JP2008259045A - 撮像装置、撮像システム、その制御方法及びプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】コスト増大や大型化することなく、変換素子にバイアスを印加した直後であっても良好な撮影が行える撮像装置を提供する。
【解決手段】変換素子にバイアスを印加してから画像を取得する撮影を開始するまでのアイドリング時間及び撮影における蓄積時間を計測し、計測されたアイドリング時間及び蓄積時間と、記憶されている暗電流応答特性とから算出される撮影における暗電流蓄積電荷量を用いて、撮影にて取得された画像のオフセット補正を行うようにして、変換素子にバイアスを印加した直後であっても、適切にオフセット補正を行うことができるようにする。
【選択図】図１

Description

本発明は、撮像装置、撮像システム、その制御方法及びプログラムに関し、撮影した画像に係るオフセット補正技術に関する。

従来、写真といえば光学カメラと銀塩フィルムを使用した銀塩写真が大半を占めていた。半導体技術が発達するのに伴い、ＣＣＤ型センサやＭＯＳ型センサに代表されるシリコン（Ｓｉ）単結晶センサを用いた固体撮像素子を用いてビデオカムコーダのような動画像を撮影できる撮像装置が発達してきている。しかし、これら固体撮像素子を用いた撮像装置により得られる画像は、画素数においてもＳＮ比においても銀塩写真にはかなわず、静止した画像を写し込むには銀塩写真を使用するのが普通であった。

それに対して、近年、コンピュータによる画像処理、電子ファイルによる保存、電子メールによる画像の伝送等の要求が高まり、銀塩写真画像に劣らない撮影画像をディジタル信号として出力する電子撮像装置が望まれている。一般の写真のみならず検査や医療の分野でも同じことがいえる。

例えば、医療の分野において写真技術を使うものとしてはＸ線写真がある。Ｘ線写真は、Ｘ線源により発生されたＸ線を被写体である人体の患部に照射し、その透過の情報をもって骨折や腫瘍の有無等を判断するために用いられ、長い間医療の診断に広く使われている。通常、患部を透過したＸ線は、一度蛍光体に入射させ可視光に変換された後に銀塩フィルムに露光される。

しかし、銀塩フィルムは、感度が良く、また解像度が高いという長所があるものの、現像に時間がかかる、保存及び管理に手間がかかる、遠隔地にすぐ送れない等の短所がある。そのため、前述したように銀塩写真画像に劣らない撮影画像をディジタル信号として出力する電子Ｘ線撮像装置が望まれている。これは、医療分野にかかわらず、構造物などの検体の非破壊検査分野などでも同様である。

この要望に対し、水素化アモルファスシリコンの光電変換素子を有する撮像素子を２次元に配列した大型センサを用いた撮像装置（Flat Panel Detector、以下「ＦＰＤ」と略す。）の開発が行われている。ＦＰＤは、光電変換素子に逆方向の電界を印加すると半導体層に入射した光量に応じた光電流が流れることを利用したものである。

ＦＰＤは、例えばおよそ一辺が３０〜５０ｃｍの絶縁基板上にスパッタ装置や化学的気相堆積装置（ＣＶＤ装置）等を使用し金属層やアモルファスシリコン層等を堆積し、光電変換素子（フォトダイオード）や薄膜トランジスタ（以下、「ＴＦＴ」）を形成する。これにより、例えばおよそ２０００×２０００個の光電変換素子を形成しそれらに逆バイアスの電界を印加するとともに、同時に作り込んだＴＦＴによりそれら個々の光電変換素子の逆方向に流れた電荷を個々に検知できるようにしたものである。

しかしながら、ＦＰＤは、光をまったく当てない状態でもいわゆる暗電流と呼ばれる電流が流れてしまい、これが画像にアーティファクトを発生させてしまう。さらに、暗電流は、ショットノイズとしても画像に影響を及ぼし装置全体の検知能力、つまり感度（ＳＮ比）を低下させる要因の１つになっている。これは医療の診断や検査の判断に悪影響を及ぼすことがある。例えば、このノイズが原因で病巣や不良箇所を見落としたら問題であることは言うまでもない。したがって、この暗電流をいかに減少させるかは重要である。

また、ＦＰＤにおける暗電流は、図１１に示すような時間的な応答特性を持っている。図１１に示すように、暗電流は、光電変換素子にバイアスを印加した直後が最も大きく、時間の経過とともに徐々に減少（安定）してくる。
この原因として、以下の２つが考えられている。

１つは、一般に、アモルファスシリコン半導体を主たる材料として光電変換素子を形成する場合には、アモルファス半導体膜中のダングリングボンドや作成過程で混入した不純物により欠陥準位が形成される。それらは、トラップ準位として働き、バイアスを印加した直後あるいは印加する前においても、電子又は正孔をトラップしており、数ミリ秒〜数十秒間の時間を経てから、伝導帯又は価電子帯に熱的に励起され、伝導電流（暗電流）が流れる。

ここで、ＭＩＳ（metal insulator semiconductor）型光電変換素子の場合には、半導体層（Ｉ層）と注入阻止層（例えばＮ層）との界面部分は、特にトラップ準位が多いと言われている。アモルファス半導体膜を用いずに、結晶型のＭＩＳ型光電変換素子を用いる場合には、作成するプロセス条件や装置にも依存するが、アモルファス半導体膜を用いた場合ほどトラップ準位は多くないと言われる。しかし、半導体層（Ｉ層）と注入阻止層（例えばＮ層）との界面部分は、結晶格子のミスマッチが多く、トラップ準位は零ではなく、図１１で示した光電変換素子の出力の傾向をもつ。

もう１つの原因は、注入阻止層の特性に関係しているものであると考えられている。例えば、注入阻止層をＮ型のアモルファスシリコンで構成した場合には、理想的には、正孔を半導体層側に注入することはない。しかしながら、現実には、特にアモルファスの場合には、Ｎ層が正孔を完全にブロックすることはない。Ｎ層を通って半導体層（Ｉ層）に注入した正孔はダーク電流になる。正孔は半導体層（Ｉ層）と絶縁層との界面に蓄えられ、Ｉ層の内部電界は正孔の蓄積と共に緩和される。その電界の緩和とともにＮ層からＩ層に注入される正孔の量が減少するため、暗電流が減衰する。

また、アモルファスシリコンを材料にもつＰＩＮ型光電変換素子も、ＭＩＳ型光電変換素子と同様に、バイアスを印加してから暗電流が安定するまでに一定時間を要する。これは、膜中に存在する欠陥準位に起因するものと考えられる。
また、同様に、放射線を吸収して直接電気信号に変換するアモルファスセレン、ヒ素化ガリウム、ヨウ化水銀、ヨウ化鉛、テルル化カドミウムも同様に暗電流が安定するまでに一定時間を要する。

このような時間に依存する暗電流の応答をなくす方法として、光電変換素子に常にバイアスを印加し続ける方法がある。しかし、光電変換素子にバイアスを印加し続けると流れる電流により半導体内の欠陥を増加させ徐々に特性が劣化し、暗電流の増加や光電流が低下する等の現象として現れる。また、バイアスの印加により電界が印加され続けると欠陥の増加のみならず、イオンの移動や電気分解によりＴＦＴの閾値の移動や配線に使われている金属の腐食の原因になり装置全体の信頼性の低下につながることがある。医療機器や検査機器の製品化において信頼性の低下は望ましいことではない。例えば、緊急を要する診断・治療あるいは検査を行っているときに故障することはあってはならないことである。そのため、使用しないときは光電変換素子を動作させない設計が施される必要がある。

また、ＦＰＤは、フィルムを用いた撮影と異なり、撮影直後に撮影画像をモニタに表示して診断を行うことが可能であるため、緊急医療などのように短時間で撮影及び診断を行う現場での使用が期待されている。しかし、前述したような光電変換素子の暗電流には時間に依存した応答特性があるため、光電変換素子にバイアスを印加した直後は暗電流が大きくアーティファクト及びノイズが発生するため画質が劣化する。

