JP7259486B2 - 光変調器 - Google Patents
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Description
(1) 電気光学効果を有する基板に光導波路と制御電極が形成され、該光導波路は、複数のマッハツェンダー型光導波路が並列に配置される構造を有し、該制御電極は、一つの前記マッハツェンダー型光導波路に対し、2つの接地電極Gの間に2つの信号電極Sを配置したGSSG型の差動電極構造を備えた光変調器において、前記2つの信号電極Sの間の距離W1は、隣接する信号電極Sと接地電極Gとの間の距離W2の2倍未満に設定され、隣接するマッハツェンダー型光導波路に挟まれた該接地電極に、信号クロストークを抑制するためのクロストーク抑制手段を設け、該クロストーク抑制手段は、該接地電極の上面の少なくとも一部が該信号電極の上面より高くなるように、該接地電極と該基板との間に樹脂層を配置し、該樹脂層に対応して該接地電極の上面に突出部を形成したことを特徴とする。
(4) 上記(2)又は(3)に記載の光変調器において、該接地電極の該突出部には、該信号電極に対向する該接地電極の側面部分から離れ、該側面部分の高さより局所的に高くなった部分であることを特徴とする。
本発明の光変調器は、図1に示すように、電気光学効果を有する基板1に光導波路10と制御電極が形成され、該光導波路は、複数のマッハツェンダー型光導波路が並列に配置される構造を有し、該制御電極は、一つの前記マッハツェンダー型光導波路に対し、2つの接地電極G(G1とG2、又はG2とG3)の間に2つの信号電極S(S1とS2、又はS3とS4)を配置したGSSG型の差動電極構造を備えた光変調器において、隣接するマッハツェンダー型光導波路に挟まれた該接地電極(G2)に、信号クロストークを抑制するためのクロストーク抑制手段を設けたことを特徴とする。
なお、リッジ部分の基板の厚さは2~4μm程度であり、基板1のリッジ部分を除く厚みは1~2μmに設定されている。
10 リッジ部分(光導波路)
11 光導波路
2,8 保持基板(低屈折率材料)
9 低屈折率層
80 保持基板
S1~S4 信号電極
G1~G3 接地電極
Claims (4)
- 電気光学効果を有する基板に光導波路と制御電極が形成され、
該光導波路は、複数のマッハツェンダー型光導波路が並列に配置される構造を有し、
該制御電極は、一つの前記マッハツェンダー型光導波路に対し、2つの接地電極Gの間に2つの信号電極Sを配置したGSSG型の差動電極構造を備えた光変調器において、
前記2つの信号電極Sの間の距離W1は、隣接する信号電極Sと接地電極Gとの間の距離W2の2倍未満に設定され、
隣接するマッハツェンダー型光導波路に挟まれた該接地電極に、信号クロストークを抑制するためのクロストーク抑制手段を設け、
該クロストーク抑制手段は、該接地電極の上面の少なくとも一部が該信号電極の上面より高くなるように、該接地電極と該基板との間に樹脂層を配置し、該樹脂層に対応して該接地電極の上面に突出部を形成したことを特徴とする光変調器。 - 請求項1に記載の光変調器において、該クロストーク抑制手段は、該接地電極の下面の少なくとも一部が該信号電極の下面より低くなるように設定されていることを特徴とする光変調器。
- 請求項2に記載の光変調器において、該接地電極は、該信号電極に対向する側面部分がその他の本体部分から切り離されており、該側面部分と該本体部分との間には、光導波路の延在する方向に沿って部分的に電気的接続が施されていることを特徴とする光変調器。
- 請求項2又は3に記載の光変調器において、該接地電極の該突出部は、該信号電極に対向する該接地電極の側面部分から離れ、該側面部分の高さより局所的に高くなった部分であることを特徴とする光変調器。
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