JP2008249790A - 光導波路素子、及び光導波路素子の温度クロストーク抑止方法 - Google Patents
光導波路素子、及び光導波路素子の温度クロストーク抑止方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決方法】電気光学効果を有する基板と、前記基板上に形成された光導波路と、前記光導波路内を導波する光波を変調するための複数の変調用電極とを具え、前記光導波路は、前記光波の進行方向において2つに分岐して2本のメイン光導波を構成し、各メイン光導波路は前記光波の前記進行方向においてさらに2つに分岐して2本のサブ光導波路を構成し、前記2本のメイン光導波路は、メインマッハツエンダー型光導波路を構成するとともに、前記2本のサブ光導波路は、前記メインマッハツエンダー型光導波路内に組み込まれるようにしてサブマッハツエンダー型光導波路を構成し、前記基板の、相対向して位置する2つの前記サブマッハツエンダー型光導波路間において、熱伝導抑止領域を有するようにして光導波路素子を構成する。
【選択図】図1
Description
なわち動作点が随時シフトしてしまい、安定な動作を確保することができないという問題があった。
電気光学効果を有する基板と、
前記基板上に形成された光導波路と、
前記光導波路内を導波する光波を変調するための複数の変調用電極とを具え、
前記光導波路は、前記光波の進行方向において2つに分岐して2本のメイン光導波を構成し、各メイン光導波路は前記光波の前記進行方向においてさらに2つに分岐して2本のサブ光導波路を構成し、
前記2本のメイン光導波路は、メインマッハツエンダー型光導波路を構成するとともに、前記2本のサブ光導波路は、前記メインマッハツエンダー型光導波路内に組み込まれるようにしてサブマッハツエンダー型光導波路を構成し、
前記基板の、相対向して位置する2つの前記サブマッハツエンダー型光導波路間において、熱伝導抑止領域を有することを特徴とする、光導波路素子(ネスト型導波路構造の光導波路素子)に関する。
電気光学効果を有する基板と、前記基板上に形成された光導波路と、前記光導波路内を導波する光波を変調するための複数の変調用電極とを具え、
前記光導波路は、前記光波の進行方向において2つに分岐して2本のメイン光導波路を構成し、各メイン光導波路は、前記光波の前記進行方向においてさらに2つに分岐して2本のサブ光導波路を構成し、前記2本のメイン光導波路はメインマッハツエンダー型光導波路を構成するとともに、前記2本のサブ光導波路は、前記メインマッハツエンダー型光導波路内に組み込まれるようにしてサブマッハツエンダー型光導波路を構成してなる光導波路素子において、
前記基板の、相対向して位置する2つの前記サブマッハツエンダー型光導波路間において、溝部からなる熱伝導抑止領域を形成し、前記2つのサブマッハツエンダー型光導波路間の温度クロストークを抑制することを特徴とする、光導波路素子(ネスト型導波路構造の光導波路素子)の温度クロストーク抑止方法に関する。
と一般的に判断される。
図1は、本発明の第1の実施形態における光導波路素子の構成を示す平面図であり、図2は、図1に示す光導波路素子のA−A線に沿って切った場合の断面図である。尚、図2〜図5においては、変調用電極153,154,163,164は、図示していない。
図3は、第2の実施形態における光導波路素子を示す断面図である。本実施形態における光導波路素子の平面状態は上記第1の実施形態の場合と同じであり、図3は、上記第1の実施形態における図2に相当して、前記光導波路素子のA−A線に沿って切った場合の断面図である。なお、同一及び類似の構成要素に関しては、同じ参照数字を用いて表している。
図4は、第3の実施形態における光導波路素子を示す断面図である。本実施形態における光導波路素子の平面状態は上記第1の実施形態の場合と同じであり、図4は、上記第1の実施形態における図2に相当して、前記光導波路素子のA−A線に沿って切った場合の断面図である。なお、同一及び類似の構成要素に関しては、同じ参照数字を用いて表している。
図5は、第4の実施形態における光導波路素子を示す断面図である。本実施形態における光導波路素子の平面状態は上記第1の実施形態の場合と同じであり、図5は、上記第1の実施形態における図2に相当して、前記光導波路素子のA−A線に沿って切った場合の断面図である。なお、同一及び類似の構成要素に関しては、同じ参照数字を用いて表している。
11 基板
12 光導波路
14 メインマッハツエンダー型光導波路
15 第1のサブマッハツエンダー型光導波路
16 第2のサブマッハツエンダー型光導波路
18 溝部(熱伝導抑止領域)
28 断熱部材(熱伝導抑止領域)
38 金属プレート(熱伝導抑止領域)
Claims (6)
- 電気光学効果を有する基板と、
前記基板上に形成された光導波路と、
前記光導波路内を導波する光波を変調するための複数の変調用電極とを具え、
前記光導波路は、前記光波の進行方向において2つに分岐して2本のメイン光導波を構成し、各メイン光導波路は前記光波の前記進行方向においてさらに2つに分岐して2本のサブ光導波路を構成し、
前記2本のメイン光導波路は、メインマッハツエンダー型光導波路を構成するとともに、前記2本のサブ光導波路は、前記メインマッハツエンダー型光導波路内に組み込まれるようにしてサブマッハツエンダー型光導波路を構成し、
前記基板の、相対向して位置する2つの前記サブマッハツエンダー型光導波路間において、熱伝導抑止領域を有することを特徴とする、光導波路素子。 - 前記熱伝導抑止領域は、前記基板内に形成した溝部であることを特徴とする、請求項1に記載の光導波路素子。
- 前記熱伝導抑止領域は、前記基板内に形成した溝部内に充填した断熱部材であることを特徴とする、請求項1に記載の光導波路素子。
- 前記熱伝導抑止領域は、金属プレートであることを特徴とする、請求項1に記載の光導波路素子。
- 前記金属プレートは、前記複数の変調用電極の内の、前記2つのサブマッハツエンダー型光導波路間に設けられた少なくとも1つの変調用電極であることを特徴とする、請求項4に記載の光導波路素子。
- 電気光学効果を有する基板と、前記基板上に形成された光導波路と、前記光導波路内を導波する光波を変調するための複数の変調用電極とを具え、
前記光導波路は、前記光波の進行方向において2つに分岐して2本のメイン光導波路を構成し、各メイン光導波路は、前記光波の前記進行方向においてさらに2つに分岐して2本のサブ光導波路を構成し、前記2本のメイン光導波路はメインマッハツエンダー型光導波路を構成するとともに、前記2本のサブ光導波路は、前記メインマッハツエンダー型光導波路内に組み込まれるようにしてサブマッハツエンダー型光導波路を構成してなる光導波路素子において、
前記基板の、相対向して位置する2つの前記サブマッハツエンダー型光導波路間において、溝部からなる熱伝導抑止領域を形成し、前記2つのサブマッハツエンダー型光導波路間の温度クロストークを抑制することを特徴とする、光導波路素子の温度クロストーク抑止方法。
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