そのため、下記特許文献１では、暗電流の応答が落ち着いてからＸ線撮影を行う。また、Ｘ線撮影後又はＸ線撮影前にＸ線を照射しないオフセット画像を撮影してＸ線撮影により得られたＸ線画像との差分をとることにより、Ｘ線画像の暗電流成分を除去する（以下、オフセット補正と記す）などしている。前者は、光電変換素子にバイアスを印加してから一定時間待たなければならないため、緊急時には使用することができず操作性が悪いという問題がある。また、後者では、光電変換素子にバイアスを印加した直後は、暗電流が大きいために、差分を取っても完全には暗電流成分を除去できないという問題がある。

また、下記特許文献２では、メモリに単位時間当たりの暗電流（ノイズ量データ）を記憶するようにしている。そして、蓄積時間計時回路により計時した撮影時の蓄積時間と単位時間当たりのノイズ量データから蓄積ノイズ量データを算出し、Ｘ線画像から減算することによりオフセット補正を行っている。しかしながら、前述したように暗電流は光電変換素子にバイアスを印加してからの時間に依存した応答特性を有するため、Ｘ線画像から暗電流成分を完全に減算することができないという問題がある。

また、下記特許文献３では、ＬＥＤやＥＬ等の光源を用いて光電変換素子に光を照射することにより暗電流を安定化させているが、光源を搭載しなければならず、ＦＰＤのコストアップや大型化などを招く。

特開平９−２９４２２９号公報 特開平９−１３１３３７号公報 特開２００２−０４０１４４号公報

本発明は、コスト増大や大型化することなく、変換素子にバイアスを印加した直後であっても良好な撮影が行える撮像装置を提供することを目的とする。

本発明の撮像装置は、放射線又は光を電気信号に変換するための変換素子が基板上にアレイ状に複数配列された撮像手段と、前記変換素子にバイアスを印加してからの前記撮像手段に係る暗電流応答特性を記憶する記憶手段と、前記変換素子にバイアスを印加してから前記撮像手段により画像を取得する撮影を開始するまでのアイドリング時間を計測する第１の時間計測手段と、前記撮影における蓄積時間を計測する第２の時間計測手段と、前記記憶手段に記憶されている暗電流応答特性と、前記第１の時間計測手段により計測されたアイドリング時間と、前記第２の時間計測手段により計測された蓄積時間とから算出される前記撮影における暗電流蓄積電荷量を用いて、前記撮影にて取得された画像のオフセット補正を行う画像処理手段とを備えることを特徴とする。
本発明の撮像システムは、前記撮像装置と、放射線を発生する放射線発生装置とを有することを特徴とする。
本発明の撮像装置の制御方法は、放射線又は光を電気信号に変換するための変換素子が基板上にアレイ状に複数配列された撮像手段と、前記変換素子にバイアスを印加してからの前記撮像手段に係る暗電流応答特性が記憶された記憶手段とを備える撮像装置の制御方法であって、前記変換素子にバイアスを印加してから、前記撮像手段により画像を取得する撮影を開始するまでのアイドリング時間を計測する第１の時間計測工程と、前記撮影における蓄積時間を計測する第２の時間計測工程と、前記記憶手段に記憶されている暗電流応答特性と、前記第１の時間計測工程にて計測されたアイドリング時間と、前記第２の時間計測工程にて計測された蓄積時間とから算出される前記撮影における暗電流蓄積電荷量を用いて、前記撮影にて取得された画像のオフセット補正を行う画像処理工程とを有することを特徴とする。
本発明のプログラムは、放射線又は光を電気信号に変換するための変換素子が基板上にアレイ状に複数配列された撮像手段と、前記変換素子にバイアスを印加してからの前記撮像手段に係る暗電流応答特性が記憶された記憶手段とを備える撮像装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記変換素子にバイアスを印加してから、前記撮像手段により画像を取得する撮影を開始するまでのアイドリング時間を計測する第１の時間計測ステップと、前記撮影における蓄積時間を計測する第２の時間計測ステップと、前記記憶手段に記憶されている暗電流応答特性と、前記第１の時間計測ステップにて計測されたアイドリング時間と、前記第２の時間計測ステップにて計測された蓄積時間とから算出される前記撮影における暗電流蓄積電荷量を用いて、前記撮影にて取得された画像のオフセット補正を行う画像処理ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする。

本発明によれば、変換素子にバイアスを印加してから画像を取得する撮影を開始するまでのアイドリング時間、撮影における蓄積時間、及び暗電流応答特性とから撮影における暗電流蓄積電荷量を算出する。そして、算出された暗電流蓄積電荷量を用いて、画像のオフセット補正を行うので、装置を大型化したりコストを増大させたりすることなく、バイアスを印加した直後でもオフセット補正を適切に行い、良好な撮影を行うことができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態における撮像システムの概略構成図である。図１において、放射線発生装置であるＸ線源１０１及びその制御系を除いた構成が撮像装置に相当し、Ｘ線源１０１及びその制御系と撮像装置とにより第１の実施形態における撮像システムが構成される。第１の実施形態における撮像装置では、透視撮影などを行う動画撮影モードと、一般撮影を行う静止画撮影モードとを選択的に設定自在とされている。

本実施形態における撮像システムの全体的な動作は、制御部１１４Ａにより制御される。操作部１１２は、ディスプレイ１２１上のタッチパネル、マウス、キーボード、ジョイスティック、及びフットスイッチ等がある。本実施形態における撮像システムでは、操作者１１３は、操作部１１２から撮像条件（静止画、動画、管電圧、管電流、照射時間など）、撮像タイミング、画像処理条件、被写体ＩＤ、及び取込画像の処理方法などの各種設定を行うことができる。

制御部１１４Ａは、操作部１１２を介して入力される操作者１１３の指示又は放射線情報システムの指示に基づいた撮像条件を、撮像シーケンスを司る撮影制御部１１５Ａに指示し、データを取り込む。撮影制御部１１５Ａは、その指示に基づき放射線源であるＸ線源１０１、撮像用寝台（不図示）、及び放射線検出部１０３を駆動して画像データを取り込み、画像処理部１１０Ａに転送する。画像処理部１１０Ａは、転送された画像データに対して、操作者１１３が指定する画像処理を施してディスプレイ１２１に表示し、同時にオフセット補正、白補正、及び欠陥補正などの基本画像処理を行った生データを記憶装置１１１に保存する。

さらに、制御部１１４Ａは、操作者１１３の指示に基づいて、記憶装置１１１に記憶されている画像データに係る再画像処理や再生表示、ネットワーク上の装置への画像データの転送・保存、ディスプレイ表示やフィルムへの印刷などを行う。

次に、信号の流れに沿って図１に示す撮影システムの動作について順次説明する。
Ｘ線源１０１は、Ｘ線管球とＸ線絞りとを含み構成されている。Ｘ線管球は、撮影制御部１１５Ａに制御された高圧発生電源によって駆動され、放射線であるＸ線ビーム１２２を放射する。Ｘ線絞りは、撮影制御部１１５Ａにより駆動され、撮像領域の変更に伴い、不必要なＸ線照射を行わないようにＸ線ビーム１２２を整形する。

Ｘ線源１０１から放射されたＸ線ビーム１２２は、Ｘ線透過性の撮像用寝台上に横たわった被写体１０２に向けられる。撮像用寝台は、撮影制御部１１５Ａの指示に基づいて駆動される。被写体１０２に対して照射されたＸ線ビーム１２２は、被写体１０２及び撮像用寝台を透過した後に放射線検出部１０３に入射される。

