JP4465194B2

JP4465194B2 - 固定構造体に対する物体の角方向位置を操るための装置

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Publication number: JP4465194B2
Application number: JP2003579008A
Authority: JP
Inventors: ベーバー、ウルリッヒ; ホルデラー、フベルト; ミュエンカー、ハルトムート
Original assignee: カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
Priority date: 2002-03-21
Filing date: 2003-03-18
Publication date: 2010-05-19
Anticipated expiration: 2023-03-18
Also published as: EP1485762A2; AU2003209739A1; JP2005521104A; AU2003209739A8; WO2003081337A3; WO2003081337A2; DE10212547A1

Description

本発明は、固定構造体に対する物体の角方向位置を一点で交差している３つの傾動軸線のまわりに操るための装置に関する。より詳細には、物体は、ミクロリソグラフィック投影レンズに配置された光学要素により構成されてもよい。

今日まで、一点で交差している３つの軸線のまわりの物体の傾動のためのジンバルベアリングのみが一般に知られており、これらの傾動軸線は複数の分割ギアに分割されている。これは、一般に１つの傾動軸線当り１つずつの複数の支持フレームが相互に嵌合されなければならなく、これは、異常な量の空間を不利に取ってしまう。技術の一般状態については、ＪＰ０００７３５９６３を参照すべきである。

分割ギアもまた、しばしば、ばねジョイントとして構成されている。これにより、ジンバルベアリングによって支持された物体は、外界に対して跳ね返され、振動されることができる。

また、分割ギアまたはばねが相互に前後してジンバルベアリングに嵌合される場合、物体が振動する固有振動数が大きくなる。かくして、特にミクロリソグラフィの分野に頻繁に要求される最小の固有振動数が、しばしば達成不可能である。

従って、本発明の目的は、非常に低い空間要件を有し、非常に剛性な構成、従って取付けられた物体の非常に高い固有振動数を許容する、一点で交差する３つの傾動軸線のまわりに物体を傾動するための装置を提供することである。

この目的は、請求項１によれば、物体が、それぞれ少なくとも２つの回転移動性および１つの並進移動性を有する３つの結束部材により固定構造体に連結されており、物体の角方向位置が、結束部材のうちのそれぞれ１つによって３つの傾動軸線のうちのそれぞれ１つのまわりに調整可能であることによって達成される。請求項２３によれば、上記目的は、光学要素が、それぞれ少なくとも２つの回転移動性および１つの並進移動性を有する３つの結束部材により固定構造体に連結されており、光学要素の角方向位置が、結束部材のうちのそれぞれ１つによって３つの傾動軸線のうちのそれぞれ１つのまわりに調整可能であることによって達成される。

本発明による手段によれば、物体は、一点で交差している３つの傾動軸線のまわりに簡単で有利な方法で傾動される。本発明による装置は、幾つかの支持フレームを省くことができるので、空間を非常に節約する設計で製造されることができる。更に、本発明による装置は、良好な剛性を生じる。これにより、望まれない振動を防ぎ、同時に、ミクロリソグラフィにおいて不可欠である物体の固有振動数を得る。物体の良好な接近性により、追加の非常に重要な利点が生じられる。

例えば、半導体素子の製造のためのミクロリソグラフィック投影レンズに使用されることができるような例示的な実施の形態を以下に説明する。投影レンズを有する映写照明装置が、例えば、ヨーロッパ特許第１０２２６１７Ａ２号に述べられている。

図１からわかるように、３つの結束部材３a、３ｂ、３ｃで固定構造体４に連結されている支持フレーム２には、物体１が装着されており、これらの結束部材３a、３ｂ、３ｃは、それぞれ移動性として３つの回転性および１つの並進性を有しており、かくして物体１を有する支持フレーム２の角方向位置は、それぞれ、結束部材３a、３ｂ、３ｃにより傾動軸線ｘ、ｙまたはｚのまわりに調整可能である。固定構造体４は、投影レンズ４ａ（図１に鎖線表示でのみ示されている）のハウジングに連結されている。物体１は、例えば、ビーム曲げミラーまたはプリズムであることができ、重大であることは、ほぼ正確な調整である。

