2 (ja) 光変調素子及び光変調アレイ素子並びにそれを用いた露光装置
CN1934723A (zh) 定位器装置
US20060072217A1 (en) Apparatus for positioning an optical element in a structure
RU2338231C1 (ru) Двухкоординатный оптический дефлектор
JP2020522758A (ja) 調整装置
JP4465194B2 (ja) 固定構造体に対する物体の角方向位置を操るための装置
US7177031B2 (en) Grating array systems having a plurality of gratings operative in a coherently additive mode and methods for making such grating array systems
US20210141214A1 (en) Out-of-plane motion motor for carrying reflector and manufacturing method thereof
US7142352B2 (en) MEMS mirror with amplified motion
CN210108265U (zh) 实时读取位移转动信息的三自由度纳米定位平台
US7284459B2 (en) Remote center of rotation positioning device
RU2606520C1 (ru) Пьезоэлектрический двухкоординатный однозеркальный оптический дефлектор
JP2000009867A (ja) ステージ移動装置
JP4059479B2 (ja) 微小変位装置
CN100376362C (zh) 整体式三自由度微纳操作器
CN110243290B (zh) 通过光学干涉方法实时读取位移转动信息的三自由度纳米定位平台
RU2402795C1 (ru) Двухкоординатный пьезоэлектрический дефлектор
RU2297078C1 (ru) Позиционер трехкоординатный
JP2003195946A (ja) 微小変位装置
RU205497U1 (ru) Пьезоэлектрический двухкоординатный однозеркальный оптический дефлектор
JP2539787Y2 (ja) ミラー駆動用圧電アクチュエータ
RU2808492C1 (ru) Трехподвижный плоский механизм параллельной структуры

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20110530