放射線検出部１０３は、グリッド（不図示）、蛍光体１０６、撮像手段としての光電変換素子１０４及びスイッチング素子１０５、読み出し回路１０７、ＡＤ変換器（ＡＤＣ）１０８、駆動回路１０９、Ｘ線露光量モニタ（不図示）を有する。グリッドは、被写体１０２を透過することによって生じるＸ線散乱の影響を低減させる。グリッドは、Ｘ線低吸収部材と高吸収部材とから成り、例えば、Ａｌ（アルミニウム）とＰｂ（鉛）とのストライプ構造をしている。そして、放射線検出部１０３（より詳細には、基板上に配置された光電変換素子１０４）とグリッドとの格子比の関係によりモワレが生じないように、Ｘ線照射時には撮影制御部１１５Ａの指示に基づいてグリッドを振動させる。

波長変換体である蛍光体１０６は、被写体１０２を透過したＸ線を吸収して蛍光体１０６内部の発光中心を励起し、可視光を放出する。すなわち、蛍光体１０６は、入射するＸ線の波長変換を行う。蛍光体１０６から放出された可視光は、絶縁基板上に配置された光電変換素子１０４の受光面に照射され光電変換される。さらに、光電変換された信号電荷は、同じく絶縁基板上に配置されたスイッチング素子１０５を介して読み出し回路１０７に供給され、読み出し回路１０７の積分アンプにより電圧信号に変換される。読み出し回路１０７の積分アンプにより変換された電圧信号は、ＡＤＣ１０８によりアナログ信号からディジタル信号に変換されて放射線検出部１０３の外部へ転送される。駆動回路１０９は、このようにして信号の読み出し動作が実行されるよう撮影制御部１１５Ａからの制御に基づいて、光電変換素子１０４、スイッチング素子１０５、及び読み出し回路１０７を駆動する。

ここで、光電変換素子１０４としては、例えば、主材料として水素化非晶質シリコン（水素化アモルファスシリコン）膜を用いたＭＩＳ型あるいはＰＩＮ型の薄膜光電変換素子や、単結晶シリコンを用いたＰＮフォトダイオードなどが挙げられる。また、スイッチング素子１０５としては、アモルファスシリコン、多結晶シリコン、単結晶シリコンなどを用いた薄膜トランジスタや周知のＭＯＳトランジスタを用いることができる。

また、絶縁基板の材料としては、主にアルカリ成分の少ない透明なガラスが用いられる。また、蛍光体１０６の材料としては、Ｇｄ₂Ｏ₂Ｓ：ＴｂやＣｓＩ：Ｔｌ等が用いられる。なお、蛍光体１０６は、これに限定されず、例えばＧｄ₂Ｏ₂Ｓ、Ｇｄ₂Ｏ₃、ＣａＷＯ₄、ＣｄＷＯ₄、ＣｓＩ、及びＺｎＳの中から選ばれた１種を主材料として構成されたものであっても良い。

なお、光電変換素子１０４を、蛍光体１０６を介さずにＸ線を吸収して直接的に電気信号に変換する機能を有するように構成しても良い。例えば、光電変換素子１０４は、アモルファスセレン、ヒ素化ガリウム、ヨウ化銀、ヨウ化鉛、及びテルル化カドミウムの中から選ばれた１種を主材料として構成するようにしても良い。

Ｘ線露光量モニタは、Ｘ線透過量を監視するものである。Ｘ線露光量モニタは、結晶シリコンの受光素子などを用いて直接Ｘ線を検出しても良いし、光電変換素子１０４やスイッチング素子１０５を透過した可視光を検出しても良い。Ｘ線露光量モニタで検知した情報は、撮影制御部１１５Ａに送信される。撮影制御部１１５Ａは、Ｘ線露光量モニタで検知した情報に基づいてＸ線源１０１を遮断又は調節する。なお、本実施形態では、撮影制御部１１５Ａは放射線検出部１０３外に設けられているが、本発明はそれに限定されるものではなく、放射線検出部１０３内に設けられても良い。

ここで、撮影を行うＸ線室と操作者１１３が操作を行う制御室とは異なり、放射線検出部１０３からの画像信号は、撮影を行うＸ線室から操作者１１３が操作を行う制御室にある画像処理部１１０Ａへ転送される。この転送の際、Ｘ線室内はＸ線発生に伴うノイズが大きく画像データがノイズにより正確に転送されない場合があるため、転送路の耐雑音性を高くする必要がある。例えば、誤り訂正機能を持たせた伝送方式、ＬＶＤＳ（Low Voltage Differential Signaling）に代表される差動信号伝送方式、又は光ファイバによる転送路を用いることが望ましい。

画像処理部１１０Ａは、撮影制御部１１５Ａの指示に基づき表示データを切り替える。その他、画像処理部１１０Ａは、画像データの補正（オフセット補正、白補正、欠陥補正）、空間フィルタリング、リカーシブ処理などをリアルタイムで行い、さらに、階調処理、散乱線補正、各種空間周波数処理などを行うことも可能である。画像処理部１１０Ａにて処理された画像は、ディスプレイ１２１に表示される。また、リアルタイム画像処理と同時に、データの補正のみ行なわれた基本画像は、記憶装置１１１に保存される。記憶装置１１１としては、大容量、高速かつ高信頼性を満たすデータ保存装置が望ましく、例えば、ＲＡＩＤ等のハードディスクアレー等が望ましい。

また、記憶装置１１１に保存された画像データは、所定の規格（例えば、ＩＳ＆Ｃ）を満たすように再構成された後に、図示しない外部記憶装置に保存される。外部記憶装置は、例えば、光磁気ディスク、ＬＡＮ上のファイルサーバ内のハードディスクなどである。

本実施形態における撮像システムは、ＬＡＮボードを介してＬＡＮに接続することも可能であり、ＨＩＳとのデータの互換性を持つ構造を有している。ＬＡＮには、複数の撮像システムを接続することは勿論のこと、動画・静止画を表示するモニタ、画像データをファイリングするファイルサーバなどが接続される。また、画像をフィルムに出力するイメージプリンタ、複雑な画像処理や診断支援を行う画像処理用端末などが接続される。本実施形態における撮像システムは、所定のプロトコル（例えば、ＤＩＣＯＭ）に従って、画像データを出力する。その他、ＬＡＮに接続されたモニタを用いて、Ｘ線撮像時に医師によるリアルタイム遠隔診断が可能である。

次に、第１の実施形態における撮像システムでのオフセット補正について説明する。以下では、図１に示した概略構成図、図２に示すフローチャート、及び図３に示すタイミングチャートを参照し、図２に示すフローチャートの流れに沿って動作開始から画像表示までの処理動作を順に説明する。また、以下の説明において、放射線を照射して撮影（放射線撮影）を行って得られる明出力（放射線を入射して取得された放射線画像）をＸ線フレームと称し、放射線を照射せずに撮影を行って得られる暗出力をオフセットフレームと称す。

まず、被写体１０２の位置や、管電圧／管電流／照射時間等の撮影条件の設定が行われ（Ｓ１０１）、その後撮影が開始される（Ｓ１０２）。撮影が開始されると、撮影制御部１１５Ａは、放射線検出部１０３内の駆動回路１０９に命令し、命令を受けた駆動回路１０９は、バイアス配線Ｖｓ、ゲート配線Ｖｇ、及び読み出し回路１０７の基準電源Ｖｒｅｆに電圧を印加する。ゲート配線Ｖｇに電圧が印加されることにより、スイッチング素子１０５がオン状態となり、光電変換素子１０４に（Ｖｓ−Ｖｒｅｆ）の電圧が加わり光電変換が可能な状態になる。

図２及び図３に示すアイドリングは、前述のように光電変換素子１０４にバイアスを印加した状態であり、本実施形態においては、操作者１１３がＸ線曝射スイッチをいつ押しても直ちに読み出し動作に移行できる。また、アイドリングでは、光電変換素子１０４にバイアスが印加されることで発生する暗電流による蓄積電荷をリセットするために、定期的にゲート配線Ｖｇにパルスを印加してスイッチング素子１０５がオン状態にされる。

撮影制御部１１５Ａは、放射線検出部１０３の光電変換素子１０４にバイアスを印加する時刻ｔｉｓをアイドリング動作の開始時刻として、Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７及びオフセットフレームアイドリング時間計測部１２４に供給する。Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７及びオフセットフレームアイドリング時間計測部１２４は、供給されたアイドリング動作の開始時刻ｔｉｓを記憶する（Ｓ１０３）。