図１には、傾動軸線ｘ、ｙ、ｚが一点で交差していることが示されている。

３つの結束部材３a、３ｂ、３ｃの夫々の並進移動のベクトルは、互いに線状に独立している。

ｘ−傾動角度は、結束部材３aの変位により調整され、ｙ−傾動角度は、結束部材３ｂの変位により調整され、ｚ−傾動角度は、結束部材３ｃの変位により調整される。かくして、一点で交差している３つの傾動軸線のまわりの支持フレーム２に取付けられた物体１の角方向位置の操りが、容易に可能になる。

更に、図１でわかるように、結束部材３a、３ｂ、３ｃは、傾動軸線のうちの１つｘ、ｙまたはｚの調整のために、夫々の結束部材３a、３ｂ、３ｃの少なくとも１つの部分要素６の並進調整のための調整機構５を有している。夫々の結束部材３a、３ｂ、３ｃの調整機構５の運動方向は、それらの並進移動と直交して延びている。

前記結束部材３a、３ｂ、３ｃの各々は、２つの部分要素６a、６ｂを有している。これらの要素は、ヒンジ７により互いに接合されている。部分要素６ｂは、ボールジョイント８により支持フレーム２に連結されている。支持フレーム２から離れて面した部分要素６aは、固定構造体４に連結されており、調整機構５によって目的をもって固定構造体４内において並進運動で移動されることができる。

更に、図１からわかるように、前記調整機構５は、調整手段１０によって目的をもって並進運動で移動されることができるＺ形摺動ブロック９を有している。調整手段１０は、例えば、手動式、モータ駆動式、油圧式、電磁式、圧電式または磁気歪式手段により移動されることができる。この例示的な実施の形態では、調整手段は、止めねじ１０として構成されている。止めねじ１０の並進移動は、図１に矢印１１で示されている。

ボールジョイントの中心点およびヒンジ７の軸線は、それぞれ平面を広げており、夫々の結束部材３a、３ｂ、３ｃの並進運動は夫々の平面に対して直交する方向に配向されている。

摺動ブロック９には、止めねじ１０の変位を摺動ブロック９に伝達するための接触面１２が装着されている。固定構造体４は、形状および寸法が摺動ブロック９と合致され、摺動ブロック９を受入れるための凹部１３を有している。摺動ブロック９は、それらの接触面１２に作用する止めねじ１０によってそれらが並進的に調整可能であるように、固定構造体４の凹部１３に導入されることができる。

更に、図１からわかるように、結束部材３a、３ｂ、３ｃの各々のヒンジ７の軸線は、それぞれ調整機構５の並進運動方向と少なくともほぼ平行に配置されている。

結束部材３aは、これと支持フレーム２との接触点がｙ−傾動軸線およびｚ−傾動軸線により広げられた平面に位置するように配置されている。この場合、結束部材３aの並進移動は、ｙ−傾動軸線およびｚ−傾動軸線により広げられた平面と直交する方向に配向されている。ｘ−傾動角度の調整は、結束部材３aと固定構造体４との接触点の変位により行われ、この変位の方向は、ｙ−傾動軸線およびｚ−傾動軸線により広げられた平面と平行であって、ｘ−傾動軸線と交差しない成分を有している。この変位は、止めねじ１０により調整される。

結束部材３ｂは、これと支持フレーム２との接触点がｚ−傾動軸線およびｘ−傾動軸線により広げられた平面に位置するように配置されている。この場合、結束部材３ｂの並進移動性は、ｚ−傾動軸線およびｘ−傾動軸線により広げられた平面と直交する方向に配向されている。ｙ−傾動角度の調整は、結束部材３ｂと固定構造体４との接触点の変位により行われ、この変位の方向は、ｚ−傾動軸線およびｘ−傾動軸線により広げられた平面と平行であって、ｙ−傾動軸線と交差しない成分を有している。この変位も、止めねじ１０により調整される。

結束部材３ｃは、これと支持フレーム２との接触点がｘ−傾動軸線およびｙ−傾動軸線により広げられた平面に位置するように配置されている。この場合、結束部材３ｃの並進移動性は、ｘ−傾動軸線およびｙ−傾動軸線により広げられた平面と直交する方向に配向されている。ｙ−傾動角度の調整は、結束部材３ｃと固定構造体４との接触点の変位により行われ、この変位の方向は、ｘ−傾動軸線およびｙ−傾動軸線により広げられた平面と平行であって、ｚ−傾動軸線と交差しない成分を有している。この場合も同様に、この変位は、止めねじ１０により調整される。

