JP7428051B2 - 光導波路素子とそれを用いた光変調デバイス及び光送信装置 - Google Patents
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Description
(1) 電気光学効果を有し、厚みが10μm以下の薄板と、該薄板には光導波路が形成されており、さらに、該薄板を支持する補強基板を備えた光導波路素子において、該薄板は、平面視した形状が長方形であり、該薄板の外周と該光導波路との間の少なくとも一部に、該薄板を構成する元素と異なる元素であって、基板中に熱拡散できる元素が該薄板内に配置された異種元素層が形成され、該薄板の各長辺から該光導波路を横切ると共に、該薄板の各長辺と該光導波路との間に位置する、該薄板の劈開によって割れ易い全ての面のそれぞれに対し、該異種元素層の形成領域を該薄板の劈開によって割れ易い面が横切る長さにおける該薄板の短辺方向の成分の長さの総和は、該薄板の短辺方向の幅の5%以上であることを特徴とする。
なお、本明細書において、「劈開によって割れ易い面」を単に「劈開面」と称する場合もある。
本発明の光導波路素子は、図1~図6に示すように、電気光学効果を有し、厚みが10μm以下の薄板1と、該薄板には光導波路2(WG)が形成されており、さらに、該薄板を支持する補強基板5を備えた光導波路素子において、該薄板1は、平面視した形状が長方形であり、該薄板の外周と該光導波路2との間の少なくとも一部に、該薄板を構成する元素と異なる元素であって、基板中に熱拡散できる元素が該薄板内に配置された異種元素層3が形成され、該薄板の各長辺から該光導波路を横切ると共に、該薄板の各長辺と該光導波路との間に位置する、該薄板の劈開によって割れ易い全ての面のそれぞれに対し、該異種元素層の形成領域を該薄板の劈開によって割れ易い面が横切る長さにおける該薄板の短辺方向の成分の長さの総和は、該薄板の短辺方向の幅の5%以上であることを特徴とする。
LN基板(ウェハ)上に全面Tiを成膜した後、フォトリソグラフィにより光導波路及び異種元素層部分を形成し、加熱によって光導波路及び異種元素層をLN基板中に熱拡散させた。その後、光導波路素子(チップ)を切り出し、切り出したチップの数に対する光導波路まで亀裂が達しているものの数の割合を、「亀裂発生率」として数値化した。
なお、いずれの光導波路基板も次の数値で作製し、薄板化した光導波路基板は、厚さ30μmの接着剤を介し厚さ500μmの補強基板に接合する構成とした。
薄板の厚みt0=10μm、異種元素層の厚みt1=10μm、チップ(長方形)の短辺方向の幅W0=2000μm、光導波路のMFD=φ10μm。
実施例2では、図3に示した異種元素層の形成領域のパターンを使用し、薄板の周囲に沿って形成する異種元素層の幅を100μmの幅で形成した。
実施例3では、図4に示すパターンを使用し、異種元素層の幅W1は100μmの幅で形成した。
実施例4では、図5に示すパターンを使用し、薄板の長辺に沿った異種元素層の幅は100μmとし、隣接する異種元素層との間隔を50μmとなるように設定した。なお、Xカットの薄板の劈開面の角度θは60度である。
比較例1では、異種元素層を全く形成しなかった。
比較例2では、図4に示すパターンを使用し、異種元素層の幅W1は20μmの幅で形成した。
試験結果を表1に示す。
2 光導波路
3 異種元素層
4 接着層
5 補強基板
MD 光変調デバイス
OTA 光送信装置
SH 筐体
Claims (8)
- 電気光学効果を有し、厚みが10μm以下の薄板と、該薄板には光導波路が形成されており、さらに、該薄板を支持する補強基板を備えた光導波路素子において、
該薄板は、平面視した形状が長方形であり、
該薄板の外周と該光導波路との間の少なくとも一部に、該薄板を構成する元素と異なる元素であって、基板中に熱拡散できる元素が該薄板内に配置された異種元素層が形成され、
該薄板の各長辺から該光導波路を横切ると共に、該薄板の各長辺と該光導波路との間に位置する、該薄板の劈開によって割れ易い全ての面のそれぞれに対し、該異種元素層の形成領域を該薄板の劈開によって割れ易い面が横切る長さにおける該薄板の短辺方向の成分の長さの総和は、該薄板の短辺方向の幅の5%以上であることを特徴とする光導波路素子。 - 請求項1に記載の光導波路素子において、該異種元素層の厚みは、該薄板の厚みの半分以上であることを特徴とする光導波路素子。
- 請求項1又は2に記載の光導波路素子において、該異種元素層は、チタンが拡散して形成されていることを特徴とする光導波路素子。
- 請求項3に記載の光導波路素子において、該光導波路は高屈折率材料を拡散させた拡散導波路であり、該異種元素層と該光導波路は該薄板の同じ面に形成され、該薄板の表面から該異種元素層の最も高い部分までの厚みは、該光導波路の最も高い部分までの厚みより厚くなるように設定されていることを特徴とする光導波路素子。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の光導波路素子において、該薄板に電極が形成され、該電極と該異種元素層とは離間して形成されていることを特徴とする光導波路素子。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載の光導波路素子と、該光導波路素子を収容する筐体と、該光導波路に光波を該筐体の外部から入力又は出力する光ファイバとを有することを特徴とする光変調デバイス。
- 請求項6に記載の光変調デバイスにおいて、該光導波路素子に入力する変調信号を増幅する電子回路を該筐体の内部に有することを特徴とする光変調デバイス。
- 請求項6又は7に記載の光変調デバイスと、該光変調デバイスに変調動作を行わせる変調信号を出力する電子回路とを有することを特徴とする光送信装置。
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