次に、操作者１１３により任意のタイミングでＸ線曝射スイッチが押される。すると、撮影制御部１１５Ａは、Ｘ線曝射スイッチが押される直前にスイッチング素子１０５がオン状態からオフ状態に遷移した時刻（暗電流リセットの時刻）ｔｘｓをアイドリング動作の終了時刻として、Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７に供給する。さらに、撮影制御部１１５Ａは、時刻ｔｘｓをＸ線フレームの蓄積開始時刻としてＸ線フレーム蓄積時間計測部１２０に供給する。Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７は、供給されたアイドリング動作の終了時刻ｔｘｓを記憶し、Ｘ線フレーム蓄積時間計測部１２０は、供給されたＸ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓを記憶する（Ｓ１０４）。

Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７は、アイドリング動作の開始時刻ｔｉｓと終了時刻ｔｘｓからＸ線フレームのアイドリング時間Ｔｘｉ（＝ｔｘｓ−ｔｉｓ）を算出して出力する。Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７は、第１の時間計測手段に相当する。なお、このＸ線フレームアイドリング時間計測部１１７による演算処理は、撮影処理と並列して行われているため、演算処理中であってもＸ線の照射が行われ、照射終了後に放射線検出部１０３はＸ線フレームの読み出し動作に移行する。

Ｘ線フレームの読み出しは、ゲート配線Ｖｇに電圧を印加してスイッチング素子１０５をオン状態にすることで光電変換素子１０４の電荷を読み出し回路１０７で取り出し、ＡＤＣ１０８でディジタル信号に変換して画像処理部１１０Ａに転送する。これにより、Ｘ線フレームで得られたＸ線画像（放射線画像）が画像処理部１１０Ａに転送される（Ｓ１０５）。

このＸ線フレームの読み出しにおいて、光電変換素子１０４から出力される電荷量は、図３のタイミングチャートの光電変換素子電流に示したように、暗電流蓄積電荷量ＱｗｘとＸ線電荷量Ｑｘの和になる。ここで、暗電流蓄積電荷量Ｑｗｘは、光電変換素子１０４の暗電流応答特性に従って暗電流により蓄積される電荷量であり、Ｘ線電荷量ＱｘはＸ線照射による光電変換して得られた電荷量である。

次に、スイッチング素子１０５がオン状態からオフ状態に遷移することで光電変換素子１０４に蓄積された電荷の転送が終了し、Ｘ線フレームの読み出しが終了する。このとき、撮影制御部１１５Ａは、スイッチング素子１０５がオン状態からオフ状態に遷移した時刻ｔｘｅをＸ線フレームの読み出し終了時刻としてＸ線フレーム蓄積時間計測部１２０に供給する。Ｘ線フレーム蓄積時間計測部１２０は、供給されたＸ線フレームの読み出し終了時刻ｔｘｅを記憶する。そして、Ｘ線フレーム蓄積時間計測部１２０は、Ｘ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓと読み出し終了時刻ｔｘｅからＸ線フレームの蓄積時間Ｔｘ（＝ｔｘｅ−ｔｘｓ）を算出して出力する（Ｓ１０６）。Ｘ線フレーム蓄積時間計測部１２０は、第２の時間計測手段に相当する。

Ｘ線フレームの読み出し終了後、Ｘ線フレーム蓄積電荷量演算部１１８は、Ｘ線フレームのアイドリング時間Ｔｘｉと蓄積時間Ｔｘと暗電流応答特性メモリ１１９に記憶されている暗電流応答特性を用い、Ｘ線フレームの暗電流蓄積電荷量Ｑｗｘを算出し予測する。暗電流応答特性メモリ１１９は、記憶手段に相当する。Ｘ線フレームの暗電流蓄積電荷量Ｑｗｘの算出は、式（１）に示すように暗電流応答特性ｆ（ｔ）に対し、Ｔｘｉ〜（Ｔｘｉ＋Ｔｘ）までを積分して求める。

この際、実際のＸ線フレームの暗電流蓄積電荷量と算出したＸ線フレームの暗電流蓄積電荷量の差が小さいほど、オフセット補正によりアーティファクトの少ない画像補正を実現できる。

また、暗電流応答特性ｆ（ｔ）は、例えば式（２）に示すように指数関数で近似した係数Ａ及びＢを予めメモリに格納しておき、Ｘ線フレームの暗電流蓄積電荷量Ｑｗｘに係る計算を行う。

なお、本実施形態では、指数関数を用いて暗電流応答特性を近似するようにしているが、応答特性を近似できる関数であれば他のものでも構わない。また、暗電流応答特性の取得は、工場出荷時に取得する、もしくは設置場所で定期的に更新するなどの方法があるが、撮影直前の応答特性を用いると、光電変換素子における経年変換の影響がないため、より高精度なオフセット補正が可能となる。

次に、オフセットフレームの撮影を行う。ここで、Ｘ線フレームの読み出し終了後にオフセットフレームの撮影を連続して行う場合には、オフセットフレームの蓄積開始時刻ｔｗｓは、Ｘ線フレームの読み出し終了時刻になる。一方、Ｘ線フレームに係るＸ線残像の影響を低減するために時間を空けてオフセットフレームの撮影を行う場合には、オフセットフレームの蓄積開始時刻ｔｗｓは、オフセットフレームの直前にスイッチング素子１０５がオン状態からオフ状態に遷移した時刻になる。本実施形態では、Ｘ線フレームの読み出し終了後に続けてオフセットフレームの撮影を行うものとする。

撮影制御部１１５Ａは、Ｘ線フレームの読み出し終了時刻ｔｗｓをオフセットフレームの蓄積開始時刻としてオフセットフレームアイドリング時間計測部１２４に供給する。オフセットフレームアイドリング時間計測部１２４は、供給されたオフセットフレームの蓄積開始時刻を記憶する（Ｓ１０７）。

オフセットフレームアイドリング時間計測部１２４は、光電変換素子１０４にバイアスを印加した時刻（アイドリング動作の開始時刻）ｔｉｓとオフセットフレームの蓄積開始時刻ｔｗｓからオフセットフレームのアイドリング時間Ｔｗｉを算出する。

次に、オフセットフレーム蓄積時間演算部１１６は、前述のようにして算出したＸ線フレームの暗電流蓄積電荷量Ｑｗｘ、アイドリング時間Ｔｗｉ及び暗電流応答特性ｆ（ｔ）を用い、式（３）に従ってオフセットフレームの蓄積時間Ｔｗを算出する（Ｓ１０８）。

オフセットフレーム蓄積時間演算部１１６は、算出したオフセットフレームの蓄積時間Ｔｗを撮影制御部１１５Ａに出力する。撮影制御部１１５Ａは、オフセットフレームの蓄積開始時刻ｔｗｓからオフセットフレームの蓄積時間Ｔｗ経過後、放射線検出部１０３にオフセットフレームの読み出し開始の命令を出す。命令を受けた放射線検出部１０３は、オフセットフレームの読み出しを行う（Ｓ１０９、Ｓ１１０）。オフセットフレームの読み出しは、Ｘフレームの読み出しと同様に行われるので説明は省略する。

オフセットフレームの読み出し終了後、読み出されたオフセット補正データは、画像処理部１１０Ａへ転送される。そして、画像処理部１１０Ａは、（Ｘ線画像）−（オフセット補正データ）の減算処理（オフセット補正）を行い、さらにゲイン補正等の必要な画像処理を行い（Ｓ１１１）、ディスプレイ１２１に補正した画像を表示させる（Ｓ１１２）。