結束部材３a、３ｂ、３ｃは、設計が非常に異なることができるが、常に共通して３つの回転移動性および１つの並進移動性を有している。しっかしながら、回転移動性は、必ずしも結束部材３a、3ｂ、3ｃと支持フレーム２との接触点に関連されなければならないとは限らない。この種類の回転移動性では、結束部材３a、3ｂ、3ｃと支持フレーム２との接触点は、この回転移動性の支点がもはや接触点にないので、回転運動を行なう。

図２は、２つのボールジョイント８により互いに接合されている２つの部分要素６ｃ、６ｄを有するこの種類の結束部材３ｄを示している。この細長い部分要素６ｃは、図１にすでに示されるように、Ｚ形摺動ブロック９により固定構造体４に連結されている。部分要素６eは、２つのボールジョイント８により接触プレート１５を介して支持フレーム２に留められている２つのロッド１４を有している。接触プレート１５なしの支持フレーム２への直接連結もまた、もちろん考えられる。この場合、ボールジョイントの接触点間の支持フレーム２の接触領域は、結束部材３ｄの一部とみなされてもよい。

この結束部材３ｄの場合、回転移動性の軸線１６a、１６ｂ、１６ｃは、いずれの点でも交差しない。垂直な回転軸線１６aは、接触プレート１５上の２つのボールジョイント８の中心点を通っている。水平な回転軸線１６ｂは、ロッド14間の角度二等分線上の２つのロッド１４により広げられた平面に位置している。水平の回転軸線１６ｃは、２つのロッド１４により広げられた平面と直交するロッド１４の（鎖線表示で示される）延長線の交差点を通っている。

この場合、結束部材３ｄは、支持フレーム２とのそれらの接触点（ここでは、接触プレート１５上のボールジョイント８）が、夫々の結束部材３ｄにより調整されない２つの傾動軸線ｘ、ｙ、ｚ(図１参照)によりそれぞれ広げられた平面にそれぞれ位置するように、嵌合されなければならない。

図３は、ソリッドステートジョイントまたはばねジョイント１７を備えて構成される結束部材３eを示している。この結束部材３eは、簡単で有利な方法で一体の構成で製造されることができる。板ばね１７aが、結束部材３eの部分要素６ｆを支持フレーム２に連結しており、そして支持フレーム２における、軸線１８の方向の並進および部分要素６ｆに対する軸線１６a、１６ｂ、１６ｃのまわりの回転を許容している。板ばね１７ｂが、部分要素６ｆを固定構造体４に連結している、一方、板ばね１７ｃが、固定構造体４に固定的に設けられたアクチュエータ１９への部分要素６ｆの連結をおこなっている。

このアクチュエータ１９は、静止位置において、その端部により板ばね１７ｃを取着しており、傾動角度の調整のために、板ばね１７ｃに連結されている結束部材３eの部分要素６eに明記された矢印方向１１の変位を与える。この目的で、部分要素６eは、これにアクチュエータ１９の変位を伝達するための接触面２０を有している。

回転軸線１６ｃは、板ばね１７ｂ、１７ｃの中心線の交差点から得られる瞬間の回転中心を通っている。

図４Ａ、４Ｂには、本発明の更なる構成の実施の形態が示されており、この実施の形態では、光学要素、この場合、プリズム１を、点ＰＯで交差している３つの傾動軸線ｘ、ｙ、ｚのまわりに傾動することができる。

プリズム１は、３つの結束部材３ｆ、３ｇ、３ｈにより固定構造体４に連結されたしじフレーム２に装着されている。ここでも、固定構造体４は、（例えば図１に鎖線表示でのみ示される）投影レンズ４ａのハウジングに連結されることができる。

各結束部材３ｆ、３ｇ、３ｈには、夫々の角度の傾動を許容する調整機構５が一体化されている。かくして、プリズム１は、結束部材３ｆの調整により傾動軸線ｘのまわりに、結束部材３ｇの場合には傾動軸線ｙのまわりに、結束部材３ｈの場合には傾動軸線ｚのまわりに、傾動されることができる。

一般に、支持フレーム２と接触している各結束部材３ｆ、３ｇ、３ｈは、並進移動性および３つの回転移動性を有していなければならなく、変更例として、回転移動性は、支持フレーム２と接触しての旋回移動性で置き換えられる。

支持フレーム２との結束部材３ｆの接触点は、結束部材３ｇ、３ｈによって調整される２つの傾動軸線により広げられた平面に位置する。結束部材３ｆの並進移動性は、この平面と直交する方向にある。