このようにＸ線フレームのアイドリング時間Ｔｘｉ、Ｘ線フレームの蓄積時間Ｔｘ、及び暗電流応答特性ｆ（ｔ）を用いて、Ｘ線フレームの暗電流蓄積電荷量Ｑｗｘを算出して予測する。そして、算出されたＸ線フレームの暗電流蓄積電荷量Ｑｗｘと等量の電荷をオフセット補正データとして取得するためのオフセットフレームの蓄積時間を決定して、取得したオフセット補正データによりＸ線画像のオフセット補正を行う。これにより、新たな光源等の付加により装置を大型化することなく、光電変換素子１０４にバイアスを印加した直後の変化が大きい暗電流応答特性であっても、適切にオフセット補正を行うことができ、良好な撮影を行うことができる。
また、このようなＸ線フレームの撮影（放射線撮影）とオフセットフレームの撮影を交互に繰り返すことにより連続的な動画撮影を行うこともできる。

なお、前述した説明では、光電変換素子１０４及びスイッチング素子１０５を各々１つとして説明したが、実際には複数個の光電変換素子１０４及びスイッチング素子１０５が絶縁基板上に１次元もしくは２次元アレイ状に配列されている。

図４は、光電変換素子とスイッチング素子との組（画素）が３×３の２次元マトリクス状に配列された例を示している。なお、説明を簡潔にするために、３×３画素のマトリクスとしているが、画素数は任意であり、例えば２０００×２０００画素以上のエリアセンサであっても適用できる。

図４において、Ｓｍ−ｎは光電変換素子、Ｔｍ−ｎはスイッチング素子（ＴＦＴトランジスタ）、１２３はスイッチング素子を順次オン状態にするためのシフトレジスタ、Ｖｇｍはスイッチング素子を駆動するためのパルスを伝達するゲート配線である。Ａｎは光電変換素子Ｓｍ−ｎに蓄積された電荷を読み出すためのアンプ（演算増幅器）、Ｃｆｎは光電変換素子Ｓｍ−ｎからの読み出しを行う際に信号電荷を積分するための積分容量である。Ｍｎは信号電荷を転送するための信号配線、Ｖｓは光電変換素子Ｓｍ−ｎにバイアスを印加するためのバイアス配線、Ｖｒｅｆは、アンプＡｎと積分容量Ｃｆｎから構成される読み出し回路の基準電源である。なお、ｍ及びｎはそれぞれ添え字であり、ｍ＝１〜３の自然数、ｎ＝１〜３の自然数である（以下についても同様）。

第ｍ行第ｎ列の光電変換素子Ｓｍ−ｎは、一端がバイアス配線Ｖｓに接続され、他端が第ｍ行第ｎ列のスイッチング素子Ｔｍ−ｎを介して第ｎ列の信号配線Ｍｎに接続されている。第ｍ行のスイッチング素子Ｔｍ−１〜Ｔｍ−３は、その制御端子（トランジスタのゲート）が第ｍ行のゲート配線Ｖｇｍに接続されている。また、第ｎ列のアンプＡｎの一方の入力が基準電源Ｖｒｅｆに接続され、他方の入力が第ｎ列の信号配線Ｍｎに接続されている。積分容量ＣｆｎがアンプＡｎの他方の入力と出力との間に並列接続されている。

図５は、放射線検出部１０３における光電変換素子とスイッチング素子との組を図４に示したように構成した場合の駆動タイミングを示すタイミングチャートである。図４に示す構成の場合には、３×３画素のマトリクス構造であるため、ゲート配線ごとにＸ線フレームのアイドリング時間及びＸ線フレームの蓄積時間を計測して、ゲート配線ごとにオフセットフレームの蓄積時間を制御する。

まず、撮影が開始されると、撮影制御部１１５Ａは、放射線検出部１０３内の駆動回路１０９に命令し、命令を受けた駆動回路１０９は、バイアス配線Ｖｓ及び読み出し回路の基準電源Ｖｒｅｆに電圧を印加する。また、撮影制御部１１５Ａは、シフトレジスタ１２３によりゲート配線Ｖｇ１、Ｖｇ２、Ｖｇ３を順次駆動し、スイッチング素子Ｔ１−ｎ、Ｔ２−ｎ、Ｔ３−ｎを順次オン／オフする。バイアスを印加するとともにスイッチング素子Ｔｍ−ｎをオン状態にすることにより、光電変換素子Ｓｍ−ｎに（Ｖｓ−Ｖｒｅｆ）の電圧が印加されて暗電流が流れ始める。また、ゲート配線Ｖｇｍに電圧を印加することにより、光電変換素子Ｓｍ−ｎにて暗電流により蓄積された電荷をリセットすることができる。

撮影制御部１１５Ａは、光電変換素子Ｓｍ−ｎにバイアスを印加した時刻ｔｉｓｍをアイドリング動作の開始時刻として、Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７及びオフセットフレームアイドリング時間計測部１２４に供給する。Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７及びオフセットフレームアイドリング時間計測部１２４は、供給されたアイドリング動作の開始時刻ｔｉｓｍをそれぞれ内部のメモリに格納する。

続いて、操作者によりＸ線曝射スイッチが押される。撮影制御部１１５Ａは、Ｘ線曝射スイッチが押される直前にスイッチング素子Ｔｍ−ｎがオン状態からオフ状態に遷移した時刻ｔｘｓｍをアイドリング動作の終了時刻として、Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７に供給する。Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７は、供給されたアイドリング動作の終了時刻ｔｘｓｍを格納し、ゲート配線Ｖｇｍ毎にＸ線フレームのアイドリング時間Ｔｘｉｍ（＝ｔｘｓｍ−ｔｉｓｍ）を算出する。

また、撮影制御部１１５Ａは、Ｘ線曝射スイッチが押される直前にスイッチング素子Ｔｍ−ｎがオン状態からオフ状態に遷移した時刻ｔｘｓｍをＸ線フレームの蓄積開始時刻としてＸ線フレーム蓄積時間計測部１２０に供給する。Ｘ線フレーム蓄積時間計測部１２０は、供給されたＸ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓｍを内部のメモリに格納する。

次に、Ｘ線が照射されて光電変換素子Ｓｍ−ｎで光電変換が行われ電荷が発生する。続いて、撮影制御部１１５Ａは、ゲート配線Ｖｇｍを順次駆動して光電変換素子Ｓｍ−ｎに蓄積された電荷をアンプＡｎにより電圧信号として読み出し、読み出された電圧信号がＡＤ変換されＸ線画像として画像処理部１１０Ａに転送される。撮影制御部１１５Ａは、スイッチング素子Ｔｍ−ｎがオン状態からオフ状態に遷移した時刻ｔｘｅｍをＸ線フレームの読み出し終了時刻としてＸ線フレーム蓄積時間計測部１２０に供給する。Ｘ線フレーム蓄積時間計測部１２０は、供給されたＸ線フレームの読み出し終了時刻ｔｘｅｍを格納し、ゲート配線Ｖｇｍ毎にＸ線フレームの蓄積時間Ｔｘｍ（＝ｔｘｅｍ−ｔｘｓｍ）を算出する。

次に、Ｘ線フレーム蓄積電荷量演算部１１８は、Ｘ線フレームのアイドリング時間Ｔｘｉｍ、蓄積時間Ｔｘｍ及びゲート配線毎の暗電流応答特性を暗電流応答特性メモリ１１９から読み出し、Ｘ線フレームの暗電流蓄積電荷量を算出し予測する。

次に、撮影制御部１１５Ａは、時刻ｔｗｓｍをオフセットフレームの蓄積開始時刻としてオフセットフレームアイドリング時間計測部１２４に供給する。オフセットフレームアイドリング時間計測部１２４は、供給されたオフセットフレームの蓄積開始時刻ｔｗｓｍを格納し、ゲート配線Ｖｇｍ毎にオフセットフレームのアイドリング時間Ｔｗｉｍ（＝ｔｗｓｍ−ｔｉｓｍ）を算出する。

さらに、オフセットフレーム蓄積演算部１１６は、Ｘ線フレームの暗電流蓄積電荷量、アイドリング時間Ｔｗｉｍ及び暗電流応答特性を用いて、オフセットフレームの蓄積時間ＴＷｍをゲート配線Ｖｇｍ毎に算出する。オフセットフレーム蓄積時間演算部１１６は、算出したオフセットフレームの蓄積時間Ｔｗｍを撮影制御部１１５Ａに出力する。
以下、図１〜図３に示した例と同様にして、撮影制御部１１５Ａの指示に基づいてオフセットフレームの読み出しが行われ、画像処理部１１０Ａでオフセット補正等が実行される。

複数の画素を有するエリアセンサの場合には、オフセットフレームの蓄積時間を決定する方法として、画素全体の平均値を用いて行う手法、本実施形態のようにゲート配線毎に行う手法、さらに画素単位で行う手法がある。光電変換素子の暗電流応答特性は、製造上のばらつきにより画素毎により異なり、画素単位に行うのが望ましく、暗電流による蓄積電荷量をＸ線フレームとオフセットフレームとで完全に同一にできる。しかしながら、メモリ容量、処理時間、読み出し時間が増大する場合もあるため、適切な単位でオフセットフレームの蓄積時間を制御するようにすれば良い。

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。
前述した第１の実施形態では、Ｘ線フレームの撮影（放射線撮影）を行った後にオフセットフレームの撮影を行うようにしている。Ｘ線フレームの撮影後にオフセットフレームの撮影を行うと光電変換素子に光を当てた影響で残像が発生し、オフセットフレームに残像成分が混入してオフセット補正後の画像にアーティファクトが発生する場合が考えられる。

そこで、第２の実施形態は、Ｘ線フレームの撮影（放射線撮影）を行う前にオフセットフレームの撮影を行うようにしたものである。これにより、撮影時間を増大させることなく、オフセットフレームにＸ線フレームの撮影による残像の影響が及ぶことを確実に防止し、オフセット補正後の画像にアーティファクトが発生することを確実に防止し、良好な画像を得ることができる。

図６は、第２の実施形態における撮像システムの概略構成図である。この図６において、図１に示した構成要素と同一の機能を有する構成要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。なお、図６においても、放射線発生装置であるＸ線源１０１及びその制御系を除いた構成が撮像装置に相当し、Ｘ線源１０１及びその制御系と撮像装置とにより撮像システムが構成される。

本実施形態における撮像システムの全体的な動作は、制御部１１４Ｂにより制御される。制御部１１４Ｂは、内部構成において相違する部分があるが、第１の実施形態における制御部１１４Ａに対応するものである。また、撮影制御部１１５Ｂは、第１の実施形態における撮影制御部１１５Ａに対応する。画像処理部１１０Ｂは、第１の実施形態における画像処理部１１０Ａに対応し、画像処理部１１０Ａとはオフセット補正に係る処理動作が異なる。

なお、第２の実施形態においては、光電変換素子１０４及びスイッチング素子１０５を各々１つとして説明するが、複数個の光電変換素子１０４及びスイッチング素子１０５が絶縁基板上に１次元もしくは２次元アレイ状に配列されていても良い。

第２の実施形態における撮像システムでのオフセット補正について説明する。以下では、図６に示した概略構成図、図７に示すタイミングチャート、及び図８に示すフローチャートを参照し、図８に示すフローチャートの流れに沿って動作開始から画像表示までの処理動作を順に説明する。

まず、被写体１０２の位置や、撮影条件の設定が行われ（Ｓ２０１）、その後撮影が開始される（Ｓ２０２）。撮影が開始されると、第１の実施形態と同様にして、撮影制御部１１５Ｂからの指示に基づき駆動回路１０９により、バイアス配線Ｖｓ、ゲート配線Ｖｇ、及び読み出し回路１０７の基準電源Ｖｒｅｆに電圧が印加される。そして、光電変換素子１０４にバイアスを印加したアイドリング動作の開始時刻ｔｉｓが、撮影制御部１１５ＢからＸ線フレームアイドリング時間計測部１１７及びオフセットフレームアイドリング時間計測部１２４に供給され記憶される（Ｓ２０３）。

ここで、光電変換素子１０４にバイアスが印加されると、光電変換素子１０４では暗電流が流れ始めるので、Ｘ線曝射スイッチが操作者１１３により押される前は、定期的にゲート配線Ｖｇに電圧を印加する。これにより、暗電流による蓄積電荷が定期的にリセットし、オフセットフレームに蓄積される暗電流（ショットノイズ）を軽減させることができる。

次に、操作者１１３によりＸ線曝射スイッチが押される（Ｓ２０４）。すると、撮影制御部１１５Ｂは、Ｘ線曝射スイッチが押される直前にスイッチング素子１０５がオフ状態になった時刻ｔｗｓをアイドリング動作の終了時刻として、オフセットフレームアイドリング時間計測部１２４に供給する。さらに、撮影制御部１１５Ｂは、時刻ｔｗｓをオフセットフレームの蓄積開始時刻としてオフセットフレーム蓄積時間計測部１２６に供給する。オフセットフレームアイドリング時間計測部１２４は、供給されたアイドリング動作の終了時刻ｔｗｓを記憶し、オフセットフレーム蓄積時間計測部１２６は、供給されたオフセットフレームの蓄積開始時刻ｔｗｓを記憶する（Ｓ２０５）。

オフセットフレームアイドリング時間計測部１２４は、アイドリング動作の開始時刻ｔｉｓとオフセットフレームの蓄積開始時刻ｔｗｓからオフセットフレームのアイドリング時間Ｔｗｉ（＝ｔｗｓ−ｔｉｓ）を算出して出力する。

その後、任意の蓄積時間が経過した後に、ゲート配線Ｖｇに電圧が印加されスイッチング素子１０５がオン状態になり、オフセットフレームの読み出しが開始される（Ｓ２０６）。そして、スイッチング素子１０５がオフ状態になりオフセットフレームの読み出しが終了すると、撮影制御部１１５Ｂは、終了した時刻ｔｗｅをオフセットフレーム読み出し終了時刻としてオフセットフレーム蓄積時間計測部１２６に供給する（Ｓ２０７）。

オフセットフレーム蓄積時間計測部１２６は、供給されたオフセットフレーム読み出し終了時刻ｔｗｅを記憶する。また、オフセットフレーム蓄積時間計測部１２６は、オフセットフレームの蓄積開始時刻ｔｗｓと読み出し終了した時刻ｔｗｅからオフセットフレームの蓄積時間Ｔｗ（＝ｔｗｅ−ｔｗｓ）を算出して出力する。なお、オフセットフレームの読み出し動作にて読み出されたデータは、オフセットデータとして記憶される。

また、オフセットフレーム蓄積電荷量演算部１２７は、オフセットフレームのアイドリング時間Ｔｗｉと蓄積時間Ｔｗと暗電流応答特性メモリ１１９に記憶されている暗電流応答特性から、オフセットフレームの暗電流蓄積量Ｑｗを算出する。

また、撮影制御部１１５Ｂは、スイッチング素子１０５がオフ状態になりオフセットフレームの読み出しが終了した時刻ｔｘｓをＸ線フレームの蓄積開始時刻としてＸ線フレームアイドリング時間計測部１１７及びＸ線フレーム蓄積時間計測部１２０に供給する。Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７は、供給されたＸ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓを記憶し、アイドリング動作の開始時刻ｔｉｓとＸ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓからＸ線フレームのアイドリング時間Ｔｘｉ（＝ｔｘｓ−ｔｉｓ）を算出し出力する。Ｘ線フレーム蓄積時間計測部１２０は、供給されたＸ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓを記憶する。ここで、Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７は、第１の時間計測手段に相当し、Ｘ線フレーム蓄積時間計測部１２０は、第２の時間計測手段に相当する。

オフセットフレームの読み出しが終了した後、Ｘ線の照射が行われて、Ｘ線フレームの読み出しが開始される（Ｓ２０８、Ｓ２０９）。Ｘ線フレームの読み出しにおいて、光電変換素子１０４から出力される電荷量は、暗電流応答特性に従って暗電流により蓄積される暗電流蓄積電荷量ＱｗｘとＸ線照射による光電変換して得られたＸ線電荷量Ｑｘの和である。