支持フレーム２との結束部材３ｇの接触点は、結束部材３ｈ、３ｆによって調整される２つの傾動軸線により広げられた平面に位置する。結束部材３ｇの並進移動性は、この平面と直交する方向にある。

支持フレーム２との結束部材３ｈの接触点は、結束部材３ｆ、３ｇによって調整される２つの傾動軸線により広げられた平面に位置する。結束部材３ｈの並進移動性は、この平面と直交する方向にある。

図５は、結束部材３ｈを拡大表示で示している。引用例では、軸線１８ｃに沿った並進および回転軸線１６aのまわりおよび回転軸線１６ｂのまわりの回転は、これらの方向に可撓性である板ばね１７ｄにより可能にされている。第３の回転または旋回運動のために、板ばねが「板ばね４バー機構」１７eとして配置されており、この「板ばね４バー機構」の瞬間の回転中心に、回転軸線１６ｃのまわりの回転移動性、かくして支持フレーム２と接触状態での対応する旋回移動性が得られるようになっている。

調整機構５が全く傾動されないならば、並進移動性は、結束部材３ｈと他の２つの結束部材３ｆ、３ｇとの組合せで支持フレーム２をプリズム１と共に静的に決定的な方法で支持するために結束部材３ｈにより軸線１８a、１８ｂに沿って確保されるべきである。

前記連結部材３ｆ、３ｇ、３ｈの各々は、２つの部分要素または結束ブロック６ｇ、６ｈを有している。

前記調整機構５によれば、支持フレーム２に連結された可動の結束ブロック６ｈは、固定構造体４に連結された固定結束ブロック６ｇに対して移動される。

ここでは、可動の結束ブロック６ｈは、軸線１８ａに沿って移動するか、回転軸線１６ｃと平行な軸線のまわりに回転するように、固定結束ブロック６Ｇに対して板ばね１７ｇにより支持されている。

固定結束ブロック６ｇに対する可動の結束ブロック６ｈの移動により、プリズム１を伴った支持フレーム２の傾動運動がトリガーされる。

調整レバー２１が、４バー機構の瞬間の回転中心の場合同様に、板ばね１７ｈの中心線の交差点のまわりに回転するように、板ばね１７ｈにより固定結束ブロック６ｇに支持されている。

調整レバー２１は、止めねじ１０で回動されることができ、この運動は、板ばね１７ｆで可動の結束ブロック６ｈに伝達され、それによりプリズム１を伴った支持フレーム２の傾動運動を生じる。

可動の結束ブロック６ｈが、それぞれ所望のｘ−、ｙ−またはｚ−傾動軸線ｘ、ｙ、ｚのまわりに旋回するように固定結束ブロック６および固定構造体４に対して設けられているなら、回転軸線１６ｃのまわりに板ばね４バー機構１７eにより構成された枢動ジョイントが、省かれることができる（図６）。この場合、結束部材３i、３ｊ、３ｋは、支持フレーム２との接触状態において、１つの並進移動性およびたった２つの回転移動性または旋回移動性を有する。

結束部材３ｋは、支持フレーム２との接触状態において、例えば、その調整機構５が作動されていないなら、軸線１８ｃに沿った１つの並進移動性と、回転軸線１６aのまわりの１つの回転移動性および回転軸線１６ｂのまわりの１つの回転移動性とを有する。

この場合、可能の結束ブロック６ｈは、その瞬間の回転中心が所望の傾動軸線に位置するように、板ばね１７ｇによって結束ブロック６ｇに支持されている。このためには、これらの板ばね１７ｇの（図６に鎖線表示で示されている）中心線が、例えば、点ＰＯのところで、或いは所望の回転軸線上で交差しなければならない。

これは、例として結束部材３ｋおよびその所望の傾動軸線ｚについて図６に表されている。

装置の追加の剛化を生じる、回転軸線１６ｃのまわりの枢動または旋回ジョイントの省略により、プリズム１の望まれない振動の受け易さが低減される。

図３にすでに示された結束部材３eに基づいた更なる構成の実施の形態が、結束部材３ｌ、３ｍ、３ｎと共に図７に示されている。

例えば、図８において、結束部材３ｎに関しては、軸線１８ｃに沿った並進移動性および回転軸線１６a、１６ｂのまわりの回転移動性が、維持部材２との接触状態において板ばねジョイント１７iによって可能にされる。

調整機構５が作動すると、可動の結束ブロック６ｊが、軸線１８aに沿った並進運動で移動し、回転軸線１６ｃのまわりに回転するように、板ばねジョイント１７ｊが、板ばねジョイント１７ｋとの組合せで可動の結束ブロック６ｊを固定結束ブロック６iに連結している。

その場合、この変位と回転との組合せで、点ＰＯを通る傾動軸線ｚのまわりのプリズム１の傾動が行なわれる。

変位は、止めねじ１０により、板ばねジョイント１７ｌおよび板ばねジョイント１７ｋで固定結束ブロック６iに回転可能に留められた調整レバー２２を介して可動の結束ブロック６ｊに伝達される。

本発明による装置の斜視図である。ボールジョイント、ロッドおよび摺動ブロックを有する結束部材の具体例の斜視図である。ソリッドステートジョイントまたは板ばねを有する結束部材の一体の具体例の斜視図である。図５により詳細に示される、支持フレームに装着されたプリズムおよび結束部材を有する本発明による装置の第２の実施の形態の斜視図である。図４Ａに示される装置の更なる斜視図である。ソリッドステートジョイントまたは板ばねを有する結束部材の更に別の具体例の斜視図である。支持フレームに装着されたプリズムを有する本発明による装置の第３の実施の形態の側面図である。図８により詳細に示される、支持フレームに装着されたプリズムおよび結束部材を有する本発明による装置の第４の実施の形態の斜視図である。ソリッドステートジョイントまたは板ばねを有する結束部材の更に別の具体例の斜視図である。