そして、Ｘ線フレームの読み出しが終了すると、撮影制御部１１５Ｂは、終了した時刻ｔｘｅをＸ線フレームの読み出し終了時刻としてＸ線フレーム蓄積時間計測部１２０に供給する（Ｓ２１０）。Ｘ線フレーム蓄積時間計測部１２０は、供給されたＸ線フレームの読み出し終了時刻ｔｘｅを記憶し、Ｘ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓと読み出し終了時刻ｔｘｅからＸ線フレームの蓄積時間Ｔｘを算出し出力する。

さらに、Ｘ線フレーム蓄積電荷量演算部１１８は、Ｘ線フレームのアイドリング時間Ｔｘｉと蓄積時間Ｔｘと暗電流応答特性メモリ１１９に記憶されている暗電流応答特性から、式（１）に従いＸ線フレームの暗電流蓄積量Ｑｗｘを算出する。

次に、画像処理部１１０Ｂは、オフセットフレームの暗電流蓄積電荷量ＱｗとＸ線フレームの暗電流蓄積電荷量Ｑｗｘを用いて、オフセットデータであるオフセット画像に（Ｑｗｘ／Ｑｗ）を乗算することにより暗電流成分に係る補正を行う。そして、画像処理部１１０Ｂは、暗電流補正されたオフセット補正データを用いて、Ｘ線画像のオフセット補正を行い、続いてゲイン補正等の必要な各種画像処理を行い（Ｓ２１１）、ディスプレイ１２１に補正した画像を表示させる（Ｓ２１２）。

以上説明したように、画像処理により暗電流蓄積電荷を揃えることも可能であり、装置を大型化することなく、光電変換素子１０４にバイアスを印加した直後であっても暗電流応答特性に応じた適切なオフセット補正が行え、良好な撮影を行うことができる。

また、第２の実施形態では、撮影して得られたオフセットデータを演算して求めた暗電流蓄積電荷量で補正したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、アイドリング時間、蓄積時間及び工場出荷時等に測定した暗電流応答特性から計算によりオフセット補正データを生成し、オフセット補正を行うこともできる。

また、このようなオフセットフレームの撮影とＸ線フレームの撮影（放射線撮影）を交互に繰り返すことにより連続的な動画撮影を行うこともできる。

さらに、オフセットフレーム撮影→Ｘ線フレーム撮影→オフセットフレーム撮影のような撮影を行い、Ｘ線フレーム前後のオフセットフレームを平均したオフセットフレームでオフセット補正を行うことによりショットノイズを軽減することができる。この際、第２の実施形態に加えて第１の実施形態の手法を適用し、Ｘ線フレーム撮影後に行うオフセットフレーム撮影での蓄積時間を調整して、Ｘ線フレームと前後のオフセットフレーム暗電流蓄積電荷量を揃えることによりアーティファクトが軽減できる。

（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。
第１及び第２の実施形態では、Ｘ線フレーム及びオフセットフレームが１フレームずつの撮影である場合について説明したが、以下に説明する第３の実施形態は、Ｘ線フレームの撮影を連続的に行い動画撮影を可能にしたものである。

なお、第３の実施形態における撮像システムの構成は、第２の実施形態における撮像システムと同様であるので、説明は省略する。

第３の実施形態における撮像システムでのオフセット補正について説明する。以下では、図９に示すタイミングチャート及び図１０に示すフローチャートを参照し、図１０に示すフローチャートの流れに沿って動作を説明する。

動作開始からオフセットフレームの読み出しが終了するまでのステップＳ３０１〜Ｓ３０７における動作は、第２の実施形態でのステップＳ２０１〜Ｓ３０７における動作と同様である。

なお、ステップＳ３０７において、オフセットフレームの読み出しが終了した時刻ｔｘｓ１が１フレーム目である第１のＸ線フレームの蓄積開始時刻としてＸ線フレームアイドリング時間計測部１１７及びＸ線フレーム蓄積時間計測部１２０に供給する。Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７は、供給された第１のＸ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓ１を記憶する。Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７は、アイドリング動作の開始時刻ｔｉｓと第１のＸ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓ１から第１のＸ線フレームのアイドリング時間Ｔｘｉ１（＝ｔｘｓ１−ｔｉｓ）を算出し出力する。Ｘ線フレーム蓄積時間計測部１２０は、供給された第１のＸ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓ１を記憶する。

オフセットフレームの読み出しが終了した後、１回目のＸ線の照射が行われて、第１のＸ線フレームの読み出しが開始される（Ｓ３０８、Ｓ３０９）。第１のＸ線フレームの読み出しにおいて、光電変換素子１０４から出力される電荷量は、暗電流応答特性に従って暗電流により蓄積される暗電流蓄積電荷量Ｑｗｘ１とＸ線照射による光電変換して得られたＸ線電荷量Ｑｘ１の和である。

そして、第１のＸ線フレームの読み出しが終了すると、撮影制御部１１５Ｂは、終了した時刻ｔｘｅ１を第１のＸ線フレームの読み出し終了時刻としてＸ線フレーム蓄積時間計測部１２０に供給する（Ｓ３１０）。Ｘ線フレーム蓄積時間計測部１２０は、供給された第１のＸ線フレームの読み出し終了時刻ｔｘｅ１を記憶し、第１のＸ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓ１と読み出し終了時刻ｔｘｅ１から第１のＸ線フレームの蓄積時間Ｔｘ１を算出し出力する。

さらに、Ｘ線フレーム蓄積電荷量演算部１１８は、Ｘ線フレームのアイドリング時間Ｔｘｉ１と蓄積時間Ｔｘ１と暗電流応答特性メモリ１１９に記憶されている暗電流応答特性から、式（１）に従い第１のＸ線フレームの暗電流蓄積量Ｑｗｘ１を算出する。

次に、画像処理部１１０Ｂは、オフセットフレームの暗電流蓄積電荷量Ｑｗと第１のＸ線フレームの暗電流蓄積電荷量Ｑｗｘ１を用いて、オフセット画像×（Ｑｗｘ１／Ｑｗ）を算出することにより暗電流成分に係る補正を行う。そして、画像処理部１１０Ｂは、暗電流補正されたオフセット補正データを用いて、１フレーム目のＸ線画像のオフセット補正を行い、続いてゲイン補正等の必要な各種画像処理を行い（Ｓ３１１）、ディスプレイ１２１に補正した画像を表示させる（Ｓ３１２）。

また、ステップＳ３１０において、撮影制御部１１５Ｂは、２フレーム目である第２のＸ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓ２をＸ線フレームアイドリング時間計測部１１７及びＸ線フレーム蓄積時間計測部１２０に供給する。Ｘ線フレームアイドリング時間計測部１１７は、供給された第２のＸ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓ２を記憶し、第２のＸ線フレームのアイドリング時間Ｔｘｉ２（＝ｔｘｓ２−ｔｉｓ）を算出し出力する。Ｘ線フレーム蓄積時間計測部１２０は、供給された第２のＸ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓ２を記憶する。

ここで、本実施形態では、Ｘ線フレームの読み出しが終了した後、連続して次のＸ線フレームの撮影を行うため、ｎフレーム目のＸ線フレームの読み出し終了時刻ｔｘｅｎが、次の（ｎ＋１）フレーム目のＸ線フレームの蓄積開始時刻ｔｘｓ（ｎ＋１）となる。
ディスプレイ１２１に補正した画像が表示された後、制御部１１４Ｂは撮影フレーム数ｎの値を１増加させ（Ｓ３１３）、撮影終了であるか否かを判断する（Ｓ３１４）。