Claims

固定構造体に対する物体の角方向位置を一点で交差している線形に独立した３つの傾動軸線のまわりに操るための装置において、
前記物体（１）は、それぞれ少なくとも２つの回転移動性および１つの並進移動性を有する３つの結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）により固定構造体（４）に連結されており、前記物体（１）の角方向位置は、前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、n）のうちのそれぞれ1つを前記並進移動性の方向へ並進移動させることによって、互いに異なる前記３つの傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちのそれぞれ１つのまわりに調整可能であることを特徴とする装置。
前記物体（１）は、それぞれ３つの回転移動性および１つの並進移動性を有する３つの結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）により固定構造体（４）に連結されており、前記物体（１）の角方向位置は、前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）のうちのそれぞれ１つにより３つの傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちのそれぞれ１つのまわりに調整可能であることを特徴とする請求項１に記載の装置。
前記物体（１）は、支持フレーム（２）に装着されており、この支持フレーム（２）は、３つの結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）により固定構造体（４）に連結されており、前記支持フレーム（２）の角方向位置は、前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）のうちのそれぞれ１つにより３つの傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちのそれぞれ１つのまわりに調整可能であることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
前記の３つの結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の夫々の並進移動性のベクトルは、互いに線状に独立していることを特徴とする請求項１、２または３に記載の装置。
前記３つの傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちの１つを調整するために、前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）は、少なくともほぼ、物体（１）および支持フレーム（２）とのそれらの接触点が、他の２つの結束部材により調整可能である傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）によりそれぞれ広げられた平面に位置するように、それぞれ配置されており、各結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の並進移動性は、この平面と少なくともほぼ直交する方向に配向されていることを特徴とする請求項３または４に記載の装置。
前記３つの傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちの１つの調整のために、夫々の結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）と固定構造体（４）との接触点は、それぞれ、変位方向が他の２つの結束部材により調整可能である傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）によりそれぞれ広げられた平面と少なくともほぼ平行であって、調整すべき傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）と交差しない成分を有するように、変位可能であることを特徴とする請求項１ないし５のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記３つの傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちの１つの調整のために、夫々の結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）は、それらの各々の少なくとも１つの部分要素（６a、ｂ、ｃ、・・・、j）の並進調整のための調整機構（５）を有していることを特徴とする請求項１ないし６のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の各々は、少なくとも１つのジョイント部材（７、８、１７a、１７ｂ、１７ｃ、・・・、１７ｌ）により互いに接合されている少なくとも２つの部分要素（６a、６ｂ）を有しており、各結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の部分要素（６a、６ｂ、６ｃ、・・・、６j）のうちの１つは、少なくとも１つのジョイント部材（７、８、１７a、１７ｂ、１７ｃ、・・・、１７ｌ）により支持フレーム（２）に留められており、支持フレーム（２）から離れて面した部分要素（６a、６ｂ、６ｃ、・・・、６j）は、固定構造体（４）に連結されていて、その中で調整機構（５）により並進運動で移動可能であることを特徴とする請求項３ないし７のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の調整機構（５）の運動方向は、前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の夫々の並進移動性とほぼ直交する方向に配向されていることを特徴とする請求項８に記載の装置。
前記調整機構（５）は、調整手段（１０）によって並進運動で移動されることができることを特徴とする請求項７、８または９に記載の装置。
前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の各々は、その軸線がジョイント部材（７、８、１７a、１７ｂ、１７ｃ、・・・、１７ｌ）および調整機構（５）の中心点を通って延びている状態で、物体（１）および支持フレーム（２）の角方向位置を操ろうとする際の中心としての傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちの１つと平行に整合されていることを特徴とする請求項８、９または１０に記載の装置。
前記調整機構（５）は、摺動ブロック（９）を備えていることを特徴とする請求項７ないし１１のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記摺動ブロック（９）は、Ｚ形の形状のものであることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
前記摺動ブロック（９）は、これら摺動ブロック（９）に前記調整手段（１０）の運動を伝達させるための接触面（１２）を有していることを特徴とする請求項１２または１３に記載の装置。
前記調整手段は、摺動ブロック（９）が並進的に調整可能であるように、摺動ブロック（９）の接触面（１２）に作用する止めねじ（１０）として構成されていることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
前記固定構造体（４）は、形状および寸法が調整機構（５）に合致され、調整機構（５）を受入れるための凹部（１３）を有していることを特徴とする請求項７ないし１５のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記Ｚ形摺動ブロック（９）は、これらが止めねじ（１０）によって並進的に調整可能であるように、固定構造体（４）の凹部（１３）に導入されることができることを特徴とする請求項１６に記載の装置。
前記ジョイント部材は、ボールジョイント（８）として構成されていることを特徴とする請求項８ないし１６のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記ジョイント部材は、ヒンジ（７）として構成されていることを特徴とする請求項８ないし１６のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記ジョイント部材は、ソリッドステートジョイント（１７a、１７ｂ、１７ｃ、・・・、１７ｌ）として構成されていることを特徴とする請求項８ないし１６のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の各々のヒンジ（７）の軸線は、それぞれ、調整機構（５）の並進運動方向と少なくともほぼ平行に配置されていることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
前記ソリッドステートジョイントは、板ばね（１７a、ｂ、ｃ、・・・、ｌ）として構成されていることを特徴とする請求項２０に記載の装置。
固定構造体に対する、ミクロリソグラフィック投影レンズに配置された光学要素の角方向位置を一点で交差している線形に独立した３つの傾動軸線のまわりに操るための装置において、