そして、撮影終了であると判断するまで、ステップＳ３０８〜Ｓ３１４までの動作を繰り返し、時刻を更新しながら２フレーム目、３フレーム目、…とＸ線フレームの撮影を行う。そして、毎フレームで、Ｘ線フレーム蓄積電荷量演算部１１８は、ｎフレーム目のＸ線フレームの暗電流蓄積量Ｑｗｘｎを算出する。画像処理部１１０Ｂは、オフセット画像×（Ｑｗｘｎ／Ｑｗ）を算出することにより最初に撮影されたオフセットフレームの暗電流成分に係る補正を行い、その補正されたオフセット補正データを用いて、Ｘ線画像のオフセット補正を行う。このようにして、Ｘ線フレームの撮影を連続して行い、動画の撮影を行う。

（本発明の他の実施形態）
上述した実施形態の機能を実現するべく各種のデバイスを動作させるように、該各種デバイスと接続された装置又はシステム内のコンピュータ（ＣＰＵ又はＭＰＵ）に対し、前記実施形態の機能を実現するためのソフトウェアのプログラムを供給する。そして、そのシステム又は装置のコンピュータに格納されたプログラムに従って前記各種デバイスを動作させることによって実施したものも、本発明の範疇に含まれる。
また、この場合、前記ソフトウェアのプログラム自体が前述した実施形態の機能を実現することになり、そのプログラム自体は本発明を構成する。また、そのプログラムをコンピュータに供給するための手段、例えばかかるプログラムを格納した記録媒体は本発明を構成する。かかるプログラムを記憶する記録媒体としては、例えばフレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭ等を用いることができる。
また、供給されたプログラムがコンピュータにおいて稼働しているオペレーティングシステム又は他のアプリケーションソフト等と共同して前述の実施形態の機能が実現される場合にもかかるプログラムは本発明の実施形態に含まれることは言うまでもない。
さらに、供給されたプログラムがコンピュータに係る機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるメモリに格納された後、そのプログラムの指示に基づいてその機能拡張ボード等に備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部又は全部を行う。その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合にも本発明に含まれることは言うまでもない。
例えば、制御部１１４Ａ（１１４Ｂ）及び画像処理部１１０Ａ（１１０Ｂ）を、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭを有するコンピュータ機能により実現する。そして、前述したような処理動作を行うための処理プログラムをＲＯＭに記憶しておき、ＣＰＵが、ＲＯＭから処理プログラムを読み出して実行することで、前述した処理動作を実現するための制御を行う場合も本発明に含まれる。

なお、前記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化のほんの一例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。

第１の実施形態における撮像システムの概略構成を示す図である。 第１の実施形態における撮像システムの処理動作を示すフローチャートである。 第１の実施形態における撮像システムの駆動タイミングを示すタイミングチャートである。 光電変換素子とスイッチング素子との組が２次元マトリクス状に配置された例を示す図である。 図４に示した構成での駆動タイミングを示すタイミングチャートである。 第２の実施形態における撮像システムの概略構成を示す図である。 第２の実施形態における撮像システムの駆動タイミングを示すタイミングチャートである。 第２の実施形態における撮像システムの処理動作を示すフローチャートである。 第３の実施形態における撮像システムの駆動タイミングを示すタイミングチャートである。 第３の実施形態における撮像システムの処理動作を示すフローチャートである。 光電変換素子の暗電流応答特性を示す図である。

符号の説明

１０１ Ｘ線源
１０３ 放射線検出部
１０４ 光電変換素子
１０５ スイッチング素子
１０６ 蛍光体
１０７ 読み出し回路
１０８ ＡＤ変換器
１０９ 駆動回路
１１０Ａ、１１０Ｂ 画像処理部
１１１ 記憶装置
１１４Ａ、１１４Ｂ 制御部
１１５Ａ、１１５Ｂ 撮影制御部
１１６ オフセットフレーム蓄積時間演算部
１１７ Ｘ線フレームアイドリング時間計測部
１１８ Ｘ線フレーム蓄積電荷量演算部
１１９ 暗電流応答特性メモリ
１２０ Ｘ線フレーム蓄積時間計測部
１２４ オフセットフレームアイドリング時間計測部
１２６ オフセットフレーム蓄積時間計測部
１２７ オフセットフレーム蓄積電荷量演算部

Claims (9)

1. 放射線又は光を電気信号に変換するための変換素子が基板上にアレイ状に複数配列された撮像手段と、
   前記変換素子にバイアスを印加してからの前記撮像手段に係る暗電流応答特性を記憶する記憶手段と、
   前記変換素子にバイアスを印加してから前記撮像手段により画像を取得する撮影を開始するまでのアイドリング時間を計測する第１の時間計測手段と、
   前記撮影における蓄積時間を計測する第２の時間計測手段と、
   前記記憶手段に記憶されている暗電流応答特性と、前記第１の時間計測手段により計測されたアイドリング時間と、前記第２の時間計測手段により計測された蓄積時間とから算出される前記撮影における暗電流蓄積電荷量を用いて、前記撮影にて取得された画像のオフセット補正を行う画像処理手段とを備える撮像装置。
2. 前記記憶手段に記憶されている暗電流応答特性と、前記第１の時間計測手段により計測されたアイドリング時間と、前記第２の時間計測手段により計測された蓄積時間とから算出される前記撮影における暗電流蓄積電荷量の電荷を前記撮像手段より取得するための蓄積時間を決定し、決定された蓄積時間に従って前記撮影の後に前記撮像手段を用いてオフセット補正データを取得して前記画像のオフセット補正を行うことを特徴とする請求項１記載の撮像装置。
3. 前記記憶手段に記憶されている暗電流応答特性と、前記第１の時間計測手段により計測されたアイドリング時間と、前記第２の時間計測手段により計測された蓄積時間とから算出される前記撮影における暗電流蓄積電荷量に応じて、予め取得されているオフセットデータを演算処理し前記撮影に係るオフセット補正データを取得して前記画像のオフセット補正を行うことを特徴とする請求項１記載の撮像装置。
4. 前記暗電流応答特性は、指数関数を用いて近似することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の撮像装置。
5. 前記変換素子の主材料として、アモルファスシリコンが用いられていることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の撮像装置。
6. 前記変換素子は、入射する放射線を光に波長変換するための波長変換体と、前記光を前記電気信号に変換するための光電変換素子と、を有することを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の撮像装置。
7. 請求項１〜６の何れか１項に記載の撮像装置と、
   放射線を発生する放射線発生装置と、を有することを特徴とする撮像システム。
8. 放射線又は光を電気信号に変換するための変換素子が基板上にアレイ状に複数配列された撮像手段と、前記変換素子にバイアスを印加してからの前記撮像手段に係る暗電流応答特性が記憶された記憶手段とを備える撮像装置の制御方法であって、
   前記変換素子にバイアスを印加してから、前記撮像手段により画像を取得する撮影を開始するまでのアイドリング時間を計測する第１の時間計測工程と、
   前記撮影における蓄積時間を計測する第２の時間計測工程と、
   前記記憶手段に記憶されている暗電流応答特性と、前記第１の時間計測工程にて計測されたアイドリング時間と、前記第２の時間計測工程にて計測された蓄積時間とから算出される前記撮影における暗電流蓄積電荷量を用いて、前記撮影にて取得された画像のオフセット補正を行う画像処理工程とを有することを特徴とする撮像装置の制御方法。
9. 放射線又は光を電気信号に変換するための変換素子が基板上にアレイ状に複数配列された撮像手段と、前記変換素子にバイアスを印加してからの前記撮像手段に係る暗電流応答特性が記憶された記憶手段とを備える撮像装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
   前記変換素子にバイアスを印加してから、前記撮像手段により画像を取得する撮影を開始するまでのアイドリング時間を計測する第１の時間計測ステップと、
   前記撮影における蓄積時間を計測する第２の時間計測ステップと、
   前記記憶手段に記憶されている暗電流応答特性と、前記第１の時間計測ステップにて計測されたアイドリング時間と、前記第２の時間計測ステップにて計測された蓄積時間とから算出される前記撮影における暗電流蓄積電荷量を用いて、前記撮影にて取得された画像のオフセット補正を行う画像処理ステップとをコンピュータに実行させるためのプログラム。

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