前記光学要素（１）は、それぞれ少なくとも２つの回転移動性および１つの並進移動性を有する３つの結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）により固定構造体（４）に連結されており、前記光学要素（１）の角方向位置は、結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）のうちのそれぞれ１つを前記並進移動性の方向へ並進移動させることによって、互いに異なる前記３つの傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちのそれぞれ１つのまわりに調整可能であることを特徴とする装置。
前記光学要素（１）は、それぞれ３つの回転移動性および１つの並進移動性を有する３つの結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）により固定構造体（４）に連結されており、前記光学要素（１）の角方向位置は、３つの傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちのそれぞれ１つのまわりに結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）のうちのそれぞれ１つによって調整可能であることを特徴とする請求項２３に記載の装置。
前記光学要素（１）は、支持フレーム（２）に装着されており、この支持フレーム（２）は、３つの結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）により固定構造体（４）に連結されており、前記支持フレーム（２）の角方向位置は、前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）のうちのそれぞれ１つにより３つの傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちのそれぞれ１つのまわりに調整可能であることを特徴とする請求項２３または２４に記載の装置。
前記光学要素は、ミラー（１）として構成されていることを特徴とする請求項２３、２４または２５に記載の装置。
前記光学要素は、プリズム、ビーム分割プリズムまたはレンズ（１）として構成されていることを特徴とする請求項２３、２４または２５に記載の装置。
前記固定構造体（４）は、投影レンズ（４ａ）のハウジングに連結されていることを特徴とする請求項２３ないし２７のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の夫々の並進移動性のベクトルは、互いに線状に独立していることを特徴とする請求項２３ないし２８のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記３つの傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちの１つを調整するために、前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）は、少なくともほぼ、支持フレーム（２）とのそれらの接触点が、他の２つの結束部材により調整可能である傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）によりそれぞれ広げられた平面に位置するように、それぞれ配置されており、各結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の並進移動性は、この平面と少なくともほぼ直交する方向に配向されていることを特徴とする請求項２５ないし２９のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記３つの傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちの１つの調整のために、夫々の結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）と固定構造体（４）との接触点は、それぞれ、変位方向が他の２つの結束部材により調整可能である傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）によりそれぞれ広げられた平面と少なくともほぼ平行であって、調整すべき傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）と交差しない成分を有するように、変位可能であることを特徴とする請求項２３ないし３０のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記３つの傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちの１つの調整のために、夫々の結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）は、それらの各々の少なくとも１つの部分要素（６a、ｂ、ｃ、・・・、j）の並進調整のための調整機構（５）を有していることを特徴とする請求項２３ないし３１のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の各々は、少なくとも１つのジョイント部材（７、８、１７a、１７ｂ、１７ｃ、・・・、１７ｌ）により互いに接合されている少なくとも２つの部分要素（６a、６ｂ）を有しており、各結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の部分要素（６a、６ｂ、６ｃ、・・・、６j）のうちの１つは、少なくとも１つのジョイント部材（７、８、１７a、１７ｂ、１７ｃ、・・・、１７ｌ）により支持フレーム（２）に留められており、支持フレーム（２）から離れて面した部分要素（６a、６ｂ、６ｃ、・・・、６j）は、固定構造体（４）に連結されていて、その中で調整機構（５）により並進運動で移動可能であることを特徴とする請求項２５ないし３２のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の調整機構（５）の運動方向は、前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の夫々の並進移動性とほぼ直交する方向に配向されていることを特徴とする請求項３３に記載の装置。
前記調整機構（５）は、調整手段（１０）によって並進運動で移動されることができることを特徴とする請求項３２、３３または３４に記載の装置。
前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の各々は、その軸線がジョイント部材（７、８、１７a、１７ｂ、１７ｃ、・・・、１７ｌ）および調整機構（５）の中心点を通って延びている状態で、光学要素（１）を有する支持フレーム（２）の角方向位置を操ろうとする際の中心としての傾動軸線（ｘ、ｙ、ｚ）のうちの１つと平行に整合されていることを特徴とする請求項３３、３４または３５に記載の装置。
前記調整機構（５）は、摺動ブロック（９）を備えていることを特徴とする請求項３２ないし３６のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記摺動ブロック（９）は、Ｚ形の形状のものであることを特徴とする請求項３７に記載の装置。
前記摺動ブロック（９）は、これら摺動ブロック（９）に調整手段（１０）の運動を伝達させるための接触面（１２）を有していることを特徴とする請求項３７または３８に記載の装置。
前記調整手段は、摺動ブロック（９）が並進的に調整可能であるように、摺動ブロック（９）の接触面（１２）に作用する止めねじ（１０）として構成されていることを特徴とする請求項３５に記載の装置。
前記固定構造体（４）は、形状および寸法が調整機構（５）に合致され、調整機構（５）を受入れるための凹部（１３）を有していることを特徴とする請求項３２ないし４０のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記Ｚ形摺動ブロック（９）は、これらが止めねじ（１０）によって並進的に調整可能であるように、固定構造体（４）の凹部（１３）に導入されることができることを特徴とする請求項４１に記載の装置。
前記ジョイント部材は、ボールジョイント（８）として構成されていることを特徴とする請求項３３ないし４２のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記ジョイント部材は、ヒンジ（７）として構成されていることを特徴とする請求項３３ないし４２のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記ジョイント部材は、ソリッドステートジョイント（１７a、１７ｂ、１７ｃ、・・・、１７ｌ）として構成されていることを特徴とする請求項３３ないし４２のうちのいずれか１つの項に記載の装置。
前記結束部材（３a、ｂ、ｃ、・・・、ｎ）の各々のヒンジ（７）の軸線は、それぞれ、調整機構（５）の並進運動方向と少なくともほぼ平行に配置されていることを特徴とする請求項４４に記載の装置。
前記ソリッドステートジョイントは、板ばね（１７a、１７ｂ、１７ｃ、・・・、１７ｌ）として構成されていることを特徴とする請求項４５に記載の装置。